JPH10194824A - ジルコニア含有アルミナ焼結体 - Google Patents
ジルコニア含有アルミナ焼結体Info
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- JPH10194824A JPH10194824A JP8351392A JP35139296A JPH10194824A JP H10194824 A JPH10194824 A JP H10194824A JP 8351392 A JP8351392 A JP 8351392A JP 35139296 A JP35139296 A JP 35139296A JP H10194824 A JPH10194824 A JP H10194824A
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Abstract
撃性を有するジルコニア含有アルミナ焼結体を提供す
る。 【解決手段】アルミナを主体とし、平均結晶粒子径0.
2〜2μmのジルコニアを2〜30容量%含有させると
ともに、アルミナマトリックス中に上記ジルコニア粒子
が実質的に凝集しない状態で均一に分散させ、かつ、室
温(25℃)において上記ジルコニアの10〜85%を
単斜晶ジルコニアの状態で存在させる。
Description
するとともに、耐熱衝撃性に優れるジルコニア含有アル
ミナ焼結体に関するものであり、軸受、糸ガイド、ポン
プ用部材、CVD装置用インシュレータなどとして好適
に使用できるものである。
るためにアルミナマトリックス中にジルコニア粒子を分
散させたジルコニア含有アルミナ焼結体が注目され、研
究されている。
特公平8−13701号公報には、アルミナマトリック
ス中に準安定状態の正方晶ジルコニア粒子を分散させた
ジルコニア含有アルミナ焼結体が開示されている。この
ジルコニア含有アルミナ焼結体に外力が加わると、準安
定状態である正方晶ジルコニア粒子が単斜晶に相転移
し、この時に生じる体積膨張に伴って発生する微細なマ
イクロクラックにより応力を緩和することで焼結体の強
度や破壊靱性値を向上させたものであり、ジルコニアの
持つ応力誘起変態機構を利用したものである。
は、アルミナマトリックス中に安定化されていないジル
コニア粒子からなる凝集粒子を分散させたジルコニア含
有アルミナ焼結体が開示されている。このジルコニア含
有アルミナ焼結体は、凝集したジルコニア粒子の周囲に
マイクロクラックを形成したものであり、この焼結体に
外力が加わると、応力により発生したクラックを上記マ
イクロクラックにより分岐させて応力を吸収、緩和する
ことで焼結体の破壊靭性値を向上させたものであり、安
定化されていないジルコニア粒子によるマイクロクラッ
クを利用したものである。
のジルコニア含有アルミナ焼結体も機械的特性の向上を
主目的として研究されたものであり、熱衝撃特性につい
ては十分な研究がされておらず、耐熱衝撃性の点で満足
できるものではなかった。
公平8−13701号公報に開示されているジルコニア
含有アルミナ焼結体のように、アルミナマトリックス中
に正方晶ジルコニアを分散させた構造では、熱衝撃によ
り瞬間的に発生する応力に対してジルコニアの応力誘起
変態機構が働かず、正方晶ジルコニアの殆どが相転移し
ないことから、焼結体内に微細なマイクロクラックを形
成することができない。その為、熱衝撃に伴う応力を吸
収、緩和することができず、強度が大きく劣化するとい
った課題があった。なお、正方晶ジルコニアの含有量を
多くして強度を著しく高めることにより焼結体の耐熱衝
撃性を高めることはできるものの、ジルコニアは高価な
材料であることから含有量を増やすと製造コストが高く
なりすぎ不経済であった。
は、焼結体の内部にマイクロクラックが存在するため、
熱衝撃による応力を緩和することができるものの、アル
ミナマトリックス中に分散するジルコニア粒子は2〜1
5μmの凝集粒子であることから、焼結体内には微細な
マイクロクラックとともに大きなクラックが遍在してお
り、そのために焼結体の強度をそれほど高めることがで
きず、また、熱衝撃に伴う応力によって強度が大きく劣
化するといった課題があった。
ともに、耐熱衝撃性に優れたジルコニア含有アルミナ焼
結体を提供することにある。
題に鑑み、アルミナを主体とし、ジルコニアを2〜30
容量%含有するとともに、アルミナマトリックス中に上
記ジルコニア粒子が実質的に凝集しない状態で均一に分
散し、室温(25℃)において上記ジルコニアの10〜
85%が単斜晶ジルコニアであって、この焼結体を水温
との温度差が250℃となるように加熱し、水中に投下
した後の抗折強度が250MPa以上であるジルコニア
含有アルミナ焼結体を構成したものである。
均結晶粒子径を0.2〜2μmとしたものである。
移を伴うジルコニア粒子を分散させるとともに、室温
(25℃)において上記ジルコニア粒子の一部を単斜晶
ジルコニアの状態で存在させることにより、アルミナ焼
結体内に極めて微細なマイクロクラックを形成したもの
であり、これによりアルミナ焼結体の耐熱衝撃性を高め
ることができる。
度で準安定な正方晶ジルコニアの状態で存在し、110
0℃未満の温度では単斜晶ジルコニアの状態で存在す
る。また、ジルコニアは正方晶ジルコニアから単斜晶ジ
ルコニアに相転移する時、体積膨張を伴うため、アルミ
ナマトリックス中に単斜晶ジルコニアを分散させること
で、単斜晶ジルコニアの周囲に微細なマイクロクラック
を形成することができ、このマイクロクラックにより熱
応力に伴うクラックの進行を防ぐことができるため、ア
ルミナ焼結体の耐熱衝撃性を高めることができる。
0容量%の範囲で含有するとともに、アルミナマトリッ
クス中に分散させる単斜晶ジルコニアの割合を10〜8
5%とすることが重要である。
り少ないと全てのジルコニアが単斜晶ジルコニアであっ
たとしても焼結体内に形成されるマイクロクラックが少
な過ぎるため、熱衝撃に伴う応力を十分に吸収すること
がでず、強度が大幅に劣化するからであり、逆に、ジル
コニアの含有量が30容量%より多くなると焼結体内に
形成されるマイクロクラックが多くなり過ぎるために焼
結体の強度が大きく低下するからである。
満では、焼結体内に形成されるマイクロクラックが少な
すぎるために、熱衝撃に伴う応力を吸収することがで
ず、耐熱衝撃性を高めることができないからであり、逆
に、単斜晶ジルコニアの割合が85%より多くなると、
室温において焼結体内に形成されるマイクロクラックが
多すぎるために焼結体そのものの強度が大きく低下する
からである。
容量%の範囲で含有するとともに、アルミナマトリック
ス中に分散させる単斜晶ジルコニアの割合を50〜80
%とすることが良く、この範囲でジルコニアを含有すれ
ば、室温における焼結体の強度を500MPa以上で、
かつ250℃の熱衝撃に対して400MPa以上の抗折
強度をもった耐熱衝撃性に優れるアルミナ焼結体とする
ことができる。
る単斜晶ジルコニア粒子は、凝集させずにほぼ均一に分
散させることが重要である。
状態でアルミナマトリックス中に存在していると、各単
斜晶ジルコニア粒子の周囲に形成されるマイクロクラッ
クが結合し、大きなクラックが偏在した状態となるため
に、焼結体の強度を高める効果が小さく、また、熱衝撃
により強度が大きく劣化するからであり、本発明のよう
に、単斜晶ジルコニア粒子を凝集させずにアルミナマト
リックス中に均一に分散させることで、微細なマイクロ
クラックを均等に形成することができるため、熱衝撃に
伴う応力を吸収、緩和し、アルミナ焼結体の耐熱衝撃性
を高めることができる。
が2μmより大きくなると、単斜晶ジルコニアの周囲に
微細なマイクロクラックを均一に形成することができな
いために強度を高めることができず、また、十分な耐熱
衝撃性も得られない。また、ジルコニア粒子の平均結晶
粒子径を0.2μmより小さくすることは製造上難し
い。
せるジルコニア粒子の平均結晶粒子径は0.2〜2μm
とすることが良い。
量%の範囲で含有すれば良く、さらには焼結性を高める
ためにSiO2 、MgO、CaO等の焼結助剤を1容量
%以下の範囲で含有しても良い。
0μmとすることが良く、これは、アルミナの平均結晶
粒子径が1μmより小さくすることは製造上難しいから
であり、アルミナの平均結晶粒子径が20μmより大き
くなるとアルミナ焼結体の強度が大きく低下するからで
ある。
ルミナ焼結体を得るには、平均粒子径0.5〜10μm
のアルミナを70〜98容量%に対し、Y2 O3 やCa
O等の安定化剤により安定化あるいは部分安定化してい
ない平均粒子径0.5〜2.0μmのジルコニアを2〜
30容量%添加し、振動ミル、ビーズミル等にて混合す
る。
aO等の安定化剤により安定化あるいは部分安定化して
いないジルコニア粉体を用いるのは、安定化あるいは部
分安定化されたジルコニア粉体を使用すると、2〜30
容量%の範囲で含有したとしてもアルミナマトリックス
中に存在する単斜晶ジルコニアの割合が少なすぎること
から、焼結体内に十分な量のマイクロクラックを形成す
ることができないからである。また、原料を混合する時
は、アルミナ粉体とジルコニア粉体とを均一に混合する
ために、振動ミル、ビーズミル等にて混合することが重
要である。即ち、アルミナ粉体とジルコニア粉体とを均
一に混合させることで、焼結体を形成した時にジルコニ
ア粒子が凝集することを防ぎ、アルミナマトリックス中
にジルコニア粒子を均一に分散させることができるから
である。
を加えて泥しょうを作製し、スプレードライヤーにより
噴霧乾燥させて顆粒を形成したあと、この顆粒を金型内
に充填して一軸加圧成形法や等圧加圧成形法により成形
体を形成するか、あるいは泥しょうをテープ成形法や鋳
込成形法、あるいは射出成形法などの通常のセラミック
成形法により成形体を形成する。
空雰囲気中にて1500〜1650℃の焼成温度で1〜
数時間焼成すれば良い。
したのは、単斜晶ジルコニアの割合が焼成温度と相関関
係があるからであり、図1に示すように焼成温度を高く
することで、単斜晶ジルコニアの割合を多くすることが
できる。ただし、焼成温度が1500℃より低いと単斜
晶ジルコニアの割合を10%以上とすることができず、
また、焼結性が悪いために緻密化することができないた
めに強度を高めることができず、逆に、1650℃より
大きくなるとジルコニアの異常粒成長をアルミナ粒子が
抑えきれなくなり、焼結体の強度が低下するからであ
る。
ナ焼結体は、アルミナマトリックス中に2〜30容量%
のジルコニア粒子が実質的に凝集せずに均一に分散して
おり、ジルコニアの10〜85%を単斜晶ジルコニアの
状態で存在させることができる。
合をそれぞれ変化させたジルコニア分散アルミナ焼結体
を形成し、3点曲げ試験により室温における抗折強度及
び耐熱衝撃性について測定を行った。
とジルコニア粉末を表1に示す割合で合計が1kgにな
るように計量して加え、振動ミルにて24〜48時間程
度湿式混合し、その後、バインダーを加えて泥しょうを
作製し、スプレードライヤーで乾燥させてアルミナ粉体
とジルコニア粉体とが均一に混合した顆粒(原料)を作
製した。なお、表1に示すNo.4のジルコニア粉末に
は3molのY2 O3で部分安定化したジルコニア粉末
を使用し、それ以外は安定化剤により安定化あるいは部
分安定化していないジルコニア粉末を使用した。
形法により1ton/cm2 の圧力にて角柱状に成形
し、この成形体を1500〜1650℃の温度で焼成
し、得られた角柱状の焼結体に研削加工を施して3×4
×40mmの抗折試験片を各15本ずつ製作した。
回折装置にて測定し、単斜晶ジルコニアのピーク強度I
m と単斜晶ジルコニア以外のジルコニアのピーク強度I
t をそれぞれ求め、数1に基づいて単斜晶ジルコニアの
割合を算出したあと、室温(25℃)における抗折強度
を測定した。次に、水温との温度差が200℃、250
℃となるように各抗折試験片を加熱し、その後、水中に
投下して熱衝撃を加えたあとの抗折強度を測定し、耐熱
衝撃性について測定した。
アルミナ焼結体を用意し、同様に実験を行った。
びその結果は表1にそれぞれ示す通りである。
アを含有してあることから、室温時の抗折強度を基準試
料であるアルミナ焼結体よりも向上させることができた
ものの、ジルコニアの含有量が1容量%と少なく、ま
た、単斜晶ジルコニアの割合も少ないことから、250
℃の熱衝撃に対して抗折強度が90MPaと大幅に強度
劣化した。
含有量が35容量%と30容量%より多く、さらに、単
斜晶ジルコニアの割合も91.2%と85%より多いこ
とから、室温時の抗折強度が206MPaと基準試料で
あるアルミナ焼結体より低いものであった。
6〜9は、いずれもジルコニアの含有量が2〜30容量
%で、かつ単斜晶ジルコニアの割合が10〜85%であ
るために室温における抗折強度が500MPa以上と、
基準試料であるアルミナ焼結体に比べて抗折強度を大幅
に向上させることができ、さらには、250℃の熱衝撃
に対しても250MPa以上の抗折強度が得られた。特
に、試料No.3,6〜8は、ジルコニアの含有量が1
0〜20容量%で、かつ単斜晶ジルコニアの割合が50
〜80%の範囲にあるため、250℃の熱衝撃に対して
400MPa以上の抗折強度が得られ、優れた耐熱衝撃
性を有していた。
ずれもジルコニアの含有量が同じであるにもかかわら
ず、試料No.4は原料に部分安定化ジルコニアを使用
していることから、室温における抗折強度は最も高かっ
たものの、焼結体内における単斜晶ジルコニアの割合が
0.5%と少ないために250℃の熱衝撃を加えると抗
折強度が168MPaにまで低下し、大幅な強度劣化が
見られた。
温における抗折強度が試料No.4のものと比べて若干
劣るものの、単斜晶ジルコニアの割合が55.1%と焼
結体内に微細なマイクロクラックを有することから、2
50℃の熱衝撃に対しても465MPaもの高い抗折強
度を有していた。
るためには応力誘起変態機構を持つ正方晶ジルコニアを
分散させるよりもマイクロクラックを発生させる単斜晶
ジルコニアの状態で存在させた方が良いことが判る。
と、試料No.5は単斜晶ジルコニアの割合が72.2
%であるものの、ジルコニアの平均結晶粒子径が2μm
より大きいために室温における強度が低く、また、25
0℃の熱衝撃を加えた時の抗折強度も108MPaと低
いものであったが、本発明の試料No.3,6はジルコ
ニアの平均結晶粒子径が2μm以下であることから、室
温において500MPa以上の抗折強度を有し、250
℃の熱衝撃を加えても大きな強度劣化は見られなかっ
た。
粒子径は2μm以下のものが良いことが判る。
アルミナ焼結体は、アルミナを主体とし、平均結晶粒子
径が0.2〜2μmのジルコニアを2〜30容量%含有
するとともに、アルミナマトリックス中に上記ジルコニ
ア粒子が実質的に凝集しない状態で均一に分散してな
り、室温(25℃)において上記ジルコニアの10〜8
5%を単斜晶ジルコニアの状態で存在させたことによ
り、室温における抗折強度を高めることができるととも
に、耐熱衝撃性に優れた焼結体とすることができる。
焼結体は、軸受、糸ガイド、ポンプ用部材、CVD装置
用インシュレータなどの耐熱衝撃性が要求される材料と
して好適に使用することができる。
晶ジルコニアの割合と焼成温度との関係を示すグラフで
ある。
Claims (2)
- 【請求項1】アルミナを主体とし、ジルコニアを2〜3
0容量%含有するとともに、アルミナマトリックス中に
上記ジルコニア粒子が実質的に凝集しない状態で均一に
分散してなり、室温(25℃)において上記ジルコニア
の10〜85%が単斜晶ジルコニアであって、この焼結
体を水温との温度差が250℃となるように加熱し、水
中に投下した後の抗折強度が250MPa以上を有する
ことを特徴とするジルコニア含有アルミナ焼結体。 - 【請求項2】上記ジルコニア粒子の平均結晶粒子径が
0.2〜2μmであることを特徴とする請求項1に記載
のジルコニア含有アルミナ焼結体。
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1996
- 1996-12-27 JP JP35139296A patent/JP4195518B2/ja not_active Expired - Fee Related
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