JP2001132864A - 排気切替ユニット - Google Patents
排気切替ユニットInfo
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Abstract
トを提供すること、また小型化した排気切替ユニットを
提供すること。 【解決手段】 一つの空間からなる弁室51に少なくと
も二つ以上の出力ポート53,54が開設されたバルブ
ボディ50に、出力ポート53,54毎に形成された弁
室51内の弁座55,56に対して弁体34,44を当
接・離間させるアクチュエータ30,40が一体に取り
付けられた排気切替ユニット70。
Description
造で排出される反応性ガスを支燃性ガスと可燃性ガスと
に分けて所定の排気処理装置へ送り込むために使用され
るものであって、共通の流路を通って送られる異なるガ
スを種類に応じて別々の出力ポートから排出する排気切
替ユニットに関する。
排出されたプロセスガスは、所定の排気処理装置へと送
り込まれて処理されている。その際、プロセスガスを支
燃性ガスと可燃性ガス(例えば、水素(H2 )を含む)
とに分て別々の排気処理装置へと選択的に送り込むこと
が行われ、そのためガスを分別排気する排気切替システ
ムが使用されている。この排気切替システムには、図8
に示すような一つの入口に対し二つの出口をもった排気
切替ユニットが使用されている。
ルブ101,111が使用され、それぞれの入力ポート
102,112がT字管121の管端部に配管用継手1
31,132によって接続されている。また、開閉バル
ブ101,111の出力ポート103,113には、そ
れぞれ配管用継手133,134によって排気管12
2,123が接続されている。そして、その一方の排気
管122には可燃性ガス用スクラバが、他方の排気管1
23には支燃性ガス用スクラバが、各プロセスガスを処
理するために接続されている。また、可燃性ガスを処理
するには、可燃性ガスを希釈する窒素ガスを供給する必
要があるため、排気管122には不図示の窒素パージラ
インを接続するためのN2 ポート141が設けられてい
る。更に、排気切替ユニット100には、開閉バルブ1
01,111へ流れるプロセスガスの圧力を検出するた
めの圧力センサ142がT字管121に接続されてい
る。
た従来の排気切替ユニット100は、二つの開閉バルブ
101,111をそれぞれT字管121及び排気管12
2,123に接続させるため、4箇所で配管用継手13
1〜134を使用しなければならず、接続箇所が多いこ
とから構造上漏れが発生しやすいものであった。また、
従来の排気切替ユニット70では、ガスを各開閉バルブ
101,111へ流すためにT字管71などの分岐管を
用いていたので、分岐管の配管スペース分だけユニット
が大きくなってしまう大型化の問題もあった。
高めた排気切替ユニットを提供すること、また小型化し
た排気切替ユニットを提供することを目的とする。
トは、少なくとも二つ以上のバルブの開閉を切り替える
ことにより、ガスの種類に応じて異なる排出口から分別
して排出するものであって、一つの空間からなる弁室に
少なくとも二つ以上の出力ポートが開設されたバルブボ
ディに、前記出力ポート毎に形成された弁室内の弁座に
対して弁体を当接・離間させるアクチュエータが一体に
取り付けられたことを特徴とする。また、本発明の排気
切替ユニットは、一つの空間からなる弁室に一つの入力
ポートと二つの出力ポートとが開設され、弁室内に各出
力ポート毎の弁座が形成された箱型のバルブボディと、
前記バルブボディ内に挿入された弁ロッドの先端に弁体
を備え、弁ロッドを軸方向に駆動させて前記弁座に弁体
を当接・離間させる二つのエアシリンダとを有すること
を特徴とする。
の弁室内に弁座及び弁体からなる複数のバルブが設けら
れ、各バルブに対応して設けられたアクチュエータ(例
えばエアシリンダ)がバルブの開閉を行うことによっ
て、複数ある出力ポートのうち所定のポートから所定の
ガスを排出する。よって、本発明の排気切替ユニット
は、ガスを各バルブに分けて流すための分岐管が不要に
なったため、接続箇所を減らせたことで漏れに対する安
全性を高めることができ、また分岐管の配管スペースを
省いたことで小型化を図ることができるようになった。
ットの一実施の形態について図面を参照して説明する。
本実施の形態の排気切替ユニットは、前記従来例のもの
と同様に、チャンバから排出されたプロセスガスを支燃
性ガスと可燃性ガスとに分け、別々の排気処理装置へと
送り込むための排気切替システムを構成するものであ
る。ここで、図1は、その排気切替システムを示した回
路図である。排気切替システム1は、チャンバの排気ポ
ンプ2に排気ライン11が接続され、その下流側では、
分岐した一方の分岐ライン12が可燃性ガス用スクラバ
3に、他方の分岐ライン13が支燃性ガス用スクラバ4
にそれぞれ接続されている。可燃性ガス用スクラバ3
は、水素を含む可燃性ガスをアルカリ液を含む通気攪拌
槽に導入して溶解させ、その後に洗浄水により洗浄する
ことによって可燃性ガスを処理するものである。また、
支燃性ガス用スクラバ4は、非可燃性ガスを反応槽に充
填した特殊薬剤に吸着させて処理し無害化するものであ
る。
られ、各分岐ライン12,13には、開閉バルブ16,
17がそれぞれ配管されている。また、可燃性ガス用ス
クラバ3に接続される分岐ライン12には、窒素パージ
ライン21が接続されている。窒素パージライン21
は、窒素タンク5に接続され、順に可変オリフィ22、
フローメータ23、開閉バルブ24及び逆止弁25が配
管されている。分岐ライン12にのみ窒素パージライン
21が接続されているのは、可燃性ガス用スクラバ3へ
送り込まれる可燃性ガスを希釈してそのガス濃度を所定
の規定値以下にするためである。
した排気切替システム1の一部を構成したものであっ
て、特にその排気ライン11及び分岐ライン12,13
部分と、二つの開閉バルブ16,17部分を形成するも
のである。図1は、その排気切替ユニットを示した外観
斜視図である。本実施の形態の排気切替ユニット70
は、図示するように一つのバルブボディ50に対して二
つのエアシリンダ30,40が設けられ、二つの開閉バ
ルブを一体にした構成になっている。図3及び図4は、
この排気切替ユニット70を示した断面図である。
ンダ30,40が使用され、バルブボディ50に固定さ
れて一体になっている。エアシリンダ30,40は、シ
リンダチューブ31,41内を摺動するピストン32,
42に対し、弁ロッド33,43が同軸に固定され、そ
の弁ロッド33,43がバルブボディ50内にまで挿入
されている。そして、弁ロッド33,43の先端には、
弁体に相当するOリング34,44を保持したベローズ
組立35,45が固定されている。
は、二つの開閉バルブのうち、エアシリンダ30側がノ
ーマルオープン型で、エアシリンダ40側がノーマルク
ローズ型を構成している。そのため、弁ロッド33には
バネ受フランジ38が固定され、その弁ロッド33に貫
通されたバネ保持部材39との間にスプリング36が装
填され、弁ロッド33が常時上方へ付勢されている。一
方、弁ロッド43は、シリンダ40に固定されたバネ受
リング48を貫通し、そのバネ受リング48とベローズ
組立45との間に装填されたスプリング46によって常
時下方へ付勢されている。ベローズ組立35,45には
それぞれベローズ37,47が連結され、そのベローズ
37,47が、弁ロッド33,43及びスプリング3
6,46等を覆って、エアシリンダ30,40側へのガ
ス漏れを防止している。
を共有する一つの弁室51を形成したものであって、図
3及び図4に示すような箱型をしたものである。そし
て、そのバルブボディ50には、側方に突き出た一つの
入力ポート52と、下方に突き出た二つの出力ポート5
3,54が形成されている。バルブボディ50内には、
出力ポート53,54の周りに平坦な弁座面55,56
が環状に形成されている。図5は、バルブボディ50の
シリンダ取付面を示した平面図である。そのシリンダ取
付面59は、二つのエアシリンダ30,40を並べて固
定できるだけの面積を有し、弁ロッド33,43を通す
ための貫通孔57,58が並べて穿設され、更に貫通孔
57,58の周りに同心円上に嵌め込み用の段差や、エ
アシリンダ30,40をネジ止めするためのネジ穴が形
成されている。
示す排気切替システム1を構成するためには、排気ライ
ン11に相当する入力ポート52から弁室51に至る何
れかの部分に圧力センサ15を、そして分岐ライン12
に相当する出力ポート53の部分に窒素パージライン2
1を接続する必要がある。そこで、排気切替ユニット7
0では、バルブボディ50に図2に示すような円柱部6
1,62を突設し、それぞれの中心を貫いて弁室51に
開設されたPポート63と、出力ポート53部分に開設
されたN2 ポート64とが穿設されている。図6は、図
5のA−A断面図であり、Pポート63及びN2 ポート
64を示したものである。また、排気切替ユニット70
は、円柱部61,62の端面を基板などに当てるように
して固定するため、取り付けバランスを良くするため
に、もう一方の出力ポート54側にも円柱部65が同じ
高さで突設されている。
ット70のPポート63には圧力センサ15が、またN
2 ポート64には窒素パージライン21が接続されて図
1に示す排気切替システム1が構成され、更にその入力
ポート52に排気ポンプ2が接続され、一方の出力ポー
ト53には可燃性ガス用スクラバ3が、また他方の出力
ポート54には支燃性ガス用スクラバ4が接続される。
また、排気切替システム1には、図7に示すようにエア
シリンダ30,40を動作させる圧縮エアの供給を制御
するコントローラ71が設けられている。
て説明する。半導体製造工程では、図7に示すように、
CVD装置80のチャンバ81内で膜付け処理に使用さ
れたプロセスガスは、排気ポンプ2によって吸引排気さ
れて排気切替ユニット70へと送り込まれる。このと
き、CVD装置80のI/Oポート82に接続されたコ
ントローラ71によってエアシリンダ30,40の開閉
制御が行われ、プロセスガスの種類に従った処理装置へ
の排気切替が行われる。
プロセスガスが可燃性ガスの場合は、図3に示すように
出力ポート53側を開弁(図1に示す開閉バルブ16)
して出力ポート54側を閉弁(図1に示す開閉バルブ1
7)させる。これによって、入力ポート52から弁室5
1内に入った可燃性ガスは出力ポート53からのみ排出
される。また、出力ポート53には、同時にN2 ポート
64(図6参照)から窒素ガスが供給される。そのた
め、可燃性ガスが所定濃度にまで希釈されて、出力ポー
ト53に接続された可燃性ガス用スクラバ3へと送り込
まれて処理される。
スガスが支燃性ガスの場合は、図4に示すように出力ポ
ート54側を開弁(図1に示す開閉バルブ17)して出
力ポート53側を閉弁(図1に示す開閉バルブ16)さ
せる。これにより、入力ポート52から弁室51内に入
った支燃性ガスは出力ポート54からのみ排出され、そ
こに接続された支燃性ガス用スクラバ4へと送り込まれ
て処理されることとなる。また、仮にガスの排気処理中
に何らかの故障によってエアシリンダ30,40へのエ
ア供給が停止してしまった場合にでも、各開閉バルブは
図3に示す開閉状態になるので、可燃性ガスが支燃性ガ
ス用スクラバ4へ送られることはない。一方、支燃性ガ
スが可燃性ガス用スクラバ3へ送られることに問題はな
い。
形態の排気切替ユニット70は、二つのバルブを一つの
バルブボディ50に設けたので、排気ポンプ2から二つ
のバルブへ分岐する分岐管が不要になった分、管とバル
ブとの接続箇所が減って漏れに対する信頼性が高まっ
た。また、分岐管が不要になったことにより、分岐管を
配管するためのスペースがなくなって排気切替ユニット
70が小型化された。更に、弁室51内の容積が大きい
ため、ベローズ37.47が内設されていても流れるガ
スの流量を妨げることもなく、却って流れを良くして排
気処理の効率を上げる結果となった。
限定されるわけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で
様々な変更が可能である。例えば、前記実施の形態では
二つのバルブを一体にした構成としたが、出力ポートを
増やしてバルブを三つ以上としてもよく、また入力ポー
トも二つ以上の場合も考えられる。
なくとも二つ以上の出力ポートが開設されたバルブボデ
ィに、その出力ポート毎に形成された弁室内の弁座に対
して弁体を当接・離間させるアクチュエータを一体に取
り付けた構成としたので、漏れに対する安全性を高めた
排気切替ユニットを提供すること、また小型化した排気
切替ユニットを提供することが可能となった。
を示した外観斜視図である。
を示した断面図である。
を示した断面図である。
面図である。
面図である。
一部回路図である。
る。
Claims (2)
- 【請求項1】 少なくとも二つ以上のバルブの開閉を切
り替えることにより、ガスの種類に応じて異なる排出口
から分別して排出する排気切替ユニットにおいて、 一つの空間からなる弁室に少なくとも二つ以上の出力ポ
ートが開設されたバルブボディに、前記出力ポート毎に
形成された弁室内の弁座に対して弁体を当接・離間させ
るアクチュエータが一体に取り付けられたことを特徴と
する排気切替ユニット。 - 【請求項2】 一つの空間からなる弁室に一つの入力ポ
ートと二つの出力ポートとが開設され、弁室内に各出力
ポート毎の弁座が形成された箱型のバルブボディと、 前記バルブボディ内に挿入された弁ロッドの先端に弁体
を備え、弁ロッドを軸方向に駆動させて前記弁座に弁体
を当接・離間させる二つのエアシリンダとを有すること
を特徴とする排気切替ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31213199A JP2001132864A (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | 排気切替ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31213199A JP2001132864A (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | 排気切替ユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001132864A true JP2001132864A (ja) | 2001-05-18 |
Family
ID=18025635
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31213199A Pending JP2001132864A (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | 排気切替ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001132864A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100432508C (zh) * | 2006-10-09 | 2008-11-12 | 无锡压缩机股份有限公司 | 组合高压排气阀 |
CN104633184A (zh) * | 2015-01-30 | 2015-05-20 | 合肥泰禾光电科技股份有限公司 | 一种色选机用高频气动电磁阀 |
JP2015098896A (ja) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | ヤマト産業株式会社 | ガス供給用自動切替装置 |
EP3680529A4 (en) * | 2018-11-12 | 2020-07-15 | Pacific Industrial Co., Ltd. | COMPOSITE VALVE |
CN117052953A (zh) * | 2023-10-12 | 2023-11-14 | 海普瑞(常州)洁净***科技有限公司 | 一种半导体用三联阀及其工作方法 |
-
1999
- 1999-11-02 JP JP31213199A patent/JP2001132864A/ja active Pending
Cited By (9)
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JPWO2020100201A1 (ja) * | 2018-11-12 | 2021-05-06 | 太平洋工業株式会社 | 複合弁 |
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CN117052953B (zh) * | 2023-10-12 | 2024-01-30 | 海普瑞(常州)洁净***科技有限公司 | 一种半导体用三联阀及其工作方法 |
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