JPH0558757A - セラミツク焼成用炉材 - Google Patents
セラミツク焼成用炉材Info
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- JPH0558757A JPH0558757A JP3245091A JP24509191A JPH0558757A JP H0558757 A JPH0558757 A JP H0558757A JP 3245091 A JP3245091 A JP 3245091A JP 24509191 A JP24509191 A JP 24509191A JP H0558757 A JPH0558757 A JP H0558757A
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- furnace material
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被焼成物と反応しにくく、耐熱衝撃性が高
く、高温クリープが小さ区、しかも熱容量の小さなセラ
ミック焼成用炉材を提供する。 【構成】 純度９９.０％以上の高純度アルミナ８０〜
９０ｗｔ％に純度９９.０％以上の＃３２５メッシュパ
ス電融単斜晶ジルコニアを２０〜１０ｗｔ％の割合で配
合し、アルミナ及びジルコニア１００ｗｔ％に対し純度
９９.５％以上の酸化イットリウムを０.３〜１.０ｗｔ
％の割合で添加し、さらに樹脂粒子や樹脂繊維を混合し
てスラリー状の炉材原料を調製し、この炉材原料を石膏
型に流し込んで炉材形状に鋳込成形し、これをバッチ炉
において１６００℃で４時間保持して焼成する。こうし
て得られた焼成用炉材１は、焼成時に樹脂粒子等が燃焼
することによって多数の気孔２を含み、嵩密度１.１〜
１.６ｇ／ｃｃの軽量炉材となっている。
く、高温クリープが小さ区、しかも熱容量の小さなセラ
ミック焼成用炉材を提供する。 【構成】 純度９９.０％以上の高純度アルミナ８０〜
９０ｗｔ％に純度９９.０％以上の＃３２５メッシュパ
ス電融単斜晶ジルコニアを２０〜１０ｗｔ％の割合で配
合し、アルミナ及びジルコニア１００ｗｔ％に対し純度
９９.５％以上の酸化イットリウムを０.３〜１.０ｗｔ
％の割合で添加し、さらに樹脂粒子や樹脂繊維を混合し
てスラリー状の炉材原料を調製し、この炉材原料を石膏
型に流し込んで炉材形状に鋳込成形し、これをバッチ炉
において１６００℃で４時間保持して焼成する。こうし
て得られた焼成用炉材１は、焼成時に樹脂粒子等が燃焼
することによって多数の気孔２を含み、嵩密度１.１〜
１.６ｇ／ｃｃの軽量炉材となっている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はセラミック焼成用炉材に
関する。具体的にいうと、セラミック電子部品等のセラ
ミック製品の焼成工程に用いられる焼成用炉材に関す
る。
関する。具体的にいうと、セラミック電子部品等のセラ
ミック製品の焼成工程に用いられる焼成用炉材に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】セラミック製品は、グリーンボディやグ
リーンシート等の成形品を焼成用炉材（さや鉢、セッタ
ー）の上に載置したり、内部に納めたりした状態で焼成
される。
リーンシート等の成形品を焼成用炉材（さや鉢、セッタ
ー）の上に載置したり、内部に納めたりした状態で焼成
される。
【０００３】このような焼成用炉材としては、従来にあ
っては、炭化珪素系炉材や高純度アルミナ系炉材、アル
ミナ−ジルコニア系炉材等が用いられている。
っては、炭化珪素系炉材や高純度アルミナ系炉材、アル
ミナ−ジルコニア系炉材等が用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、炭化珪
素系炉材は、熱衝撃や高温クリープには強いが、被焼成
物であるセラミック成形品と反応し、セラミック製品の
電気的特性にバラツキが生じるという問題があった。こ
れを防止するためには、炭化珪素系炉材の表面にジルコ
ニアやアルミナ等のコーティング膜を形成するとよい
が、このコーティング膜は剥離し易く、繰返し使用に耐
えない。
素系炉材は、熱衝撃や高温クリープには強いが、被焼成
物であるセラミック成形品と反応し、セラミック製品の
電気的特性にバラツキが生じるという問題があった。こ
れを防止するためには、炭化珪素系炉材の表面にジルコ
ニアやアルミナ等のコーティング膜を形成するとよい
が、このコーティング膜は剥離し易く、繰返し使用に耐
えない。
【０００５】高純度アルミナ系炉材の場合には、被焼成
物と反応するような組成が含まれていないのでセラミッ
ク成形品と反応するという問題はない。しかし、熱膨張
係数が高いために焼成時の歪が大きく、耐熱衝撃性が低
く、何度も繰り返し使用することができず、炉材ライフ
が短いという問題があった。これに対し、最近では、小
型電子部品の高速度焼成化が要求されているため、急熱
急冷に耐える耐熱衝撃性の高い焼成用炉材を開発する要
求が高まっている。
物と反応するような組成が含まれていないのでセラミッ
ク成形品と反応するという問題はない。しかし、熱膨張
係数が高いために焼成時の歪が大きく、耐熱衝撃性が低
く、何度も繰り返し使用することができず、炉材ライフ
が短いという問題があった。これに対し、最近では、小
型電子部品の高速度焼成化が要求されているため、急熱
急冷に耐える耐熱衝撃性の高い焼成用炉材を開発する要
求が高まっている。
【０００６】また、アルミナ−ジルコニア系炉材は、セ
ラミック成形品と反応するという問題はなく、しかも、
高純度アルミナ系炉材の脆さを改善する効果がある。し
かし、アルミナ−ジルコニア系炉材には、高温クリープ
に弱いという問題があった。
ラミック成形品と反応するという問題はなく、しかも、
高純度アルミナ系炉材の脆さを改善する効果がある。し
かし、アルミナ−ジルコニア系炉材には、高温クリープ
に弱いという問題があった。
【０００７】さらに、上記のいずれの炉材も重量が重
く、嵩密度が高いため、熱容量も大きく、焼成工程にお
いて省エネルギー化を図り難かった。
く、嵩密度が高いため、熱容量も大きく、焼成工程にお
いて省エネルギー化を図り難かった。
【０００８】本発明は叙上の従来技術に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、被焼成物と反応しに
くく、耐熱衝撃性が高く、高温クリープが小さく、しか
も熱容量の小さなセラミック焼成用炉材を提供すること
にある。
もので、その目的とするところは、被焼成物と反応しに
くく、耐熱衝撃性が高く、高温クリープが小さく、しか
も熱容量の小さなセラミック焼成用炉材を提供すること
にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のセラミック焼成
用炉材は、高純度アルミナ８０〜９０ｗｔ％に対して単
斜晶ジルコニア２０〜１０ｗｔ％の割合で配合し、高純
度アルミナ及び単斜晶ジルコニア１００ｗｔ％に対して
０.３〜１.０ｗｔ％の割合で酸化イットリウムを添加
し、さらに粒子状ないし繊維状をした樹脂を混合して炉
材原料を調合し、この炉材原料を焼成した多孔質焼結体
からなることを特徴としている。
用炉材は、高純度アルミナ８０〜９０ｗｔ％に対して単
斜晶ジルコニア２０〜１０ｗｔ％の割合で配合し、高純
度アルミナ及び単斜晶ジルコニア１００ｗｔ％に対して
０.３〜１.０ｗｔ％の割合で酸化イットリウムを添加
し、さらに粒子状ないし繊維状をした樹脂を混合して炉
材原料を調合し、この炉材原料を焼成した多孔質焼結体
からなることを特徴としている。
【００１０】
【作用】ジルコニアは、１０００℃付近で単斜晶と正方
晶との相転移があり、このとき数％にも及ぶ体積収縮を
伴う。このため、本発明の組成からなる焼成用炉材で
は、単斜晶ジルコニアの正方晶ジルコニアへの結晶構造
の変化に伴ってローカルな体積収縮を起こし、これがア
ルミナ組成の熱膨張に伴う体積膨張と相殺され、全体と
しては熱膨張係数がゼロに近くなる。このため、焼成用
炉材の急熱急冷に対する耐久性が向上し、耐熱衝撃性が
高くなる。
晶との相転移があり、このとき数％にも及ぶ体積収縮を
伴う。このため、本発明の組成からなる焼成用炉材で
は、単斜晶ジルコニアの正方晶ジルコニアへの結晶構造
の変化に伴ってローカルな体積収縮を起こし、これがア
ルミナ組成の熱膨張に伴う体積膨張と相殺され、全体と
しては熱膨張係数がゼロに近くなる。このため、焼成用
炉材の急熱急冷に対する耐久性が向上し、耐熱衝撃性が
高くなる。
【００１１】また、本発明の焼成用炉材中に配合された
単斜晶ジルコニアは、適正量の酸化イットリウムが添加
されることにより、単斜晶から相転移して正方晶で安定
化する割合が高くなる。しかも、酸化イットリウムは炉
材焼成工程において、炉材の焼結を促進させ、炉材の組
織を緻密なものとする。このため、炉材の組織が高温ク
リープにも耐えるよう改質される。
単斜晶ジルコニアは、適正量の酸化イットリウムが添加
されることにより、単斜晶から相転移して正方晶で安定
化する割合が高くなる。しかも、酸化イットリウムは炉
材焼成工程において、炉材の焼結を促進させ、炉材の組
織を緻密なものとする。このため、炉材の組織が高温ク
リープにも耐えるよう改質される。
【００１２】さらに、この焼成用炉材は、アルミナとジ
ルコニアと酸化イットリウムから構成されており、これ
らの原料はいずれも高温での相状態において安定性が良
好であるので、被焼成物と反応する恐れがない。
ルコニアと酸化イットリウムから構成されており、これ
らの原料はいずれも高温での相状態において安定性が良
好であるので、被焼成物と反応する恐れがない。
【００１３】しかも、粒子状もしくは繊維状の樹脂を混
合してあるので、焼成時に樹脂が燃焼してその跡に多く
の気孔が生じる。この気孔のために焼成用炉材の嵩密度
が小さくなり、焼成用炉材が軽量となって炉材熱容量が
小さくなり、焼成エネルギーを省エネルギー化できる。
合してあるので、焼成時に樹脂が燃焼してその跡に多く
の気孔が生じる。この気孔のために焼成用炉材の嵩密度
が小さくなり、焼成用炉材が軽量となって炉材熱容量が
小さくなり、焼成エネルギーを省エネルギー化できる。
【００１４】
【実施例】図１に示す焼成用炉材（セッター）１は、純
度９９.０％以上の高純度アルミナ８０〜９０ｗｔ％に
純度９９.０％以上の＃３２５メッシュパス（＃３２５
のふるいを通したもの）電融単斜晶ジルコニアを２０〜
１０ｗｔ％の割合で配合し、アルミナ及びジルコニア１
００ｗｔ％に対し純度９９.５％以上の酸化イットリウ
ムを０.３〜１.０ｗｔ％の割合で添加し、さらに樹脂粒
子や樹脂繊維を混合してスラリー状の炉材原料を調製
し、この炉材原料を石膏型に流し込んで炉材形状に鋳込
成形し、これをバッチ炉において１６００℃で４時間保
持して焼成したものである。こうして得られた焼成用炉
材１は、焼成時に樹脂粒子等が燃焼することによって多
数の気孔２を含んで嵩密度１.１〜１.６ｇ／ｃｃの軽量
炉材となっている。なお、電融単斜晶ジルコニアとは、
出発原料バデライト鉱物から単斜晶ジルコニアを製造す
る際に電気的熱処理が施されたものである。
度９９.０％以上の高純度アルミナ８０〜９０ｗｔ％に
純度９９.０％以上の＃３２５メッシュパス（＃３２５
のふるいを通したもの）電融単斜晶ジルコニアを２０〜
１０ｗｔ％の割合で配合し、アルミナ及びジルコニア１
００ｗｔ％に対し純度９９.５％以上の酸化イットリウ
ムを０.３〜１.０ｗｔ％の割合で添加し、さらに樹脂粒
子や樹脂繊維を混合してスラリー状の炉材原料を調製
し、この炉材原料を石膏型に流し込んで炉材形状に鋳込
成形し、これをバッチ炉において１６００℃で４時間保
持して焼成したものである。こうして得られた焼成用炉
材１は、焼成時に樹脂粒子等が燃焼することによって多
数の気孔２を含んで嵩密度１.１〜１.６ｇ／ｃｃの軽量
炉材となっている。なお、電融単斜晶ジルコニアとは、
出発原料バデライト鉱物から単斜晶ジルコニアを製造す
る際に電気的熱処理が施されたものである。
【００１５】このようなアルミナ−ジルコニア複合材に
あっては、ジルコニアの相転移に伴う体積変化とアルミ
ナの熱膨張による体積変化とが相殺し、全体として熱膨
張がゼロに近くなり、耐熱衝撃性が高くなる。また、酸
化イットリウムの添加によりジルコニアが正方晶で安定
化する割合が増加し、さらに酸化イットリウムが炉材の
焼結を促進させ、その結果、炉材の組織が緻密なものと
なり、高温クリープが小さくなる。さらに、多孔質の軽
量炉材となっているので、熱容量が小さく、焼成時の消
費エネルギーが少なくなる。
あっては、ジルコニアの相転移に伴う体積変化とアルミ
ナの熱膨張による体積変化とが相殺し、全体として熱膨
張がゼロに近くなり、耐熱衝撃性が高くなる。また、酸
化イットリウムの添加によりジルコニアが正方晶で安定
化する割合が増加し、さらに酸化イットリウムが炉材の
焼結を促進させ、その結果、炉材の組織が緻密なものと
なり、高温クリープが小さくなる。さらに、多孔質の軽
量炉材となっているので、熱容量が小さく、焼成時の消
費エネルギーが少なくなる。
【００１６】次に具体的な実施例を比較例とともに説明
する。まず、純度９９.０％以上の高純度アルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3）と、＃３２５メッシュパスで純度９９.０％以
上の電融単斜晶ジルコニア（ＺｒＯ2）と、純度９９.５
％以上の酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3）を表１に示す割合
で調合し、スラリー状をした比較例Ａ及び実施例Ｂ〜Ｇ
の炉材原料を調製した。ついで、スラリー状をした各炉
材原料を石膏型に流し込んで炉材形状もしくは規定寸法
となるように鋳込成形し、これをバッチ炉において１６
００℃で４時間保持して焼成し、比較例Ａ及び実施例Ｂ
〜Ｇの焼成用炉材を得た。
する。まず、純度９９.０％以上の高純度アルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3）と、＃３２５メッシュパスで純度９９.０％以
上の電融単斜晶ジルコニア（ＺｒＯ2）と、純度９９.５
％以上の酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3）を表１に示す割合
で調合し、スラリー状をした比較例Ａ及び実施例Ｂ〜Ｇ
の炉材原料を調製した。ついで、スラリー状をした各炉
材原料を石膏型に流し込んで炉材形状もしくは規定寸法
となるように鋳込成形し、これをバッチ炉において１６
００℃で４時間保持して焼成し、比較例Ａ及び実施例Ｂ
〜Ｇの焼成用炉材を得た。
【００１７】
【表１】
【００１８】この後、製作した比較例Ａ及び実施例Ｂ〜
Ｇの焼成用炉材について、嵩密度、抗折強度、高温クリ
ープ試験値及びジルコニア結晶の安定化度を測定した。
この結果を表２に示す。
Ｇの焼成用炉材について、嵩密度、抗折強度、高温クリ
ープ試験値及びジルコニア結晶の安定化度を測定した。
この結果を表２に示す。
【００１９】
【表２】
【００２０】嵩密度は水中重量法によって測定されたも
のであり、実施例Ｂ〜Ｇでは比較例Ａよりも若干嵩密度
が大きく、緻密になっている。これは、実施例Ｂ〜Ｇに
おいてジルコニアが正方晶で安定化した割合が高いため
であると考えられる。抗折強度は、５×３５×２ｍｍの
試料を支点間距離が２５ｍｍとなるように支持し、荷重
を増加させて試料が折れたときの荷重の大きさから求め
た。表２によれば、実施例Ｂ〜Ｇの場合には、比較例Ａ
よりも抗折強度が大きくなっている。クリープ量（高温
クリープ試験値）は、２０×８０×３ｍｍの試料を用
い、試料の中央に６６０ｇの荷重を加えた状態において
１４００℃で１０時間保持する加熱工程を１０サイクル
繰り返した後の最大反り量を測定したものである。この
結果、実施例Ｂ〜Ｇでは、比較例Ａと比較して大幅にク
リープ量が小さくなった。ジルコニア結晶の安定化度
（ＺｒＯ2安定化度）は、焼成された試料のＸ線回折記
録より正方晶系（２θ≒３２.２°）の強度（ピーク
値）Ｔと単斜晶系（２θ≒２８.２°）の強度（ピーク
値）Ｍを求め、 安定化度（％）＝１００×Ｔ／（Ｔ＋Ｍ） より計算されたものである。実施例Ｂ〜Ｇでは、全体と
して比較例Ａよりもかなり大きな安定化度となってい
る。これより、酸化イットリウムの割合が０.３〜１.０
ｗｔ％の実施例Ｂ〜Ｇでは正方晶ジルコニアの安定化傾
向が高いことが確認された。
のであり、実施例Ｂ〜Ｇでは比較例Ａよりも若干嵩密度
が大きく、緻密になっている。これは、実施例Ｂ〜Ｇに
おいてジルコニアが正方晶で安定化した割合が高いため
であると考えられる。抗折強度は、５×３５×２ｍｍの
試料を支点間距離が２５ｍｍとなるように支持し、荷重
を増加させて試料が折れたときの荷重の大きさから求め
た。表２によれば、実施例Ｂ〜Ｇの場合には、比較例Ａ
よりも抗折強度が大きくなっている。クリープ量（高温
クリープ試験値）は、２０×８０×３ｍｍの試料を用
い、試料の中央に６６０ｇの荷重を加えた状態において
１４００℃で１０時間保持する加熱工程を１０サイクル
繰り返した後の最大反り量を測定したものである。この
結果、実施例Ｂ〜Ｇでは、比較例Ａと比較して大幅にク
リープ量が小さくなった。ジルコニア結晶の安定化度
（ＺｒＯ2安定化度）は、焼成された試料のＸ線回折記
録より正方晶系（２θ≒３２.２°）の強度（ピーク
値）Ｔと単斜晶系（２θ≒２８.２°）の強度（ピーク
値）Ｍを求め、 安定化度（％）＝１００×Ｔ／（Ｔ＋Ｍ） より計算されたものである。実施例Ｂ〜Ｇでは、全体と
して比較例Ａよりもかなり大きな安定化度となってい
る。これより、酸化イットリウムの割合が０.３〜１.０
ｗｔ％の実施例Ｂ〜Ｇでは正方晶ジルコニアの安定化傾
向が高いことが確認された。
【００２１】表２では、比較例Ａと比較して実施例Ｂ〜
Ｇのクリープ量は小さくなっており、表１と対比して、
アルミナ−ジルコニア炉材に酸化イットリウムを添加す
ることにより高温クリープに強くなることが確認でき
た。特に、安定化度が９０％以上のものでは、極めて高
温クリープに強くなっている。
Ｇのクリープ量は小さくなっており、表１と対比して、
アルミナ−ジルコニア炉材に酸化イットリウムを添加す
ることにより高温クリープに強くなることが確認でき
た。特に、安定化度が９０％以上のものでは、極めて高
温クリープに強くなっている。
【００２２】次に、表１の比較例Ａ及び実施例Ｂ、Ｅ〜
Ｇ（安定化度が９０％以上のもの）と同一組成のスラリ
ー状をした炉材原料を用い、これらに粒径１００〜５０
０μｍの樹脂粒子を混合し、図２に示すような平板状
（縦横の寸法ａ＝ｂ＝２２０ｍｍ、厚みｔ＝５ｍｍ）に
鋳込み成形し、焼成して嵩密度１.１〜１.６ｇ／ｃｃの
多孔質炉材３（それぞれ比較例Ａ及び実施例Ｂ，Ｅ〜Ｇ
という。）を製作し、各多孔質炉材３の上にセラミック
コンデンサ素体約５００ｇを積載して実装試験を行なっ
た。すなわち、各炉材の上にセラミックコンデンサ素体
を積載し、１４００℃で２時間保持の焼成工程を１０回
繰返し、そのときの比較例Ａ及び実施例Ｂ，Ｅ〜Ｇの撓
み（クリープ量）を測定した。この結果を表３に示す。
Ｇ（安定化度が９０％以上のもの）と同一組成のスラリ
ー状をした炉材原料を用い、これらに粒径１００〜５０
０μｍの樹脂粒子を混合し、図２に示すような平板状
（縦横の寸法ａ＝ｂ＝２２０ｍｍ、厚みｔ＝５ｍｍ）に
鋳込み成形し、焼成して嵩密度１.１〜１.６ｇ／ｃｃの
多孔質炉材３（それぞれ比較例Ａ及び実施例Ｂ，Ｅ〜Ｇ
という。）を製作し、各多孔質炉材３の上にセラミック
コンデンサ素体約５００ｇを積載して実装試験を行なっ
た。すなわち、各炉材の上にセラミックコンデンサ素体
を積載し、１４００℃で２時間保持の焼成工程を１０回
繰返し、そのときの比較例Ａ及び実施例Ｂ，Ｅ〜Ｇの撓
み（クリープ量）を測定した。この結果を表３に示す。
【００２３】
【表３】
【００２４】表３から明らかなように、酸化イットリウ
ムの添加により安定化度が９０％以上になる組成領域で
は、焼成累積回数を１０回行っても撓みは１.５ｍｍ以
内の範囲にあり、積載品の電気的特性にも影響を与えな
いことが確認された。
ムの添加により安定化度が９０％以上になる組成領域で
は、焼成累積回数を１０回行っても撓みは１.５ｍｍ以
内の範囲にあり、積載品の電気的特性にも影響を与えな
いことが確認された。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の酸化イッ
トリウムが添加されたアルミナ−ジルコニア系炉材は、
被焼成物と反応しにくく、耐熱衝撃性が高く、かつ高温
クリープの少ない炉材となる。したがって、炉材の高温
におけるクリープ特性を改善することができ、焼成炉に
おける雰囲気制御等の焼成条件の制御を精確かつ容易に
行なえる。また、炉材の寿命も長くなり、酸化イットリ
ウムを添加していないアルミナ−ジルコニア系炉材より
約５０％程度寿命が長くなり、炉材コストを低減するこ
とができる。さらに、軽量炉材となるため、熱容量が小
さくなり、焼成時の消費エネルギーを小さくでき、省エ
ネルギーにも貢献できる。
トリウムが添加されたアルミナ−ジルコニア系炉材は、
被焼成物と反応しにくく、耐熱衝撃性が高く、かつ高温
クリープの少ない炉材となる。したがって、炉材の高温
におけるクリープ特性を改善することができ、焼成炉に
おける雰囲気制御等の焼成条件の制御を精確かつ容易に
行なえる。また、炉材の寿命も長くなり、酸化イットリ
ウムを添加していないアルミナ−ジルコニア系炉材より
約５０％程度寿命が長くなり、炉材コストを低減するこ
とができる。さらに、軽量炉材となるため、熱容量が小
さくなり、焼成時の消費エネルギーを小さくでき、省エ
ネルギーにも貢献できる。
【図１】本発明の一実施例による焼成用炉材の外観斜視
図である。
図である。
【図２】高温クリープ試験に用いた炉材の斜視図であ
る。
る。
１ 焼成用炉材 ２ 気孔
Claims (1)
- 【請求項１】 高純度アルミナ８０〜９０ｗｔ％に対し
て単斜晶ジルコニア２０〜１０ｗｔ％の割合で配合し、
高純度アルミナ及び単斜晶ジルコニア１００ｗｔ％に対
して０.３〜１.０ｗｔ％の割合で酸化イットリウムを添
加し、さらに粒子状ないし繊維状をした樹脂を混合して
炉材原料を調合し、この炉材原料を焼成した多孔質焼結
体からなるセラミック焼成用炉材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03245091A JP3127514B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | セラミック焼成用炉材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03245091A JP3127514B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | セラミック焼成用炉材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0558757A true JPH0558757A (ja) | 1993-03-09 |
| JP3127514B2 JP3127514B2 (ja) | 2001-01-29 |
Family
ID=17128475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03245091A Expired - Fee Related JP3127514B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | セラミック焼成用炉材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3127514B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017024916A (ja) * | 2015-07-15 | 2017-02-02 | 三井金属鉱業株式会社 | 電子部品焼成用治具 |
| CN112225543A (zh) * | 2020-10-12 | 2021-01-15 | 郑州方铭高温陶瓷新材料有限公司 | 一种应用于玻璃窑炉蓄热室的熔铸成型筒型陶瓷砖及其制备方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0619514U (ja) * | 1992-04-15 | 1994-03-15 | アキレス株式会社 | 防水靴 |
-
1991
- 1991-08-29 JP JP03245091A patent/JP3127514B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017024916A (ja) * | 2015-07-15 | 2017-02-02 | 三井金属鉱業株式会社 | 電子部品焼成用治具 |
| CN112225543A (zh) * | 2020-10-12 | 2021-01-15 | 郑州方铭高温陶瓷新材料有限公司 | 一种应用于玻璃窑炉蓄热室的熔铸成型筒型陶瓷砖及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3127514B2 (ja) | 2001-01-29 |
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