JP2001132864A - 排気切替ユニット - Google Patents
排気切替ユニットInfo
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- JP2001132864A JP2001132864A JP31213199A JP31213199A JP2001132864A JP 2001132864 A JP2001132864 A JP 2001132864A JP 31213199 A JP31213199 A JP 31213199A JP 31213199 A JP31213199 A JP 31213199A JP 2001132864 A JP2001132864 A JP 2001132864A
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- JP
- Japan
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- valve
- exhaust
- gas
- switching unit
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 漏れに対する安全性を高めた排気切替ユニッ
トを提供すること、また小型化した排気切替ユニットを
提供すること。 【解決手段】 一つの空間からなる弁室５１に少なくと
も二つ以上の出力ポート５３，５４が開設されたバルブ
ボディ５０に、出力ポート５３，５４毎に形成された弁
室５１内の弁座５５，５６に対して弁体３４，４４を当
接・離間させるアクチュエータ３０，４０が一体に取り
付けられた排気切替ユニット７０。
トを提供すること、また小型化した排気切替ユニットを
提供すること。 【解決手段】 一つの空間からなる弁室５１に少なくと
も二つ以上の出力ポート５３，５４が開設されたバルブ
ボディ５０に、出力ポート５３，５４毎に形成された弁
室５１内の弁座５５，５６に対して弁体３４，４４を当
接・離間させるアクチュエータ３０，４０が一体に取り
付けられた排気切替ユニット７０。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
造で排出される反応性ガスを支燃性ガスと可燃性ガスと
に分けて所定の排気処理装置へ送り込むために使用され
るものであって、共通の流路を通って送られる異なるガ
スを種類に応じて別々の出力ポートから排出する排気切
替ユニットに関する。
造で排出される反応性ガスを支燃性ガスと可燃性ガスと
に分けて所定の排気処理装置へ送り込むために使用され
るものであって、共通の流路を通って送られる異なるガ
スを種類に応じて別々の出力ポートから排出する排気切
替ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造では、例えばチャンバから
排出されたプロセスガスは、所定の排気処理装置へと送
り込まれて処理されている。その際、プロセスガスを支
燃性ガスと可燃性ガス（例えば、水素（Ｈ2 ）を含む）
とに分て別々の排気処理装置へと選択的に送り込むこと
が行われ、そのためガスを分別排気する排気切替システ
ムが使用されている。この排気切替システムには、図８
に示すような一つの入口に対し二つの出口をもった排気
切替ユニットが使用されている。
排出されたプロセスガスは、所定の排気処理装置へと送
り込まれて処理されている。その際、プロセスガスを支
燃性ガスと可燃性ガス（例えば、水素（Ｈ2 ）を含む）
とに分て別々の排気処理装置へと選択的に送り込むこと
が行われ、そのためガスを分別排気する排気切替システ
ムが使用されている。この排気切替システムには、図８
に示すような一つの入口に対し二つの出口をもった排気
切替ユニットが使用されている。
【０００３】排気切替ユニット１００は、二つの開閉バ
ルブ１０１，１１１が使用され、それぞれの入力ポート
１０２，１１２がＴ字管１２１の管端部に配管用継手１
３１，１３２によって接続されている。また、開閉バル
ブ１０１，１１１の出力ポート１０３，１１３には、そ
れぞれ配管用継手１３３，１３４によって排気管１２
２，１２３が接続されている。そして、その一方の排気
管１２２には可燃性ガス用スクラバが、他方の排気管１
２３には支燃性ガス用スクラバが、各プロセスガスを処
理するために接続されている。また、可燃性ガスを処理
するには、可燃性ガスを希釈する窒素ガスを供給する必
要があるため、排気管１２２には不図示の窒素パージラ
インを接続するためのＮ2 ポート１４１が設けられてい
る。更に、排気切替ユニット１００には、開閉バルブ１
０１，１１１へ流れるプロセスガスの圧力を検出するた
めの圧力センサ１４２がＴ字管１２１に接続されてい
る。
ルブ１０１，１１１が使用され、それぞれの入力ポート
１０２，１１２がＴ字管１２１の管端部に配管用継手１
３１，１３２によって接続されている。また、開閉バル
ブ１０１，１１１の出力ポート１０３，１１３には、そ
れぞれ配管用継手１３３，１３４によって排気管１２
２，１２３が接続されている。そして、その一方の排気
管１２２には可燃性ガス用スクラバが、他方の排気管１
２３には支燃性ガス用スクラバが、各プロセスガスを処
理するために接続されている。また、可燃性ガスを処理
するには、可燃性ガスを希釈する窒素ガスを供給する必
要があるため、排気管１２２には不図示の窒素パージラ
インを接続するためのＮ2 ポート１４１が設けられてい
る。更に、排気切替ユニット１００には、開閉バルブ１
０１，１１１へ流れるプロセスガスの圧力を検出するた
めの圧力センサ１４２がＴ字管１２１に接続されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、こうし
た従来の排気切替ユニット１００は、二つの開閉バルブ
１０１，１１１をそれぞれＴ字管１２１及び排気管１２
２，１２３に接続させるため、４箇所で配管用継手１３
１〜１３４を使用しなければならず、接続箇所が多いこ
とから構造上漏れが発生しやすいものであった。また、
従来の排気切替ユニット７０では、ガスを各開閉バルブ
１０１，１１１へ流すためにＴ字管７１などの分岐管を
用いていたので、分岐管の配管スペース分だけユニット
が大きくなってしまう大型化の問題もあった。
た従来の排気切替ユニット１００は、二つの開閉バルブ
１０１，１１１をそれぞれＴ字管１２１及び排気管１２
２，１２３に接続させるため、４箇所で配管用継手１３
１〜１３４を使用しなければならず、接続箇所が多いこ
とから構造上漏れが発生しやすいものであった。また、
従来の排気切替ユニット７０では、ガスを各開閉バルブ
１０１，１１１へ流すためにＴ字管７１などの分岐管を
用いていたので、分岐管の配管スペース分だけユニット
が大きくなってしまう大型化の問題もあった。
【０００５】そこで、本発明は、漏れに対する安全性を
高めた排気切替ユニットを提供すること、また小型化し
た排気切替ユニットを提供することを目的とする。
高めた排気切替ユニットを提供すること、また小型化し
た排気切替ユニットを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の排気切替ユニッ
トは、少なくとも二つ以上のバルブの開閉を切り替える
ことにより、ガスの種類に応じて異なる排出口から分別
して排出するものであって、一つの空間からなる弁室に
少なくとも二つ以上の出力ポートが開設されたバルブボ
ディに、前記出力ポート毎に形成された弁室内の弁座に
対して弁体を当接・離間させるアクチュエータが一体に
取り付けられたことを特徴とする。また、本発明の排気
切替ユニットは、一つの空間からなる弁室に一つの入力
ポートと二つの出力ポートとが開設され、弁室内に各出
力ポート毎の弁座が形成された箱型のバルブボディと、
前記バルブボディ内に挿入された弁ロッドの先端に弁体
を備え、弁ロッドを軸方向に駆動させて前記弁座に弁体
を当接・離間させる二つのエアシリンダとを有すること
を特徴とする。
トは、少なくとも二つ以上のバルブの開閉を切り替える
ことにより、ガスの種類に応じて異なる排出口から分別
して排出するものであって、一つの空間からなる弁室に
少なくとも二つ以上の出力ポートが開設されたバルブボ
ディに、前記出力ポート毎に形成された弁室内の弁座に
対して弁体を当接・離間させるアクチュエータが一体に
取り付けられたことを特徴とする。また、本発明の排気
切替ユニットは、一つの空間からなる弁室に一つの入力
ポートと二つの出力ポートとが開設され、弁室内に各出
力ポート毎の弁座が形成された箱型のバルブボディと、
前記バルブボディ内に挿入された弁ロッドの先端に弁体
を備え、弁ロッドを軸方向に駆動させて前記弁座に弁体
を当接・離間させる二つのエアシリンダとを有すること
を特徴とする。
【０００７】こうした構成の排気切替ユニットは、一つ
の弁室内に弁座及び弁体からなる複数のバルブが設けら
れ、各バルブに対応して設けられたアクチュエータ（例
えばエアシリンダ）がバルブの開閉を行うことによっ
て、複数ある出力ポートのうち所定のポートから所定の
ガスを排出する。よって、本発明の排気切替ユニット
は、ガスを各バルブに分けて流すための分岐管が不要に
なったため、接続箇所を減らせたことで漏れに対する安
全性を高めることができ、また分岐管の配管スペースを
省いたことで小型化を図ることができるようになった。
の弁室内に弁座及び弁体からなる複数のバルブが設けら
れ、各バルブに対応して設けられたアクチュエータ（例
えばエアシリンダ）がバルブの開閉を行うことによっ
て、複数ある出力ポートのうち所定のポートから所定の
ガスを排出する。よって、本発明の排気切替ユニット
は、ガスを各バルブに分けて流すための分岐管が不要に
なったため、接続箇所を減らせたことで漏れに対する安
全性を高めることができ、また分岐管の配管スペースを
省いたことで小型化を図ることができるようになった。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係る排気切替ユニ
ットの一実施の形態について図面を参照して説明する。
本実施の形態の排気切替ユニットは、前記従来例のもの
と同様に、チャンバから排出されたプロセスガスを支燃
性ガスと可燃性ガスとに分け、別々の排気処理装置へと
送り込むための排気切替システムを構成するものであ
る。ここで、図１は、その排気切替システムを示した回
路図である。排気切替システム１は、チャンバの排気ポ
ンプ２に排気ライン１１が接続され、その下流側では、
分岐した一方の分岐ライン１２が可燃性ガス用スクラバ
３に、他方の分岐ライン１３が支燃性ガス用スクラバ４
にそれぞれ接続されている。可燃性ガス用スクラバ３
は、水素を含む可燃性ガスをアルカリ液を含む通気攪拌
槽に導入して溶解させ、その後に洗浄水により洗浄する
ことによって可燃性ガスを処理するものである。また、
支燃性ガス用スクラバ４は、非可燃性ガスを反応槽に充
填した特殊薬剤に吸着させて処理し無害化するものであ
る。
ットの一実施の形態について図面を参照して説明する。
本実施の形態の排気切替ユニットは、前記従来例のもの
と同様に、チャンバから排出されたプロセスガスを支燃
性ガスと可燃性ガスとに分け、別々の排気処理装置へと
送り込むための排気切替システムを構成するものであ
る。ここで、図１は、その排気切替システムを示した回
路図である。排気切替システム１は、チャンバの排気ポ
ンプ２に排気ライン１１が接続され、その下流側では、
分岐した一方の分岐ライン１２が可燃性ガス用スクラバ
３に、他方の分岐ライン１３が支燃性ガス用スクラバ４
にそれぞれ接続されている。可燃性ガス用スクラバ３
は、水素を含む可燃性ガスをアルカリ液を含む通気攪拌
槽に導入して溶解させ、その後に洗浄水により洗浄する
ことによって可燃性ガスを処理するものである。また、
支燃性ガス用スクラバ４は、非可燃性ガスを反応槽に充
填した特殊薬剤に吸着させて処理し無害化するものであ
る。
【０００９】排気ライン１１には圧力センサ１５が設け
られ、各分岐ライン１２，１３には、開閉バルブ１６，
１７がそれぞれ配管されている。また、可燃性ガス用ス
クラバ３に接続される分岐ライン１２には、窒素パージ
ライン２１が接続されている。窒素パージライン２１
は、窒素タンク５に接続され、順に可変オリフィ２２、
フローメータ２３、開閉バルブ２４及び逆止弁２５が配
管されている。分岐ライン１２にのみ窒素パージライン
２１が接続されているのは、可燃性ガス用スクラバ３へ
送り込まれる可燃性ガスを希釈してそのガス濃度を所定
の規定値以下にするためである。
られ、各分岐ライン１２，１３には、開閉バルブ１６，
１７がそれぞれ配管されている。また、可燃性ガス用ス
クラバ３に接続される分岐ライン１２には、窒素パージ
ライン２１が接続されている。窒素パージライン２１
は、窒素タンク５に接続され、順に可変オリフィ２２、
フローメータ２３、開閉バルブ２４及び逆止弁２５が配
管されている。分岐ライン１２にのみ窒素パージライン
２１が接続されているのは、可燃性ガス用スクラバ３へ
送り込まれる可燃性ガスを希釈してそのガス濃度を所定
の規定値以下にするためである。
【００１０】本実施の形態の排気切替ユニットは、こう
した排気切替システム１の一部を構成したものであっ
て、特にその排気ライン１１及び分岐ライン１２，１３
部分と、二つの開閉バルブ１６，１７部分を形成するも
のである。図１は、その排気切替ユニットを示した外観
斜視図である。本実施の形態の排気切替ユニット７０
は、図示するように一つのバルブボディ５０に対して二
つのエアシリンダ３０，４０が設けられ、二つの開閉バ
ルブを一体にした構成になっている。図３及び図４は、
この排気切替ユニット７０を示した断面図である。
した排気切替システム１の一部を構成したものであっ
て、特にその排気ライン１１及び分岐ライン１２，１３
部分と、二つの開閉バルブ１６，１７部分を形成するも
のである。図１は、その排気切替ユニットを示した外観
斜視図である。本実施の形態の排気切替ユニット７０
は、図示するように一つのバルブボディ５０に対して二
つのエアシリンダ３０，４０が設けられ、二つの開閉バ
ルブを一体にした構成になっている。図３及び図４は、
この排気切替ユニット７０を示した断面図である。
【００１１】排気切替ユニット７０には同一のエアシリ
ンダ３０，４０が使用され、バルブボディ５０に固定さ
れて一体になっている。エアシリンダ３０，４０は、シ
リンダチューブ３１，４１内を摺動するピストン３２，
４２に対し、弁ロッド３３，４３が同軸に固定され、そ
の弁ロッド３３，４３がバルブボディ５０内にまで挿入
されている。そして、弁ロッド３３，４３の先端には、
弁体に相当するＯリング３４，４４を保持したベローズ
組立３５，４５が固定されている。
ンダ３０，４０が使用され、バルブボディ５０に固定さ
れて一体になっている。エアシリンダ３０，４０は、シ
リンダチューブ３１，４１内を摺動するピストン３２，
４２に対し、弁ロッド３３，４３が同軸に固定され、そ
の弁ロッド３３，４３がバルブボディ５０内にまで挿入
されている。そして、弁ロッド３３，４３の先端には、
弁体に相当するＯリング３４，４４を保持したベローズ
組立３５，４５が固定されている。
【００１２】本実施の形態の排気切替ユニット７０で
は、二つの開閉バルブのうち、エアシリンダ３０側がノ
ーマルオープン型で、エアシリンダ４０側がノーマルク
ローズ型を構成している。そのため、弁ロッド３３には
バネ受フランジ３８が固定され、その弁ロッド３３に貫
通されたバネ保持部材３９との間にスプリング３６が装
填され、弁ロッド３３が常時上方へ付勢されている。一
方、弁ロッド４３は、シリンダ４０に固定されたバネ受
リング４８を貫通し、そのバネ受リング４８とベローズ
組立４５との間に装填されたスプリング４６によって常
時下方へ付勢されている。ベローズ組立３５，４５には
それぞれベローズ３７，４７が連結され、そのベローズ
３７，４７が、弁ロッド３３，４３及びスプリング３
６，４６等を覆って、エアシリンダ３０，４０側へのガ
ス漏れを防止している。
は、二つの開閉バルブのうち、エアシリンダ３０側がノ
ーマルオープン型で、エアシリンダ４０側がノーマルク
ローズ型を構成している。そのため、弁ロッド３３には
バネ受フランジ３８が固定され、その弁ロッド３３に貫
通されたバネ保持部材３９との間にスプリング３６が装
填され、弁ロッド３３が常時上方へ付勢されている。一
方、弁ロッド４３は、シリンダ４０に固定されたバネ受
リング４８を貫通し、そのバネ受リング４８とベローズ
組立４５との間に装填されたスプリング４６によって常
時下方へ付勢されている。ベローズ組立３５，４５には
それぞれベローズ３７，４７が連結され、そのベローズ
３７，４７が、弁ロッド３３，４３及びスプリング３
６，４６等を覆って、エアシリンダ３０，４０側へのガ
ス漏れを防止している。
【００１３】次に、バルブボディ５０は、二つのバルブ
を共有する一つの弁室５１を形成したものであって、図
３及び図４に示すような箱型をしたものである。そし
て、そのバルブボディ５０には、側方に突き出た一つの
入力ポート５２と、下方に突き出た二つの出力ポート５
３，５４が形成されている。バルブボディ５０内には、
出力ポート５３，５４の周りに平坦な弁座面５５，５６
が環状に形成されている。図５は、バルブボディ５０の
シリンダ取付面を示した平面図である。そのシリンダ取
付面５９は、二つのエアシリンダ３０，４０を並べて固
定できるだけの面積を有し、弁ロッド３３，４３を通す
ための貫通孔５７，５８が並べて穿設され、更に貫通孔
５７，５８の周りに同心円上に嵌め込み用の段差や、エ
アシリンダ３０，４０をネジ止めするためのネジ穴が形
成されている。
を共有する一つの弁室５１を形成したものであって、図
３及び図４に示すような箱型をしたものである。そし
て、そのバルブボディ５０には、側方に突き出た一つの
入力ポート５２と、下方に突き出た二つの出力ポート５
３，５４が形成されている。バルブボディ５０内には、
出力ポート５３，５４の周りに平坦な弁座面５５，５６
が環状に形成されている。図５は、バルブボディ５０の
シリンダ取付面を示した平面図である。そのシリンダ取
付面５９は、二つのエアシリンダ３０，４０を並べて固
定できるだけの面積を有し、弁ロッド３３，４３を通す
ための貫通孔５７，５８が並べて穿設され、更に貫通孔
５７，５８の周りに同心円上に嵌め込み用の段差や、エ
アシリンダ３０，４０をネジ止めするためのネジ穴が形
成されている。
【００１４】ところで、排気切替ユニット７０が図１に
示す排気切替システム１を構成するためには、排気ライ
ン１１に相当する入力ポート５２から弁室５１に至る何
れかの部分に圧力センサ１５を、そして分岐ライン１２
に相当する出力ポート５３の部分に窒素パージライン２
１を接続する必要がある。そこで、排気切替ユニット７
０では、バルブボディ５０に図２に示すような円柱部６
１，６２を突設し、それぞれの中心を貫いて弁室５１に
開設されたＰポート６３と、出力ポート５３部分に開設
されたＮ2 ポート６４とが穿設されている。図６は、図
５のＡ−Ａ断面図であり、Ｐポート６３及びＮ2 ポート
６４を示したものである。また、排気切替ユニット７０
は、円柱部６１，６２の端面を基板などに当てるように
して固定するため、取り付けバランスを良くするため
に、もう一方の出力ポート５４側にも円柱部６５が同じ
高さで突設されている。
示す排気切替システム１を構成するためには、排気ライ
ン１１に相当する入力ポート５２から弁室５１に至る何
れかの部分に圧力センサ１５を、そして分岐ライン１２
に相当する出力ポート５３の部分に窒素パージライン２
１を接続する必要がある。そこで、排気切替ユニット７
０では、バルブボディ５０に図２に示すような円柱部６
１，６２を突設し、それぞれの中心を貫いて弁室５１に
開設されたＰポート６３と、出力ポート５３部分に開設
されたＮ2 ポート６４とが穿設されている。図６は、図
５のＡ−Ａ断面図であり、Ｐポート６３及びＮ2 ポート
６４を示したものである。また、排気切替ユニット７０
は、円柱部６１，６２の端面を基板などに当てるように
して固定するため、取り付けバランスを良くするため
に、もう一方の出力ポート５４側にも円柱部６５が同じ
高さで突設されている。
【００１５】そして、こうして構成された排気切替ユニ
ット７０のＰポート６３には圧力センサ１５が、またＮ
2 ポート６４には窒素パージライン２１が接続されて図
１に示す排気切替システム１が構成され、更にその入力
ポート５２に排気ポンプ２が接続され、一方の出力ポー
ト５３には可燃性ガス用スクラバ３が、また他方の出力
ポート５４には支燃性ガス用スクラバ４が接続される。
また、排気切替システム１には、図７に示すようにエア
シリンダ３０，４０を動作させる圧縮エアの供給を制御
するコントローラ７１が設けられている。
ット７０のＰポート６３には圧力センサ１５が、またＮ
2 ポート６４には窒素パージライン２１が接続されて図
１に示す排気切替システム１が構成され、更にその入力
ポート５２に排気ポンプ２が接続され、一方の出力ポー
ト５３には可燃性ガス用スクラバ３が、また他方の出力
ポート５４には支燃性ガス用スクラバ４が接続される。
また、排気切替システム１には、図７に示すようにエア
シリンダ３０，４０を動作させる圧縮エアの供給を制御
するコントローラ７１が設けられている。
【００１６】次に、プロセスガスの切替排気処理につい
て説明する。半導体製造工程では、図７に示すように、
ＣＶＤ装置８０のチャンバ８１内で膜付け処理に使用さ
れたプロセスガスは、排気ポンプ２によって吸引排気さ
れて排気切替ユニット７０へと送り込まれる。このと
き、ＣＶＤ装置８０のＩ／Ｏポート８２に接続されたコ
ントローラ７１によってエアシリンダ３０，４０の開閉
制御が行われ、プロセスガスの種類に従った処理装置へ
の排気切替が行われる。
て説明する。半導体製造工程では、図７に示すように、
ＣＶＤ装置８０のチャンバ８１内で膜付け処理に使用さ
れたプロセスガスは、排気ポンプ２によって吸引排気さ
れて排気切替ユニット７０へと送り込まれる。このと
き、ＣＶＤ装置８０のＩ／Ｏポート８２に接続されたコ
ントローラ７１によってエアシリンダ３０，４０の開閉
制御が行われ、プロセスガスの種類に従った処理装置へ
の排気切替が行われる。
【００１７】具体的には、チャンバ８１から排出された
プロセスガスが可燃性ガスの場合は、図３に示すように
出力ポート５３側を開弁（図１に示す開閉バルブ１６）
して出力ポート５４側を閉弁（図１に示す開閉バルブ１
７）させる。これによって、入力ポート５２から弁室５
１内に入った可燃性ガスは出力ポート５３からのみ排出
される。また、出力ポート５３には、同時にＮ2 ポート
６４（図６参照）から窒素ガスが供給される。そのた
め、可燃性ガスが所定濃度にまで希釈されて、出力ポー
ト５３に接続された可燃性ガス用スクラバ３へと送り込
まれて処理される。
プロセスガスが可燃性ガスの場合は、図３に示すように
出力ポート５３側を開弁（図１に示す開閉バルブ１６）
して出力ポート５４側を閉弁（図１に示す開閉バルブ１
７）させる。これによって、入力ポート５２から弁室５
１内に入った可燃性ガスは出力ポート５３からのみ排出
される。また、出力ポート５３には、同時にＮ2 ポート
６４（図６参照）から窒素ガスが供給される。そのた
め、可燃性ガスが所定濃度にまで希釈されて、出力ポー
ト５３に接続された可燃性ガス用スクラバ３へと送り込
まれて処理される。
【００１８】一方、チャンバ８１から排出されたプロセ
スガスが支燃性ガスの場合は、図４に示すように出力ポ
ート５４側を開弁（図１に示す開閉バルブ１７）して出
力ポート５３側を閉弁（図１に示す開閉バルブ１６）さ
せる。これにより、入力ポート５２から弁室５１内に入
った支燃性ガスは出力ポート５４からのみ排出され、そ
こに接続された支燃性ガス用スクラバ４へと送り込まれ
て処理されることとなる。また、仮にガスの排気処理中
に何らかの故障によってエアシリンダ３０，４０へのエ
ア供給が停止してしまった場合にでも、各開閉バルブは
図３に示す開閉状態になるので、可燃性ガスが支燃性ガ
ス用スクラバ４へ送られることはない。一方、支燃性ガ
スが可燃性ガス用スクラバ３へ送られることに問題はな
い。
スガスが支燃性ガスの場合は、図４に示すように出力ポ
ート５４側を開弁（図１に示す開閉バルブ１７）して出
力ポート５３側を閉弁（図１に示す開閉バルブ１６）さ
せる。これにより、入力ポート５２から弁室５１内に入
った支燃性ガスは出力ポート５４からのみ排出され、そ
こに接続された支燃性ガス用スクラバ４へと送り込まれ
て処理されることとなる。また、仮にガスの排気処理中
に何らかの故障によってエアシリンダ３０，４０へのエ
ア供給が停止してしまった場合にでも、各開閉バルブは
図３に示す開閉状態になるので、可燃性ガスが支燃性ガ
ス用スクラバ４へ送られることはない。一方、支燃性ガ
スが可燃性ガス用スクラバ３へ送られることに問題はな
い。
【００１９】よって、以上のように構成された本実施の
形態の排気切替ユニット７０は、二つのバルブを一つの
バルブボディ５０に設けたので、排気ポンプ２から二つ
のバルブへ分岐する分岐管が不要になった分、管とバル
ブとの接続箇所が減って漏れに対する信頼性が高まっ
た。また、分岐管が不要になったことにより、分岐管を
配管するためのスペースがなくなって排気切替ユニット
７０が小型化された。更に、弁室５１内の容積が大きい
ため、ベローズ３７．４７が内設されていても流れるガ
スの流量を妨げることもなく、却って流れを良くして排
気処理の効率を上げる結果となった。
形態の排気切替ユニット７０は、二つのバルブを一つの
バルブボディ５０に設けたので、排気ポンプ２から二つ
のバルブへ分岐する分岐管が不要になった分、管とバル
ブとの接続箇所が減って漏れに対する信頼性が高まっ
た。また、分岐管が不要になったことにより、分岐管を
配管するためのスペースがなくなって排気切替ユニット
７０が小型化された。更に、弁室５１内の容積が大きい
ため、ベローズ３７．４７が内設されていても流れるガ
スの流量を妨げることもなく、却って流れを良くして排
気処理の効率を上げる結果となった。
【００２０】なお、本発明は、前期実施の形態のものに
限定されるわけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で
様々な変更が可能である。例えば、前記実施の形態では
二つのバルブを一体にした構成としたが、出力ポートを
増やしてバルブを三つ以上としてもよく、また入力ポー
トも二つ以上の場合も考えられる。
限定されるわけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で
様々な変更が可能である。例えば、前記実施の形態では
二つのバルブを一体にした構成としたが、出力ポートを
増やしてバルブを三つ以上としてもよく、また入力ポー
トも二つ以上の場合も考えられる。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、一つの空間からなる弁室に少
なくとも二つ以上の出力ポートが開設されたバルブボデ
ィに、その出力ポート毎に形成された弁室内の弁座に対
して弁体を当接・離間させるアクチュエータを一体に取
り付けた構成としたので、漏れに対する安全性を高めた
排気切替ユニットを提供すること、また小型化した排気
切替ユニットを提供することが可能となった。
なくとも二つ以上の出力ポートが開設されたバルブボデ
ィに、その出力ポート毎に形成された弁室内の弁座に対
して弁体を当接・離間させるアクチュエータを一体に取
り付けた構成としたので、漏れに対する安全性を高めた
排気切替ユニットを提供すること、また小型化した排気
切替ユニットを提供することが可能となった。
【図１】排気切替システムを示した回路図である。
【図２】本発明に係る排気切替ユニットの一実施の形態
を示した外観斜視図である。
を示した外観斜視図である。
【図３】本発明に係る排気切替ユニットの一実施の形態
を示した断面図である。
を示した断面図である。
【図４】本発明に係る排気切替ユニットの一実施の形態
を示した断面図である。
を示した断面図である。
【図５】バルブボディ５０のシリンダ取付面を示した平
面図である。
面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ面を示したバルブボディ５０の断
面図である。
面図である。
【図７】排気切替システムを使用する半導体製造設備の
一部回路図である。
一部回路図である。
【図８】従来の排気切替ユニットを示した側面図であ
る。
る。
１ 排気切替システム ３０，４０ エアシリンダ ３４，４４ Ｏリング ５０ バルブボディ ５１ 弁室 ５２ 入力ポート ５３，５４ 出力ポート ５５，５６ 弁座 ７０ 排気切替ユニット
フロントページの続き (72)発明者 松岡 祐二 愛知県春日井市堀ノ内町850番地 シーケ ーディ株式会社春日井事業所内 Ｆターム(参考） 3H051 AA01 BB10 CC11 CC13 CC15 FF01 3H056 AA01 BB22 BB32 BB45 CA03 CB02 EE10 GG03 3H067 AA01 AA32 BB08 BB14 CC02 CC32 DD05 DD13 DD33 EC25 FF17 GG02 GG04 GG05 GG26 GG28
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも二つ以上のバルブの開閉を切
り替えることにより、ガスの種類に応じて異なる排出口
から分別して排出する排気切替ユニットにおいて、 一つの空間からなる弁室に少なくとも二つ以上の出力ポ
ートが開設されたバルブボディに、前記出力ポート毎に
形成された弁室内の弁座に対して弁体を当接・離間させ
るアクチュエータが一体に取り付けられたことを特徴と
する排気切替ユニット。 - 【請求項２】 一つの空間からなる弁室に一つの入力ポ
ートと二つの出力ポートとが開設され、弁室内に各出力
ポート毎の弁座が形成された箱型のバルブボディと、 前記バルブボディ内に挿入された弁ロッドの先端に弁体
を備え、弁ロッドを軸方向に駆動させて前記弁座に弁体
を当接・離間させる二つのエアシリンダとを有すること
を特徴とする排気切替ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31213199A JP2001132864A (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | 排気切替ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31213199A JP2001132864A (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | 排気切替ユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001132864A true JP2001132864A (ja) | 2001-05-18 |
Family
ID=18025635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31213199A Pending JP2001132864A (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | 排気切替ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001132864A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100432508C (zh) * | 2006-10-09 | 2008-11-12 | 无锡压缩机股份有限公司 | 组合高压排气阀 |
| CN104633184A (zh) * | 2015-01-30 | 2015-05-20 | 合肥泰禾光电科技股份有限公司 | 一种色选机用高频气动电磁阀 |
| JP2015098896A (ja) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | ヤマト産業株式会社 | ガス供給用自動切替装置 |
| EP3680529A4 (en) * | 2018-11-12 | 2020-07-15 | Pacific Industrial Co., Ltd. | COMPOSITE VALVE |
| CN117052953A (zh) * | 2023-10-12 | 2023-11-14 | 海普瑞(常州)洁净***科技有限公司 | 一种半导体用三联阀及其工作方法 |
-
1999
- 1999-11-02 JP JP31213199A patent/JP2001132864A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPWO2020100201A1 (ja) * | 2018-11-12 | 2021-05-06 | 太平洋工業株式会社 | 複合弁 |
| JP7022150B2 (ja) | 2018-11-12 | 2022-02-17 | 太平洋工業株式会社 | 複合弁 |
| CN117052953A (zh) * | 2023-10-12 | 2023-11-14 | 海普瑞(常州)洁净***科技有限公司 | 一种半导体用三联阀及其工作方法 |
| CN117052953B (zh) * | 2023-10-12 | 2024-01-30 | 海普瑞(常州)洁净***科技有限公司 | 一种半导体用三联阀及其工作方法 |
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