JPH0582868A - 固体レーザー発振器の発振器長さ調整法 - Google Patents
固体レーザー発振器の発振器長さ調整法Info
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- JPH0582868A JPH0582868A JP23986791A JP23986791A JPH0582868A JP H0582868 A JPH0582868 A JP H0582868A JP 23986791 A JP23986791 A JP 23986791A JP 23986791 A JP23986791 A JP 23986791A JP H0582868 A JPH0582868 A JP H0582868A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 共振器長さを、両端の平面反射鏡でのスポッ
トサイズが最小径となるように予め所定の演算により求
めておきその演算結果に基づく位置に固体レーザー媒質
を設定して共振器内に口径の小さな変調器等の挿入を可
能とする。 【構成】 固体レーザー発振器は、レーザーダイオード
励起光Aを透過し固体レーザー光を反射するコーティン
グを平面反射鏡1として施した固体レーザー媒質2と、
非点収差補正及び熱レンズ効果補正のための凹面鏡3を
角度θ傾けて設け、その反射光を反射する出力側の平面
反射鏡4から成る。固体レーザー媒質2のロッドはスラ
イダ7上に設けられ、差動マイクロメータヘッド8によ
り微動自在であり、CCDカメラ9によるスポットサイ
ズ2ω2 を測定しながら2ω1 、2ω2 が最小となる位
置に設定する。スポットサイズ2ω1 、2ω2 はガウシ
アンビームのABCD則による所定の演算により最小径
となるように固体レーザー媒質2を設定する。
トサイズが最小径となるように予め所定の演算により求
めておきその演算結果に基づく位置に固体レーザー媒質
を設定して共振器内に口径の小さな変調器等の挿入を可
能とする。 【構成】 固体レーザー発振器は、レーザーダイオード
励起光Aを透過し固体レーザー光を反射するコーティン
グを平面反射鏡1として施した固体レーザー媒質2と、
非点収差補正及び熱レンズ効果補正のための凹面鏡3を
角度θ傾けて設け、その反射光を反射する出力側の平面
反射鏡4から成る。固体レーザー媒質2のロッドはスラ
イダ7上に設けられ、差動マイクロメータヘッド8によ
り微動自在であり、CCDカメラ9によるスポットサイ
ズ2ω2 を測定しながら2ω1 、2ω2 が最小となる位
置に設定する。スポットサイズ2ω1 、2ω2 はガウシ
アンビームのABCD則による所定の演算により最小径
となるように固体レーザー媒質2を設定する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザーダイオード
で励起される固体レーザー発振器の発振器長さを固体レ
ーザー媒質の熱レンズ効果補正を考慮して調整する方法
に関する。
で励起される固体レーザー発振器の発振器長さを固体レ
ーザー媒質の熱レンズ効果補正を考慮して調整する方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体レーザー、つまりレーザーダイオ
ード(以下LDを略記する)で励起される固体レーザー
発振器は、レーザー発振し易い特定波長の励起光を吸収
して励起され、高効率、高出力のレーザービームを良ビ
ーム品質で発振、増幅できるものとして注目されてい
る。
ード(以下LDを略記する)で励起される固体レーザー
発振器は、レーザー発振し易い特定波長の励起光を吸収
して励起され、高効率、高出力のレーザービームを良ビ
ーム品質で発振、増幅できるものとして注目されてい
る。
【0003】かかるLD励起固体レーザー発振器の一例
として、米国学会誌 OpticsLetters、巻
15No.3、1990年2月号、177頁に記載された
ものの概略を図5に示す。
として、米国学会誌 OpticsLetters、巻
15No.3、1990年2月号、177頁に記載された
ものの概略を図5に示す。
【0004】DはLDポンプ、Oは光ファイバ、Eはビ
ームエキスパンダ、Gは入射端に平面反射鏡(ダイクロ
ックミラー)M1 を設けたNdガラスのロッドから成る
固体レーザー媒質、M2 は凹面鏡、M3 は出力側の平面
反射鏡である。
ームエキスパンダ、Gは入射端に平面反射鏡(ダイクロ
ックミラー)M1 を設けたNdガラスのロッドから成る
固体レーザー媒質、M2 は凹面鏡、M3 は出力側の平面
反射鏡である。
【0005】平面反射鏡M1 は、LDからの励起光(例
えば0.800μm)を透過し固体レーザー光(例えば
1.054μm)を反射するダイクロックコーティング
から成る。固体レーザー媒質Gは出力端がブルースター
角θB にカットされ、このカット面で発生する非点収差
補正及び熱レンズ効果補正のために焦点距離fの凹面鏡
M2 が所定角度θ傾けて経路内に置かれている。又、平
面反射鏡M3 は共振器内で往復し増幅された固体レーザ
ー光を一部出力として取り出すコーティングが施されて
いる。
えば0.800μm)を透過し固体レーザー光(例えば
1.054μm)を反射するダイクロックコーティング
から成る。固体レーザー媒質Gは出力端がブルースター
角θB にカットされ、このカット面で発生する非点収差
補正及び熱レンズ効果補正のために焦点距離fの凹面鏡
M2 が所定角度θ傾けて経路内に置かれている。又、平
面反射鏡M3 は共振器内で往復し増幅された固体レーザ
ー光を一部出力として取り出すコーティングが施されて
いる。
【0006】上記構成の固体レーザー共振器の平面反射
鏡M1 とM3 の間が共振器長さであり、それぞれの反射
鏡表面での固体レーザー光のスポットサイズ(ガウスビ
ームの1/e2 となる強度で定義)の直径を2ω1 、2
ω2 とする。
鏡M1 とM3 の間が共振器長さであり、それぞれの反射
鏡表面での固体レーザー光のスポットサイズ(ガウスビ
ームの1/e2 となる強度で定義)の直径を2ω1 、2
ω2 とする。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】共振器長さを決定する
場合、従来は共振器の形式(安定型、不安定型)、ビー
ムのモード次数、ビームの集光性等の種々の条件を考慮
して決定されるが、その場合凹面鏡M2 の焦点距離f、
固体レーザー媒質Gから凹面鏡M2 までの距離、角度θ
などとの関係は考慮されるが、スポットサイズ2ω1 、
2ω2 が最小径となるまでの条件を入れると計算が極め
て複雑となるためそのような条件は除いて長さが決定さ
れる。
場合、従来は共振器の形式(安定型、不安定型)、ビー
ムのモード次数、ビームの集光性等の種々の条件を考慮
して決定されるが、その場合凹面鏡M2 の焦点距離f、
固体レーザー媒質Gから凹面鏡M2 までの距離、角度θ
などとの関係は考慮されるが、スポットサイズ2ω1 、
2ω2 が最小径となるまでの条件を入れると計算が極め
て複雑となるためそのような条件は除いて長さが決定さ
れる。
【0008】決定された長さに基づいてその範囲内で2
ω1 、2ω2 が小さくなるように共振器長さを多少調整
したとしても一定の限界があり、例えば2ω1 を数μm
まで小さくしたとしても2ω2 は数mmと極めて大きな値
となっていた。このように2ω2 が極めて大きな値とな
っていた理由は、上述した理由の他に2ω1 をμm単位
とした場合でも2ω2 もμm単位の径に収束させる発振
器長さについての特異点があるという事実が知られてい
なかったためである。そのため発振器内経路途中に変調
器等を挿入しようとすると、変調器等は口径が大きいも
のを必要とするという問題があった。
ω1 、2ω2 が小さくなるように共振器長さを多少調整
したとしても一定の限界があり、例えば2ω1 を数μm
まで小さくしたとしても2ω2 は数mmと極めて大きな値
となっていた。このように2ω2 が極めて大きな値とな
っていた理由は、上述した理由の他に2ω1 をμm単位
とした場合でも2ω2 もμm単位の径に収束させる発振
器長さについての特異点があるという事実が知られてい
なかったためである。そのため発振器内経路途中に変調
器等を挿入しようとすると、変調器等は口径が大きいも
のを必要とするという問題があった。
【0009】この発明は、上述した従来の固体レーザー
発振器の発振器長さを調整する際に生ずる問題点に留意
して、発振器の平面反射鏡でのスポットサイズが最小径
となるようにガウシアンビームのABCD則による所定
の演算により求めておきその演算結果に基づく位置に固
体レーザー媒質の位置を微動調整して設定し、共振器内
に口径の小さな変調器等の挿入を可能とする発振器長さ
の調整法を提供することを課題とする。
発振器の発振器長さを調整する際に生ずる問題点に留意
して、発振器の平面反射鏡でのスポットサイズが最小径
となるようにガウシアンビームのABCD則による所定
の演算により求めておきその演算結果に基づく位置に固
体レーザー媒質の位置を微動調整して設定し、共振器内
に口径の小さな変調器等の挿入を可能とする発振器長さ
の調整法を提供することを課題とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
この発明は、所定波長の半導体レーザー励起光を透過し
固体レーザー光を反射するコーティングを一端に施した
平面反射鏡を備え他端をブルースター角でカットした出
力面を有する固体レーザー媒質と、この固体レーザー媒
質からの固体レーザー光を所定角度傾けて反射する凹面
鏡と、レーザー出力用平面反射鏡とから成る固定レーザ
ー発振器の発振器長さを、予め非点収差補正と熱レンズ
効果補正を考慮した所定の演算によって得られる上記両
平面反射鏡での固体レーザー光のスポットサイズが最小
径となるように、出力用平面反射鏡でのスポットサイズ
径をビーム径測定部で測定しながら入射側平面反射鏡の
位置を微動させて調整するようにして成る固体レーザー
発振器の発振器長さ調整法としたのである。
この発明は、所定波長の半導体レーザー励起光を透過し
固体レーザー光を反射するコーティングを一端に施した
平面反射鏡を備え他端をブルースター角でカットした出
力面を有する固体レーザー媒質と、この固体レーザー媒
質からの固体レーザー光を所定角度傾けて反射する凹面
鏡と、レーザー出力用平面反射鏡とから成る固定レーザ
ー発振器の発振器長さを、予め非点収差補正と熱レンズ
効果補正を考慮した所定の演算によって得られる上記両
平面反射鏡での固体レーザー光のスポットサイズが最小
径となるように、出力用平面反射鏡でのスポットサイズ
径をビーム径測定部で測定しながら入射側平面反射鏡の
位置を微動させて調整するようにして成る固体レーザー
発振器の発振器長さ調整法としたのである。
【0011】
【作用】この発明は上記の方法としたから、出力用平面
反射鏡を微動させて発振器長さを調整し、両平面反射鏡
でのスポットサイズ径を2ω1 、2ω2 を最小とするこ
とができる。
反射鏡を微動させて発振器長さを調整し、両平面反射鏡
でのスポットサイズ径を2ω1 、2ω2 を最小とするこ
とができる。
【0012】この場合、所定の演算は発振器の各部寸
法、凹面鏡の焦点距離f、熱レンズ効果による熱レンズ
の焦点距離ftなどを種々に変化させ、発生する固体レ
ーザー光のビームに対してガウシアンビームのABCD
則を適用して2ω1 、2ω2 が最小となる固体レーザー
媒質の位置、共振器長さを求める。従って、この演算で
は非点収差の補正及び熱レンズ効果の補正をそれぞれ考
慮したものとしたスポットサイズ、固体レーザー媒質の
位置、凹面鏡の焦点距離fが得られる。
法、凹面鏡の焦点距離f、熱レンズ効果による熱レンズ
の焦点距離ftなどを種々に変化させ、発生する固体レ
ーザー光のビームに対してガウシアンビームのABCD
則を適用して2ω1 、2ω2 が最小となる固体レーザー
媒質の位置、共振器長さを求める。従って、この演算で
は非点収差の補正及び熱レンズ効果の補正をそれぞれ考
慮したものとしたスポットサイズ、固体レーザー媒質の
位置、凹面鏡の焦点距離fが得られる。
【0013】こうして予め演算によって求められた固体
レーザー媒質の位置は、出力用平面反射鏡でのスポット
サイズ径を例えばCCDカメラで測定しながら、固体レ
ーザー媒質を凹面鏡とのなす角θの光軸上に沿って前後
に微動させ、そのスポットサイズ径が所定の最小径とな
るとその状態で停止させ共振器長さを設定する。
レーザー媒質の位置は、出力用平面反射鏡でのスポット
サイズ径を例えばCCDカメラで測定しながら、固体レ
ーザー媒質を凹面鏡とのなす角θの光軸上に沿って前後
に微動させ、そのスポットサイズ径が所定の最小径とな
るとその状態で停止させ共振器長さを設定する。
【0014】
【実施例】以下この発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【0015】図1はこの発明による方法を実施するため
の固体レーザー発振器の概略構成図である。1はレーザ
ーダイオード(以下LDと略記する)励起光Aを透過し
固体レーザー光を反射するコーティングから成る平面反
射鏡で、固体レーザー媒質2のロッド端面に施されてい
る。固体レーザー媒質2は他端がブルースター角θB で
カットされており、このカット面で発生する非点収差補
正のためθの角度傾けて置かれた焦点距離fの凹面鏡3
で固体レーザー光は反射され、この固体レーザー光を一
部出力として取り出すコーティングが施された出力側の
平面反射鏡4が備えられている。
の固体レーザー発振器の概略構成図である。1はレーザ
ーダイオード(以下LDと略記する)励起光Aを透過し
固体レーザー光を反射するコーティングから成る平面反
射鏡で、固体レーザー媒質2のロッド端面に施されてい
る。固体レーザー媒質2は他端がブルースター角θB で
カットされており、このカット面で発生する非点収差補
正のためθの角度傾けて置かれた焦点距離fの凹面鏡3
で固体レーザー光は反射され、この固体レーザー光を一
部出力として取り出すコーティングが施された出力側の
平面反射鏡4が備えられている。
【0016】5は共振器内に挿入しようとする例えば変
調器を示し、6はLD励起光Aの入射によって固体レー
ザー媒質2が膨張し熱レンズ効果によって生じた仮想上
の熱レンズで焦点距離ftとする。かかる固体レーザー
媒質2はスライダ7上に置かれ、図示省略しているが凹
面鏡3に対して角度θの光軸線上に設けたレールに沿っ
て移動自在であり、8はスライダ7を光軸に沿って前後
に微動させるための差動マイクロメータヘッドである。
9は出力側の平面反射鏡4でのビーム径を測定するため
のCCDカメラであり、図示省略のCRTブラウン管上
でビーム径を見ながら差動マイクロメータヘッド8を介
してスライダ7を微動する。
調器を示し、6はLD励起光Aの入射によって固体レー
ザー媒質2が膨張し熱レンズ効果によって生じた仮想上
の熱レンズで焦点距離ftとする。かかる固体レーザー
媒質2はスライダ7上に置かれ、図示省略しているが凹
面鏡3に対して角度θの光軸線上に設けたレールに沿っ
て移動自在であり、8はスライダ7を光軸に沿って前後
に微動させるための差動マイクロメータヘッドである。
9は出力側の平面反射鏡4でのビーム径を測定するため
のCCDカメラであり、図示省略のCRTブラウン管上
でビーム径を見ながら差動マイクロメータヘッド8を介
してスライダ7を微動する。
【0017】固体レーザー媒質2の長さをd、熱レンズ
6が生じている位置をdt、固体レーザー媒質2から凹
面鏡3までの距離をl1 、凹面鏡3から出力側平面反射
鏡4までの距離をl2 、入射側平面反射鏡1と出力側平
面反射鏡4でのそれぞれのスポットサイズの直径を2ω
1 、2ω2 とする。
6が生じている位置をdt、固体レーザー媒質2から凹
面鏡3までの距離をl1 、凹面鏡3から出力側平面反射
鏡4までの距離をl2 、入射側平面反射鏡1と出力側平
面反射鏡4でのそれぞれのスポットサイズの直径を2ω
1 、2ω2 とする。
【0018】実施例として用いられた共振器は、共振器
長さが実用的な1500mm、固体レーザー媒質2として
Nd:YAG(屈折率n=1.82)を選ぶとすると、
波長1.064μmの固体レーザー光を0.809μm
の波長のLD励起光で励起する。dは1cmで、この長さ
はLD励起光の吸収係数(6cm-1)より決る長さであ
る。又、dtは実用上0.05cmである。
長さが実用的な1500mm、固体レーザー媒質2として
Nd:YAG(屈折率n=1.82)を選ぶとすると、
波長1.064μmの固体レーザー光を0.809μm
の波長のLD励起光で励起する。dは1cmで、この長さ
はLD励起光の吸収係数(6cm-1)より決る長さであ
る。又、dtは実用上0.05cmである。
【0019】凹面鏡3の焦点距離fは次のようにして決
定される。即ち、固体レーザー媒質2で発生する固体レ
ーザー光は、一般にその強度分布からガウシアンビーム
と呼ばれ、平面反射鏡1、4でのスポットサイズω1 、
ω2 はガウシアンビームのABCD則から次式により求
められる。この場合、図2に実施例の共振器をモデル化
した状態を示す。
定される。即ち、固体レーザー媒質2で発生する固体レ
ーザー光は、一般にその強度分布からガウシアンビーム
と呼ばれ、平面反射鏡1、4でのスポットサイズω1 、
ω2 はガウシアンビームのABCD則から次式により求
められる。この場合、図2に実施例の共振器をモデル化
した状態を示す。
【0020】ω1 に対するABCDマトリックスは、平
面反射鏡1から4に進み、反射されて元に戻るとして求
める。
面反射鏡1から4に進み、反射されて元に戻るとして求
める。
【0021】
【数1】
【0022】ω2 に対するABCDマトリックスは、平
面反射鏡4から1へ進み、反射されて元に戻るとして求
める。
面反射鏡4から1へ進み、反射されて元に戻るとして求
める。
【0023】
【数2】
【0024】上記(1)、(2)式から求められた
ω1 、ω2 に対するA、B、C、Dのそれぞれの値を次
式に代入してω1 、ω2 を求める。
ω1 、ω2 に対するA、B、C、Dのそれぞれの値を次
式に代入してω1 、ω2 を求める。
【0025】
【数3】
【0026】但し、n=1.82である(Nd:YAG
の屈折率)。
の屈折率)。
【0027】以上の演算式に対して、fの値を種々に変
化させかつω1 、ω2 が最小値となるようにfの値を決
める。その場合、fは実用的な値7.5cmの前後として
変化させる。種々演算の結果f=7.5cmのときに
ω1 、ω2 が最小となるという結果が得られた。
化させかつω1 、ω2 が最小値となるようにfの値を決
める。その場合、fは実用的な値7.5cmの前後として
変化させる。種々演算の結果f=7.5cmのときに
ω1 、ω2 が最小となるという結果が得られた。
【0028】以上の計算結果を図3、図4に示す。図3
はスポットサイズω1 、図4はスポットサイズω2 の変
化を示す。このグラフから、f=7.5cmと選び、Δd
=l1 −fを種々に変化させると、l1 =61.6mm付
近でω1 、ω2 が最小となり、その場合熱レンズ6の焦
点距離ftが1cm〜∞となってもω1 =16μm、ω2
=200μmと選べることが分る。
はスポットサイズω1 、図4はスポットサイズω2 の変
化を示す。このグラフから、f=7.5cmと選び、Δd
=l1 −fを種々に変化させると、l1 =61.6mm付
近でω1 、ω2 が最小となり、その場合熱レンズ6の焦
点距離ftが1cm〜∞となってもω1 =16μm、ω2
=200μmと選べることが分る。
【0029】上記結果からl1 =69.6mm、l2 =1
412.2mmである。
412.2mmである。
【0030】上記ω1 =16μm、ω2 =200μmと
いう結果は、従来の一般的水準として知られていたω1
を数10μmとするとω2 は数mmとなるという常識を越
えた結果である。これは、計算過程において、変化させ
る値が例えばl1 、l2 、f、f0 等があり、計算が複
数であるためそれぞれが変化したときにどのような状態
でω1 、ω2 が最小径となるかという事実が知られてな
かったためである。
いう結果は、従来の一般的水準として知られていたω1
を数10μmとするとω2 は数mmとなるという常識を越
えた結果である。これは、計算過程において、変化させ
る値が例えばl1 、l2 、f、f0 等があり、計算が複
数であるためそれぞれが変化したときにどのような状態
でω1 、ω2 が最小径となるかという事実が知られてな
かったためである。
【0031】このようにして得られた凹面鏡3の焦点距
離f=7.5cmに対して、固体レーザー媒質2のブルー
スターカット面による非点収差補正をするため傾けられ
る角度θは、次式で求められる角度θ’の2倍となる
(θ=2θ’)。
離f=7.5cmに対して、固体レーザー媒質2のブルー
スターカット面による非点収差補正をするため傾けられ
る角度θは、次式で求められる角度θ’の2倍となる
(θ=2θ’)。
【0032】
【数4】
【0033】但し、Lはロッド長さで1cmである。
【0034】計算の結果θ=38.84°である。
【0035】以上のように選定された物理量で決められ
た固体レーザー発振器により本発明の調整法は次のよう
に実施される。
た固体レーザー発振器により本発明の調整法は次のよう
に実施される。
【0036】上述した演算によって決められたl1 =6
9.6mm付近に固体レーザー媒質2をセットし、スライ
ダ7をマイクロメータヘッド8により微動させl1 の軸
に沿って前後に移動させる。このときl1 の位置の測定
はマイクロメータヘッド8から光軸l1 に沿ってヘリウ
ムイオンの光を送り出し、凹面鏡3で反射され、出力側
の平面反射鏡4から反射されて戻ってくる光で距離を測
定する。
9.6mm付近に固体レーザー媒質2をセットし、スライ
ダ7をマイクロメータヘッド8により微動させl1 の軸
に沿って前後に移動させる。このときl1 の位置の測定
はマイクロメータヘッド8から光軸l1 に沿ってヘリウ
ムイオンの光を送り出し、凹面鏡3で反射され、出力側
の平面反射鏡4から反射されて戻ってくる光で距離を測
定する。
【0037】そして、同時にCCDカメラ9でスポット
サイズ2ω2 をCRTブラウン管上で測定しながら、ス
ポットサイズ2ω2 =400μmとなる位置を探しなが
らスライダ7を移動させ、スポットサイズ2ω2 =40
0μmの位置になるとスライダ7を停止してそこに固定
する。
サイズ2ω2 をCRTブラウン管上で測定しながら、ス
ポットサイズ2ω2 =400μmとなる位置を探しなが
らスライダ7を移動させ、スポットサイズ2ω2 =40
0μmの位置になるとスライダ7を停止してそこに固定
する。
【0038】こうして得られる2ω1 =32μm、2ω
2 =400μmとなる固体レーザー媒質2の位置l1 =
69.6mmは、図3、図4上の変化を示すΔd=l1 −
fに対応する位置となる。
2 =400μmとなる固体レーザー媒質2の位置l1 =
69.6mmは、図3、図4上の変化を示すΔd=l1 −
fに対応する位置となる。
【0039】
【効果】以上詳細に説明したように、この発明の発振器
長さの調整法は予め所定の演算によって入射側と出力側
の平面反射鏡でのスポットサイズ2ω1 、2ω2 がそれ
ぞれ最小となる固体レーザー媒質の位置l1 を求めてお
き、固体レーザー媒質の位置l1 が所定位置で2ω2 が
計算による最小値となるかを測定しながら固体レーザー
媒質の位置を設定し、共振器長さを設定するようにした
から、従来のように一方の2ω1 が数10μmであって
も2ω2 が数mmと極めて大きなスポットサイズになるこ
とがなく、例えば2ω1 =32μm、2ω2 =400μ
mとなり2ω2 を従来の約5分の1以下の小さなスポッ
トサイズのビームが得られると同時に非点収差と熱レン
ズ効果の補正ができ、その結果レーザー発振器内に例え
ば変調器等の光学変調素子を挿入する場合、口径が小さ
い安価な市販の変調器等が挿入できるようになるという
効果が得られる。
長さの調整法は予め所定の演算によって入射側と出力側
の平面反射鏡でのスポットサイズ2ω1 、2ω2 がそれ
ぞれ最小となる固体レーザー媒質の位置l1 を求めてお
き、固体レーザー媒質の位置l1 が所定位置で2ω2 が
計算による最小値となるかを測定しながら固体レーザー
媒質の位置を設定し、共振器長さを設定するようにした
から、従来のように一方の2ω1 が数10μmであって
も2ω2 が数mmと極めて大きなスポットサイズになるこ
とがなく、例えば2ω1 =32μm、2ω2 =400μ
mとなり2ω2 を従来の約5分の1以下の小さなスポッ
トサイズのビームが得られると同時に非点収差と熱レン
ズ効果の補正ができ、その結果レーザー発振器内に例え
ば変調器等の光学変調素子を挿入する場合、口径が小さ
い安価な市販の変調器等が挿入できるようになるという
効果が得られる。
【図1】本発明による発振器長さの調整法を実施するた
めのLD励起固体レーザー発振器の全体概略構成図
めのLD励起固体レーザー発振器の全体概略構成図
【図2】図1の固体レーザー発振器のモデル化した図
【図3】スポットサイズω1 の計算結果のグラフで、熱
レンズ焦点距離ftをパラメータとして共振器長さを変
化させたもの
レンズ焦点距離ftをパラメータとして共振器長さを変
化させたもの
【図4】スポットサイズω2 の計算結果のグラフで、図
3と同様にして求めたもの
3と同様にして求めたもの
【図5】従来例の固体レーザー発振器の概略構成図
1 平面反射鏡 2 固体レーザー媒質 3 凹面鏡 4 平面反射鏡 5 変調器 6 熱レンズ 7 スライダ 8 マイクロメータヘッド 9 CCDカメラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原 信一 大阪市北区中之島3丁目3番22号 関西電 力株式会社内 (72)発明者 村田 瑛二 大阪市北区中之島3丁目3番22号 関西電 力株式会社内 (72)発明者 北田 俊信 大阪市北区中之島3丁目3番22号 関西電 力株式会社内 (72)発明者 山中 千代衛 大阪市西区靭本町1丁目8番4号 財団法 人レーザー技術総合研究所内 (72)発明者 中井 貞雄 茨木市北春日丘3丁目6番45号 (72)発明者 中塚 正大 生駒市緑ケ丘1425番地の78 (72)発明者 山中 正宣 箕面市石丸3丁目25番E−205号 (72)発明者 内藤 健太 生駒市有里町29番地の15 (72)発明者 近江 雅人 豊中市上野東1丁目6番5号 (72)発明者 小野田 元 東京都豊島区南池袋1丁目20番1号 金門 電気株式会社内 (72)発明者 中里 宏 京都市右京区梅津高畝町47番地 日新電機 株式会社内
Claims (1)
- 【請求項1】 所定波長の半導体レーザー励起光を透過
し固体レーザー光を反射するコーティングを一端に施し
た平面反射鏡を備え他端をブルースター角でカットした
出力面を有する固体レーザー媒質と、この固体レーザー
媒質からの固体レーザー光を所定角度傾けて反射する凹
面鏡と、レーザー出力用平面反射鏡とから成る固定レー
ザー発振器の発振器長さを、予め非点収差補正と熱レン
ズ効果補正を考慮した所定の演算によって得られる上記
両平面反射鏡での固体レーザー光のスポットサイズが最
小径となるように、出力用平面反射鏡でのスポットサイ
ズ径をビーム径測定部で測定しながら入射側平面反射鏡
の位置を微動させて調整するようにして成る固体レーザ
ー発振器の発振器長さ調整法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23986791A JPH0671110B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 固体レーザー発振器の発振器長さ調整法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23986791A JPH0671110B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 固体レーザー発振器の発振器長さ調整法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0582868A true JPH0582868A (ja) | 1993-04-02 |
JPH0671110B2 JPH0671110B2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=17051067
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23986791A Expired - Lifetime JPH0671110B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 固体レーザー発振器の発振器長さ調整法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0671110B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100857456B1 (ko) * | 2006-12-07 | 2008-09-08 | 한국전자통신연구원 | 공진 구조에서 광파 세기의 최대화를 위해 최적의 공진길이를 결정하는 방법 |
JP2011066300A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Shimadzu Corp | レーザ共振器 |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP23986791A patent/JPH0671110B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100857456B1 (ko) * | 2006-12-07 | 2008-09-08 | 한국전자통신연구원 | 공진 구조에서 광파 세기의 최대화를 위해 최적의 공진길이를 결정하는 방법 |
US7782469B2 (en) | 2006-12-07 | 2010-08-24 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Method for determining optimal resonant length to maximize wave intensity in resonant structure |
JP2011066300A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Shimadzu Corp | レーザ共振器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0671110B2 (ja) | 1994-09-07 |
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