JPH06121560A - 超音波モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 制作が容易で、小型で信頼性の高い端子を有
する超音波モータを提供する。 【構成】 短円筒体からなる固定枠１の外周面に、ボー
ル受２，リテーナ３，出力リング５，防振リング６，ロ
ータ７，弾性体８ａと圧電体８ｂとでなるステータ８，
粘弾性接着剤９，支持部材の防振部材１０，粘弾性接着
剤９，支持板１１，皿ばね１２，止めリング１３を、こ
の順に嵌合して構成されている円筒形の超音波モータに
おいて、上記圧電体８ｂに設けられた電極部に固着され
る、位置決め孔３２ａ，３２ｂが穿孔されたコの字形状
のフレキシブルプリント基板からなる端子２６を備え、
回路基板２７に設けられた超音波モータ駆動回路からの
高周波電圧を上記端子２６を介して圧電体８ｂの電極部
に印加することを特徴とする超音波モータ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータ、より詳
しくは、電気−機械エネルギー変換素子を駆動源とし
て、弾性体の表面に楕円振動を発生させるステータと、
このステータに圧接され回転するロータとを有する超音
波モータに関する。

【０００２】

【従来の技術】リング状に形成された超音波振動子が有
するリング状屈曲振動子において、該屈曲振動子が有す
る圧電体の電極面に、電圧を印加するための電極とし
て、フレキシブルプリント基板を用いたものは、従来、
種々提案されていて、例えば特開昭６３−６４５８１号
公報にもその一例が開示されている。該公報に記載され
ているリング状屈曲振動子は、その圧電体の電極面に円
弧状の接続端子を有するフレキシブルプリント基板を接
着しているが、特に接着のための位置決めは有しておら
ず、このような位置決めはフレキシブルプリント基板の
外形を合わせることにより行っている。

【０００３】また、このようなリング状屈曲振動子の別
の一例が、特開平４−１２５０７５号公報に開示されて
いる。この公報に記載されるリング状屈曲振動子は、そ
の圧電体の電極面に、リング状の接続端子を有するフレ
キシブルプリント基板を導電性接着剤により接着してい
る。そして、このフレキシブルプリント基板は、グラン
ド接続用に１つの孔を持った突出端子部を有している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記２つの公報に記載
のものは、以下のような欠点を有している。すなわち、
フレキシブルプリント基板を圧電体へ接着するときの位
置決めは、上述のようにフレキシブルプリント基板の外
形部を基準にしなければならないので、接着において大
きな位置ずれが発生することがあった。また、フレキシ
ブルプリント基板の先端端子部を固定部材へ取り付ける
方法が何等開示されていない。したがって、何も位置決
めするものがないので位置ずれが発生する。さらに、端
子部の固定端以外は、別の部品に接触しないようにする
か、あるいはしっかり固定をしないとステータの振動が
伝わり、例えばそこに別の部材が接触すると発音等して
エネルギーの損失が起こることになるが、上記従来例で
は、フレキシブルプリント基板の端部の固定位置が正確
に定まらず、圧電体から該端部固定位置までの形状が定
まりにくく、他の部材に接触する虞がある。このような
接触を回避するためには、大きな逃げが必要となるなど
の問題点があった。

【０００５】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであり、制作が容易で、小型で信頼性の高い端子を有
する超音波モータを提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明による超音波モータは、弾性体とこの弾性
体に固着され高周波電圧を印加されることにより該弾性
体の表面に楕円振動を発生させる電気−機械エネルギー
変換素子とからなるステータと、このステータの振動を
阻害しないように該ステータを固定部材に支持する支持
部材と、上記弾性体表面に加圧部材により圧接され上記
楕円振動により上記ステータに対して回転駆動されるロ
ータと、このロータを固定部材に回転自在に支持する軸
受と、上記電気−機械エネルギー変換素子に設けられた
電極部に固着され少なくとも２つの位置決め用の孔ある
いは切欠を有するフレキシブルプリント基板からなり上
記電極部を介して上記電気−機械エネルギー変換素子に
上記高周波電圧を印加する端子とを具備したことを特徴
とする。

【０００７】

【作用】端子が、電極部を介して、電気−機械エネルギ
ー変換素子に高周波電圧を印加し、高周波電圧を印加さ
れることにより上記電気−機械エネルギー変換素子が弾
性体の表面に楕円振動を発生させ、上記弾性体表面に加
圧部材により圧接されたロータが、上記楕円振動により
ステータに対して回転駆動される。

【０００８】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１は、本発明の第１実施例を示す超音波モータ
の分解斜視図である。この円筒形の超音波モータは、短
円筒体からなる固定部材である固定枠１の外周面に、ボ
ール受２，リテーナ３，出力リング５，防振リング６，
ロータ７，ステータ８，粘弾性接着剤９，支持部材の防
振部材１０，粘弾性接着剤９，支持板１１，皿ばね１
２，上記固定枠１とともに固定部材を構成する止めリン
グ１３を、この順に嵌合して構成されている。

【０００９】すなわち、上記ボール受２は円環形状に形
成されていて、上記固定枠１の上端部に形成されたフラ
ンジ１ａにその上端面を当て付け、フランジ１ａの下部
に連設されている嵌合部１ｃに内周面を嵌合させ、フラ
ンジ１ａの円周上の対称位置に設けられた２つの切欠１
ｂに、その上端面側の対称位置に設けられた２つの突起
２ａを係合させて配置されている。

【００１０】そして、このボール受２の下面側に設けら
れた断面逆Ｕ字状のＵ溝２ｂと、出力リング５の上面で
上記Ｕ溝２ｂに対向する位置に設けられたＵ溝５ｂ（図
３参照）との間に、円環形状の薄板で等角度位置に設け
られた複数の孔３ａにそれぞれボール４を保持している
リテーナ３が配置されて円環形のスラスト軸受１６を形
成している。

【００１１】上記出力リング５は、その下面側に段部５
ａが形成されていて、この段部５ａには防振リング６が
嵌合し、更にこの防振リング６の下面はロータ７の上面
に形成されている段部によって受けられていて、出力リ
ング５とロータ７の中心が合致するように回転体１５を
形づくっている。また、ロータ７の下面にはステータ８
の突起を設けた側の上面が接している。

【００１２】そして、圧電体８ａと弾性体８ｂからなる
ステータ８は、そのステータ８の電気−機械エネルギー
変換素子である圧電体８ａが接合された下面側には、一
部にフレキシブルプリント基板からなる端子２６を固着
され（図２参照）、さらに、粘弾性接着剤９のシートを
介して支持部材である防振部材１０が接合されている。
このステータ８を固定枠１に嵌合した際には、コの字形
状に曲折された端子２６は、該固定枠１に設けられた切
欠１ｉに接触することなくはまり込むようになってい
る。

【００１３】また、防振部材１０のもう一方の側、即ち
下面側には同じく粘弾性接着剤９のシートを介して円環
形状の薄板でなる支持板１１が接合され、ステータ８，
防振部材１０，支持板１１が一体に積層された駆動体１
４を形成している（図３参照）。この駆動体１４は、支
持板１１の内周面が固定枠１の外周面と嵌合し、かつ支
持板１１の内周側の対称位置の２ケ所に設けられた爪１
１ａが固定枠１の下部外周面に設けられた係合溝１ｆに
係合することによって、固定枠１に対し回転はしないよ
うに位置決めされている。また、駆動体１４の支持板１
１の下面は加圧部材である皿ばね１２により押圧されて
いる。

【００１４】このように、固定枠１に軸受１６，回転体
１５，駆動体１４，皿ばね１２を組み込み、止めリング
１３を固定枠１の下端部外周面の３ケ所に穿設されたガ
イド溝１ｅに爪１３ａが対向するようにして押し込み、
それにつづいて爪１３ａが溝１ｄにはまり込むように回
動し、その１つの爪１３ａを切込１ｇに嵌合させると皿
ばね１２が適度な圧着力を発生することとなる。圧力調
整はリング状の薄板の厚さを選択できるスペーサを止め
リング１３と皿ばね１２の間に設けても良い。

【００１５】次に、上記圧電体８ａの構成を、図４を参
照して説明する◎図４（Ａ）に示すように、圧電体８ａ
には、＋，−の符号で分極方向を示すように交互に分極
されている分極領域が設けられていて、このような圧電
体８ａの上端面、つまり、弾性体８ｂに接着される側の
面には、上記分極領域に対応する電極が複数設けられて
いる。ステータ８に発生する屈曲振動の波長をλとする
と、＋と−の分極パターンのピッチの長さが波長λと一
致するようになっている。また、上記電極は、高周波電
圧の印加されるＡ相電極２０と、このＡ相電極２０に印
加されるものとは９０度位相が異なる高周波電圧が印加
されるＢ相電極２１とに大別される。

【００１６】上記Ａ相電極２０は４λ分の長さを有して
おり、＋に分極した４つの分極区域と−に分極した４つ
の分極区域が周方向に沿って交互に設けられていて、各
々の分極区域＋，−に対応する分割された電極２０ａ，
２０ｂを４つずつ有している。また、Ｂ相電極２１は、
このＡ相電極２０に対し鏡面対称の位置形状で配置され
ていて、やはり＋と−の分極領域が交互に形成され、そ
れぞれに電極２１ａ，２１ｂが設けられている。

【００１７】そして、これらＡ相電極２０とＢ相電極２
１との間の一方には、λ／４の長さの分極されていない
無分極区域が設けられて、これに対応する無分極電極２
４が配設されている。一方、Ａ相電極２０とＢ相電極２
１との他方の間には、分極されていないλ／４の長さ２
つの無分極領域と、この無分極領域に挟まれた位置に設
けられたλ／４の長さの＋に分極された分極領域とを有
していて、上記無分極領域には２つのグランド電極２２
が、＋の分極領域にはモニタ電極２３が設けられてい
る。

【００１８】圧電体８ａのもう一方の面、すなわち下端
面は、図４（Ｃ）に示されるように、分割されたＡ相電
極２０に対応する位置には１つの電極で構成されたＡ相
電極２０ｃが設けられ、Ｂ相電極２１についても同様な
Ｂ相電極２１ｃを対応する位置に有している。また、上
記無分極電極２４，グランド電極２２，モニタ電極２３
に対しては、これらの電極と相似形の無分極電極２４
ｃ，グランド電極２２ｃ，モニタ電極２３ｃを下端面の
対応する位置にそれぞれ有している。

【００１９】ここでグランド電極は、図４（Ｂ）に示さ
れるように上面のグランド電極２２と下面のグランド電
極２２ｃとが、側面に設けられた連結電極２２ａによっ
て結線され電気的に接続されている。なお、グランド電
極２２から連結電極２２ａへの引き出し部２２ｂの幅Ｗ
１は、λ／８より狭くなるよう形成されている。また側
面部の連結電極２２ａの幅Ｗ２は、上記引き出し部２２
ｂの幅Ｗ１に対してλ／４＞Ｗ２＞Ｗ１の関係となるよ
うに形成されている。これは引き出し部２２ｂがグラン
ド電極２２の両隣の電極とショートすることなく、かつ
印刷などの簡単な方法を用いて作ることができるように
するための制限である。

【００２０】このように形成された圧電体８ａの上面
（図１（Ａ）で示した面）を、エポキシ系樹脂に微粒銀
粉末を分散した導電性接着剤を用いて、導電性の材質で
形成された弾性体８ｂに接着すると、弾性体８ｂと該圧
電体８ａの上面に形成された全電極２０，２１，２２，
２３，２４および下面のグランド電極２２ｃが同電位面
となる。そして、後述する回路基板２７に設けられた超
音波モータ駆動回路と接続するための４つの電極、すな
わち、Ａ相電極２０ｃ，Ｂ相電極２１ｃ，そしてステー
タ８の振動を検出するモニタ電極２３ｃ，グランド電極
２２ｃが、該圧電体８ａの下面側に位置することにな
る。

【００２１】次に、上記圧電体８ａと、後述する回路基
板２７とを電気的に接続するための端子２６について説
明する。端子２６は、ポリイミドの薄いシートにより形
成されたベース６３（図８参照）上に、銅箔パターンが
図５において点線で囲んだ領域で示すように設けられ、
この銅箔パターンの表面には金メッキ処理が施されて構
成されている。

【００２２】該端子２６は、図５に示すような、圧電体
８ａに沿った形状の圧電体用接続部２６ａと、回路基板
２７に接続するための基板用接続部２６ｂと、これらの
接続部２６ａ，２６ｂの間に設けられた連結部２６ｃと
を有している。

【００２３】上記圧電体用接続部２６ａは、圧電体８ａ
に設けられた各電極に電気的に接続するための接続用電
極をその下端面に有している。これらの接続用電極は、
図５において斜線で示したように、上記モニタ電極２３
ｃ等より一回り小さい矩形に設けられていて、モニタ電
極２３ｃと接続するＭ接着電極３１ｍ、２つあるグラン
ド電極２２ｃの内の左側の電極と接続するＧ接着電極３
１ｇ、Ａ相電極２０ｃと接続するＡ接着電極３１ａ、Ｂ
相電極と接続するＢ接着電極３１ｂとなっている。

【００２４】一方、上記基板用接続部２６ｂには、回路
基板２７と接続する際の２つの位置決め孔３２ａ，３２
ｂが穿設されている。これらの一方の位置決め孔３２ａ
には、孔の周囲に４つの電極が設けられていて、これら
は反時計周りに順に、Ａ接着電極３１ａに接続されるＡ
電極３３ａ、Ｂ接着電極３１ｂに接続されるＢ電極３３
ｂ、Ｍ接着電極３１ｍに接続されるＭ電極３３ｍ、Ｇ接
着電極３１ｇに接続されるＧ電極３３ｇとなっている。

【００２５】上記圧電体用接続部２６ａの４つの電極３
１ａ，３１ｂ，３１ｇ，３１ｍと基板用接続部２６ｂの
４つの電極３３ａ，３３ｂ，３３ｇ，３３ｍとは、上記
連結部２６ｃに設けられた４本の連結用パターン３４
ａ，３４ｂ，３４ｇ，３４ｍを介してそれぞれ電気的に
接続されている。

【００２６】このような銅箔パターンを有する端子２６
には、ほぼ全面に絶縁コートがかけられていて、絶縁さ
れていない部分は、図５の斜線で示した部分である、Ａ
接着電極３１ａ，Ｂ接着電極３１ｂ，Ｍ接着電極３１
ｍ，Ｇ接着電極３１ｇおよびＡ電極３３ａ，Ｂ電極３３
ｂ，Ｇ電極３３ｇ，Ｍ電極３３ｍの各部分だけである。

【００２７】このような端子２６と、上記圧電体８ａと
の接続について次に述べる。図５は、端子２６をステー
タ８の圧電体８ａの電極面（図４（Ｃ）参照）に接着し
た状態を示す圧電体８ａを下面側からみた部分図であ
る。接着には微粒銀粉末がエポキシ系樹脂に分散された
導電接着剤が使用され、図４の打点された部分に示すよ
うに、５箇所の接着部３５ａ，３５ｂ，３５ｇ，３５
ｈ，３５ｍにより接着されて、互いの接着部が重なるこ
とがないようにされている。このような接着により、Ａ
相電極２０ｃはＡ電極３３ａに、Ｂ相電極２１ｃはＢ電
極３３ｂに、モニタ電極２３ｃはＭ電極３３ｍに、グラ
ンド電極２２ｃはＧ電極３３ｇに、それぞれ電気的に接
続されるようになっている。

【００２８】上記端子２６をステータ８の圧電体８ａの
電極面への接着する際には、図６に示すような治具を用
いれば本実施例の構成では極めて高精度に端子２６をス
テータ８へ接着することができる。

【００２９】すなわち、上述の接着部３５ａ，３５ｂ，
３５ｇ，３５ｈ，３５ｍの導電接着剤のパターンをスク
リーン印刷等の手段でステータ８の圧電体８ａ上に印刷
し、この接着剤が印刷されたステータ８を、図６（Ａ）
に示すように、ステータ保持台４２にステータ８の内径
部を嵌合させて保持させておく。この際、ステータ８の
ステータ保持台４２に対する円周方向の位置合わせは、
ステータ８の電極パターンの周方向位置合わせ部４５を
ステータ保持台４２に設けられている周方向目盛り４４
に合わせることで行われる。

【００３０】次に、端子２６の位置決め孔３２ａ，３２
ｂを該ステータ保持台４２に突設されている位置決めピ
ン４１に嵌合させて該端子２６を落とし込み、荷重を接
着部にかけて接着することにより、治具の精度でもって
接着位置を決めることができる。

【００３１】そして、上述のような端子２６は、図５に
示した連結部２６ｃの２カ所の折り曲げ位置３６ａ，３
６ｂで、図１，図２に示されるようにコの字形状に折曲
されるようになっている。このような端子２６のコの字
形のフォーミングも、端子２６の位置決め孔３２ａ，３
２ｂを基準にした折り曲げ治具によって行えば、非常に
精度の高いものとなる。

【００３２】なお、端子２６は上述のようにポリイミド
フィルム等をベースにしたフレキシブル基板であるが、
コの字形に折り曲げることで変形しにくくなり、端子２
６を正確に位置決めするのに有効である。そして、コの
字形に折り曲げることで該端子２６の強度は上がる一
方、ステータ８の進行性の屈曲振動に対しては、該コの
字折曲部が進行性屈曲振動を許容する構造となるため、
ステータ８の振動を端子２６が阻害することはない。

【００３３】次に、端子２６と回路基板２７との接続に
ついて述べる。図７は端子２６と回路基板２７の接続部
分を示した斜視図である。上記回路基板２７の図示しな
い端部には、超音波モータの駆動制御回路部が設けられ
ている。そして、この回路基板２７には、上記端子２６
の基板接続部２６ｂとほぼ同様の形状に形成された接続
部２７ａが設けられていて、この接続部２７ａの端子２
６と対向する面には、該基板接続部２６ｂの４つの電極
３３ａ，３３ｂ，３３ｇ，３３ｍに対応する、これらに
ほぼ鏡面対称な４つの電極４７ａ，４７ｂ，４７ｇ，４
７ｍが設けられていて、これらの電極から上記駆動制御
回路部へ電気的に接続される配線パターンが各々設けら
れている。また、この接続部２７ａには、端子２６の位
置決め孔３２ａ，３２ｂに対応する位置形状の位置決め
孔４８ａ，４８ｂが穿設されている。

【００３４】そして、これら端子２６と回路基板２７の
各電極は、各々の位置決め孔３２ａと４８ａおよび３２
ｂと４８ｂを同じ位置に重ね合わせることによって、各
々の端子電極が互いに対向して電気的に接続されるよう
に配置され、図１に示すように圧着体２８，ワッシャ３
０を介して、ビス２９を上記固定枠１に一体的に固定さ
れた止めリング１３のねじ部１３ｂに螺合することで固
定される。ここで回路基板２７側は、上述のように電極
も金メッキされているので、接触抵抗が小さくきわめて
良好な導通がなされる。

【００３５】ここで上記圧着体２８は、シリコンゴム等
の非導電性のゴム材で形成されていて、結合部の絶縁性
を保つと同時に、ステータ８の振動が端子２６を介して
該結合部より先に伝わることを防止する働きもしてい
る。

【００３６】このように構成された上記超音波モータの
動作は、従来の進行波型の超音波モータの動作と同じ
で、回路基板２７の超音波モータ駆動制御回路部から出
力された駆動信号が、端子２６を介して圧電体８ａの２
つの電極に９０°位相の異なる高周波電圧を印加すると
ステータ８に、本実施例では例えば９波の屈曲進行波が
発生し、突起を設けた側の面には楕円振動が発生する。
そして、該突起が皿ばね１２によりロータ７に圧着され
ているので、固定枠１に対して回転自在に構成された回
転体１５は、楕円振動の回転方向に駆動される。ここで
回転体１５を構成するロータ７，防振リング６，出力リ
ング５は接合されてはいないが、圧着されることによっ
て各々の接する面に摩擦力が発生するので一体となって
回転する。回転体１５の回転出力は、突出した係合部を
形作る出力部５ｃに、図示しない被駆動体の突起が係合
することにより外部に取り出される。

【００３７】このように構成された第１実施例によれ
ば、端子２６に設けられた２つの位置決め孔３２ａ，３
２ｂを用いることで端子２６をステータ８に高い精度で
正確に、かつ容易に固着でき、また端子２６の端部を固
定部材に正確に固定できる。さらには簡単で小型の機構
で回路基板２７と端子２６を接続することができる。こ
のように取り付ける際の位置決めの精度が高いので、端
子２６の接着面積を十分にとることができ、信頼性の高
い端子とすることができる。また、ステータ８の振動
は、端子２６を固定枠１と一体的な止めリング１３へ取
り付けた部分より先には伝わることがなく、しかも、振
動している端子の部分が固定枠１に接触することはない
ので、他の部材に振動が伝わって不快な音などが発生す
ることはない。また、端子２６自体の設置に必要な空間
を小さくできるので、超音波モータを小型にすることが
できる。

【００３８】なお、上記第１実施例では、端子２６と圧
電体８ａとの接着は導電接着剤を用いているが、これは
非導電性の接着剤を用いて行うことも可能である。この
場合の接着部の部分断面図を図８に示す。圧電体８ａ
は、圧電セラミックス６１上に銀電極６２が突出した形
で形成されている。

【００３９】一方、端子２６は、ポリイミド等のベース
６３上に銅箔６４が銅箔接着層６５を介して接着されて
おり、この銅箔６４の表面は金メッキ層６６で覆われて
いる。さらに、この銅箔６４は、電気的に接続する部分
以外は絶縁性のカバーレイ６７によって覆われている。

【００４０】この状態で端子２６もしくは圧電体８ａの
表面に、エポキシ系等の非導電接着剤６８を電極面も含
めた圧電体８ａと端子２６の接触面の全面にわたって薄
く均一に塗布し、上記第１実施例に示したような接着の
治具を用いて接着する。このとき、電気的に接続したい
端子２６と圧電体８ａの電極面とに十分な圧力を加える
と、端子２６の表面と電極面とは、図８に示すように電
気的な接触を保った状態で接着される。

【００４１】このような接着法を行うことにより、圧電
体と端子との接着面積は上記第１実施例に示したものよ
り広くなり、より安定した強力な接着を行うことができ
る。

【００４２】図９，図１０は本発明の第２実施例を示し
たものである。この第２実施例は、前述の第１実施例と
ほぼ同様の構成であり、同様の機能を果たす部材には同
じ符号を付して説明を省略し、その相違点のみを説明す
る。この第２実施例で上記第１実施例と最も異なるのは
端子の形状である。端子５１は、圧電体８ａと接続する
円弧状の接続部５１ｂと、この接続部５１ｂから上方に
延設された円板状の電極部５１ａと、同接続部５１ｂか
ら下方へ延設された円板状の電極部５１ｃとを有してい
る。

【００４３】上記接続部５１ｂは、上記第１実施例の端
子２６の圧電体用接続部２６ａとほぼ同様の機能をはた
す部分であり、モニタ電極２３ｃと接続するＭ接着電極
３１ｍ、２つあるグランド電極２２ｃの右側の電極と接
続するＧ接着電極３１ｇ、Ａ相電極２０ｃと接続するＡ
接着電極３１ａ、Ｂ相電極と接続するＢ接着電極３１ｂ
がそれぞれ設けられている。

【００４４】上記電極部５１ｃは、Ａ接着電極３１ａに
接続されるＡ電極３３ａ、Ｂ接着電極３１ｂに接続され
るＢ電極３３ｂ、Ｍ接着電極３１ｍに接続されるＭ電極
３３ｍが、中央部に穿設されている位置決め孔５２ｃの
周に沿って設けられている。そして、この電極部５１ｃ
の上記接続部５１ｂの反対側には、Ｕ字形状の切欠５３
ｃが設けられている。

【００４５】上記電極部５１ａは、Ｇ接着電極３１ｇに
接続されるＧ電極３３ｇが位置決め孔５２ａの周をとり
まくように、該電極部５１ａの縁部を除いてほぼ片面全
部に設けられている。そして、この電極部５１ａの上記
接続部５１ｂの反対側には、Ｕ字形状の切欠５３ａが設
けられている。

【００４６】この端子５１の圧電体８ａへの接着は、上
記第１実施例とほぼ同じ方法を用いて行う。端子５１が
圧電体８ａに接着されたあと、内径側の電極部５１ｃを
折り曲げ位置５４でもって１８０度外径側の電極部５１
ａに折り返し、各々の電極部５１ａ，５１ｃに設けられ
た位置決め孔５２ａ，５２ｃおよび切欠５３ａ，５３ｃ
が重なるようにする。このとき電極部５１ａと電極部５
１ｃとは接着剤等で貼り合わせて固定しても良い。この
ようにすると、Ｇ電極３３ｇは裏面（図９で）に、一方
Ａ電極３３ａ，Ｍ電極３３ｍ，Ｂ電極３３ｂは表面（図
９で）に配置されることになる。

【００４７】このように構成されたステータ８を図１０
のように組み付ける。端子５１の位置は、端子５１の位
置決め孔５２ａ，５２ｃを介して、ビス２９により固定
枠１の一部である固定部１ｊに締結し、一方、切欠５３
ａ，５３ｃが固定部１ｊの突起１ｈに係合することで所
定の位置に位置決め固定される。

【００４８】この際、Ａ，Ｍ，Ｂ電極３３ａ，３３ｍ，
３３ｂには、これらの電極に対向する位置に同様な電極
を有する回路基板２７が接触され、皿ばねをなすワッシ
ャ３０を介して、ビス２９を固定部１ｊにねじ込むこと
で加圧され、より確実な電極の接続が行われる。

【００４９】一方、グランド電極については、端子５１
のＧ電極３３ｇは導電性を持つ材質で形成された上記固
定部１ｊと接触しており、また、ビス２９およびワッシ
ャ３０についても導電性の材質で形成されているので、
回路基板２７の表面に設けられたグランド電極と電気的
に接続される。このとき、固定部１ｊがグランド電極に
接続することになり、他の部分で回路のグランドを固定
部１ｊに接続すれば共通のグランドラインを容易に作る
ことができる。

【００５０】このような第２実施例の作用は、上記第１
実施例とほぼ同様である。この第２実施例は、上記第１
実施例と同様の効果を有するとともに、第１実施例に対
して端子５１の接続がより小スペースで行われており、
さらにスペース的に有利となっている。

【００５１】なお、第１実施例と同じ端子の形状でも、
Ｇ電極を端子の反対側の面に設けて位置決め孔をスルー
ホールとし、端子を両面基板として形成すれば、この第
２実施例と同様に、固定部１ｊにグランドを接続するこ
とはできる。またこの第２実施例では、ビス２９と回路
基板２７の接続をワッシャ３０を介して行っているが、
これはゼブラゴム等の導電ゴムを使っても可能である。

【００５２】また、上記第１，第２実施例では、円環形
の進行波形型超音波モータについてのみ記載したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、圧電体の電極か
らフレキシブルプリント基板を用いて給電端子を引き出
す形式の、全てのタイプの超音波モータに適用できるこ
とはいうまでもない。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、制
作が容易で、小型で信頼性の高い端子を有する超音波モ
ータを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の超音波モータの分解斜視
図。

【図２】上記図１に示した端子とステータとの、接続部
分を示すＡ部拡大斜視図。

【図３】上記第１実施例の超音波モータの左半分を示し
た断面図。

【図４】上記第１実施例の圧電体の、（Ａ）平面図，
（Ｂ）側面図，（Ｃ）底面面。

【図５】上記第１実施例の端子と圧電体の接続を示す透
視図。

【図６】上記第１実施例の端子を圧電体に固定する方法
を示す、（Ａ）正面図，（Ｂ）ＢＢ断面図。

【図７】上記第１実施例の端子と回路基板との接続部分
を示す斜視図。

【図８】上記第１実施例の圧電体と端子とを非導電性の
接着剤で接着した状態を説明する断面図。

【図９】本発明の第２実施例を示す端子の平面図。

【図１０】上記第２実施例の端子の取付部分を示す断面
図。

【符号の説明】

１…固定枠 ７…ロータ ８…ステータ ８ａ…圧電体（電気−機械エネルギー変換素子） ８ｂ…弾性体 １０…防振部材（支持部材） １２…皿ばね（加圧部材） １３…止めリング １６…軸受 ２０ｃ…Ａ相電極 ２１ｃ…Ｂ相電極 ２６…端子 ３２ａ，３２ｂ…位置決め孔 ５１…端子 ５３ａ，５３ｃ…位置決め用の切欠

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【手続補正書】

【提出日】平成５年５月７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弾性体と、この弾性体に固着され高周波
   電圧を印加されることにより該弾性体の表面に楕円振動
   を発生させる電気−機械エネルギー変換素子とからなる
   ステータと、 このステータの振動を阻害しないように該ステータを固
   定部材に支持する支持部材と、 上記弾性体表面に、加圧部材により圧接され、上記楕円
   振動により上記ステータに対して回転駆動されるロータ
   と、 このロータを固定部材に回転自在に支持する軸受と、 上記電気−機械エネルギー変換素子に設けられた電極部
   に固着され、少なくとも２つの位置決め用の孔あるいは
   切欠を有するフレキシブルプリント基板からなり、上記
   電極部を介して、上記電気−機械エネルギー変換素子に
   上記高周波電圧を印加する端子と、 を具備したことを特徴とする超音波モータ。