JPH0596918U - ディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ディスクに保護膜を膜付けした際、内周側
のディスク・クランプエリア部のシボ面に保護膜用コー
ト液が付着しているか否かを検査する。 【構成】 光ディスク１のディスク基板２において、表
面がシボ面２ｄ_１に成形されたディスク・クランプエリ
ア部２ｄは、これと対向する平坦面２ｆ側を鏡面加工を
施した載置面５１ａを有する載置台５１に載置されてい
る。ライトガイド５５からの照射光がシボ面２ｄ_１に到
達すると、コート液Ｃが付着してないシボ部分と、コー
ト液Ｃが付着しているいシボ部分とでは、カメラ５２に
入射する戻り光に光量差がある。カメラ５２の出力信号
を画像判定処理機５３に送出し、画像判定処理機５３内
でコート液Ｃの付着有無による光量差を検出してシボ面
２ｄ_１にコート液Ｃが付着しているか否かを自動的に検
査している。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、光ディスクに保護膜を膜付けした際、内周側のディスク・クランプ エリア部のシボ面に保護膜用コート液が付着しているか否かを検査するディスク ・クランプエリア部コート液付着検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

近年、コンパクトディスク（ＣＤ），ＣＤ−ＲＯＭ（Ｒｅａｄ ０ｎｌｙ Ｍ ｅｍｏｒｙ），ビデオディスク（ＶＤ）などの円盤状の光ディスクは、音声情報 ，画像情報，文字情報などの情報信号を複数のピット列に変換して多量に収録し ている。上記光ディスクを一部断面して図示すると、図３に示した如くである。

【０００３】 即ち、図３に示した光ディスク１は、ほぼ透明な樹脂Ｊを用い、且つ、複数の ピット列が螺旋状又は同心円状に刻まれたスタンパ（図示せず）を用いて、一つ の面側に複数のピット列を転写した信号面２ａを形成し、信号面２ａと対向する 面側に平坦面２ｂを形成し、信号面２ａより内周部で信号面２ａ側にリング状溝 部２ｃ及び表面にシボ面２ｄ_１を有するディスク・クランプエリア部２ｄを形成 し、リング状溝部２ｃ及びシボ面２ｄ_１と対向する凸面２ｅ及び平坦面２ｆを形 成し、更にディスク・クランプエリア部２ｄの中央部に中心孔２ｇを貫通したデ ィスク基板２と、 信号面２ａ上に信号面２ａの形状を維持してアルミニユウムなどの反射膜３を極 薄く膜付けした反射膜面３ａと、反射膜面３ａ上に保護膜４を膜付けした保護膜 面４ａと、必要に応じて印刷されるレーベル５を保護膜面４ａ上に印刷したレー ベル面５ａとで一体に円盤状に形成されていることは周知である。

【０００４】 ここで、図３乃至図７を併用して上記光ディスク１の製造について説明する。 図４は光ディスク製造システムを説明するための斜視図、図５はディスク基板の 成形を説明するための縦断面図、図６はディスク基板の反射膜膜付けを説明する ための縦断面図、図７はディスク基板の保護膜膜付けを説明するための縦断面図 である。

【０００５】 上記光ディスク１は、一般的に図４に示した光ディスク製造システム１０によ り製造されている。

【０００６】 まず最初に、ディスク用成形機１１を用いて円盤状のディスク基板２を成形す る。このディスク用成形機１１は、図５に示した如く、内部にディスク成形金型 １２が装着されている。

【０００７】 即ち、上記ディスク成形用金型１２において、図中左方の固定コア取り付け台 １３の中央部には、ポリカーボネート又はアクリルなどのほぼ透明な樹脂Ｊを流 し込むための流入口１４ａを備えたスプールブッシュ１４が嵌合している。 また、固定コア取り付け台１３に取り付けられた固定コア１５には円盤状のスタ ンパ１６が固定されており、スタンパ１６の中央部を鍔部付きリテーナ１７のリ ング状鍔部１７ａを介して支持され、円盤状の最外周部を鍔部付きフランジ１８ のリング状鍔部１８を介して支持されている。また、スタンパ１６のピット面１ ６ａには音声情報，画像情報，文字情報などの情報信号が複数の凹凸状のピット 列に変換されて刻まれており、且つ、これらの複数の凹凸状のピット列が内周部 から外周部に亘って螺旋状又は同心円状に多数本刻まれている。 また、上記鍔部付きリテーナ１７は、中心部にスプールブッシュ１４を嵌合させ ている。

【０００８】 一方、図中右方の可動コア取り付け台１９の中央部には、スプールブッシュ１ ４と対向して、センター孔明け用ポンチ２０が矢印Ａ_１，Ａ_２方向に進退自在に 嵌合している。また、可動コア取り付け台１９に取り付けられた可動コア２１に は、中央部にセンター孔明け用ポンチ２０を貫通した内周リテーナ２２が嵌合し 、外周部に外周リテーナ２３が嵌合している。 また、可動コア２１の平坦面２１ａと内周リテーナ２２の平坦面２２ａとはほぼ 同一の平坦面に研磨加工されており、外周リテーナ２３の左面は可動コア２１の 平坦面２１ａより突出して鍔部付きフランジ１８に当接している。尚、内周リテ ーナ２２及び外周リテーナ２３は、可動コア２１の平坦面２１ａを研磨し易いよ うに分離可能に設けられているものである。

【０００９】 従って、スタンパ１６と、可動コア２１の平坦面２１ａとの間の空間部がディ スク基板２のキャビティ２４となっている。そして、スプールブッシュ１４の流 入口１４ａからキャビティ２４に溶融したほぼ透明な樹脂Ｊを流し込んで、円盤 状のディスク基板２を成形している。

【００１０】 この時、スタンパ１６の複数のピット列が刻まれたピット面１６ａがディスク 基板２の信号面２ａとして凹凸状に転写され、この信号面２ａと同一面側で信号 面２ａの最内周内側に鍔部付きリテーナ１７のリング状鍔部１７ａがディスク基 板２のリング状溝部２ｃとして転写され、更にこのリング状溝部２ｃの内側で信 号面２ａ側にスプールブッシュ１４のシボ面１４ｂ及びリテーナ１７のシボ面１ ７ｂがディスク・クランプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１として転写されている。 これらのシボ面１４ｂ，１７ｂは、表面が微細な凹凸状のシボ加工が施されてお り、金型製作上研磨工数を削減でき、更に、転写されたディスク・クランプエリ ア部２ｄの表面も当然シボ面２ｄ_１として転写されている。 一方、可動コア２１の平坦面２１ａがディスク基板２の平坦面２ｂとして転写さ れている。

【００１１】 更に、転写後、ディスク成形用金型１０内のセンター孔明け用ポンチ２０を矢 印Ａ_１方向に移動して、ディスク基板２の中心部（ディスク・クランプエリア部 ２ｄの中心部）を貫通して中心孔２ｇを穿設し、ディスク基板２が成形される。

【００１２】 図４に戻り、成形したディスク基板２はスパッタマシン３１内に送られ、ディ スク基板２の信号面２ａ上に信号面２ａの形状を維持してアルミニユウムなどの 反射膜３を極薄く膜付けした反射膜面３ａが形成される。 即ち、図６に示した如く、スパッタマシン３１の高真空室３１ａでは、上方に回 転マグネトロン３２が回転自在に設置され、この回転マグネトロン３２の下方に 反射膜３の素材となるアルミニユウムなどの円板状ターゲット部材３３が設置さ れ、下方のディスク基板２が上方に持ち上げられ、ディスク基板２の内周部及び 外周部を覆うマスキング板３４を介して円板状ターゲット部材３３の下方に支持 される。そして、回転マグネトロン３２を動作させると、円板状ターゲット部材 ３３のアルミニユウムがマスキング板３４の開口部３４ａを通り抜け、ディスク 基板２の信号面２ａ上に円板状ターゲット部材３３が反射膜３として例えばほぼ ５５０オングストローム程度に極薄く膜付けされ、反射膜面３ａを形成できる。 この反射膜面３ａは信号面２ａ上だけに膜付けされ、マスキング板３４により内 周側のリング状溝部２ｃ及びディスク・クランプエリア部２ｄには膜付けされな い。 また、信号面２ａ上に反射膜３を膜付けして形成した反射膜面３ａは、極薄く膜 付けされているため、顕微鏡を介して観察すると信号面２ａと同一の凹凸状のピ ット列になっているが、平坦面２ｂ側及び反射膜面３ａ側から全体的に見ると鏡 面状態に見える。

【００１３】 図４に戻り、反射膜面３ａを形成したディスク基板２は、スピンコータ４１に 送られ、反射膜面３ａ上に紫外線硬化樹脂などのほぼ透明な保護膜用コート液Ｃ （以下、コート液Ｃと記す）を保護膜４として膜付けし、５〜６μｍ程度の保護 膜面４ａが形成される。 即ち、図７に示した如く、反射膜面３ａを形成したディスク基板２をスピンコー タ４１に装着し、その後、反射膜面３ａ上の内周部近傍（リング状溝部２ｃの外 周部近傍）に設置した塗布ノズル４２からほぼ透明なコート液Ｃを所定量滴下し ながらスピンコータ４１を所定時間低速回転し、更にスピンコータ４１を加速し て高速回転し、コート液Ｃを外周方向に飛散させて保護膜面４ａを形成している 。この保護膜面４ａは反射膜面３ａ上だけに膜付けされ、内周側のリング状溝部 ２ｃ及びディスク・クランプエリア部２ｄは通常では膜付けされないで露出して いる。

【００１４】 再び図４に戻り、保護膜面４ａを紫外線によって硬化した後、ディスク基板２ は必要に応じてレーベル印刷機６１に送られ、ここで保護膜面４ａ上にレーベル ５を印刷したレーベル面５ａが形成されている。 また、レーベル５を印刷した後、反射膜３を膜付けした反射膜面３ａ及び下地と なる信号面２ａを鏡面検査機７１により検査して良品，不良品を選別し、良品の 光ディスク１のみを出荷している。

【００１５】 そして、使用者が光ディスク１を図示しないディスクプレーヤに装着し、平坦 面２ｂ側から光ピックアップにより信号面２ａ（反射膜面３ａ）を再生すると、 音声情報，画像情報，文字情報などの情報信号を所望の位置から迅速に再生でき るので使用者に大変喜ばれている。

【００１６】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、光ディスク製造システム１０により光ディスク１を製造する際、保 護膜面４ａを形成するために使用したほぼ透明なコート液Ｃが、ディスク・クラ ンプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１に付着することがあり、これにより光ディスク １が外観不良となることがしばしば起きている。

【００１７】 この原因は、前述した図７に示した如く、反射膜面３ａ上の内周部近傍（リン グ状溝部２ｃの外周部近傍）に設置した塗布ノズル４２からほぼ透明なコート液 Ｃを所定量滴下しながらスピンコータ４１を所定時間低速回転し、更にスピンコ ータ４１を加速して高速回転し、コート液Ｃを外周方向に飛散させて保護膜面４ ａを形成しているものの、塗布ノズル４２からコート液Ｃを滴下した時にコート 液Ｃの一部が内周側のディスク・クランプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１に垂れて 付着したり、時には、コート液Ｃの一部が内周方向に飛散し、シボ面２ｄ_１に付 着することがある。

【００１８】 更に、ディスク基板２の成形時間に対応させて、保護膜面４ａを１枚づつ順次 形成する方法もあり、この場合には保護膜面４ａを形成する時間がディスク基板 ２の成形時間より長くかかるため、保護膜面４ａの膜付け工程を２工程に分けて ２台のスピンコータ４１を用意し、このうちの１台ではディスク基板２にコート 液Ｃを所定量滴下しながらスピンコータ４１を所定時間低速回転し、この後、残 りの１台にディスク基板２を移しかえ、スピンコータ４１を高速回転し、コート 液Ｃを外周方向に飛散させて保護膜面４ａを形成しているが、ディスク基板２を 移しかえる時にコート液Ｃの一部が内周側のディスク・クランプエリア部２ｄの シボ面２ｄ_１に垂れて付着することもある。

【００１９】 このように、コート液Ｃがディスク・クランプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１に 付着した時には、光ディスク１の性能上には何等の支障もないものの、露出した シボ面２ｄ_１に付着したコート液Ｃが目立ち易く、外観上不良となるものである 。従って、従来、作業員がディスク・クランプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１にコ ート液Ｃが付着しているか否かを１枚づつ目視により検査しているため、製造工 数がかかるとと共に、目視検査のため検査もれなどが起こり易く、コート液Ｃが ディスク・クランプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１に付着したまま、不良品の光デ ィスク１が出荷されるなどの問題が生じている。

【００２０】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記課題に鑑みてなされたものであり、一つの面に情報信号を複数の ピット列に変換して収録した信号面と、該信号面より内周部で該信号面側に表面 をシボ面に形成したディスク・クランプエリア部と、該信号面と対向する側に平 坦に形成した平坦面と、該ディスク・クランプエリア部の中央部を貫通した中央 孔とを有し、ほぼ透明な樹脂を用いてディスク基板を円盤状に成形した後、該信 号面上に該信号面の形状を維持して反射膜を膜付けした反射膜面を形成し、更に 、該反射膜面上にほぼ透明な保護膜用コート液を膜付けした保護膜面を形成して 光ディスクを製造するに当り、該反射膜面を形成した際、該保護膜用コート液が 該ディスク・クランプエリア部の該シボ面に付着したか否かを検査するディスク ・クランプエリア部コート液付着検査装置であって、 該ディスク・クランプエリア部の該シボ面と対向する平坦面を、鏡面加工を施し た載置面に載置する載置台と、 該シボ面側に設置され、該シボ面を照射する光源と、 該シボ面側に設置され、該光源から照射した照射光が該シボ面から反射された第 １戻り光と、該照射光が該シボ面に付着した保護膜用コート液部分から反射され た反射光及びディスク基板内を透過して載置面から反射された反射光を加算した 第２戻り光とを入射するカメラと、 該カメラの出力信号と接続され、該第１戻り光と該第２戻り光との光量差を検出 する画像判定処理機とを具備したことを特徴とするディスク・クランプエリア部 コート液付着検査装置を提供するものである。

【００２１】

【実施例】

以下に、本考案に係わるディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置の 一実施例を図１，図２及び先に説明した図３，図４を参照して詳細に説明する。

【００２２】 図１は本考案に係わるディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置を示 した斜視図、図２はディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置の検査原 理を説明するための図であり、（Ａ）はディスク・クランプエリア部のシボ面に コート液が付着していない場合を示し、（Ｂ）はディスク・クランプエリア部の シボ面にコート液が付着している場合を示した図である。

【００２３】 尚、説明の便宜上、先に示した構成部材と同一構成部材に対しては同一の符号 を付して説明すると共に、新たな構成部材に対して新たな符号を付して説明する 。 本考案に係わるディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置では、先 に説明したスピンコータ４１を用いてディスク基板２の反射膜面３ａ上に保護膜 面４ａを膜付けした際、とくに、内周側のディスク・クランプエリア部２ｄのシ ボ面２ｄ_１に保護膜４となるほぼ透明なコート液（保護膜用コート液）Ｃが付着 しているか否かを自動的に検出することを特徴とするものであり、前述した図４ に示した光ディスク製造システム１０内ではスピンコータ４１の後工程に二点鎖 線に図示した如く設置すれば良い。 尚、ここでは本考案の要部となるディスク・クランプエリア部コート液付着検査 装置についてのみ説明する。

【００２４】 図１に示したディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置５０において 、反射膜面３ａ上に保護膜面４ａを膜付けしたディスク基板２は、図示しないデ ィスク基板搬送手段を介して載置台５１の載置面（上面）５１ａ上に装着される 。このディスク基板２は、前述したように透明な樹脂Ｊを用いて成形されており 、且つ、保護膜面４ａ側で露出したディスク・クランプエリア部２ｄは表面が微 細な凹凸状のシボ面２ｄ_１に成形されている。

【００２５】 上記載置台５１の載置面５１ａは、ディスク基板２のディスク・クランプエリ ア部２ｄの外径寸法より一回り大きく形成されており、中央部にディスク基板２ の中心孔２ｇと嵌合するボス部５１ｂが突出形成されている。 また、載置台５１の載置面５１ａは、光を反射できるように鏡面加工が施されて おり、載置面５１ａに施した鏡面加工は、後述する検査原理で説明するようにデ ィスク・クランプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１に付着したコート液Ｃを検出する ために重要な機能を果たすものである。 この載置面５１ａ上には、リング状溝部２ｃ及びシボ面２ｄ_１と対向する凸面２ ｅ及び平坦面２ｆが載置されている。従って、シボ面２ｄ_１は、下記するカメラ ５２と対向する側に載置されている。

【００２６】 また、ディスク・クランプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１の上方でディスク基板 ２とは間隔を離し、且つ、中心孔２ｇとほぼ中心を合わせて、ＣＣＤセンサを内 臓したカメラ５２が固定設置されている。このカメラ５２は、ディスク・クラン プエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１を撮映しており、且つ、撮影した出力信号が画像 判定処理機５３に接続されていると共に、ＴＶモニタ５４でもシボ面２ｄ_１の状 態を監視できるようになっている。

【００２７】 上記カメラ５２の鏡筒部５２ａの周囲には、光源となるリング状のライトガイ ド（光源）５５が取り付けられている。このライトガイド５５はハロゲン光源５ ６と接続されており、ライトガイド５５からの照射光は光量のある明るい光がデ ィスク・クランプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１を照射できるようになっている。 尚、光源としてここではハロゲン光源を用いているが、とくに限定されるもので はなく、周知の光源を用いても良い。

【００２８】 次に、上記のように構成したディスク・クランプエリア部コート液付着検査装 置５０の検査原理について図１，図２（Ａ），（Ｂ）を併用して説明する。

【００２９】 まず、図２（Ａ）に示した如く、保護膜面４ａを形成した時に、コート液Ｃが ディスク・クランプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１に付着しなかった場合では、ラ イトガイド５５から照射した照射光が、シボ面２ｄ_１に到達し、シボ面２ｄ_１の 一点のシボ部分を注目すると、この照射光がシボ部分によって乱反射するので、 乱反射した光の一部が第１戻り光としてカメラ５２に入射され、ＴＶモニタ５４ 上には目視したと同様にシボ状の輪として映像される。

【００３０】 一方、図２（Ｂ）に示した如く、保護膜面４ａを形成した時に、コート液Ｃが ディスク・クランプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１に付着した場合では、あたかも “くもりガラスに水を垂らした時の現象”と同様に、コート液Ｃが付着したコー ト液付着シボ部分は光沢があり、且つ、透明な表面状態となる。このコート液付 着シボ部分に、ライトガイド５５から照射した照射光が到達すると、透明な表面 状態のため、一部の照射光はコート液付着シボ部分で反射した直接反射光となっ て戻る。一方、残りの照射光は透明なディスク基板２を透過し、鏡面加工を施し た載置面５１ａに反射されて、もとの光路を戻って、載置面５１ａからの反射光 となってコート液付着シボ部分の外に出る。そして、コート液付着シボ部分外で は、直接反射光と載置面５１ａからの反射光とが加算され、加算された第２戻り 光としてカメラ５２に入射される。 ここで、直接反射光と載置面５１ａからの反射光とが加算された第２戻り光は、 図２（Ａ）に示した第１戻り光の場合よりも光量が多く、ＴＶモニタ５４上では コート液Ｃが付着していないシボ部分よりも明るく映像される。

【００３１】 また、カメラ５２からの出力信号は、画像判定処理機５３に送出され、この画 像判定処理機５３内では、コート液Ｃが付着してないシボ部分の第１戻り光の光 量と、コート液Ｃが付着したシボ部分の第２戻り光の光量との光量差を二値化す ることにより、コート液Ｃが付着しているか否かの判定をし、且つ、コート液Ｃ が付着した部分の個数を計数している。 更に、画像判定処理機５３内では、コート液Ｃが付着した部分の面積を算出して いる。

【００３２】 そして、コート液Ｃの付着有無，コート液Ｃの付着個数，コート液Ｃの付着面 積などの情報を予め設定した所定の数値に対して限度以内か否かを自動的に判定 し、これによりディスク・クランプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１の良否を自動的 に検査し、良品として選別されたディスク基板２を次工程となる例えばレーベル 印刷機６１に搬送している。

【００３３】 以上詳述したディスク・クランプエリア部コート液付着検査装置５０によると 、ディスク基板２に保護膜面４ａを形成した時に、ディスク・クランプエリア部 ２ｄのシボ面２ｄ_１にコート液（保護膜用コート液）Ｃが付着しているか否かを 自動的に検査できるので、コート液Ｃが付着した不良品のディスク基板２が次工 程となる例えばレーベル印刷機６１に搬送されることがなくなり、光ディスク製 造工程中のロスが削減できる。 更に、ディスク・クランプエリア部２ｄのシボ面２ｄ_１にコート液Ｃが付着して いない、外観上品位のある光ディスク１を使用者に提供できる利点がある。

【００３４】

【考案の効果】

以上詳述した本考案に係わるディスク・クランプエリア部コート液付着検査装 置によると、ディスク基板に保護膜面を形成した時に、ディスク・クランプエリ ア部のシボ面に保護膜用コート液が付着しているか否かを自動的に検査できるの で、コート液が付着した不良品のディスク基板が次工程となる例えばレーベル印 刷機に搬送されることがなくなり、光ディスク製造工程中のロスが削減できる。 更に、ディスク・クランプエリア部のシボ面に保護膜用コート液が付着していな い、外観上品位のある光ディスクを使用者に提供できる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係わるディスク・クランプエリア部コ
ート液付着検査装置を示した斜視図である。

【図２】ディスク・クランプエリア部コート液付着検査
装置の検査原理を説明するための図であり、（Ａ）はデ
ィスク・クランプエリア部のシボ面にコート液が付着し
ていない場合を示し、（Ｂ）はディスク・クランプエリ
ア部のシボ面にコート液が付着している場合を示した図
である。

【図３】光ディスクを説明するための一部断面構成図で
ある。

【図４】光ディスク製造システムを説明するための斜視
図である。

【図５】ディスク基板の成形を説明するための縦断面図
である。

【図６】ディスク基板の反射膜膜付けを説明するための
縦断面図である。

【図７】ディスク基板の保護膜膜付けを説明するための
縦断面図である。

【符号の説明】

１…光ディスク、２…ディスク基板、２ａ…信号面、２
ｂ…平坦面、２ｄ…ディスク・クランプエリア部、２ｄ
_１…シボ面、２ｆ…平坦面、２ｇ…中央孔、３…反射
膜、３ａ…反射膜面、４ａ…保護膜面、１０…光ディス
ク製造システム、４１…スピンコータ、５０…ディスク
・クランプエリア部コート液付着検査装置、５１…載置
台、５１ａ…載置面、５２…カメラ、５３…画像判定処
理機、５４…ＴＶモニタ、５５…光源（ライトガイ
ド）、Ｃ…ほぼ透明な保護膜用コート液（コート液）、
Ｊ…ほぼ透明な樹脂。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】一つの面に情報信号を複数のピット列に変
   換して収録した信号面と、該信号面より内周部で該信号
   面側に表面をシボ面に形成したディスク・クランプエリ
   ア部と、該信号面と対向する側に平坦に形成した平坦面
   と、該ディスク・クランプエリア部の中央部を貫通した
   中央孔とを有し、ほぼ透明な樹脂を用いてディスク基板
   を円盤状に成形した後、該信号面上に該信号面の形状を
   維持して反射膜を膜付けした反射膜面を形成し、更に、
   該反射膜面上にほぼ透明な保護膜用コート液を膜付けし
   た保護膜面を形成して光ディスクを製造するに当り、該
   反射膜面を形成した際、該保護膜用コート液が該ディス
   ク・クランプエリア部の該シボ面に付着したか否かを検
   査するディスク・クランプエリア部コート液付着検査装
   置であって、 該ディスク・クランプエリア部の該シボ
   面と対向する平坦面を、鏡面加工を施した載置面に載置
   する載置台と、 該シボ面側に設置され、該シボ面を照射する光源と、 該シボ面側に設置され、該光源から照射した照射光が該
   シボ面から反射された第１戻り光と、該照射光が該シボ
   面に付着した保護膜用コート液部分から反射された反射
   光及びディスク基板内を透過して載置面から反射された
   反射光を加算した第２戻り光とを入射するカメラと、 該カメラの出力信号と接続され、該第１戻り光と該第２
   戻り光との光量差を検出する画像判定処理機とを具備し
   たことを特徴とするディスク・クランプエリア部コート
   液付着検査装置。