JPH06159548A - エアー動作バルブ装置 - Google Patents
エアー動作バルブ装置Info
- Publication number
- JPH06159548A JPH06159548A JP30859792A JP30859792A JPH06159548A JP H06159548 A JPH06159548 A JP H06159548A JP 30859792 A JP30859792 A JP 30859792A JP 30859792 A JP30859792 A JP 30859792A JP H06159548 A JPH06159548 A JP H06159548A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- valve
- operated valve
- valve device
- operating valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、減圧ＣＶＤ炉の排気切替用のエア
ー動作バルブ３に供給される圧力が瞬時に立ち上がらな
いようにし、バルブ動作時の振動による発塵を防止する
ことを目的とする。 【構成】 エアー供給用電磁バルブ４の出口にオリフィ
ス調整器９を取り付け、エアー動作バルブ３が完全に動
作するまでにかかる時間を例えば１秒間遅らせ、バルブ
動作時の振動を低減する。
ー動作バルブ３に供給される圧力が瞬時に立ち上がらな
いようにし、バルブ動作時の振動による発塵を防止する
ことを目的とする。 【構成】 エアー供給用電磁バルブ４の出口にオリフィ
ス調整器９を取り付け、エアー動作バルブ３が完全に動
作するまでにかかる時間を例えば１秒間遅らせ、バルブ
動作時の振動を低減する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば減圧ＣＶＤ炉
などに用いられているエアー動作バルブ装置に関するも
のである。
などに用いられているエアー動作バルブ装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の減圧ＣＶＤ炉を示す概略の
構成図である。図において、１は複数枚のウエハ（図示
せず）を収容する石英管、２は石英管１の両端に接続さ
れた真空フランジ、３は各真空フランジ２にそれぞれ接
続された排気方向切替用のエアー動作バルブ、４は各エ
アー動作バルブ３にそれぞれ接続され、エアー動作バル
ブ３にエアーを供給するエアー供給用電磁バルブ、５は
両方のエアー動作バルブ３に接続された真空引き用のメ
インバルブ、６はメインバルブ５に接続されたロータリ
ーポンプ、７は真空フランジ２に接続され、石英管１に
反応ガスを流すためのガス配管である。
構成図である。図において、１は複数枚のウエハ（図示
せず）を収容する石英管、２は石英管１の両端に接続さ
れた真空フランジ、３は各真空フランジ２にそれぞれ接
続された排気方向切替用のエアー動作バルブ、４は各エ
アー動作バルブ３にそれぞれ接続され、エアー動作バル
ブ３にエアーを供給するエアー供給用電磁バルブ、５は
両方のエアー動作バルブ３に接続された真空引き用のメ
インバルブ、６はメインバルブ５に接続されたロータリ
ーポンプ、７は真空フランジ２に接続され、石英管１に
反応ガスを流すためのガス配管である。
【０００３】次に、動作について説明する。上記のよう
な減圧ＣＶＤ炉では、石英管１内にある複数枚のウエハ
のウエハ間均一性を得るために、石英管１の左右から交
互にガスを流す。このとき、排気側については、排気方
向切替用のエアー動作バルブ３を、ガスを流す方向とは
反対にエアー供給用電磁バルブ４の操作により動作させ
る。
な減圧ＣＶＤ炉では、石英管１内にある複数枚のウエハ
のウエハ間均一性を得るために、石英管１の左右から交
互にガスを流す。このとき、排気側については、排気方
向切替用のエアー動作バルブ３を、ガスを流す方向とは
反対にエアー供給用電磁バルブ４の操作により動作させ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
た従来の減圧ＣＶＤ炉においては、エアー供給用電磁バ
ルブ４の開閉動作により、排気方向切替用のエアー動作
バルブ３に駆動圧力を瞬時にかけていたので、エアー動
作バルブ３が動作したときに振動が発生し、この振動に
より石英管１や排気管等に付着していた副生成物等が剥
がれてダストとなり、ウエハのローディング・アンロー
ディング時などにそのダストがウエハに付着してしまう
という問題点があった。
た従来の減圧ＣＶＤ炉においては、エアー供給用電磁バ
ルブ４の開閉動作により、排気方向切替用のエアー動作
バルブ３に駆動圧力を瞬時にかけていたので、エアー動
作バルブ３が動作したときに振動が発生し、この振動に
より石英管１や排気管等に付着していた副生成物等が剥
がれてダストとなり、ウエハのローディング・アンロー
ディング時などにそのダストがウエハに付着してしまう
という問題点があった。
【０００５】この発明は、上記のような問題点を解決す
ることを課題としてなされたものであり、エアー動作バ
ルブの動作時に振動が発生するのを防止することができ
るエアー動作バルブ装置を得ることを目的とする。
ることを課題としてなされたものであり、エアー動作バ
ルブの動作時に振動が発生するのを防止することができ
るエアー動作バルブ装置を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係るエアー動
作バルブ装置は、エアー動作バルブとエアー供給用電磁
バルブとの間のエアーの経路にオリフィス調整器を設
け、エアー動作バルブの動作速度を可変としたものであ
る。
作バルブ装置は、エアー動作バルブとエアー供給用電磁
バルブとの間のエアーの経路にオリフィス調整器を設
け、エアー動作バルブの動作速度を可変としたものであ
る。
【０００７】
【作用】この発明においては、エアー供給用電磁バルブ
が開いたときに、エアー動作バルブへのエアーの供給を
オリフィス調整器で調整し、エアー動作バルブの動作速
度を遅くして、振動の発生を防止する。
が開いたときに、エアー動作バルブへのエアーの供給を
オリフィス調整器で調整し、エアー動作バルブの動作速
度を遅くして、振動の発生を防止する。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図１はこの発明の一実施例によるエアー動作バルブ
装置を示す構成図であり、図２と同一又は相当部分には
同一符号を付し、その説明を省略する。図において、８
は真空フランジ２とエアー動作バルブ３とを結合するた
めのカップリングフランジ、９はエアー供給用電磁バル
ブ４の出口に設けられ、エアー供給用電磁バルブ４から
の圧力のかかり具合を調整するオリフィス調整器であ
る。
る。図１はこの発明の一実施例によるエアー動作バルブ
装置を示す構成図であり、図２と同一又は相当部分には
同一符号を付し、その説明を省略する。図において、８
は真空フランジ２とエアー動作バルブ３とを結合するた
めのカップリングフランジ、９はエアー供給用電磁バル
ブ４の出口に設けられ、エアー供給用電磁バルブ４から
の圧力のかかり具合を調整するオリフィス調整器であ
る。
【０００９】次に、動作について説明する。上記のよう
に、エアー供給用電磁バルブ４にオリフィス調整器９を
取り付け、排気方向切替用のエアー動作バルブ３を動作
させた場合、エアー供給用電磁バルブ４からのエアー
は、元圧力５ｋｇ／ｃｍ2でエアー動作バルブ３に伝達
される。しかし、オリフィス調整器９でオリフィス径を
適当に調整することにより、エアー動作バルブ３で５ｋ
ｇ／ｃｍ2の圧力に達するまでにかかる時間を、従来よ
り約１秒間遅らせることができた。
に、エアー供給用電磁バルブ４にオリフィス調整器９を
取り付け、排気方向切替用のエアー動作バルブ３を動作
させた場合、エアー供給用電磁バルブ４からのエアー
は、元圧力５ｋｇ／ｃｍ2でエアー動作バルブ３に伝達
される。しかし、オリフィス調整器９でオリフィス径を
適当に調整することにより、エアー動作バルブ３で５ｋ
ｇ／ｃｍ2の圧力に達するまでにかかる時間を、従来よ
り約１秒間遅らせることができた。
【００１０】この結果、エアー動作バルブ３の動作によ
り発生する振動が低減され、発生していたダストが、５
μｍ，５００個レベルから、５μｍ，１０個レベルまで
低減された。この測定は、エアー動作バルブ３を強制的
に動作させた上で、ダストカウンタを用いて行った。
り発生する振動が低減され、発生していたダストが、５
μｍ，５００個レベルから、５μｍ，１０個レベルまで
低減された。この測定は、エアー動作バルブ３を強制的
に動作させた上で、ダストカウンタを用いて行った。
【００１１】なお、上記実施例ではエアー供給用電磁バ
ルブ４にオリフィス調整器９を取り付けたが、エアー動
作バルブ３とエアー供給用電磁バルブ４との間のエアー
の経路であればエアー動作バルブ３側に取り付けても、
途中の配管等に取り付けてもよい。
ルブ４にオリフィス調整器９を取り付けたが、エアー動
作バルブ３とエアー供給用電磁バルブ４との間のエアー
の経路であればエアー動作バルブ３側に取り付けても、
途中の配管等に取り付けてもよい。
【００１２】また、上記実施例では減圧ＣＶＤ炉の石英
管１に接続されたエアー動作バルブ装置を示したが、他
の用途に用いられるエアー動作バルブ装置にもこの発明
は適用できる。
管１に接続されたエアー動作バルブ装置を示したが、他
の用途に用いられるエアー動作バルブ装置にもこの発明
は適用できる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のエアー
動作バルブ装置は、エアー動作バルブとエアー供給用電
磁バルブとの間のエアーの経路にオリフィス調整器を設
けたので、エアー動作バルブの動作速度を遅くすること
ができ、これにより動作時に振動が発生するのを防止す
ることができ、振動による発塵を防止することができる
という効果を奏する。
動作バルブ装置は、エアー動作バルブとエアー供給用電
磁バルブとの間のエアーの経路にオリフィス調整器を設
けたので、エアー動作バルブの動作速度を遅くすること
ができ、これにより動作時に振動が発生するのを防止す
ることができ、振動による発塵を防止することができる
という効果を奏する。
【図１】この発明の一実施例によるエアー動作バルブ装
置を示す構成図である。
置を示す構成図である。
【図２】従来のエアー動作バルブ装置を有する減圧ＣＶ
Ｄ炉の一例を示す概略の構成図である。
Ｄ炉の一例を示す概略の構成図である。
【符号の説明】 ３ エアー動作バルブ ４ エアー供給用電磁バルブ ９ オリフィス調整器
Claims (1)
- 【請求項１】 エアー動作バルブと、このエアー動作バ
ルブに接続され上記エアー動作バルブを動作させるエア
ー供給用電磁バルブと、上記エアー動作バルブと上記エ
アー供給用電磁バルブとの間のエアーの経路に設けられ
ているオリフィス調整器とを備えていることを特徴とす
るエアー動作バルブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30859792A JPH06159548A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | エアー動作バルブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30859792A JPH06159548A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | エアー動作バルブ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06159548A true JPH06159548A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=17982959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30859792A Pending JPH06159548A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | エアー動作バルブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06159548A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007162873A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Mitsumi Electric Co Ltd | エアオペレートバルブ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60151481A (ja) * | 1984-01-18 | 1985-08-09 | Hitachi Ltd | 圧力式開閉弁 |
-
1992
- 1992-11-18 JP JP30859792A patent/JPH06159548A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60151481A (ja) * | 1984-01-18 | 1985-08-09 | Hitachi Ltd | 圧力式開閉弁 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007162873A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Mitsumi Electric Co Ltd | エアオペレートバルブ |
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