JPH06113570A - 直動装置 - Google Patents

直動装置

Info

Publication number
JPH06113570A
JPH06113570A JP4260251A JP26025192A JPH06113570A JP H06113570 A JPH06113570 A JP H06113570A JP 4260251 A JP4260251 A JP 4260251A JP 26025192 A JP26025192 A JP 26025192A JP H06113570 A JPH06113570 A JP H06113570A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
slide nut
ultrasonic motor
screw shaft
ball
piezoelectric element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP4260251A
Other languages
English (en)
Inventor
Kinya Emoto
欣也 江本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
Priority to JP4260251A priority Critical patent/JPH06113570A/ja
Publication of JPH06113570A publication Critical patent/JPH06113570A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Character Spaces And Line Spaces In Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 直動装置としての性能が低下することなく、
機構を簡略化し、耐久性能を向上させ、かつ静粛性と省
電力を達成する。 【構成】 螺旋状に連続するボール転走溝の形成された
ねじ軸と、ボール転走溝を転走するボールを装填し、該
ボールが前記ボール転走溝を転走することで前記ねじ軸
の軸方向に移動自在にねじ軸に取り付けられたスライド
ナットと、略円柱状であって、その軸方向に振動する第
1の圧電素子と周方向に振動する第2の圧電素子を有
し、前記ねじ軸を回転軸として前記スライドナットを回
転させる超音波モータとを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は各種研削盤、旋盤や搬送
機、またはプリンタ等に使用される直動装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】各種研削盤、旋盤や搬送機、またはプリ
ンタ等における直動システムの駆動の為に各種直動装置
が使用されている。中でも、ボールねじを利用した直動
装置は、ねじ軸とスライドナットがボールを介してころ
がり接触しているので高い伝達効率が得られる。しか
も、簡単な潤滑で高速回転に耐え、耐摩耗性も優れるこ
とから機械の高速化、メンテナンスフリーを可能とする
ものである。図4に、ボールねじを利用した直動装置を
使用した搬送機の一例を示す。搬送機10は、基台12
と、基台12の端部に形成された側板13と、基台12
の長手方向に沿って形成されるガイドレール14,14
と、ガイド16,16,16,16を介してガイドレー
ル14上を移動する平板状のスライダ18と、スライダ
18を移動させる駆動力を発生する直動装置20とから
概略構成される。搬送機としては、スライダ18にさら
にこれと連動する搬送板を設けたり、またはスライダ1
8自体を搬送板として使用する。直動装置20は、ガイ
ドレール14と平行に設けられるねじ軸22と、ねじ軸
22に設けられるスライドナット24と、スライドナッ
ト24を回転させる電磁モータ26とからなる。直動装
置20を図5を参照して詳説する。スライドナット24
は円筒状で、その中心部を軸方向にねじ軸22が貫通し
ている。スライドナット24の内部には、複数のボール
28,28,・・・が中をころがり動くボールチューブ3
0が設けられ、ボール28は、螺刻されたねじ軸22の
ボール転走溝52とボールチューブ30内を循環するよ
うになっている。スライドナット24はベアリング34
を介して回転自在に支持板36に支持されており、支持
板36はスライダ18の下面に固定されている。スライ
ダ18には電磁モータ26が固定され、電磁モータ26
はロータ32を介してスライドナット24をねじ軸22
を回転軸として回転させる。
【0003】この構成の直動装置20及び直動装置20
を設けた搬送機10において、電磁モータ26を作動さ
せてスライドナット24の外周面に接触しているロータ
32を回転させるとことで、スライドナット24がねじ
軸22を中心に回転する。スライドナット24が回転す
ると、スライドナット24が内部に装填したボール28
がねじ軸22のボール転走溝52及びボールチューブ3
0内を転がり、循環する。ボール28は順々とねじ軸2
2のボール転走溝52を軸方向に荷重を受けながら転動
することとなり、スライドナット24はねじ軸22に沿
って移動する。従って、スライドナット24を回転自在
に支持する支持板36もねじ軸22の軸方向に移動する
ことから、これが固定されているスライダ18がねじ軸
22の軸方向に直線的に移動することとなる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記直
動装置20は、スライドナット24を電磁モータ26に
よって回転させることから、スライドナット24を回転
させる際に駆動力の伝達ロスが大きく、また図5には示
さなかったが、実際にはギヤ機構を有することから、直
動装置20として機構が複雑化し、部品点数が増えると
共に大型化してしまい、さらにはコストアップの要因に
もなるものであった。さらに、摩耗も激しく、耐久性能
にも乏しいものであった。また、スライダ18が静止し
ている場合において、スライダ18が動かないようにす
るために、スライドナット24を回転しないようにして
いる。その為に、電磁モータ26には電圧を印加して保
持力を生じさせている。このスライダ18が静止固定し
ている時にも電磁モータ26に電圧を印加することは非
常に無駄なエネルギを消費してしまっているものであっ
た。
【0005】本発明は前記課題を解決するためになされ
たもので、直動装置としての性能が低下することなく、
機構を簡略化し、耐久性能を向上させ、かつ静粛性と省
電力を達成する直動装置を提供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の直動装置は、
(1)螺旋状に連続するボール転走溝の形成されたねじ
軸と、(2)前記ボール転走溝を転走するボールを装填
し、該ボールが前記ボール転走溝を転走することで前記
ねじ軸の軸方向に移動自在にねじ軸に取り付けられたス
ライドナットと、(3)略円柱状であって、その軸方向
に振動する第1の圧電素子と周方向に振動する第2の圧
電素子を有し、前記ねじ軸を回転軸として前記スライド
ナットを回転させる超音波モータとを備えたことを特徴
とするものである。
【0007】
【作用】本発明の直動装置は、超音波モータによってス
ライドナットをねじ軸を回転軸として回転させること
で、スライドナットに装填されたボールがねじ軸に螺刻
されたボール転走溝を軸方向の荷重を受けながら転動
し、循環し、もってスライドナット自体がねじ軸の軸方
向に直線運動するものである。超音波モータに、軸方向
に振動する第1の圧電素子と周方向に振動する第2の圧
電素子を有してなる複合振動子形超音波モータを使用
し、その中心を軸方向に貫通する貫通孔にねじ軸を緩挿
することで該超音波モータをねじ軸に取り付けることが
でき、取付スペースを非常に小さくすることができ、飛
躍的な小型化が可能となる。超音波モータの圧接面に圧
接されているスライドナットを直接回転させることか
ら、駆動力の伝達機構が簡易で、駆動力の伝達ロスが小
さく、また耐久性が高い。さらには超音波モータの特性
上、分解能も非常に高い。また、スライドナットには超
音波モータが常時圧接しているので、超音波モータの駆
動時でなくとも、即ち、電圧を印加せずとも、スライド
ナットの自由な回転は抑制される。従って、スライドナ
ットを固定するための電圧印加を必要とせず、省エネル
ギを図ることができる。
【0008】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面を参照して説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。本
発明の一実施例である直動装置を図1,2を参照して説
明する。直動装置38は、ねじ軸22とスライドナット
24と超音波モータ44とから概略構成されている。
【0009】ねじ軸22は図4に示されているような、
スライダ18の移動方向に沿った円柱状の軸であって、
螺旋状に連続するボール転走溝52が螺刻されている。
ボール転走溝52は、転造による製法が加工精度が高く
好ましい。
【0010】スライドナット24は、樹脂、合金などか
らなる円筒状の部材で、その軸方向に形成された内部孔
をねじ軸22が貫通している。また、スライドナット2
4は複数のボール28を装填し、スライドナット24を
ねじ軸22に取り付けることで、ボール28はねじ軸2
2のボール転走溝52内にその各ボールの半分程が入り
込む。さらに、スライドナット24にはボール28が内
部を転走するボールチューブ30が設けられており、ボ
ール28はスライドナット24の内部に位置するボール
転走溝52とボールチューブ30内を循環するようにな
っている。スライドナット24は複数のボール28を介
してねじ軸22と接触することになり、スライドナット
24は滑らかにねじ軸22を回転軸として回転する。尤
も、スライドナット24が回転するためにはボール28
がボール転走溝52とボールチューブ30内を転がり動
くことが必要である。スライドナット24の両端部には
ブラシレール56,56が設けられている。ブラシレー
ル56はねじ軸22のボール転走溝52を清掃し、ボー
ル28に異物が接触するのを防ぐ防塵機能をもつもので
ある。スライドナット24にはベアリング88を介して
回転自在に円環板36が設けられ、円環板36はスライ
ドナット24を支持している。円環板36は後述するケ
ース60に固定された支持棒66に軸方向に移動自在に
支持されている。従って、スライドナット24はベアリ
ング88,円環板36、支持棒66を介してケース60
に支持されている。
【0011】超音波モータ44は、中空のステータホル
ダ48とステータヘッド46と第1圧電素子40と第2
圧電素子42とステータボトム50とで構成されてい
る。ステータヘッド46の端面である圧接面72はスラ
イドナット24に当接している。ステータホルダ48は
その中心を軸方向に貫通する貫通孔70が形成されてお
り、その貫通孔70にねじ軸22を緩挿して超音波モー
タ44はねじ軸22に取り付けられる。ステータホルダ
48には、超音波モータ44の振動の節部の位置に、外
方に突出するフランジ49が形成されている。第1圧電
素子40,第2圧電素子42は環状であって、PZT
(ジルコン酸チタン酸鉛)を素材とする積層型圧電アク
チュエータあるいは単板の圧電セラミックが使用され
る。これら圧電素子40,42は高周波電流を発生する
図示しない電源装置と接続されており、所定の交流電圧
が印加されることで、第1圧電素子40は超音波モータ
44の軸方向に振動し、第2圧電素子42は超音波モー
タ44の周方向に振動し、これらの振動が組み合わされ
ることでなる合波によって、超音波モータ44の圧接面
72に圧接するスライドナット24を回転させる。圧接
面72とスライドナット24の端面73の間には必要に
応じて摩擦材が介在される。摩擦材は圧接面72、また
は端面73、またはその両面に貼着される。また、圧接
面72とスライドナット24の間に、リング状でスライ
ドナット24と連動するロータを介在させても良い。こ
の場合、超音波モータ44で駆動力を発生させると、そ
の圧接面72に押圧されているロータが回転し、さらに
回転するロータと連動してスライドナット24が回転す
ることになる。
【0012】超音波モータ44とスライドナット24は
ケース60内に収容されている。ケース60の両端面に
はケース貫通孔62,64が形成され、そのケース貫通
孔62,64をねじ軸22が貫通している。ケース60
には、その内壁に沿って支持棒66が設けられ、支持棒
66はナット68でケース60に固定されている。支持
棒66は、円環板36に形成されている環板貫通孔54
を貫通し、さらにフランジ49に形成されている孔に嵌
合し、超音波モータ44は支持棒66でケース60に支
持固定されている。支持棒66は環板貫通孔54に緩挿
されており、円環板36はねじ軸22の軸方向に移動自
在に支持棒66に支持されている。尚、支持棒66は、
図1では2本の例を示したが、本数は3本もしくはそれ
以上でも良く、また超音波モータ44を支持固定するこ
とのできるものであれば棒状に限られるものではなく、
例えば円筒状であってもかまわない。ケース60の端面
の内側と円環板36の間の位置の支持棒66には付勢手
段58が設けられている。付勢手段58は円環板36を
超音波モータ44側に付勢するものであればどのような
ものであっても良く、ばね部材が適用できる。円環板3
6は付勢手段58によって超音波モータ44側に付勢さ
れ、円環板36とベアリング88を介して連結している
スライドナット24も超音波モータ44側に付勢されて
いる。従って、スライドナット24の端面73は超音波
モータ44の圧接面72に圧接している。即ち、円環板
36に回転自在に支持されているスライドナット24は
超音波モータ44の圧接面72に対してねじ軸22を回
転軸として回転摺動可能に押圧されている。付勢手段5
8はスライドナット24と超音波モータ44を圧接させ
るものであればその構成や位置は限定されるものではな
く、ゴム等の弾性材を使用したり、または、ねじ軸22
を内部に貫通させるように配設したばね部材を使用して
スライドナット24を直接押圧したり、または超音波モ
ータ44に取り付けて超音波モータ44をスライドナッ
ト24側に付勢するものであってもかまわない。ケース
貫通孔62,64に、スライドナット24に設けられて
いるようなブラシレールを設け、ケース60内に異物が
入り込むことを防止することが望ましい。ケース60に
は、図4に示されるような平板状のスライダ18を連結
し、連動させることができる。
【0013】上記構成の直動装置38を作動させるに
は、超音波モータ44に所定の交流電流を印加する。超
音波モータ44では第2圧電素子42が周方向に振動し
て回転駆動力を発生させ、第1圧電素子40は軸方向に
伸縮してステータヘッド46とスライドナット24の接
触制御を行なうようになっている。即ち、ばね部材58
のばね力によってステータヘッド46とスライドナット
24が押圧触されている状態で、第2圧電素子42に電
圧を印加すると、第2圧電素子42のねじり力によって
スライドナット24はねじ軸22を回転軸として微小角
度回転する。回転後に第1圧電素子40が縮み、スライ
ドナット24のステータヘッド46に対する押圧力を少
なくすると、第2圧電素子42のねじり量は相殺されて
消失する。ここで第1圧電素子が伸びて圧接面72とス
ライドナット24間の押圧力を再び増加させて、第2圧
電素子42に電圧を印加するとスライドナット24は再
び微小角度回転することになる。こうした第2圧電素子
42の振動と第1圧電素子40の振動の組合せからなる
楕円運動を繰り返し行なうことで、スライドナット24
を一定の方向に連続回転させることができる。この超音
波モータ44の発生する回転駆動力は低速でも高トルク
なものである。
【0014】超音波モータ44による駆動力で、ねじ軸
22を回転軸としてスライドナット24が回転すると、
その内部に装填されたボール28がボール転走溝52を
転動する。ボール転走溝52内にあるボール28はボー
ル転走溝52をころがり動き、ボールチューブ30内に
送給され、ボールチューブ30内に送給されたボール2
8は反対側から再びボール転走溝52内に送り出され
る。従って、複数のボール28はボール転走溝52とボ
ールチューブ30内を次々と転動し、循環する。この
際、ボール28はねじ軸22の軸方向の荷重を受けなが
ら転動するので、ボール28のボール転走溝52内の転
動と共に、スライドナット24自体がねじ軸22の軸方
向に直線移動することとなる。ばね部材58は第1圧電
素子40と第2圧電素子42の振動により発生した回転
駆動力をスライドナット24に有効に伝達するための付
勢手段である。スライドナット24が図1におけるA方
向に移動すると、スライドナット24にベアリング88
を介してねじ軸22の軸方向に連動する円環板36も移
動し、円環板36はばね部材58を圧縮し、このばね部
材58に対する圧縮力とばね部材58の弾性力が均衡し
た後は、スライドナット24のA方向への移動に連動し
てケース60がA方向に移動する。また、スライドナッ
ト24の回転方向が上記と逆方向であって、スライドナ
ット24がB方向に移動すると、スライドナット24に
押圧触している超音波モータ44にB方向に向けて移動
する力がかかり、超音波モータ44がB方向に移動し始
めると、超音波モータ44とフランジ49にて連結して
いる支持棒66に連動してケース60もB方向に移動す
る。従って、スライドナット24がねじ軸22を回転軸
として回転した場合、回転方向が如何なる回転方向であ
っても、その回転方向に従ってスライドナット24はね
じ軸22の軸方向に沿って直線移動し、スライドナット
24がAまたはBのどちらの方向に直線移動しても、ケ
ース60もねじ軸22の軸方向に沿ってスライドナット
24に連動する。従って、ケース60がねじ軸22に沿
って直線移動するので、図4に示されるようなスライダ
18をケース60と連動するように連結すれば、スライ
ダ18は超音波モータ44の発生する回転駆動力によっ
て、ねじ軸22の軸方向に沿って直線移動することにな
る。従って、本実施例の直動装置38を図4に示すよう
な搬送機10の駆動装置として適用することができる。
尚、この場合、スライダ18に連動する搬送板をさらに
設けたり、またはスライダ18を設けずに、ケース60
を搬送板として利用してもかまわないのは勿論のことで
ある。
【0015】前記従来例で示した電磁モータを利用した
直動装置を駆動源とする搬送装置と、本実施例の超音波
モータを利用した直動装置を駆動源とする搬送装置を製
造し、その速度を測定した。その結果、本実施例の超音
波モータを利用した直動装置は、電磁モータを利用した
直動装置と比べて遜色無いものであった。
【0016】さらに、スライダ18が静止している時
に、これを動かさないようにするためにスライドナット
24が回転しないようにしなければならないが、電磁モ
ータを利用する場合、電磁モータに電圧を印加し続ける
ことによって保持力(5kgf程度以上)を生じさせなけ
ればならない。しかしながら、超音波モータを利用する
本発明の直動装置によれば、常時、超音波モータを付勢
手段によってスライドナット24に圧接しているので、
その圧接力によって、超音波モータが電気的に作動して
なくともスライドナット24は回転できないようになっ
ている。即ち、スライダ18が静止している時には、超
音波モータ44に電圧を印加することなくスライドナッ
ト24の回転が抑制されているので、省エネルギを達成
することができる。また、超音波モータ44を使用する
ことで、直接スライドナット24を回転駆動するもので
あるから、ギヤ機構等を必要とせず、直動装置として機
構が簡易であり、小型,軽量化を図ることができる。従
って、耐久性能が向上し、発生する音も小さく、静粛性
が高いものである。特に、本実施例では回転駆動力発生
させるのに、第1の圧電素子と第2の圧電素子を有する
略円柱状の複合振動子形超音波モータを使用し、しかも
その超音波モータの中心を軸方向に貫通する貫通孔70
にねじ軸22を挿入および貫通して超音波モータを取り
付けるので、必要とするスペースは非常に小さくて済
み、小型化を飛躍的に向上させるものである。また、分
解能が高い超音波モータ44を使用するものであるか
ら、直動装置としてさらに精度が向上する。また、電磁
モータでなく、超音波モータ44を使用することから、
外部に対して磁気作用の影響がなく、磁性材などの搬送
等にも利用できる。尚、搬送機等に用いる場合に、直動
装置を1つでなく、複数個取り付けることで搬送能力を
高めることができる。
【0017】尚、本発明の直動装置は図4に示したよう
な搬送機の他にも、各種研削盤や旋盤、もしくはプリン
タ等、直線駆動力を要するあるゆる機構に用いることが
できる。
【0018】スライドナットの他の例を図3を参照して
説明する。図3に示すスライドナット80は、樹脂、合
金などからなる略円筒状の部材で、その内部孔をねじ軸
22が貫通している。また、スライドナット80は複数
のボール28を装填し、スライドナット80をねじ軸2
2に取り付けることで、ボール28はねじ軸22のボー
ル転走溝52内にその各ボールの半分程が入り込む。ス
ライドナット80には、図2で示したボールチューブ3
0は設けられておらず、代りにその両端部に、ボール2
8が転動する溝の形成されたエンドキャップ82,83
が設けられ、スライドナット80内には、エンドキャッ
プ82,83に形成された該溝に連通する移送管84が
形成されている。ボール28はスライドナット24の内
部に位置するボール転走溝52と移送管84内を循環す
るようになっている。スライドナット80の片端部には
さらにブラシレール56が設けられている。ブラシレー
ル56はねじ軸22のボール転走溝52を清掃し、ボー
ル28に異物が接触するのを防ぐ防塵機能をもつもので
ある。
【0019】スライドナット80は複数のボール28を
介してねじ軸22と接触することになり、スライドナッ
ト80は滑らかにねじ軸22を回転軸として回転する。
尤も、スライドナット80が回転するためにはボール2
8がボール転走溝52と移送管84内を転がり動くこと
が必要である。
【0020】この例のスライドナット80においては、
ボール28を剛体であるエンドキャップ82でボール転
走溝52からすくい上げ、移送管84に送り出すもの
で、ボールチューブを使用するものよりも強度が高く、
安定して高速回転にも対応できると共に、静粛性も高い
ものである。
【0021】尚、本発明の直動装置は、超音波リニアモ
ータの駆動力にてスライドナットを回転させ、且つねじ
軸上を直線移動させるものであるから、スライドナット
は、端部に超音波モータを圧接することができ、超音波
モータにて回転駆動され得るものならば、市販の各種ボ
ールねじを適用できるものである。
【0022】
【発明の効果】本発明の直動装置は、小型軽量で簡易な
構成の超音波モータでねじ軸に取り付けられたスライド
ナットを回転させ、スライドナット内のボールがねじ軸
に形成されているボール転走溝を転動し、循環すること
でスライドナットがねじ軸上を直線運動するもので、超
音波モータを使用して直接スライドナットを駆動するも
のであるから、ギヤ機構等を必要とせず、直動装置とし
て機構が簡易であり、小型,軽量化を図ることができ
る。従って、耐久性能が向上し、発生する音も小さく、
静粛性が高いものである。特に、本発明では回転駆動力
発生させるのに、第1の圧電素子と第2の圧電素子を有
する略円柱状の複合振動子形超音波モータを使用し、し
かもその超音波モータの中心を軸方向に貫通する貫通孔
にねじ軸を挿入および貫通して超音波モータを取り付け
るので、必要とするスペースは非常に小さくて済み、小
型化を飛躍的に向上させるものである。また、超音波モ
ータは分解能が高いものであるから、直動装置として省
エネルギを達成すると共に、さらに精度も向上する。ま
た、電磁モータでなく、超音波モータを使用することか
ら、外部に対して磁気作用の影響がなく、磁性材などの
搬送等にも利用できる。
【0023】また、付勢手段によって超音波モータを常
時スライドナットに圧接しているものであるから、超音
波モータに電圧が印加されず駆動していない時であって
も、付勢手段による超音波モータの圧接力によってスラ
イドナットの自由な回転は抑制されており、直線運動に
おいてスライドナットと連動するスライダの自由運動を
抑えることができる。従って、スライダの静止時に電圧
を印加する必要がなく、省エネルギを図ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例の直動装置の側面図である。
【図2】本実施例の直動装置の要部断面図である。
【図3】別の態様のスライドナットの断面図である。
【図4】搬送機の斜視図である。
【図5】従来例の直動装置の概略側面図である。
【符号の説明】
20 直動装置 22 ねじ軸 24 スライドナット 28 ボール 30 ボールチューブ 38 直動装置 40 圧電素子 42 圧電素子 44 超音波モータ 52 ボール転走溝 80 スライドナット

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 螺旋状に連続するボール転走溝の形成さ
    れたねじ軸と、 前記ボール転走溝を転走するボールを装填し、該ボール
    が前記ボール転走溝を転走することで前記ねじ軸の軸方
    向に移動自在にねじ軸に取り付けられたスライドナット
    と、 略円柱状であって、その軸方向に振動する第1の圧電素
    子と周方向に振動する第2の圧電素子を有し、前記ねじ
    軸を回転軸として前記スライドナットを回転させる超音
    波モータとを備えていることを特徴とする直動装置。
JP4260251A 1992-09-29 1992-09-29 直動装置 Withdrawn JPH06113570A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4260251A JPH06113570A (ja) 1992-09-29 1992-09-29 直動装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4260251A JPH06113570A (ja) 1992-09-29 1992-09-29 直動装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06113570A true JPH06113570A (ja) 1994-04-22

Family

ID=17345455

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4260251A Withdrawn JPH06113570A (ja) 1992-09-29 1992-09-29 直動装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06113570A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001095270A (ja) * 1999-09-22 2001-04-06 Seiko Instruments Inc 超音波モータを用いた直動機構およびそれを用いた電子機器
WO2007056952A1 (fr) * 2005-11-18 2007-05-24 Tsinghua University Moteur ultrasonique polyedrique entraine par filetage
CN102500835A (zh) * 2011-11-11 2012-06-20 大连理工大学 一种渐开线圆柱齿轮轮齿表面超声强化装置
JP2013092790A (ja) * 2008-12-30 2013-05-16 Cellavision Ab 生物標本の光学分析のためのアナライザ
CN103128587A (zh) * 2013-03-27 2013-06-05 哈尔滨工业大学 基于超声电机的超精密大行程刀具微动进给装置
JP2017535437A (ja) * 2014-10-22 2017-11-30 セントレ テクニーク デ インダストリーズ メカニークスCentre Technique Des Industries Mecaniques 改良された振動加工装置
CN111525834A (zh) * 2019-02-04 2020-08-11 锡德雷特技术公司 基于螺杆的纳米线性运动控制机构
KR20210095380A (ko) * 2020-01-23 2021-08-02 강원대학교산학협력단 소형 디지털 프린터의 축 구동을 위한 프린터 헤드 및 프린터 헤드의 구동 제어 방법

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001095270A (ja) * 1999-09-22 2001-04-06 Seiko Instruments Inc 超音波モータを用いた直動機構およびそれを用いた電子機器
JP4497594B2 (ja) * 1999-09-22 2010-07-07 セイコーインスツル株式会社 超音波モータを用いた直動機構およびそれを用いた電子機器
WO2007056952A1 (fr) * 2005-11-18 2007-05-24 Tsinghua University Moteur ultrasonique polyedrique entraine par filetage
JP2009516491A (ja) * 2005-11-18 2009-04-16 清華大学 ネジ山駆動多面体超音波モータ
JP4873269B2 (ja) * 2005-11-18 2012-02-08 清華大学 ネジ山駆動多面体超音波モータ
JP2013092790A (ja) * 2008-12-30 2013-05-16 Cellavision Ab 生物標本の光学分析のためのアナライザ
US9180593B2 (en) 2008-12-30 2015-11-10 Cella Vision AB Analyser for optical analysis of a biological specimen
US9676095B2 (en) 2008-12-30 2017-06-13 Cellavision Ab Analyser for optical analysis of a biological specimen
US9776322B2 (en) 2008-12-30 2017-10-03 Cellavision Ab Analyser for optical analysis of a biological specimen
CN102500835A (zh) * 2011-11-11 2012-06-20 大连理工大学 一种渐开线圆柱齿轮轮齿表面超声强化装置
CN103128587A (zh) * 2013-03-27 2013-06-05 哈尔滨工业大学 基于超声电机的超精密大行程刀具微动进给装置
JP2017535437A (ja) * 2014-10-22 2017-11-30 セントレ テクニーク デ インダストリーズ メカニークスCentre Technique Des Industries Mecaniques 改良された振動加工装置
CN111525834A (zh) * 2019-02-04 2020-08-11 锡德雷特技术公司 基于螺杆的纳米线性运动控制机构
KR20210095380A (ko) * 2020-01-23 2021-08-02 강원대학교산학협력단 소형 디지털 프린터의 축 구동을 위한 프린터 헤드 및 프린터 헤드의 구동 제어 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10972019B2 (en) Ultrasonic motor and lens driving apparatus
US7902723B2 (en) Screw thread driving polyhedral ultrasonic motor
US7215063B2 (en) Vibration element and vibration wave driving apparatus
JPH0117353B2 (ja)
US4999536A (en) Vibrator-type actuator
JP3825890B2 (ja) 振動アクチュエータ
JPH06113570A (ja) 直動装置
JP2608413B2 (ja) 超音波駆動装置
JPH0532991B2 (ja)
WO2013031983A1 (ja) 振動アクチュエータ及び光学機器
US9197141B2 (en) Piezoelectric motor with efficient transfer of energy
JPH05345247A (ja) 直動装置
JP3951647B2 (ja) チューブポンプ
JPH09201081A (ja) 振動アクチュエータを用いた駆動装置、及び振動アクチュエータを用いた駆動方法
KR20060097831A (ko) 압전 초음파 모터
JPH02311184A (ja) 超音波モータ
JP2607087B2 (ja) 超音波駆動装置
JPH04236173A (ja) 超音波モーター
JP4710527B2 (ja) 駆動機構及び駆動機構を備えた装置
JPH04344182A (ja) レンズ移動装置
JPS60113672A (ja) 圧電回転機
JPH02164284A (ja) 超音波アクチュエータ
JP2625691B2 (ja) 超音波モータ
JPS5854878Y2 (ja) 振動子駆動型モ−タ
JP2577118B2 (ja) 振動波駆動装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19991130