JPH0596918U - ディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置 - Google Patents
ディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置Info
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- JPH0596918U JPH0596918U JP4053692U JP4053692U JPH0596918U JP H0596918 U JPH0596918 U JP H0596918U JP 4053692 U JP4053692 U JP 4053692U JP 4053692 U JP4053692 U JP 4053692U JP H0596918 U JPH0596918 U JP H0596918U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ディスクに保護膜を膜付けした際、内周側
のディスク・クランプエリア部のシボ面に保護膜用コー
ト液が付着しているか否かを検査する。 【構成】 光ディスク1のディスク基板2において、表
面がシボ面2d1に成形されたディスク・クランプエリ
ア部2dは、これと対向する平坦面2f側を鏡面加工を
施した載置面51aを有する載置台51に載置されてい
る。ライトガイド55からの照射光がシボ面2d1に到
達すると、コート液Cが付着してないシボ部分と、コー
ト液Cが付着しているいシボ部分とでは、カメラ52に
入射する戻り光に光量差がある。カメラ52の出力信号
を画像判定処理機53に送出し、画像判定処理機53内
でコート液Cの付着有無による光量差を検出してシボ面
2d1にコート液Cが付着しているか否かを自動的に検
査している。
のディスク・クランプエリア部のシボ面に保護膜用コー
ト液が付着しているか否かを検査する。 【構成】 光ディスク1のディスク基板2において、表
面がシボ面2d1に成形されたディスク・クランプエリ
ア部2dは、これと対向する平坦面2f側を鏡面加工を
施した載置面51aを有する載置台51に載置されてい
る。ライトガイド55からの照射光がシボ面2d1に到
達すると、コート液Cが付着してないシボ部分と、コー
ト液Cが付着しているいシボ部分とでは、カメラ52に
入射する戻り光に光量差がある。カメラ52の出力信号
を画像判定処理機53に送出し、画像判定処理機53内
でコート液Cの付着有無による光量差を検出してシボ面
2d1にコート液Cが付着しているか否かを自動的に検
査している。
Description
【0001】
本考案は、光ディスクに保護膜を膜付けした際、内周側のディスク・クランプ エリア部のシボ面に保護膜用コート液が付着しているか否かを検査するディスク ・クランプエリア部コート液付着検査装置に関するものである。
【0002】
近年、コンパクトディスク(CD),CD−ROM(Read 0nly M emory),ビデオディスク(VD)などの円盤状の光ディスクは、音声情報 ,画像情報,文字情報などの情報信号を複数のピット列に変換して多量に収録し ている。上記光ディスクを一部断面して図示すると、図3に示した如くである。
【0003】 即ち、図3に示した光ディスク1は、ほぼ透明な樹脂Jを用い、且つ、複数の ピット列が螺旋状又は同心円状に刻まれたスタンパ(図示せず)を用いて、一つ の面側に複数のピット列を転写した信号面2aを形成し、信号面2aと対向する 面側に平坦面2bを形成し、信号面2aより内周部で信号面2a側にリング状溝 部2c及び表面にシボ面2d1を有するディスク・クランプエリア部2dを形成 し、リング状溝部2c及びシボ面2d1と対向する凸面2e及び平坦面2fを形 成し、更にディスク・クランプエリア部2dの中央部に中心孔2gを貫通したデ ィスク基板2と、 信号面2a上に信号面2aの形状を維持してアルミニユウムなどの反射膜3を極 薄く膜付けした反射膜面3aと、反射膜面3a上に保護膜4を膜付けした保護膜 面4aと、必要に応じて印刷されるレーベル5を保護膜面4a上に印刷したレー ベル面5aとで一体に円盤状に形成されていることは周知である。
【0004】 ここで、図3乃至図7を併用して上記光ディスク1の製造について説明する。 図4は光ディスク製造システムを説明するための斜視図、図5はディスク基板の 成形を説明するための縦断面図、図6はディスク基板の反射膜膜付けを説明する ための縦断面図、図7はディスク基板の保護膜膜付けを説明するための縦断面図 である。
【0005】 上記光ディスク1は、一般的に図4に示した光ディスク製造システム10によ り製造されている。
【0006】 まず最初に、ディスク用成形機11を用いて円盤状のディスク基板2を成形す る。このディスク用成形機11は、図5に示した如く、内部にディスク成形金型 12が装着されている。
【0007】 即ち、上記ディスク成形用金型12において、図中左方の固定コア取り付け台 13の中央部には、ポリカーボネート又はアクリルなどのほぼ透明な樹脂Jを流 し込むための流入口14aを備えたスプールブッシュ14が嵌合している。 また、固定コア取り付け台13に取り付けられた固定コア15には円盤状のスタ ンパ16が固定されており、スタンパ16の中央部を鍔部付きリテーナ17のリ ング状鍔部17aを介して支持され、円盤状の最外周部を鍔部付きフランジ18 のリング状鍔部18を介して支持されている。また、スタンパ16のピット面1 6aには音声情報,画像情報,文字情報などの情報信号が複数の凹凸状のピット 列に変換されて刻まれており、且つ、これらの複数の凹凸状のピット列が内周部 から外周部に亘って螺旋状又は同心円状に多数本刻まれている。 また、上記鍔部付きリテーナ17は、中心部にスプールブッシュ14を嵌合させ ている。
【0008】 一方、図中右方の可動コア取り付け台19の中央部には、スプールブッシュ1 4と対向して、センター孔明け用ポンチ20が矢印A1,A2方向に進退自在に 嵌合している。また、可動コア取り付け台19に取り付けられた可動コア21に は、中央部にセンター孔明け用ポンチ20を貫通した内周リテーナ22が嵌合し 、外周部に外周リテーナ23が嵌合している。 また、可動コア21の平坦面21aと内周リテーナ22の平坦面22aとはほぼ 同一の平坦面に研磨加工されており、外周リテーナ23の左面は可動コア21の 平坦面21aより突出して鍔部付きフランジ18に当接している。尚、内周リテ ーナ22及び外周リテーナ23は、可動コア21の平坦面21aを研磨し易いよ うに分離可能に設けられているものである。
【0009】 従って、スタンパ16と、可動コア21の平坦面21aとの間の空間部がディ スク基板2のキャビティ24となっている。そして、スプールブッシュ14の流 入口14aからキャビティ24に溶融したほぼ透明な樹脂Jを流し込んで、円盤 状のディスク基板2を成形している。
【0010】 この時、スタンパ16の複数のピット列が刻まれたピット面16aがディスク 基板2の信号面2aとして凹凸状に転写され、この信号面2aと同一面側で信号 面2aの最内周内側に鍔部付きリテーナ17のリング状鍔部17aがディスク基 板2のリング状溝部2cとして転写され、更にこのリング状溝部2cの内側で信 号面2a側にスプールブッシュ14のシボ面14b及びリテーナ17のシボ面1 7bがディスク・クランプエリア部2dのシボ面2d1として転写されている。 これらのシボ面14b,17bは、表面が微細な凹凸状のシボ加工が施されてお り、金型製作上研磨工数を削減でき、更に、転写されたディスク・クランプエリ ア部2dの表面も当然シボ面2d1として転写されている。 一方、可動コア21の平坦面21aがディスク基板2の平坦面2bとして転写さ れている。
【0011】 更に、転写後、ディスク成形用金型10内のセンター孔明け用ポンチ20を矢 印A1方向に移動して、ディスク基板2の中心部(ディスク・クランプエリア部 2dの中心部)を貫通して中心孔2gを穿設し、ディスク基板2が成形される。
【0012】 図4に戻り、成形したディスク基板2はスパッタマシン31内に送られ、ディ スク基板2の信号面2a上に信号面2aの形状を維持してアルミニユウムなどの 反射膜3を極薄く膜付けした反射膜面3aが形成される。 即ち、図6に示した如く、スパッタマシン31の高真空室31aでは、上方に回 転マグネトロン32が回転自在に設置され、この回転マグネトロン32の下方に 反射膜3の素材となるアルミニユウムなどの円板状ターゲット部材33が設置さ れ、下方のディスク基板2が上方に持ち上げられ、ディスク基板2の内周部及び 外周部を覆うマスキング板34を介して円板状ターゲット部材33の下方に支持 される。そして、回転マグネトロン32を動作させると、円板状ターゲット部材 33のアルミニユウムがマスキング板34の開口部34aを通り抜け、ディスク 基板2の信号面2a上に円板状ターゲット部材33が反射膜3として例えばほぼ 550オングストローム程度に極薄く膜付けされ、反射膜面3aを形成できる。 この反射膜面3aは信号面2a上だけに膜付けされ、マスキング板34により内 周側のリング状溝部2c及びディスク・クランプエリア部2dには膜付けされな い。 また、信号面2a上に反射膜3を膜付けして形成した反射膜面3aは、極薄く膜 付けされているため、顕微鏡を介して観察すると信号面2aと同一の凹凸状のピ ット列になっているが、平坦面2b側及び反射膜面3a側から全体的に見ると鏡 面状態に見える。
【0013】 図4に戻り、反射膜面3aを形成したディスク基板2は、スピンコータ41に 送られ、反射膜面3a上に紫外線硬化樹脂などのほぼ透明な保護膜用コート液C (以下、コート液Cと記す)を保護膜4として膜付けし、5〜6μm程度の保護 膜面4aが形成される。 即ち、図7に示した如く、反射膜面3aを形成したディスク基板2をスピンコー タ41に装着し、その後、反射膜面3a上の内周部近傍(リング状溝部2cの外 周部近傍)に設置した塗布ノズル42からほぼ透明なコート液Cを所定量滴下し ながらスピンコータ41を所定時間低速回転し、更にスピンコータ41を加速し て高速回転し、コート液Cを外周方向に飛散させて保護膜面4aを形成している 。この保護膜面4aは反射膜面3a上だけに膜付けされ、内周側のリング状溝部 2c及びディスク・クランプエリア部2dは通常では膜付けされないで露出して いる。
【0014】 再び図4に戻り、保護膜面4aを紫外線によって硬化した後、ディスク基板2 は必要に応じてレーベル印刷機61に送られ、ここで保護膜面4a上にレーベル 5を印刷したレーベル面5aが形成されている。 また、レーベル5を印刷した後、反射膜3を膜付けした反射膜面3a及び下地と なる信号面2aを鏡面検査機71により検査して良品,不良品を選別し、良品の 光ディスク1のみを出荷している。
【0015】 そして、使用者が光ディスク1を図示しないディスクプレーヤに装着し、平坦 面2b側から光ピックアップにより信号面2a(反射膜面3a)を再生すると、 音声情報,画像情報,文字情報などの情報信号を所望の位置から迅速に再生でき るので使用者に大変喜ばれている。
【0016】
ところで、光ディスク製造システム10により光ディスク1を製造する際、保 護膜面4aを形成するために使用したほぼ透明なコート液Cが、ディスク・クラ ンプエリア部2dのシボ面2d1に付着することがあり、これにより光ディスク 1が外観不良となることがしばしば起きている。
【0017】 この原因は、前述した図7に示した如く、反射膜面3a上の内周部近傍(リン グ状溝部2cの外周部近傍)に設置した塗布ノズル42からほぼ透明なコート液 Cを所定量滴下しながらスピンコータ41を所定時間低速回転し、更にスピンコ ータ41を加速して高速回転し、コート液Cを外周方向に飛散させて保護膜面4 aを形成しているものの、塗布ノズル42からコート液Cを滴下した時にコート 液Cの一部が内周側のディスク・クランプエリア部2dのシボ面2d1に垂れて 付着したり、時には、コート液Cの一部が内周方向に飛散し、シボ面2d1に付 着することがある。
【0018】 更に、ディスク基板2の成形時間に対応させて、保護膜面4aを1枚づつ順次 形成する方法もあり、この場合には保護膜面4aを形成する時間がディスク基板 2の成形時間より長くかかるため、保護膜面4aの膜付け工程を2工程に分けて 2台のスピンコータ41を用意し、このうちの1台ではディスク基板2にコート 液Cを所定量滴下しながらスピンコータ41を所定時間低速回転し、この後、残 りの1台にディスク基板2を移しかえ、スピンコータ41を高速回転し、コート 液Cを外周方向に飛散させて保護膜面4aを形成しているが、ディスク基板2を 移しかえる時にコート液Cの一部が内周側のディスク・クランプエリア部2dの シボ面2d1に垂れて付着することもある。
【0019】 このように、コート液Cがディスク・クランプエリア部2dのシボ面2d1に 付着した時には、光ディスク1の性能上には何等の支障もないものの、露出した シボ面2d1に付着したコート液Cが目立ち易く、外観上不良となるものである 。従って、従来、作業員がディスク・クランプエリア部2dのシボ面2d1にコ ート液Cが付着しているか否かを1枚づつ目視により検査しているため、製造工 数がかかるとと共に、目視検査のため検査もれなどが起こり易く、コート液Cが ディスク・クランプエリア部2dのシボ面2d1に付着したまま、不良品の光デ ィスク1が出荷されるなどの問題が生じている。
【0020】
本考案は上記課題に鑑みてなされたものであり、一つの面に情報信号を複数の ピット列に変換して収録した信号面と、該信号面より内周部で該信号面側に表面 をシボ面に形成したディスク・クランプエリア部と、該信号面と対向する側に平 坦に形成した平坦面と、該ディスク・クランプエリア部の中央部を貫通した中央 孔とを有し、ほぼ透明な樹脂を用いてディスク基板を円盤状に成形した後、該信 号面上に該信号面の形状を維持して反射膜を膜付けした反射膜面を形成し、更に 、該反射膜面上にほぼ透明な保護膜用コート液を膜付けした保護膜面を形成して 光ディスクを製造するに当り、該反射膜面を形成した際、該保護膜用コート液が 該ディスク・クランプエリア部の該シボ面に付着したか否かを検査するディスク ・クランプエリア部コート液付着検査装置であって、 該ディスク・クランプエリア部の該シボ面と対向する平坦面を、鏡面加工を施し た載置面に載置する載置台と、 該シボ面側に設置され、該シボ面を照射する光源と、 該シボ面側に設置され、該光源から照射した照射光が該シボ面から反射された第 1戻り光と、該照射光が該シボ面に付着した保護膜用コート液部分から反射され た反射光及びディスク基板内を透過して載置面から反射された反射光を加算した 第2戻り光とを入射するカメラと、 該カメラの出力信号と接続され、該第1戻り光と該第2戻り光との光量差を検出 する画像判定処理機とを具備したことを特徴とするディスク・クランプエリア部 コート液付着検査装置を提供するものである。
【0021】
以下に、本考案に係わるディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置の 一実施例を図1,図2及び先に説明した図3,図4を参照して詳細に説明する。
【0022】 図1は本考案に係わるディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置を示 した斜視図、図2はディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置の検査原 理を説明するための図であり、(A)はディスク・クランプエリア部のシボ面に コート液が付着していない場合を示し、(B)はディスク・クランプエリア部の シボ面にコート液が付着している場合を示した図である。
【0023】 尚、説明の便宜上、先に示した構成部材と同一構成部材に対しては同一の符号 を付して説明すると共に、新たな構成部材に対して新たな符号を付して説明する 。 本考案に係わるディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置では、先 に説明したスピンコータ41を用いてディスク基板2の反射膜面3a上に保護膜 面4aを膜付けした際、とくに、内周側のディスク・クランプエリア部2dのシ ボ面2d1に保護膜4となるほぼ透明なコート液(保護膜用コート液)Cが付着 しているか否かを自動的に検出することを特徴とするものであり、前述した図4 に示した光ディスク製造システム10内ではスピンコータ41の後工程に二点鎖 線に図示した如く設置すれば良い。 尚、ここでは本考案の要部となるディスク・クランプエリア部コート液付着検査 装置についてのみ説明する。
【0024】 図1に示したディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置50において 、反射膜面3a上に保護膜面4aを膜付けしたディスク基板2は、図示しないデ ィスク基板搬送手段を介して載置台51の載置面(上面)51a上に装着される 。このディスク基板2は、前述したように透明な樹脂Jを用いて成形されており 、且つ、保護膜面4a側で露出したディスク・クランプエリア部2dは表面が微 細な凹凸状のシボ面2d1に成形されている。
【0025】 上記載置台51の載置面51aは、ディスク基板2のディスク・クランプエリ ア部2dの外径寸法より一回り大きく形成されており、中央部にディスク基板2 の中心孔2gと嵌合するボス部51bが突出形成されている。 また、載置台51の載置面51aは、光を反射できるように鏡面加工が施されて おり、載置面51aに施した鏡面加工は、後述する検査原理で説明するようにデ ィスク・クランプエリア部2dのシボ面2d1に付着したコート液Cを検出する ために重要な機能を果たすものである。 この載置面51a上には、リング状溝部2c及びシボ面2d1と対向する凸面2 e及び平坦面2fが載置されている。従って、シボ面2d1は、下記するカメラ 52と対向する側に載置されている。
【0026】 また、ディスク・クランプエリア部2dのシボ面2d1の上方でディスク基板 2とは間隔を離し、且つ、中心孔2gとほぼ中心を合わせて、CCDセンサを内 臓したカメラ52が固定設置されている。このカメラ52は、ディスク・クラン プエリア部2dのシボ面2d1を撮映しており、且つ、撮影した出力信号が画像 判定処理機53に接続されていると共に、TVモニタ54でもシボ面2d1の状 態を監視できるようになっている。
【0027】 上記カメラ52の鏡筒部52aの周囲には、光源となるリング状のライトガイ ド(光源)55が取り付けられている。このライトガイド55はハロゲン光源5 6と接続されており、ライトガイド55からの照射光は光量のある明るい光がデ ィスク・クランプエリア部2dのシボ面2d1を照射できるようになっている。 尚、光源としてここではハロゲン光源を用いているが、とくに限定されるもので はなく、周知の光源を用いても良い。
【0028】 次に、上記のように構成したディスク・クランプエリア部コート液付着検査装 置50の検査原理について図1,図2(A),(B)を併用して説明する。
【0029】 まず、図2(A)に示した如く、保護膜面4aを形成した時に、コート液Cが ディスク・クランプエリア部2dのシボ面2d1に付着しなかった場合では、ラ イトガイド55から照射した照射光が、シボ面2d1に到達し、シボ面2d1の 一点のシボ部分を注目すると、この照射光がシボ部分によって乱反射するので、 乱反射した光の一部が第1戻り光としてカメラ52に入射され、TVモニタ54 上には目視したと同様にシボ状の輪として映像される。
【0030】 一方、図2(B)に示した如く、保護膜面4aを形成した時に、コート液Cが ディスク・クランプエリア部2dのシボ面2d1に付着した場合では、あたかも “くもりガラスに水を垂らした時の現象”と同様に、コート液Cが付着したコー ト液付着シボ部分は光沢があり、且つ、透明な表面状態となる。このコート液付 着シボ部分に、ライトガイド55から照射した照射光が到達すると、透明な表面 状態のため、一部の照射光はコート液付着シボ部分で反射した直接反射光となっ て戻る。一方、残りの照射光は透明なディスク基板2を透過し、鏡面加工を施し た載置面51aに反射されて、もとの光路を戻って、載置面51aからの反射光 となってコート液付着シボ部分の外に出る。そして、コート液付着シボ部分外で は、直接反射光と載置面51aからの反射光とが加算され、加算された第2戻り 光としてカメラ52に入射される。 ここで、直接反射光と載置面51aからの反射光とが加算された第2戻り光は、 図2(A)に示した第1戻り光の場合よりも光量が多く、TVモニタ54上では コート液Cが付着していないシボ部分よりも明るく映像される。
【0031】 また、カメラ52からの出力信号は、画像判定処理機53に送出され、この画 像判定処理機53内では、コート液Cが付着してないシボ部分の第1戻り光の光 量と、コート液Cが付着したシボ部分の第2戻り光の光量との光量差を二値化す ることにより、コート液Cが付着しているか否かの判定をし、且つ、コート液C が付着した部分の個数を計数している。 更に、画像判定処理機53内では、コート液Cが付着した部分の面積を算出して いる。
【0032】 そして、コート液Cの付着有無,コート液Cの付着個数,コート液Cの付着面 積などの情報を予め設定した所定の数値に対して限度以内か否かを自動的に判定 し、これによりディスク・クランプエリア部2dのシボ面2d1の良否を自動的 に検査し、良品として選別されたディスク基板2を次工程となる例えばレーベル 印刷機61に搬送している。
【0033】 以上詳述したディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置50によると 、ディスク基板2に保護膜面4aを形成した時に、ディスク・クランプエリア部 2dのシボ面2d1にコート液(保護膜用コート液)Cが付着しているか否かを 自動的に検査できるので、コート液Cが付着した不良品のディスク基板2が次工 程となる例えばレーベル印刷機61に搬送されることがなくなり、光ディスク製 造工程中のロスが削減できる。 更に、ディスク・クランプエリア部2dのシボ面2d1にコート液Cが付着して いない、外観上品位のある光ディスク1を使用者に提供できる利点がある。
【0034】
以上詳述した本考案に係わるディスク・クランプエリア部コート液付着検査装 置によると、ディスク基板に保護膜面を形成した時に、ディスク・クランプエリ ア部のシボ面に保護膜用コート液が付着しているか否かを自動的に検査できるの で、コート液が付着した不良品のディスク基板が次工程となる例えばレーベル印 刷機に搬送されることがなくなり、光ディスク製造工程中のロスが削減できる。 更に、ディスク・クランプエリア部のシボ面に保護膜用コート液が付着していな い、外観上品位のある光ディスクを使用者に提供できる利点がある。
【図1】本考案に係わるディスク・クランプエリア部コ
ート液付着検査装置を示した斜視図である。
ート液付着検査装置を示した斜視図である。
【図2】ディスク・クランプエリア部コート液付着検査
装置の検査原理を説明するための図であり、(A)はデ
ィスク・クランプエリア部のシボ面にコート液が付着し
ていない場合を示し、(B)はディスク・クランプエリ
ア部のシボ面にコート液が付着している場合を示した図
である。
装置の検査原理を説明するための図であり、(A)はデ
ィスク・クランプエリア部のシボ面にコート液が付着し
ていない場合を示し、(B)はディスク・クランプエリ
ア部のシボ面にコート液が付着している場合を示した図
である。
【図3】光ディスクを説明するための一部断面構成図で
ある。
ある。
【図4】光ディスク製造システムを説明するための斜視
図である。
図である。
【図5】ディスク基板の成形を説明するための縦断面図
である。
である。
【図6】ディスク基板の反射膜膜付けを説明するための
縦断面図である。
縦断面図である。
【図7】ディスク基板の保護膜膜付けを説明するための
縦断面図である。
縦断面図である。
1…光ディスク、2…ディスク基板、2a…信号面、2
b…平坦面、2d…ディスク・クランプエリア部、2d
1…シボ面、2f…平坦面、2g…中央孔、3…反射
膜、3a…反射膜面、4a…保護膜面、10…光ディス
ク製造システム、41…スピンコータ、50…ディスク
・クランプエリア部コート液付着検査装置、51…載置
台、51a…載置面、52…カメラ、53…画像判定処
理機、54…TVモニタ、55…光源(ライトガイ
ド)、C…ほぼ透明な保護膜用コート液(コート液)、
J…ほぼ透明な樹脂。
b…平坦面、2d…ディスク・クランプエリア部、2d
1…シボ面、2f…平坦面、2g…中央孔、3…反射
膜、3a…反射膜面、4a…保護膜面、10…光ディス
ク製造システム、41…スピンコータ、50…ディスク
・クランプエリア部コート液付着検査装置、51…載置
台、51a…載置面、52…カメラ、53…画像判定処
理機、54…TVモニタ、55…光源(ライトガイ
ド)、C…ほぼ透明な保護膜用コート液(コート液)、
J…ほぼ透明な樹脂。
Claims (1)
- 【請求項1】一つの面に情報信号を複数のピット列に変
換して収録した信号面と、該信号面より内周部で該信号
面側に表面をシボ面に形成したディスク・クランプエリ
ア部と、該信号面と対向する側に平坦に形成した平坦面
と、該ディスク・クランプエリア部の中央部を貫通した
中央孔とを有し、ほぼ透明な樹脂を用いてディスク基板
を円盤状に成形した後、該信号面上に該信号面の形状を
維持して反射膜を膜付けした反射膜面を形成し、更に、
該反射膜面上にほぼ透明な保護膜用コート液を膜付けし
た保護膜面を形成して光ディスクを製造するに当り、該
反射膜面を形成した際、該保護膜用コート液が該ディス
ク・クランプエリア部の該シボ面に付着したか否かを検
査するディスク・クランプエリア部コート液付着検査装
置であって、 該ディスク・クランプエリア部の該シボ
面と対向する平坦面を、鏡面加工を施した載置面に載置
する載置台と、 該シボ面側に設置され、該シボ面を照射する光源と、 該シボ面側に設置され、該光源から照射した照射光が該
シボ面から反射された第1戻り光と、該照射光が該シボ
面に付着した保護膜用コート液部分から反射された反射
光及びディスク基板内を透過して載置面から反射された
反射光を加算した第2戻り光とを入射するカメラと、 該カメラの出力信号と接続され、該第1戻り光と該第2
戻り光との光量差を検出する画像判定処理機とを具備し
たことを特徴とするディスク・クランプエリア部コート
液付着検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4053692U JPH0596918U (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | ディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4053692U JPH0596918U (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | ディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0596918U true JPH0596918U (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=12583181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4053692U Pending JPH0596918U (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | ディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0596918U (ja) |
-
1992
- 1992-05-22 JP JP4053692U patent/JPH0596918U/ja active Pending
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