JP3059043B2 - 超音波振動子、超音波モータ及び超音波モータを備えた装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子に電気エネル
ギーを供給することにより超音波振動子としての弾性体
を振動させ、振動子に押圧された相手材の移動を行う超
音波振動子、特に相手材の回転運動をもたらす超音波モ
ータに好適な超音波振動子、超音波モータ及び超音波モ
ータを備えた装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図８は従来の技術を示す棒状超音波振動
子の分解斜視図である。

【０００３】棒状超音波振動子は、円盤状の圧電素子
１、金属材料で構成される上部振動体２、下部振動体
３、電極板１９、樹脂材料で形成される絶縁シート２２
及びこれらの締結を行う締結ボルト５により構成され
る。

【０００４】圧電素子の１端面及び側面には円盤部をほ
ゞ４等分する形で電極が備えられている。圧電素子１は
各電極ごとに厚さ方向に分極が施されており、中心軸に
対して対抗する位置にある電極は互いに逆方向に分極さ
れている。各電極には圧電素子の側面において給電用の
リード線が半田付けにより接続されている。図９に示す
様に電極６ＡがＡ相電極、電極６Ｂ１及び６Ｂ２がＢ相
電極、電極６Ｓがセンサ相電極である。

【０００５】圧電素子１のＡ相に電圧を印加すると振動
子には屈曲の変形が生じる。電圧を交流電圧とすると、
振動子は屈曲振動を生じる。Ｂ相についても同様に電圧
を印加すると中心軸を含みＡ相の振動方向とほゞ直交す
る方向に屈曲の振動を生じる。Ｂ相への印加電圧に、Ａ
相への印加電圧に対して適当な時間的位相差を与える
と、振動子の任意の点は楕円状の軌跡を描く振動を生じ
る。

【０００６】この様な振動を生じている振動子状の任意
の点、例えば上部振動体の上端面に不図示の移動体を加
圧接触させると移動体は振動子の楕円運動により送りの
力を与えられる。移動体に円筒状の部材を選び、移動体
の中心軸を回転支持とすることで移動体には回転運動が
与えられ、超音波モータが構成される。この超音波モー
タにおいては圧電素子に交流の電圧を印加し、その交流
の周波数の屈曲振動を振動子に発生させることで移動体
を駆動している。この交流周波数として通常は振動子の
固有モードの共振周波数近傍が選ばれる。しかし、振動
子の共振周波数は個体ごとのばらつき、環境温度、振動
子にかけられる負荷、等により数百〜数千Ｈｚの変化を
生じるので振動子を効率的かつ安定に駆動させるために
は入力電圧の交流周波数を制御する必要があり、振動子
の振動状態をモニタするためのセンシング手段が必要と
なる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このような振動子にお
いて以下に述べるような問題があった。

【０００８】圧電素子と外部の制御回路との接続はリー
ド線により行われており、このリード線は圧電素子に半
田付けにより固定されている。この方法では半田付けの
不具合によりリード線の脱落が生じやすく、また、圧電
素子や振動体への熱の伝播により半田溶融温度に達しず
らい等の問題を生じる。又、半田の付着状態による振動
子の振動特性のばらつきを生じる。半田付け時の圧電素
子の温度上昇により圧電素子の分極解除が生じる可能性
もある。これらの問題から、従来の技術では安定かつ容
易に振動子を形成するのが困難なものであった。

【０００９】又、振動子の振動状態をモニタするセンシ
ング手段を振動子本体とは別に備えることは、必要部品
点数の増加を生じ、構成の複雑化や寸法の増加を招くこ
とになる。この点を避けるため、駆動に用いる圧電素子
上にセンシング領域を設けた場合、上記のように外部と
の接続を半田づけにより行わねばならず、種々の問題を
生じることになる。又、圧電素子に形成されるセンシン
グ領域は駆動に用いられる領域の減少を抑えるため、圧
電素子に形成されるセンシング領域は大きく取れず、そ
の出力信号も小さい。そのため、センシング領域の出力
信号を精度良く検出する構成が必要となる。

【００１０】それ故、本発明の目的は、前述した従来技
術の問題点を解決し、圧電素子と外部回路との電気的接
続にリード線を使用しない新規な構成の超音波振動子、
超音波モータ及び超音波モータを備えた装置を提供する
ことである。また、圧電素子上のセンサー領域が小さく
ても出力信号に雑音等が入らず、高精度の検出を行なう
ことができるように構成された超音波振動子、超音波モ
ータ及び超音波モータを備えた装置を提供することであ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本出願に係る発明の目的
を実現する超音波振動子の構成は、振動子本体部分を構
成する弾性体と、該弾性体に挟圧保持される圧電素子
と、該圧電素子に圧接されるとともに該弾性体に該圧電
素子とともに挟圧保持されていて該圧電素子と外部回路
及び電源とを接続するためのプリント基板と、を有して
いる超音波振動子であって、前記圧電素子上には、前記
プリント基板上のセンサー用の電極のリードパターンに
対向して電極が設けられていない電極非形成部分を設け
たものである。 上記の構成において、前記圧電素子は、
数枚の圧電素子板を積層した積層型圧電素子として構成
されており、該積層型圧電素子は、片面にのみ複数の分
割電極を有した少なくとも一枚の第一の圧電素子板と、
片面にのみ全面電極を有した少なくとも一枚の第二の圧
電素子板と、を含み、該第一の圧電素子板と該第二の圧
電素子板とをそれぞれの電極形成面を上向きにして交互
に重ね合せることによって構成され、各圧電素子板の電
極はその直下の圧電素子板の電極と共用になっており、
該第一の圧電素子板の電極形成面には該プリント基板が
圧接されていて、前記第一の圧電素子板及び前記第二の
圧電素子板上には、前記プリント基板のセンサー用電極
のリードパターンに対向して電極が設けられていない電
極非形成部分を設けた。本出願に係る発明の目的を実現
する超音波モータの構成は、上記したいずれかの構成の
超音波振動子の端面に圧接されて摩擦駆動される移動体
を有しているものである。本出願に係る発明の目的を実
現する超音波モータを備えた装置の構成は、上記した構
成の超音波モータにおける移動体によって駆動される駆
動機構を具備しているものである。

【００１２】

【実施例】

〈実施例１〉図１は本発明の第１の実施例を示す棒状超
音波振動子の分解斜視図である。図２は本実施例で用い
る圧電素子の電極配置を示す平面図である。図３は本実
施例の棒状超音波振動子で用いるフレキシブルプリント
基板４の電極構成を示す図である。

【００１３】図１に示すごとく、振動子は、環状もしく
は孔あき円板状の２枚の圧電素子１−１及び１−２、金
属材料で形成される上部振動体２及び下部振動体３、圧
電素子の各電極と外部制御回路との接続を行うプリント
基板４、およびこれらを一体とするための締結ボルト５
より構成される。本実施例では２枚の圧電素子１−１及
び１−２が用いられ、両圧電素子の間にプリント基板４
を挟み込んだ構成となっている。この２枚の圧電素子は
同一の形状である。

【００１４】圧電素子の素材としてＰＺＴを用い、構成
後に内径４ｍｍ、外径８ｍｍ、厚さ０．４ｍｍに機械加
工されたものを用いた。図１及び図２に示すように、圧
電素子１−１及び１−２の第１の面には圧電素子円周を
ほゞ４等分する形で電極６−１〜６−４が配置されてお
り、これら電極は図２に示すように電極非形成部１０４
−１〜１０４−４により互いに隔てられている。又、全
周を４分割したうちの１領域には半径方向に互いに隔て
られた電極６−１と６−５が形成される。圧電素子１−
１及び１−２の第２の面には共通電極６Ｇがほゞ全面に
配置されているが、電極非形成部１０４−１と位相の一
致する位置には電極非形成部１０４−５が配置されてい
る。

【００１５】圧電素子１−１及び１−２は、それぞれの
分割電極６−１〜６−５が配置されている領域は厚さ方
向に分極が施されており、電極非形成部１０４−１〜１
０４−５には分極が施されていない。また、分割電極６
−１、６−２、６−５が配置されている領域はこれらの
電極を高電位として厚さ方向に分極され、電極６−３及
び６−４が配置されている領域はこれらの電極を低電位
として分極が施されており、図２においては、それぞれ
の電位を（＋）、（−）で示してある。

【００１６】図２に示したごとく圧電素子１−１及び１
−２のＬ−Ｌ断面の分極状態は電極６−１及び電極６−
２と電極６Ｇで挟まれた領域は分極が施されるが、電極
非形成部１０４−１と１０４−５とで挟まれた領域は分
極が施されていない。

【００１７】プリント基板４は、ベース材に厚さ２５μ
ｍのポリイミドを、電極材料に３５μｍ厚の銅箔を用い
ており、接着層のないプリント基板材料を用いている。
これはプリント基板内の接着層による振動子の減衰量の
増加を防ぐためである。図３に示した如く、プリント基
板４の円盤部の上面には、圧電素子１−１の各電極６−
１〜６−５に対応する位置に電極７Ａ１，７Ａ２，７Ｂ
１，７Ｂ２，７Ｓが形成されており、該振動子が組立て
られた状態ではプリント基板４上の電極７Ａ１が圧電素
子１−１上の電極６−１に、電極７Ａ２が電極６−３
に、電極７Ｂ１が電極６−２に、電極７Ｂ２が電極６−
４に、電極７Ｓが電極６−５に、それぞれ圧接されるこ
とになる。また、電極７Ａ１と電極７Ａ２はプリント基
板４上のリードパターン８−６により互いに接続されて
いる。

【００１８】プリント基板４の円盤部の裏の面には裏の
面と同様に圧電素子１−２の各電極６−１〜６−４に対
応する位置に、電極７Ａ３，７Ａ４，７Ｂ３，７Ｂ４が
形成されるとともに接地用電極７Ｇが形成されており、
振動子組立状態では電極７Ａ３と６−２、７Ａ４と６−
４、７Ｂ３と６−１及び６−５、７Ｂ４と６−３、が互
いに圧接された状態となる。また、電極７Ｂ３と７Ｂ４
はリードパターン８−７により接続されている。又、接
地用電極７Ｇは金属材料で形成された締結ボルト５と接
して電気的に接地される。また、電極７Ａ１は裏側の電
極７Ａ３とスルーホール１０１により接続され、同様に
７Ａ２と７Ａ４、７Ｂ１と７Ｂ３、７Ｂ２と７Ｂ４、が
それぞれスルーホールにより接続されている。 圧電素
子１−１の電極６−１及び６−３と圧電素子１−２の電
極６−２及び６−４はＡ相用電極となる。同様に圧電素
子１−１の電極６−２及び６−４と圧電素子１−２の電
極６−１及び６−５並びに６−３はＢ相用電極となる。
又、圧電素子１−１の電極６−５はセンサ用電極であ
り、すなわちＳ相となる。

【００１９】プリント基板４には外部制御回路との接続
端子９が設けられており、プリント基板４上のリードパ
ターンにより電極７Ａ１が端子９Ａに、電極７Ｂ１が端
子９Ｂに、電極７Ｇが端子９Ｇに、電極７Ｓが端子９Ｓ
に、それぞれ接続されている。

【００２０】締結ボルト５及び上部振動体２並びに下部
振動体３は金属材料で構成されており、電気的に同電位
（接地）となる。又、プリント基板４の接地用電極７Ｇ
は締結ボルト５と密着して接地され、圧電素子１−１及
び１−２の電極６−Ｇはそれぞれ上部振動体２及び下部
振動体３に加圧接触しているので電極６−Ｇは前記電極
７Ｇと同電位となる。また、プリント基板４の接続端子
９Ｇにより圧電素子１−１及び１−２はＧＮＤ電位を与
えられるプリント基板４の接続端子９に電圧を印加する
ことで圧電素子１−１及び１−２への給電が行われる。
接続端子９ＧをＧＮＤ電位とし、接続端子９Ａに電圧を
印加することで圧電素子のＡ相が駆動される。同様に接
続端子９Ｂに電圧を印加することでＢ相が駆動される。
そして、接続端子９ＳによりＳ相の発生するセンサ信号
が検出される。

【００２１】接続端子９Ａに電圧を印加すると、圧電素
子のＡ相は歪を発生し、振動子は図１に示すＸ方向に屈
曲する。同様にＢ相に対して電圧を印加するとＸ方向と
ほゞ直交するＹ方向に屈曲される。印加する電圧を交流
電圧とし、例えば振動子の屈曲振動の固有振動数付近の
交流周波数を選ぶと、周期的、かつ安定した振動子の屈
曲振動が得られる。又、Ｂ相への印加電圧としてＡ相へ
の印加電圧に対して適当な時間的位相差を与えると、振
動子の任意の点は軌跡が楕円を描くように振動を行う。
このような振動をしている振動子の任意の点、例えば上
部振動体の上端面に不図示の移動体を加圧接触させる
と、移動体は振動子の表面粒子の楕円運動により、送り
の力を与えられる。

【００２２】圧電素子の電極６−５は振動子の屈曲変形
により歪みを生じ、圧電効果により電荷を発生する。こ
の電荷を接続端子９Ｓより検出することで振動子の振動
状態のモニターが行われる。電極６−５はＡ相圧電素子
に対して０ｒａｄずれた位置に配置される。該振動子の
組立状態では圧電素子１−１とプリント基板４とが互い
に密着した状態となり、このときリードパターン８−４
は圧電素子１−１の電極非形成部１０４−１と接触す
る。このリードパターン８−４が接触する圧電素子１−
１の領域が分極されていると電極６を持つ領域と同様に
電荷を発生することになり接続端子９Ｓより検出される
信号に含まれてしまうことになり、Ｓ相の位置的な位相
がずれてしまい振動状態の正確なモニタリングが不可能
となってしまう。圧電素子１−１はリードパターン８−
４の接する領域の両面を電極非形成部とすることで漏れ
電界による分極を防ぎ、位相ずれのないセンサ信号の検
出が行われる。

【００２３】この時の周波数に対するＡ相圧電素子の印
加電圧とセンサ相の出力信号の位相差の関係（以後θＡ
−Ｓと称する）、及びセンサ相の出力信号の大きさ（Ｖ
ｓ）の関係を図４に示す。屈曲１次振動モードで振動子
を駆動すると、共振周波数Ｆｒにおいて位相差θＡ−Ｓ
は、ＣＷ（時計周り方向）、ＣＣＷ（反時計周り方向）
共に（９０π／１８０）ｒａｄになり、共振周波数より
高い側の周波数では徐々にずれていく。出力信号の大き
さ（Ｖｓ）は共振周波数付近で最大値をとり、共振周波
数より高い側の周波数では徐々に小さくなる。よって、
振動を与えている時にこの位相差θＡ−Ｓや出力信号の
大きさを検出することで入力の周波数と振動子の共振周
波数との関係のモニターが行え、振動子の安定した駆動
が行える。

【００２４】図１０は本発明の棒状超音波振動子を用い
た棒状超音波モータの縦断面図である。振動子の締結ボ
ルト５は先端に細径の支柱部５ｐを有し、この支柱部５
ｐの先端に固定された固定部材１５によりモータ自体の
固定を行えるようにし、更に移動体等の回転支持の作用
を兼用している。移動体１８は上部弾性体２の先端面に
接触し、加圧は固定部材１５からベアリング部材１３と
ギア１４を介して移動体１８に内装されたバネケース１
７のコイルバネ１６を押圧することで与えられる。

【００２５】図１１に本実施例の棒状超音波モータを用
いた光学装置を示す。

【００２６】棒状超音波モータと一体的に組みつけられ
ているギア１４はギア伝達機構Ｇの入力ギアＧＩに噛合
し、その出力ギアＧ０はレンズＬ１を保持するレンズ保
持部材Ｈに形成されたギアＨＩに噛合している。このレ
ンズ保持部材Ｈは固定筒Ｋにヘリコイド結合し、超音波
モータの駆動力によりギア伝達機構Ｇを介して回転駆動
されて合焦が行われる。

【００２７】〈実施例２〉図５は本発明の第２の実施例
の超音波振動子に用いられる積層圧電素子の構成を示
す。図６は該積層圧電素子の分極状態を示す。図７は本
実施例で用いるフレキシブルプリント基板である。本実
施例は積層圧電素子に１相の駆動相を設けているが、積
層圧電素子及びフレキシブルプリント基板の構成を変更
することで２相の駆動相を形成することも可能である。

【００２８】積層圧電素子１０は、予め仮焼後粉砕した
セラミックス粉末をシート状に成形した複数の圧電素子
板を積層化して形成される。本実施例の積層圧電素子１
０は５枚の圧電素子板１００−１〜１００−５により構
成され、各圧電素子板はいずれも直径８ｍｍ、各層の厚
さ０．１ｍｍ、全長０．５ｍｍである。各圧電素子板に
は片面あるいは両面に電極膜が形成されると共に１〜３
個の導通穴（電極用金属膜で被覆された穴）１０１ａ〜
１０１ｃが同位置に貫設されている。

【００２９】図５には各圧電素子板１００−１〜１００
−５の表の面と圧電素子板１００−５の裏面が示されて
いる。

【００３０】第１の圧電素子板１００−１の表の面に
は、中心孔の外周に沿って環状の電極非形成部１０４−
１４が設けられるとともに該電極非形成部１０４−１４
に連なる放射状部分を有した二つの電極非形成部１０４
−１１及び１０４−１２を隔てて二つの分割電極３０ａ
１、３０ｂ１が形成され、更に分割電極３０ａ１の内側
の円弧状の電極非形成部の中には円弧状のセンサ用分割
電極３０ｓが形成されている。

【００３１】第２の圧電素子板１００−２の表の面には
中心孔の外周に沿う環状の電極非形成部１０４−１４が
設けられるとともに、圧電素子板１００−１の電極非形
成部１０４−１１と同形状の電極非形成部１０４−１３
が該部１０４−１１と同位置に設けられ、これ以外の面
は全面電極３１−１として電極膜で被覆されている。ま
た、貫設されている３個の導通穴のうち２個の導通穴１
０１ａ及び１０１ｂの周囲には環状の電極非形成部が設
けられている。

【００３２】第３の圧電素子板１００−３の表の面に
は、中心孔の外周に沿う環状の電極非形成部１０４−１
４と、放射状の２個の電極非形成部１０４−１５及び１
０４−１６と、が設けられるとともに、該電極非形成部
１０４−１５及び１０４−１６で隔てられた二つの分割
電極３０ａ２及び３０ｂ２が形成されている。

【００３３】第４の圧電素子板１００−４の表の面には
中心孔の外周に沿う環状の電極非形成部１０４−１４が
設けられるほかはすべて電極膜で被覆された全面電極３
１−２が形成され、２個の導通穴１０１ａ及び１０１ｂ
の外周にも環状の電極非形成部が設けられている。

【００３４】第５の圧電素子板１００−５の表の面に
は、中心孔の外周に沿う環状の電極非形成部１０４−１
４と、放射状の二つの電極非形成部１０４−１７及び１
０４−１８と、が設けられるとともに該電極非形成部１
０４−１７及び１０４−１８により隔てられた二つの分
割電極３０ａ３及び３０ｂ３が形成されている。また、
電極非形成部１０４−１８には只１個の導通穴１０１ｃ
が開口している。一方、該圧電素子板１００−５の裏面
には中心孔に沿う環状の電極非形成部１０４−１４が設
けられるとともに導通穴１０１ｃが開口し、全面電極３
１−３が形成されている。

【００３５】前記の如き各圧電素子板１００−１〜１０
０−５をそれらの電極非形成部と導通穴の位置が一致す
るようにそれぞれの表の面を上にして重ね合わせること
で積層圧電素子１０が形成される。

【００３６】このようにして形成された積層圧電素子１
０を図６（ａ）のように、２つの高抵抗を用いて分圧が
できるように結線し、積層圧電素子の上端面の分割電極
３０ａ１，３０ｂ１，３０ｓの各々にコンタクトピンを
接触させて直流電源により直流電圧を印加することで積
層圧電素子１０を図６（ｂ）に示す矢印の方向に分極さ
せる。その結果、分割電極３０ａ１が配置された領域と
分割電極３０ｂ１が配置された領域は逆方向に分極さ
れ、超音波振動子において例えばＡ相駆動用の圧電素子
として用いることができる。なお、圧電素子板１００−
１に設けられた分割電極３０ｓはセンサ相電極となる。

【００３７】積層圧電素子１０を振動子に組み込んだ時
に外部との電気的接続を行うために図７に示すプリント
基板２０が用いられる。図７に示すプリント基板２０は
積層圧電素子１０と圧接し電気的接続を行う環状円板部
及び外部との接続を行う部分より構成される。プリント
基板２０の環状円板部には圧電素子板１００−１の分割
電極３０ａ１及び３０ｂ１と接する基板電極７Ａ及び分
割電極３０ｓと接する基板電極７Ｓが形成されており、
各基板電極はプリント基板２０上のリードパターンによ
り接続端子と接続される。基板電極７Ｓと接続端子９Ｓ
をつなぐリードパターン８Ｓは環状円板部において積層
圧電素子１０の電極非形成部１０４−１１に加圧接触す
るため、この領域が分極されていると圧電素子の歪によ
り電荷を発生することになり、接続端子９Ｓにより所望
のセンサ信号が得られなくなる。積層圧電素子１０はこ
の点を考慮し、リードパターン８Ｓの接触する圧電素子
板１００−１の領域の両面に電極非形成部１０４−１
１、１０４−１３を形成し、漏れ電界による分極を防
ぎ、所望のセンサ信号を発生するようにしたものであ
る。

【００３８】なお、本実施例で示した積層圧電素子１０
を用いた超音波振動子はセンサ相の配置や外部との接続
にプリント基板を用いる等の点で図８に示した従来例と
異っているが、駆動方法は従来例のものと同じである。

【００３９】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明による超
音波振動子では、圧電素子と外部回路及び電源とを電気
的に接続する接続手段としてプリント基板を用い、該プ
リント基板を圧電素子に密着させた状態で圧電素子とと
もに振動子の弾性体に挟圧保持させる構成としたので、
リード線の半田付け作業が不要となり、リード線の半田
付け作業に関連して派生する種々の問題を回避すること
ができ、その結果、従来よりも品質の安定した超音波振
動子を能率よく製造することが可能となった。また、本
発明の超音波振動子では、プリント基板上のセンサー用
リードパターンが圧電素子の電極非形成部に接触するよ
うになっているためセンサー信号に雑音が入る恐れがな
いので検出精度が高くなり、圧電素子上のセンサー相の
領域が小さくても高精度の検出を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の棒状超音波振動子の分解
斜視図。

【図２】図１に示した棒状超音波振動子で用いる圧電素
子１−１の表面（ａ）及び裏面（ｂ）並びに断面（ｃ）
を示す図。

【図３】図１に示した棒状超音波振動子に用いるフレキ
シブルプリント基板の表面及び裏面を示した図。

【図４】棒状超音波振動子駆動時のセンサ相特性を示し
た図。

【図５】本発明の第２実施例で用いられる積層圧電素子
の構成を示す図。

【図６】図５に示した積層圧電素子の分極方法（ａ）と
分極の状態（ｂ）を示した図。

【図７】実施例２で用いられるフレキシブルプリント基
板の平面図。

【図８】従来例を示す棒状超音波振動子の分解斜視図。

【図９】従来例の圧電素子を示す図。

【図１０】本発明の棒状超音波モータの縦断面図。

【図１１】図１０の棒状超音波モータを駆動源とするレ
ンズ駆動機構を組み込んだレンズ鏡筒の縦断面図。

【符号の説明】

１−１，１−２…圧電素子 ２…上部振動体 ３…下部振動体 ４…フレキシブルプリント基板 ５…締結ボルト ６−１〜６−５，６Ｇ…電極 ７Ａ，７Ｓ，７Ａ１，７Ａ２，７Ｂ１，７Ｂ２，７Ａ
３，７Ａ４，７Ｂ３，７Ｇ，７Ｂ４…基板電極 ８−１〜８−７…リードパターン ９Ａ，９Ｂ，９
Ｓ，９Ｇ…接続端子 １０…積層圧電素子 １３…ベアリング部材 １４…ギア １５…固定部材 １６…コイルバネ １７…バネケース １８…ロータ １９…電極板 ２０…フレキシブルプリント基板 ２２…絶縁シート １００−１〜１００−５…圧
電素子板 １０１，１０１ａ〜１０１ｃ…スルーホールもしくは導
通穴 １０４−１〜１０４−５，１０４−１１〜１０４−１８
…電極非形成部 ３０ａ１，３０１ｂ１，３０ｓ，３０ａ２，３０ａ３，
３０ｂ３，３１−１，３１−２，３１−３…電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H02N 2/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動子本体部分を構成する弾性体と、該
   弾性体に挟圧保持される圧電素子と、該圧電素子に圧接
   されるとともに該弾性体に該圧電素子とともに挟圧保持
   されていて該圧電素子と外部回路及び電源とを接続する
   ためのプリント基板と、を有している超音波振動子であ
   って、前記圧電素子上には、前記プリント基板上のセンサー用
   の電極のリードパターンに対向して電極が設けられてい
   ない電極非形成部分を設けた ことを特徴とする超音波振
   動子。
2. 【請求項２】 前記圧電素子は、数枚の圧電素子板を積
   層した積層型圧電素子として構成されており、 該積層型圧電素子は、片面にのみ複数の分割電極を有し
   た少なくとも一枚の第一の圧電素子板と、片面にのみ全
   面電極を有した少なくとも一枚の第二の圧電素子板と、
   を含み、該第一の圧電素子板と該第二の圧電素子板とを
   それぞれの電極形成面を上向きにして交互に重ね合せる
   ことによって構成され、各圧電素子板の電極はその直下
   の圧電素子板の電極と共用になっており、該第一の圧電
   素子板の電極形成面には該プリント基板が圧接されてい
   て、前記第一の圧電素子板及び前記第二の圧電素子板上
   には、前記プリント基板のセンサー用電極のリードパタ
   ーンに対向して電極が設けられていない電極非形成部分
   を設けたことを特徴とする請求項１の超音波振動子。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載された超音波振動
   子の端面に圧接されて摩擦駆動される移動体を有してい
   ることを特徴とする超音波モータ。
4. 【請求項４】 請求項３に記載された超音波モータにお
   ける移動体によって駆動される駆動機構を具備している
   超音波モータを備えた装置。