JPH0436629A - 走査光学系におけるビーム形状測定装置 - Google Patents
走査光学系におけるビーム形状測定装置Info
- Publication number
- JPH0436629A JPH0436629A JP14154290A JP14154290A JPH0436629A JP H0436629 A JPH0436629 A JP H0436629A JP 14154290 A JP14154290 A JP 14154290A JP 14154290 A JP14154290 A JP 14154290A JP H0436629 A JPH0436629 A JP H0436629A
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- JP
- Japan
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- lens
- dimensional sensor
- optical system
- mirror
- shape measuring
- Prior art date
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 20
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 8
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 5
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザプリンタ等の走査光学系におけるビー
ム形状測定装置に関し、レーザプリンタ等の走査光学系
のレンズ組立、検査調整に適用できるものである。
ム形状測定装置に関し、レーザプリンタ等の走査光学系
のレンズ組立、検査調整に適用できるものである。
このような走査光学系において、回動する投光側の光束
を測光素子を備えた受光側鏡胴の光軸に合致させ、ビー
ム形状を測定することは、例えば特開昭５５−６７７１
０号公報に記載されている。
を測光素子を備えた受光側鏡胴の光軸に合致させ、ビー
ム形状を測定することは、例えば特開昭５５−６７７１
０号公報に記載されている。
また、本発明者は、走査光学系におけるビーム形状測定
装置に関して、種々の開発を行っている。
装置に関して、種々の開発を行っている。
本発明は、回動する回転多面鏡の各走査位置の輝度測定
するため、ｆθレンズの背後に配置した対物レンズ、二
次元センサからなる検査部を移動することなく測定する
ことができる走査光学系におけるビーム形状測定装置を
提供することを目的とし、対物レンズ、二次元センサか
らなる検査部が移動しないため、回転多面鏡の回転と同
期して前記受光部の移動がなく、同期精度、移動による
位置づれ、移動による傾き等を考慮する必要がなく、ま
た、前記検査部を移動するに必要な測定時間を短縮する
ことができ、回転多面鏡の種々の回転速度による測定を
可能にし、移動に伴う測定誤差を解消でき、より精度良
く測定しうる手段を提供することを目的とするものであ
る。
するため、ｆθレンズの背後に配置した対物レンズ、二
次元センサからなる検査部を移動することなく測定する
ことができる走査光学系におけるビーム形状測定装置を
提供することを目的とし、対物レンズ、二次元センサか
らなる検査部が移動しないため、回転多面鏡の回転と同
期して前記受光部の移動がなく、同期精度、移動による
位置づれ、移動による傾き等を考慮する必要がなく、ま
た、前記検査部を移動するに必要な測定時間を短縮する
ことができ、回転多面鏡の種々の回転速度による測定を
可能にし、移動に伴う測定誤差を解消でき、より精度良
く測定しうる手段を提供することを目的とするものであ
る。
本発明は、前記目的を達成するために、回転多面鏡、ｆ
θレンズと、ｆθレンズから射出されるビーム輝度を測
定する対物レンズ、二次元センサからなる検査部とを備
える走査光学系のビーム形状測定装置において、前記ｆ
θレンズと前記検査部との間には、ｆθレンズから射出
される各ビームの光路上に測定される光路長を等しくす
るように、ミラー、ビームスプリッタを設置し、各ビー
ムの光像を移動を要しない対物レンズ、二次元センサか
らなる検査部の二次元センサ上に結像し、各走査位置で
の輝度をマイクロコンピュータにより算出することを特
徴とするものである。
θレンズと、ｆθレンズから射出されるビーム輝度を測
定する対物レンズ、二次元センサからなる検査部とを備
える走査光学系のビーム形状測定装置において、前記ｆ
θレンズと前記検査部との間には、ｆθレンズから射出
される各ビームの光路上に測定される光路長を等しくす
るように、ミラー、ビームスプリッタを設置し、各ビー
ムの光像を移動を要しない対物レンズ、二次元センサか
らなる検査部の二次元センサ上に結像し、各走査位置で
の輝度をマイクロコンピュータにより算出することを特
徴とするものである。
本発明の構成により、回転多面鏡、ｆθレンズからなる
走査光学系の各走査位置に対する輝度は、対物レンズ、
二次元センサからなる検査部を移動させることなく、短
時間で精度良く測定することができる。
走査光学系の各走査位置に対する輝度は、対物レンズ、
二次元センサからなる検査部を移動させることなく、短
時間で精度良く測定することができる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図において、測定用レーザ光源１により発生したビ
ームＢは、軸２ａを中心に回転する多面鏡２．ｆθレン
ズ３を経て、ビームａｌｙａ！ａ３のように走査される
。
ームＢは、軸２ａを中心に回転する多面鏡２．ｆθレン
ズ３を経て、ビームａｌｙａ！ａ３のように走査される
。
本発明において、ｆθレンズ３と固定して配置された対
物レンズ１０と二次元センサ１１とからなる検査部１５
との間には、ｆθレンズ３を通過したビームａ、が、第
一のミラー５により反射され、第一のビームスプリッタ
８．第二のビームスプリッタ９で夫々反射され、検査部
１５の対物レンズ１０により、二次元センサ１１上の点
Ｐに結像する。また、ｆθレンズ３を通過したビームａ
２は、第二のミラー４により反射され、第二のビームス
プリッタ９を通過して、同様に、検査部１５の対物レン
ズ１０により、二次元センサ１１上の点Ｐに結像し、さ
らに、ｆθレンズ３を通過したビームａ、は、第三のミ
ラー６、第四のミラー７で反射され、第一のビームスプ
リ、２夕８を透過し、第二のビームスプリッタ９で反射
され、検査部１５の対物レンズ１０により、二次元セン
サ１１上の点Ｐに結像する。
物レンズ１０と二次元センサ１１とからなる検査部１５
との間には、ｆθレンズ３を通過したビームａ、が、第
一のミラー５により反射され、第一のビームスプリッタ
８．第二のビームスプリッタ９で夫々反射され、検査部
１５の対物レンズ１０により、二次元センサ１１上の点
Ｐに結像する。また、ｆθレンズ３を通過したビームａ
２は、第二のミラー４により反射され、第二のビームス
プリッタ９を通過して、同様に、検査部１５の対物レン
ズ１０により、二次元センサ１１上の点Ｐに結像し、さ
らに、ｆθレンズ３を通過したビームａ、は、第三のミ
ラー６、第四のミラー７で反射され、第一のビームスプ
リ、２夕８を透過し、第二のビームスプリッタ９で反射
され、検査部１５の対物レンズ１０により、二次元セン
サ１１上の点Ｐに結像する。
ｆθレンズ３を経たビームａｘ 、ａｔ ｔａｘの
各光路長が等しくなるように、各ミラー４，５゜６．７
及び各ビームスプリッタ８，９が、いづれも固定して位
置するｆθレンズ３と検査部１５との間に設置されてい
る。
各光路長が等しくなるように、各ミラー４，５゜６．７
及び各ビームスプリッタ８，９が、いづれも固定して位
置するｆθレンズ３と検査部１５との間に設置されてい
る。
また、透過率と反射率の比を、ビームスプリッタ８では
、１対１、ビームスプリッタ９では、１対３とすること
により、ビームａｌ 、ａｚ 、ａ、。
、１対１、ビームスプリッタ９では、１対３とすること
により、ビームａｌ 、ａｚ 、ａ、。
の光量を等しくすることができる。
そして、回転多面鏡２が第１図の位置から時計方向Ａに
回動し、測定用レーザ光源１により発生したビームＢは
、回転多面鏡２からの反射ビームとしてｆθレンズ３を
経て、そのうちのビームａｖａ２ 、ａ２は夫々、設
置された各ミラー４゜５．６，７及び各ビームスプリッ
タ８，９によって、固定して配置された検査部１５にお
いて、対物レンズｌＯで二次元センサ１１上の点Ｐに結
像される。
回動し、測定用レーザ光源１により発生したビームＢは
、回転多面鏡２からの反射ビームとしてｆθレンズ３を
経て、そのうちのビームａｖａ２ 、ａ２は夫々、設
置された各ミラー４゜５．６，７及び各ビームスプリッ
タ８，９によって、固定して配置された検査部１５にお
いて、対物レンズｌＯで二次元センサ１１上の点Ｐに結
像される。
二次元センサ１１には、Ａ／Ｄ変換装置１２、マイクロ
コンピュータ１３が接続され、マイクロコンピュータ１
３には、デイスプレィ１４が連結されている。
コンピュータ１３が接続され、マイクロコンピュータ１
３には、デイスプレィ１４が連結されている。
したがって、二次元センサ１１上の点Ｐに結像された光
像の輝度分布形状は、Ａ／Ｄ変換装置１２、マイクロコ
ンピュータ１３により数値化されると共にデイスプレィ
１４で表示される。
像の輝度分布形状は、Ａ／Ｄ変換装置１２、マイクロコ
ンピュータ１３により数値化されると共にデイスプレィ
１４で表示される。
第２図には、光量の輝度分布曲線が示されており、輝度
が５０％のビーム径ｄ１とｅ −２％（約１３．５％）
のビーム径ｄ２とを計測することにより、ビームの形状
を算出し、表示する。
が５０％のビーム径ｄ１とｅ −２％（約１３．５％）
のビーム径ｄ２とを計測することにより、ビームの形状
を算出し、表示する。
このようにして、回転多面鏡の反射により走査される各
ビームの走査位置に対応して、各ビームの走査位置にお
ける輝度分布を正確に測定することができる。
ビームの走査位置に対応して、各ビームの走査位置にお
ける輝度分布を正確に測定することができる。
第２図（ａ） 、 （ｂ）はデイスプレィ上に表示され
る主走査方向（Ｘ方向）と副走査方向（Ｘ方向）のビー
ム径の寸法により示された輝度分布である。
る主走査方向（Ｘ方向）と副走査方向（Ｘ方向）のビー
ム径の寸法により示された輝度分布である。
■・・・レーザ光源、２・・・回転多面鏡、３・・・ｒ
θレンズ、４〜９・・・ミラー及びビームスプリッタ、
１０・・・対物レンズ、１１・・・二次元センサ、１５
・・・検査部。
θレンズ、４〜９・・・ミラー及びビームスプリッタ、
１０・・・対物レンズ、１１・・・二次元センサ、１５
・・・検査部。
本発明の構成により、複数の走査位置におけるビームを
移動することのない対物レンズと二次元センサからなる
検査部と、ｆθレンズと検査部との間に配置した光路長
を一定とするミラーとビームスプリッタにより、高速度
で且つ精度の良いビーム形状測定ができる利点を有する
。
移動することのない対物レンズと二次元センサからなる
検査部と、ｆθレンズと検査部との間に配置した光路長
を一定とするミラーとビームスプリッタにより、高速度
で且つ精度の良いビーム形状測定ができる利点を有する
。
Claims (1)
- 回転多面鏡、ｆθレンズと、ｆθレンズから射出される
ビーム輝度を測定する対物レンズ、二次元センサからな
る検査部とを備える走査光学系のビーム形状測定装置に
おいて、前記ｆθレンズと前記検査部との間には、ｆθ
レンズから射出される各ビームの光路上に測定される光
路長を等しくするように、ミラー、ビームスプリッタを
設置し、各ビームの光像を移動を要しない対物レンズ、
二次元センサからなる検査部の二次元センサ上に結像し
、各走査位置での輝度をマイクロコンピュータにより算
出することを特徴とする走査光学系におけるビーム形状
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14154290A JPH0436629A (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 | 走査光学系におけるビーム形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14154290A JPH0436629A (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 | 走査光学系におけるビーム形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0436629A true JPH0436629A (ja) | 1992-02-06 |
Family
ID=15294394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14154290A Pending JPH0436629A (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 | 走査光学系におけるビーム形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0436629A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003014583A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-15 | Ricoh Co Ltd | ビームプロファイル検証方法 |
| CN104280210A (zh) * | 2013-07-09 | 2015-01-14 | 上海和辉光电有限公司 | 激光源的质量检测装置及其质量检测方法 |
-
1990
- 1990-06-01 JP JP14154290A patent/JPH0436629A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003014583A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-15 | Ricoh Co Ltd | ビームプロファイル検証方法 |
| CN104280210A (zh) * | 2013-07-09 | 2015-01-14 | 上海和辉光电有限公司 | 激光源的质量检测装置及其质量检测方法 |
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