JPH0558515A - 基板位置決め装置 - Google Patents

基板位置決め装置

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JPH0558515A
JPH0558515A JP22033091A JP22033091A JPH0558515A JP H0558515 A JPH0558515 A JP H0558515A JP 22033091 A JP22033091 A JP 22033091A JP 22033091 A JP22033091 A JP 22033091A JP H0558515 A JPH0558515 A JP H0558515A
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悌司 崎田
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Abstract

(57)【要約】 【目的】矩形状等の基板の互いに直交する方向の2つの
側端縁を押圧部材によって押圧することによって該側端
縁に対向する他の側端縁を当接ピンに当接させて基板を
位置決めする場合に円滑に且つ精度良く位置決め動作で
きるようにする。 【構成】基板を水平に載置する基台と、該基台上に載置
される基板の一側端縁を当接させる第1当接ピンと、該
第1当接ピンと相対する前記基板の他側端縁を第1当接
ピン方向に押圧して位置決めする自由回転可能な第1押
圧コロと、対向する前記基板両端縁に対して直交方向に
対向する一側端縁を当接させる第2当接ピンと、該第2
当接ピンに相対する他側端縁を第2当接ピン方向に押圧
して位置決めする自由回転可能な第2押圧コロとを備え
た基板位置決め装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、基板の一端縁を当接ピ
ンなどの前当部に当接して位置決めするために、それと
相対する基板の他端縁を当接ピン方向に押圧して、当接
ピンに対して基板を正確に位置決めするための基板位置
決め装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の基板位置決め装置としては、図7
(a)に示すように、水平な基台1の一端縁部に第1当
接ピン2(1個又は1対2個の当接ピン)を備え、該一
端縁部と直交する他端縁部に第2当接ピン3を備え、前
記第1当接ピン2に離間対向して基台1上を前進後退動
作する第1押圧板4を、又、前記第2当接ピン3に離間
対向して基台1上を前進後退動作する第2押圧板6を設
け、第1押圧板4は、作動ロッド5aを介してエアーシ
リンダーなどレシプロ駆動体5に、第2押圧板6は、作
動ロッド7aを介してレシプロ駆動体7に取付けられて
いる。
【0003】上記基板位置決め装置により位置決めする
場合は、位置決めすべき方形の基板Aを、フォークリフ
ト、ロボットハンド等の搬送手段によって基台1上の適
宜位置に載置し、続いて、レシプロ駆動体5を伸長動作
させて第1押圧板4を基板Aの一側端縁A1 に当接させ
且つ押圧動作して、前記一側端縁A1 に対向する他側端
縁A2 を第1当接ピン2に当接させる。(図7(b)参
照)
【0004】続いて、前記第1押圧板4を一側端縁A1
に押圧動作継続状態のまま基板Aの他側端縁A2 を第1
当接ピンに当接した状態で、前記一側端縁A1 と直交す
る他の一側端縁A3 をレシプロ駆動体7を動作させて第
2押圧板6により押圧して、該一側端縁A3 に対向する
他側端縁A4 を第2当接ピン3に当接させる。(図7
(c)参照)
【0005】このようにして、上記基板位置決め装置に
よって、基板Aは、第1当接ピン2と第2当接ピン3と
によって決定される基準位置に位置決めされるものであ
る。しかしながら、図7の上記基板位置決め装置におい
ては、図7(b)にて、基板Aの対向端縁A1 、A
2 は、第1当接ピン2と第1押圧板4との間に挟持され
た状態で、図7(c)にて第2押圧板6によって押圧し
ながら基板Aを第2当接ピン3方向に押圧する場合に、
第1押圧板4と基板Aの一側端縁A1 との間、及び第1
当接ピン2と他側端縁A2との間に摩擦力が生じて、第
2押圧板6によって基板Aが第2当接ピン3方向に円滑
に移動せず、該第2当接ピン3に対して完全に当接しき
れない場合が発生する。特に、第1押圧板4及び第2押
圧板6、又は作動ロッド5a,7aに押圧動作に対する
緩衝作用を与えるための押圧クッション機構を備えてい
るような場合にはそのような現象が発生し易く、位置決
め制度が低下する場合がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、矩形状等の
基板の互いに直交する方向の2つの側端縁を押圧部材に
よって押圧することによって該側端縁に対向する他の側
端縁を当接ピンに当接させて基板を位置決めする場合
に、円滑に且つ精度良く位置決め動作できるようにする
ことを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板を水平に
載置する基台と、該基台上に載置される基板の一側端縁
を当接させる第1当接ピンと、該第1当接ピンと相対す
る前記基板の他側端縁を第1当接ピン方向に押圧して位
置決めする自由回転可能な第1押圧コロと、対向する前
記基板両端縁に対して直交方向に対向する一側端縁を当
接させる第2当接ピンと、該第2当接ピンに相対する他
側端縁を第2当接ピン方向に押圧して位置決めする自由
回転可能な第2押圧コロとを備えたことを特徴とする基
板位置決め装置である。
【0008】
【作用】本発明の基板位置決め装置は、押圧部材として
自由回転可能な押圧コロを備えたので、一方の第1押圧
コロによって第1当接ピン側に基板を押圧動作継続した
状態で、第2押圧コロによって第2当接ピン側に基板を
押圧して移動動作した場合、前記第1押圧コロは、該基
板の移動動作に追従して回転動作し、摩擦力による基板
の動きの悪さを解消できる。
【0009】又、第1、第2押圧コロのブラケット位置
に弾力部材を内装する往復摺動機構を設けることによ
り、直角度を保持した正方形、長方形以外に、直角度の
ない台形状、平行四辺形状などの一般的な四角形状の基
板、又は円形状の基板の位置決めにも適用できるもので
ある。
【0010】
【実施例】本発明を実施例図面に従って詳細に説明すれ
ば、図1は、本発明基板位置決め装置の一実施例の平面
図であり、水平な基台11の一端部に、1対の第1当接
ピン12,12を設け、該一端部と直交する他端部に第
2当接ピン13を設ける。前記第1当接ピン12、第2
当接ピン13は、位置決めすべき基板Aの側端縁に対す
る接触面積をできる限り少なくするために、例えば、直
径10mm以下の細い円柱形状であることが適当である
が、それ以外に5mm〜10mm程度の四角柱状であっ
てもよい。
【0011】前記第1当接ピン12,12に対向して、
自由回転可能な第1押圧コロ14,14を設け、前記第
2当接ピン13に対向して、自由回転可能な第2押圧コ
ロ16を設ける。図1に示すように前記第1押圧コロ1
4は、一対の前記第1当接ピン12,12に対向して2
個を設けるものであるが、これに限定することなく1個
乃至数個の第1押圧コロ14を設けるようにしてもよ
い。又、図1に示すように前記第2押圧コロ16は、第
2当接ピン13に対向して1個を設けるものであるが、
これに限定することなく1乃至数個の第2押圧コロ16
を設けるようにしてもよい。
【0012】各々前記第1押圧コロ14は、ベアリング
軸14aを介して自由回転可能にロッド21の一端部に
軸支され、該ロッド21は、ブラケット22に往復摺動
自在に支持される。前記ロッド21の他端部側には該ロ
ッド21の抜け止め用の係止板23を取付け固定してあ
り、前記他端部側及び前記係止板23をロッド21の一
端部方向に付勢する弾力部材24(例えば、バネ)を備
える。
【0013】該弾力部材24は、ロッド21の他端部側
を覆うようにブラケット22に取付け固定されるハウジ
ング部材など支持フレーム25にて支持される。該弾力
部材24は、位置決めすべき基板Aの側端縁に多少の凹
凸があったり、あるいは弯曲していたり、あるいは又、
基板の対向する両側端縁が、多少平行でなかったり、隣
接する互いに直交する方向にある側端縁の交差角度が直
角でなかったりした場合に、それを吸収する作用をする
ものである。
【0014】前記ブラケット22は、エアーシリンダー
などレシプロ駆動体15の作動ロッド15a先端部に取
付け固定されるものである。
【0015】次に、前記第2押圧コロ16は、ベアリン
グ軸16aを介して自由回転可能にロッド31の一端部
に軸支され、該ロッド31は、例えば、図1に示すよう
に、シリンダー状、若しくは、矩形状等のブラケット3
2に往復摺動自在に支持される。前記ロッド31の他端
部側は前記ブラケット32内に装填されており、該他端
部には該ロッド31の抜け止め用の係止板33を取付け
固定してあり、前記他端部側及び前記係止板33をロッ
ド31の一端部方向に付勢する弾力部材34(例えば、
バネ)が該ブラケット32内に取付け固定されている。
【0016】前記ブラケット32は、エアーシリンダー
などレシプロ駆動体17の作動ロッド17a先端部に取
付け固定されるものである。
【0017】なお、本発明基板位置決め装置により、基
板を位置決めするための位置決め用基準位置は、第1当
接ピン12,12と第2当接ピン13との3点により決
定され、その3点間の相対位置は、基台1に対して相対
的に固定か、若しくは適宜位置調整でき、設定できるよ
うになっている。
【0018】図2、図3、図4は、本発明基板位置決め
装置を用いて、基板Aを位置決めする場合の動作を説明
する平面図であり、まず、図2に示すように、基台1上
の所定位置(該基台1の領域を外れない範囲の位置)
に、適宜なる搬送手段(例えば、フォークリフト、ロボ
ットハンドなど)により基板Aを搬送して載置する。基
板Aとしては、合成樹脂製基板、金属製基板、ガラス製
基板、紙製基板、あるいは合成樹脂、金属、ガラス、紙
などのいずれかを複合した複合材による基板が適用でき
る。
【0019】次に、図3、駆動体15を動作させて、第
1押圧コロ14,14を基板Aの一端縁A1 方向に前進
させて、該一端縁A1 を該第1押圧コロ14,14にて
押圧し、基板Aの他端縁A2 を第1当接ピン12,12
に当接する。
【0020】続いて該第1押圧コロ14,14によって
基板Aの他端縁A2を第1当接ピン12,12に押圧し
て当接させた状態で、図4、駆動体17を動作させて第
2押圧コロ16を基板Aの前記両端部A1 ,A2に対し
て直交する方向の一端縁A3 を該第2押圧コロ16によ
って押圧して、該基板Aの前記一端縁A1 を自由回転す
る前記第1押圧コロ14,14に沿って滑動移動させな
がら、且つ、前記他端縁A2 を第1当接ピン12,12
に沿って移動させながら、該基板Aを移動させ、該基板
Aの該一端縁A3 に対向する他端部A4 を第2当接ピン
13に当接するものである。
【0021】当接させた後は、駆動体15、17を縮小
動作させて、第1押圧コロ14、及び第2押圧コロ16
をそれぞれ水平に後退動作させて、元の位置に復帰退避
させるものである。
【0022】このようにして位置決めされた基板Aは、
その上側より、印刷手段、樹脂液塗布手段、あるいは加
圧又は加熱加圧エンボス手段、断裁手段などによって、
適宜印刷、塗布、エンボス、断裁加工が行なわれるもの
である。
【0023】本発明の基板位置決め装置によって位置決
めする基板Aの形状としては、四角隅部が直角の正方形
状、長方形状、あるいはそれ以外に平行四辺形状、台形
状、あるいはそれ以外の四角形状の基板Aが適用でき、
又、円形状、楕円形状などの基板Aの位置決めにも適用
が可能である。
【0024】図5は、本発明の基板位置決め装置の側面
図であり、第1押圧コロ14を前進、後退動作させる駆
動体15に、上昇、下降動作する駆動体41を一体に取
付けて、位置決め使用されない時は、基板Aより上方、
又は下方位置に退避させておくことは可能であり、該第
1押圧コロ14と同様に、第2押圧コロ16にも上昇、
下降動作する駆動体を取付けるようにしてもよく、又
は、前記駆動体41に、第1押圧コロ14と一体に取付
けてもよい。
【0025】図6は、本発明の基板位置決め装置のその
他の実施例であり、図6(a)に示すように、基台1の
上面に直線的な切溝1aを設け、該切溝1a内にエンド
レスベルト51を送行させ、基台1の両端部外側には、
該エンドレスベルト51を下側より支持するガイドロー
ラー55,55を設け、該ガイドローラー55は、上下
方向に動作可能である。
【0026】前記エンドレスベルト51は、その両端を
プーリー、又はローラーなどの回転体52,53に巻回
し、下側になるエンドレスベルト51は、前記基台1を
下側より支持する基台フレーム54の間を送行させる。
【0027】基台1の切溝1a内を送行する前記エンド
レスベルト51を、ガイドローラー55,55を上昇動
作することによって該基台1上面より僅かに高い位置
(5mm〜10mm程度)に持ち上げて、基板Aを基台
1外方から基台1上面まで搬送した後、前記ガイドロー
ラー55、55を下降動作して、前記エンドレスベルト
51を切溝1a内に水平に下降動作させて、前記エンド
レスベルト51上に載置される基板Aを基台1上面に載
置する。
【0028】続いて、図6(b)に示すように、基台1
の上方より、第1押圧コロ14、及び第2押圧コロ16
を前記上昇下降駆動体41によって下降動作させて基台
1上に停止させ(図5参照)、続いて、図2、図3、図
4にて説明したような順序によって、基板Aを位置決め
するものである。
【0029】
【発明の効果】本発明の基板位置決め装置は、矩形状の
基板の一方の対向両端縁を第1当接ピンと第1押圧コロ
とによって挟持しながら、この両端縁と直交する他方の
対向両端縁を第2当接ピンと第2押圧ピンとによって挟
持する位置まで、第2押圧コロによって押圧しながら基
板を円滑に移動させることができ、第1当接ピンと第2
当接ピンとにより決定される位置決め基準位置に対して
正確に位置決めすることができ、印刷、塗布、エンボ
ス、断裁等の加工用基板の位置決め精度の向上に顕著な
効果を発揮するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基板位置決め装置の一実施例の平面図
である。
【図2】本発明の基板位置決め装置を用いて位置決めす
る場合の位置決め動作を説明する平面図である。
【図3】本発明の基板位置決め装置を用いて位置決めす
る場合の位置決め動作を説明する平面図である。
【図4】本発明の基板位置決め装置を用いて位置決めす
る場合の位置決め動作を説明する平面図である。
【図5】本発明の基板位置決め装置の他の実施例におけ
る側面図である。
【図6】(a)本発明の基板位置決め装置のその他の実
施例における側面図である。 (b)本発明の基板位置決め装置のその他の実施例にお
ける平面図である。
【図7】(a)従来の基板位置決め装置の平面図であ
る。 (b)従来の基板位置決め装置の動作を説明する平面図
である。 (c)従来の基板位置決め装置の動作を説明する平面図
である。
【符号の説明】
A…基板 A1 ,A2 ,A3 ,A4 …側端縁 1…基台
2…第1当接ピン 3…第2当接ピン 4…第1押圧
板 5…レシプロ駆動体 6…第2押圧板 7…レシプ
ロ駆動体 11…基台 12…第1当接ピン 13…第
2当接ピン 14…第1押圧コロ 15…レシプロ駆動
体 16…第2押圧コロ 17…レシプロ駆動体 21
…ロッド 22…ブラケット 23…係止板 24…弾
力部材 25…支持フレーム 31…ロッド 32…ブ
ラケット 33…係止板 34…弾力部材 41…上昇
下降駆動体

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板を水平に載置する基台と、該基台上に
    載置される基板の一側端縁を当接させる第1当接ピン
    と、該第1当接ピンと相対する前記基板の他側端縁を第
    1当接ピン方向に押圧して位置決めする自由回転可能な
    第1押圧コロと、対向する前記基板両端縁に対して直交
    方向に対向する一側端縁を当接させる第2当接ピンと、
    該第2当接ピンに相対する他側端縁を第2当接ピン方向
    に押圧して位置決めする自由回転可能な第2押圧コロと
    を備えたことを特徴とする基板位置決め装置。
  2. 【請求項2】前記第1押圧及び第2押圧コロを、基板の
    上部又は下部に退避可能にした請求項1に記載の基板位
    置決め装置。
  3. 【請求項3】前記第1当接ピンは、基板の一側端縁の少
    なくとも2個所に当接するように設けた請求項1に記載
    の基板位置決め装置。
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Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005173310A (ja) * 2003-12-12 2005-06-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 接着テープ貼付装置および接着テープ貼付方法
WO2007123076A1 (ja) * 2006-04-19 2007-11-01 Sharp Kabushiki Kaisha 液滴塗布装置
JP2008142797A (ja) * 2006-12-06 2008-06-26 Shinko Electric Ind Co Ltd ワークの位置決め装置
JP2009272464A (ja) * 2008-05-08 2009-11-19 Techno Fine:Kk サンプル保持機構
JP2010184721A (ja) * 2009-02-12 2010-08-26 Fuji Seiki Co Ltd フィルム材の搬送装置
CN102666323A (zh) * 2009-11-26 2012-09-12 株式会社尼康 基板处理装置以及显示元件的制造方法
WO2012171252A1 (zh) * 2011-06-17 2012-12-20 长沙中联重工科技发展股份有限公司 定位装置和移动定位方法
JP2013080851A (ja) * 2011-10-05 2013-05-02 Dainippon Printing Co Ltd 基板のアラインメント方法及び装置
CN103624703A (zh) * 2012-08-22 2014-03-12 珠海格力电器股份有限公司 定位装置
CN103659644A (zh) * 2012-08-30 2014-03-26 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 定位装置及其定位机构
JP2015120534A (ja) * 2013-12-24 2015-07-02 鈴茂器工株式会社 フィルム材整列装置、それを有する食材包装装置およびフィルム材整列方法
JP2015139855A (ja) * 2014-01-29 2015-08-03 ファナック株式会社 二つの基準面にワークを位置決めするワーク位置決め装置
WO2016172443A1 (en) * 2015-04-24 2016-10-27 Corning Incorporated Substrate holder
CN106773157A (zh) * 2016-12-06 2017-05-31 友达光电(昆山)有限公司 位置校正装置及位置校正方法
CN108216804A (zh) * 2017-12-25 2018-06-29 东莞捷荣技术股份有限公司 一种基于贴标机的贴标平台
CN111055100A (zh) * 2019-12-27 2020-04-24 中国科学院沈阳自动化研究所 一种门头板精确定位机构

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5785285A (en) * 1980-11-17 1982-05-27 Fujitsu Ltd Method of positioning board for carrying mask exposure device
JPH01102130U (ja) * 1987-12-26 1989-07-10

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5785285A (en) * 1980-11-17 1982-05-27 Fujitsu Ltd Method of positioning board for carrying mask exposure device
JPH01102130U (ja) * 1987-12-26 1989-07-10

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005173310A (ja) * 2003-12-12 2005-06-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 接着テープ貼付装置および接着テープ貼付方法
WO2007123076A1 (ja) * 2006-04-19 2007-11-01 Sharp Kabushiki Kaisha 液滴塗布装置
US8079662B2 (en) 2006-04-19 2011-12-20 Sharp Kabushiki Kaisha Drop coating apparatus
JP2008142797A (ja) * 2006-12-06 2008-06-26 Shinko Electric Ind Co Ltd ワークの位置決め装置
JP2009272464A (ja) * 2008-05-08 2009-11-19 Techno Fine:Kk サンプル保持機構
JP2010184721A (ja) * 2009-02-12 2010-08-26 Fuji Seiki Co Ltd フィルム材の搬送装置
CN102666323A (zh) * 2009-11-26 2012-09-12 株式会社尼康 基板处理装置以及显示元件的制造方法
WO2012171252A1 (zh) * 2011-06-17 2012-12-20 长沙中联重工科技发展股份有限公司 定位装置和移动定位方法
JP2013080851A (ja) * 2011-10-05 2013-05-02 Dainippon Printing Co Ltd 基板のアラインメント方法及び装置
CN103624703A (zh) * 2012-08-22 2014-03-12 珠海格力电器股份有限公司 定位装置
CN103659644A (zh) * 2012-08-30 2014-03-26 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 定位装置及其定位机构
JP2015120534A (ja) * 2013-12-24 2015-07-02 鈴茂器工株式会社 フィルム材整列装置、それを有する食材包装装置およびフィルム材整列方法
JP2015139855A (ja) * 2014-01-29 2015-08-03 ファナック株式会社 二つの基準面にワークを位置決めするワーク位置決め装置
US9333610B2 (en) 2014-01-29 2016-05-10 Fanuc Corporation Workpiece positioning device positioning workpiece at two reference surfaces
WO2016172443A1 (en) * 2015-04-24 2016-10-27 Corning Incorporated Substrate holder
CN106773157A (zh) * 2016-12-06 2017-05-31 友达光电(昆山)有限公司 位置校正装置及位置校正方法
CN106773157B (zh) * 2016-12-06 2018-08-31 友达光电(昆山)有限公司 位置校正装置及位置校正方法
CN108216804A (zh) * 2017-12-25 2018-06-29 东莞捷荣技术股份有限公司 一种基于贴标机的贴标平台
CN111055100A (zh) * 2019-12-27 2020-04-24 中国科学院沈阳自动化研究所 一种门头板精确定位机构
CN111055100B (zh) * 2019-12-27 2021-07-27 中国科学院沈阳自动化研究所 一种门头板精确定位机构

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