JPH06102463A - 光学走査用回転鏡 - Google Patents
光学走査用回転鏡Info
- Publication number
- JPH06102463A JPH06102463A JP5399192A JP5399192A JPH06102463A JP H06102463 A JPH06102463 A JP H06102463A JP 5399192 A JP5399192 A JP 5399192A JP 5399192 A JP5399192 A JP 5399192A JP H06102463 A JPH06102463 A JP H06102463A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- rotary
- rotation
- center
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転鏡の反射面に回転軸の中心をもってくる
ことで、回転鏡の反射位置のずれを無くせるようにす
る。 【構成】 回転に応じて入射ビーム光を走査または偏向
する光学走査用回転鏡であって、その鏡体８の反射面に
回転中心が一致するように回転軸９ａ，９ｂを鏡体８の
両側に取り付ける。
ことで、回転鏡の反射位置のずれを無くせるようにす
る。 【構成】 回転に応じて入射ビーム光を走査または偏向
する光学走査用回転鏡であって、その鏡体８の反射面に
回転中心が一致するように回転軸９ａ，９ｂを鏡体８の
両側に取り付ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、回転鏡の反射位置のず
れを無くす技術、特に、レーザー応用機器に用いられる
平面回転鏡などの回転鏡の反射位置ずれを無くすために
用いて効果のある技術に関するものである。
れを無くす技術、特に、レーザー応用機器に用いられる
平面回転鏡などの回転鏡の反射位置ずれを無くすために
用いて効果のある技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザープリンタ、形状測定器、表面変
位測定器などにあっては、レーザービームを回転鏡に入
射させて走査（または偏向）を行っている。
位測定器などにあっては、レーザービームを回転鏡に入
射させて走査（または偏向）を行っている。
【０００３】図５はオートコリメーション法による形状
測定器を示す構成図である。
測定器を示す構成図である。
【０００４】レーザーダイオードなどからのレーザービ
ーム１は、回転鏡２（平面鏡）に入射される。この回転
鏡２の反射光路上には、回転鏡２からの光を通過させな
がら反射光を９０°方向へ反射させるハーフミラー３、
及びハーフミラー３からの光を平行光にするコリメート
レンズ４が順次配設され、このコリメートレンズ４の出
射光が被測定物５の表面に投光される。この被測定物５
からの反射光の一部は、コリメートレンズ４を経てハー
フミラー３の下面に到達し、水平方向へ反射する。この
反射光路上でかつコリメートレンズ４の焦点（ｆ）位置
には、位置検出素子６が配設される。
ーム１は、回転鏡２（平面鏡）に入射される。この回転
鏡２の反射光路上には、回転鏡２からの光を通過させな
がら反射光を９０°方向へ反射させるハーフミラー３、
及びハーフミラー３からの光を平行光にするコリメート
レンズ４が順次配設され、このコリメートレンズ４の出
射光が被測定物５の表面に投光される。この被測定物５
からの反射光の一部は、コリメートレンズ４を経てハー
フミラー３の下面に到達し、水平方向へ反射する。この
反射光路上でかつコリメートレンズ４の焦点（ｆ）位置
には、位置検出素子６が配設される。
【０００５】以上の構成において、レーザービーム１は
回転鏡２によって偏向の後、ハーフミラー３及びコリメ
ートレンズ４を介し、被測定物５に向けて投光される。
回転鏡２は回転しているため、コリメートレンズ４に対
する照射角度は時間と共に変化する。このため、回転鏡
２の回転に応じてコリメートレンズ４の一端から他端へ
レーザービームが移動、すなわちレーザービームは被測
定物５上を移動（走査）する。被測定物５の傾き角をθ
とすれば、コリメートレンズ４からの入射光に対する反
射光は２θの偏角を生じ、位置検出素子６上には２θ・
ｆの位置に反射スポット像を生成する。このようにし
て、被測定物５の傾斜分布が求まり、これを積分するこ
とによって形状を認識することができる。
回転鏡２によって偏向の後、ハーフミラー３及びコリメ
ートレンズ４を介し、被測定物５に向けて投光される。
回転鏡２は回転しているため、コリメートレンズ４に対
する照射角度は時間と共に変化する。このため、回転鏡
２の回転に応じてコリメートレンズ４の一端から他端へ
レーザービームが移動、すなわちレーザービームは被測
定物５上を移動（走査）する。被測定物５の傾き角をθ
とすれば、コリメートレンズ４からの入射光に対する反
射光は２θの偏角を生じ、位置検出素子６上には２θ・
ｆの位置に反射スポット像を生成する。このようにし
て、被測定物５の傾斜分布が求まり、これを積分するこ
とによって形状を認識することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明者の検討によれ
ば、平面回転鏡を用いて光走査（光偏向）を行う場合、
反射面が回転軸からｔの距離にあり、図６に示すよう
に、入射光に対して回転軸心２ａを有する回転鏡がαだ
け回転したとすると、反射点はα＝０とα＝αのときで
あり、回転鏡２の厚みをｔとすると、Δｘ＝（１／ｃｏ
ｓα）ｔ／２のずれを生じる。このため、ｆθレンズな
どで補正せねばならず、その設計も難しくなるという問
題があった。
ば、平面回転鏡を用いて光走査（光偏向）を行う場合、
反射面が回転軸からｔの距離にあり、図６に示すよう
に、入射光に対して回転軸心２ａを有する回転鏡がαだ
け回転したとすると、反射点はα＝０とα＝αのときで
あり、回転鏡２の厚みをｔとすると、Δｘ＝（１／ｃｏ
ｓα）ｔ／２のずれを生じる。このため、ｆθレンズな
どで補正せねばならず、その設計も難しくなるという問
題があった。
【０００７】そこで、本発明の目的は、回転鏡の反射位
置のずれを無くすことのできる技術を提供することにあ
る。
置のずれを無くすことのできる技術を提供することにあ
る。
【０００８】本発明の前記ならびに他の目的と新規な特
徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【００１０】すなわち、その回転に応じて入射ビーム光
を走査または偏向する光学走査用回転鏡であって、その
反射面に回転中心が一致するように回転軸を取り付ける
ようにしている。
を走査または偏向する光学走査用回転鏡であって、その
反射面に回転中心が一致するように回転軸を取り付ける
ようにしている。
【００１１】
【作用】上記した手段によれば、回転鏡の反射面に回転
軸の中心が位置しているため、回転鏡の回転位置にかか
わりなく反射位置にずれを生じることがない。したがっ
て、ｆθレンズの設計を簡略にできる。
軸の中心が位置しているため、回転鏡の回転位置にかか
わりなく反射位置にずれを生じることがない。したがっ
て、ｆθレンズの設計を簡略にできる。
【００１２】
【実施例】図１は本発明による光学走査用回転鏡の一実
施例を示す側面図、図２は正面図、図３は平面図、図４
は使用時の状態を示す側面図である。
施例を示す側面図、図２は正面図、図３は平面図、図４
は使用時の状態を示す側面図である。
【００１３】本発明による回転鏡７は、片面に反射鏡面
を有する鏡体８（アルミ材またはステンレスで作成さ
れ、片面が鏡面仕上げされている）、及び鏡体８の両側
に突出させて設けられる回転軸９ａ，９ｂからなる。こ
の回転軸９ａ，９ｂの取り付けに際し、本発明では回転
中心９ｃが鏡体８の反射面８ａにくるようにする。因み
に従来は、鏡体８の厚みの１／２の位置に回転軸９ａ，
９ｂの回転中心９ｃがくるように取り付けていた。この
ため、回転軸９ａ，９ｂの回転中心９ｃと反射面８ａと
の間に厚みｔの１／２のずれがあった。
を有する鏡体８（アルミ材またはステンレスで作成さ
れ、片面が鏡面仕上げされている）、及び鏡体８の両側
に突出させて設けられる回転軸９ａ，９ｂからなる。こ
の回転軸９ａ，９ｂの取り付けに際し、本発明では回転
中心９ｃが鏡体８の反射面８ａにくるようにする。因み
に従来は、鏡体８の厚みの１／２の位置に回転軸９ａ，
９ｂの回転中心９ｃがくるように取り付けていた。この
ため、回転軸９ａ，９ｂの回転中心９ｃと反射面８ａと
の間に厚みｔの１／２のずれがあった。
【００１４】以上のようにすることで、図４に示すよう
に、入射光１０は回転軸９ａ，９ｂの回転中心上の反射
点１１で反射し、反射光１２が回転鏡７の回転に応じて
図示の矢印方向へ振られる。この結果、反射点のずれが
無くなり、ビーム走査の精度が向上し、また、ｆθレン
ズの設計を簡易にすることができる。
に、入射光１０は回転軸９ａ，９ｂの回転中心上の反射
点１１で反射し、反射光１２が回転鏡７の回転に応じて
図示の矢印方向へ振られる。この結果、反射点のずれが
無くなり、ビーム走査の精度が向上し、また、ｆθレン
ズの設計を簡易にすることができる。
【００１５】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、
芯ぶれを低減するため、ミラーの両サイドにモーメント
が釣り合うような重りを設けることもできる。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、
芯ぶれを低減するため、ミラーの両サイドにモーメント
が釣り合うような重りを設けることもできる。
【００１６】また、前記実施例では回転鏡２が１枚の平
面鏡の例を示したが、２面鏡（２枚の平面鏡の接合部に
回転軸が配設される構成のもの）であってもよい。
面鏡の例を示したが、２面鏡（２枚の平面鏡の接合部に
回転軸が配設される構成のもの）であってもよい。
【００１７】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
【００１８】すなわち、その回転に応じて入射ビーム光
を走査または偏向する光学走査用回転鏡であって、その
反射面に回転中心が一致するように回転軸を取り付ける
ようにしたので、反射点の位置ずれを低減し、ｆθレン
ズの設計を簡略にすることができる。
を走査または偏向する光学走査用回転鏡であって、その
反射面に回転中心が一致するように回転軸を取り付ける
ようにしたので、反射点の位置ずれを低減し、ｆθレン
ズの設計を簡略にすることができる。
【図１】本発明による光学走査用回転鏡の一実施例を示
す側面図である。
す側面図である。
【図２】図１の実施例の正面図である。
【図３】図１の実施例の平面図である。
【図４】図１の実施例の使用時の状態を示す側面図であ
る。
る。
【図５】オートコリメーション法による形状測定器の一
例を示す構成図である。
例を示す構成図である。
【図６】回転鏡の反射面と回転軸中心のずれを説明する
説明図である。
説明図である。
１ レーザービーム ２ 回転鏡 ２ａ 回転軸心 ３ ハーフミラー ４ コリメートレンズ ５ 被測定物 ６ 位置検出素子 ７ 回転鏡 ８ 鏡体 ８ａ 反射面 ９ａ，９ｂ 回転軸 ９ｃ 回転中心 １０ 入射光 １１ 反射点 １２ 反射光
Claims (3)
- 【請求項１】 その回転に応じて入射ビーム光を走査ま
たは偏向する光学走査用回転鏡であって、その反射面に
回転中心が一致するように回転軸を取り付けることを特
徴とする光学走査用回転鏡。 - 【請求項２】 前記回転鏡は、平面鏡であることを特徴
とする請求項１記載の光学走査用回転鏡。 - 【請求項３】 前記回転鏡の両側に、芯ぶれを低減させ
る重りを設けることを特徴とする請求項１記載の光学走
査用回転鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5399192A JPH06102463A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 光学走査用回転鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5399192A JPH06102463A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 光学走査用回転鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06102463A true JPH06102463A (ja) | 1994-04-15 |
Family
ID=12958089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5399192A Pending JPH06102463A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 光学走査用回転鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06102463A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014119200A1 (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-07 | ギガフォトン株式会社 | ミラー装置 |
-
1992
- 1992-03-13 JP JP5399192A patent/JPH06102463A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014119200A1 (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-07 | ギガフォトン株式会社 | ミラー装置 |
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