JPH0547805A - マガジンカセツト装置 - Google Patents
マガジンカセツト装置Info
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- JPH0547805A JPH0547805A JP22956191A JP22956191A JPH0547805A JP H0547805 A JPH0547805 A JP H0547805A JP 22956191 A JP22956191 A JP 22956191A JP 22956191 A JP22956191 A JP 22956191A JP H0547805 A JPH0547805 A JP H0547805A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- magazine
- tape
- moving
- magazines
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 マガジンを頻繁に交換する必要がなく、作業
効率の向上を図ることができるマガジンカセット装置を
提供する。 【構成】 マガジンカセット装置1は、マガジン20を
収納する収納装置2と、収納装置2を回転軸6の回りに
回転する回転装置と、マガジン20に収納したキャリヤ
30を回転軸6に沿って上下方向に移動する移動装置4
と、収納装置2を加熱・保温する加熱装置とを備えるも
のである。移動装置4の上方にマガジン20がくるよう
に収納装置2を回転する。移動装置4を駆動し、一番上
のキャリヤがマガジン上部から所定の位置に上昇するよ
うにキャリヤ全体を持ち上げる。そして、一番上のキャ
リヤをローダ装置で掴み、作業工程に供給する。
効率の向上を図ることができるマガジンカセット装置を
提供する。 【構成】 マガジンカセット装置1は、マガジン20を
収納する収納装置2と、収納装置2を回転軸6の回りに
回転する回転装置と、マガジン20に収納したキャリヤ
30を回転軸6に沿って上下方向に移動する移動装置4
と、収納装置2を加熱・保温する加熱装置とを備えるも
のである。移動装置4の上方にマガジン20がくるよう
に収納装置2を回転する。移動装置4を駆動し、一番上
のキャリヤがマガジン上部から所定の位置に上昇するよ
うにキャリヤ全体を持ち上げる。そして、一番上のキャ
リヤをローダ装置で掴み、作業工程に供給する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造工程
において半導体装置をマガジン(magazine)方式で次工
程に搬入及び搬出する際に使用されるマガジンカセット
装置に関するものである。
において半導体装置をマガジン(magazine)方式で次工
程に搬入及び搬出する際に使用されるマガジンカセット
装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、フィルムキャリヤテープとI
Cチップの電極とをインナーリードボンディングする場
合には、テープの可撓性を利用したリール・トウ・リー
ル(reel to reel)方式を採用することにより、作業の
自動化を促進している。しかし、この方式では、例えば
ICチップが大型化した場合等、テープをリールで巻き
取る際に、リードの断線やリードとICチップとの接触
により不良品が発生することがある。このため、ICチ
ップが大きい場合には、定尺に切断したテープをキャリ
ヤで挟持し、このキャリヤをマガジンに収納して作業を
行うマガジン(magazine)方式が採用されている。
Cチップの電極とをインナーリードボンディングする場
合には、テープの可撓性を利用したリール・トウ・リー
ル(reel to reel)方式を採用することにより、作業の
自動化を促進している。しかし、この方式では、例えば
ICチップが大型化した場合等、テープをリールで巻き
取る際に、リードの断線やリードとICチップとの接触
により不良品が発生することがある。このため、ICチ
ップが大きい場合には、定尺に切断したテープをキャリ
ヤで挟持し、このキャリヤをマガジンに収納して作業を
行うマガジン(magazine)方式が採用されている。
【0003】図8は通常使用されるマガジンの概略斜視
図である。図8に示すマガジン70は、直方体形状であ
り、上部72に把手74が形成されている。前後の側面
には壁が形成されておらず、この前後の側面からフィル
ムキャリヤテープ等を挟持したキャリヤ80を挿入し、
約20〜30枚を積層する。今、キャリヤ80をマガジ
ン70から樹脂封止工程に搬入する場合、たとえば金型
に二つのキャリヤを入れることができるときには、所定
の装置内に二つのマガジン70を平行に配置し、各マガ
ジンの一番上部にあるキャリヤ80を一方向に引き出
し、所定の位置に搬送するためのローダ装置(不図示)
によりキャリヤ80を所定の作業位置に搬送する。キャ
リヤ80に対して樹脂封止作業が終了すると、マガジン
70を上方向に上昇させた後、マガジン70からローダ
装置により次のキャリヤ80を取り出し、同じ作業を繰
り返す。
図である。図8に示すマガジン70は、直方体形状であ
り、上部72に把手74が形成されている。前後の側面
には壁が形成されておらず、この前後の側面からフィル
ムキャリヤテープ等を挟持したキャリヤ80を挿入し、
約20〜30枚を積層する。今、キャリヤ80をマガジ
ン70から樹脂封止工程に搬入する場合、たとえば金型
に二つのキャリヤを入れることができるときには、所定
の装置内に二つのマガジン70を平行に配置し、各マガ
ジンの一番上部にあるキャリヤ80を一方向に引き出
し、所定の位置に搬送するためのローダ装置(不図示)
によりキャリヤ80を所定の作業位置に搬送する。キャ
リヤ80に対して樹脂封止作業が終了すると、マガジン
70を上方向に上昇させた後、マガジン70からローダ
装置により次のキャリヤ80を取り出し、同じ作業を繰
り返す。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一方向
にマガジン70内のキャリヤ80を出し入れする従来の
方式では、多くとも二つのマガジン70しか所定の装置
にセットすることができないため、マガジン内にキャリ
ヤがなくなると、空になったマガジンを装置から取り出
し、キャリヤ80を収納してある新たなマガジンと交換
する必要がある。このため、大量のテープ等に対して作
業を行う場合には、マガジンを頻繁に交換しなければな
らなくなり、作業効率が悪いという問題があった。
にマガジン70内のキャリヤ80を出し入れする従来の
方式では、多くとも二つのマガジン70しか所定の装置
にセットすることができないため、マガジン内にキャリ
ヤがなくなると、空になったマガジンを装置から取り出
し、キャリヤ80を収納してある新たなマガジンと交換
する必要がある。このため、大量のテープ等に対して作
業を行う場合には、マガジンを頻繁に交換しなければな
らなくなり、作業効率が悪いという問題があった。
【0005】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、マガジンを頻繁に交換する必要がなく、作業効
率を向上させることができるマガジンカセット装置を提
供することを目的とするものである。
であり、マガジンを頻繁に交換する必要がなく、作業効
率を向上させることができるマガジンカセット装置を提
供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明に係るマガジンカセット装置は、被処理物の
処理工程間の搬送に用いるキャリアが複数個収納された
マガジンを略放射状に収納する収納手段と、該収納手段
を回転させる回転手段とを備えることを特徴とするもの
である。
めの本発明に係るマガジンカセット装置は、被処理物の
処理工程間の搬送に用いるキャリアが複数個収納された
マガジンを略放射状に収納する収納手段と、該収納手段
を回転させる回転手段とを備えることを特徴とするもの
である。
【0007】また、前記マガジンに収納したキャリヤを
前記収納手段の回転軸に沿って移動させるキャリヤ移動
手段及び前記収納手段を前記回転軸に沿って移動させる
収納移動手段のうち少なくともいずれか一方を備えてい
ることが望ましい。
前記収納手段の回転軸に沿って移動させるキャリヤ移動
手段及び前記収納手段を前記回転軸に沿って移動させる
収納移動手段のうち少なくともいずれか一方を備えてい
ることが望ましい。
【0008】
【作用】本発明は上記の構成によって、被処理物である
例えば半導体装置が載置されたフィルム又はリードフレ
ームの処理工程間の搬送に用いるキャリアが複数個収納
されたマガジンを収納手段に放射状に収納することによ
り、マガジンを収納手段に複数収納することができる。
また、収納手段を回転させる回転手段を設けたことによ
り、一つのマガジンにキャリヤがなくなった場合には、
収納手段を回転するだけで、次のマガジンからキャリヤ
を容易に供給することができる。
例えば半導体装置が載置されたフィルム又はリードフレ
ームの処理工程間の搬送に用いるキャリアが複数個収納
されたマガジンを収納手段に放射状に収納することによ
り、マガジンを収納手段に複数収納することができる。
また、収納手段を回転させる回転手段を設けたことによ
り、一つのマガジンにキャリヤがなくなった場合には、
収納手段を回転するだけで、次のマガジンからキャリヤ
を容易に供給することができる。
【0009】また、マガジンに収納したキャリヤを収納
手段の回転軸に沿って移動させるキャリヤ移動手段ある
いは収納手段を回転軸に沿って移動させる収納移動手段
を設けることにより、キャリアを所定の位置に搬送する
際の受渡しが容易になる。
手段の回転軸に沿って移動させるキャリヤ移動手段ある
いは収納手段を回転軸に沿って移動させる収納移動手段
を設けることにより、キャリアを所定の位置に搬送する
際の受渡しが容易になる。
【0010】
【実施例】以下に、本発明の一実施例を図面を参照して
説明する。図1は本発明の一実施例であるマガジンカセ
ット装置の概略斜視図、図2はそのマガジンカセット装
置に収納されるマガジンの概略斜視図、図3(a)はそ
のマガジンに収納されるキャリヤの概略斜視図、図3
(b)はそのキャリヤの概略平面図、図4は本発明の一
実施例であるマガジンカセット装置にマガジンを挿入し
た様子を示す図、図5はそのマガジンカセット装置を用
いてフィルムキャリヤテープに搭載されたICチップを
樹脂封止する工程を説明するための図である。
説明する。図1は本発明の一実施例であるマガジンカセ
ット装置の概略斜視図、図2はそのマガジンカセット装
置に収納されるマガジンの概略斜視図、図3(a)はそ
のマガジンに収納されるキャリヤの概略斜視図、図3
(b)はそのキャリヤの概略平面図、図4は本発明の一
実施例であるマガジンカセット装置にマガジンを挿入し
た様子を示す図、図5はそのマガジンカセット装置を用
いてフィルムキャリヤテープに搭載されたICチップを
樹脂封止する工程を説明するための図である。
【0011】図1に示すマガジンカセット装置1は、マ
ガジンを収納する収納装置2と、収納装置2を回転させ
る回転装置(不図示)と、被処理物(TABテープ、リ
ードフレーム等)を挟持したキャリヤを上下方向に移動
する移動装置4と、収納装置2を加熱・保温する加熱装
置(不図示)とを備えるものである。
ガジンを収納する収納装置2と、収納装置2を回転させ
る回転装置(不図示)と、被処理物(TABテープ、リ
ードフレーム等)を挟持したキャリヤを上下方向に移動
する移動装置4と、収納装置2を加熱・保温する加熱装
置(不図示)とを備えるものである。
【0012】収納装置2は、円柱状の本体部10の側面
にマガジンが収納できる収納部12を形成したものであ
る。収納部12は円柱の回転対称軸に対して対称な位置
に六個形成されている。また、収納部12の側面には左
右二つずつ溝部14を形成している。収納装置2はマガ
ジンカセット装置から取り外しが可能であり、また、ア
ルミニウムで形成しているので、ステンレス等で形成し
た場合に比べて軽くなり、持ち運びが容易である。尚、
一般には、収納部12は三つ以上形成することが望まし
く、必ずしも収納部12を対称に形成する必要はない。
また、本体部10は多角柱形状に形成してもよい。
にマガジンが収納できる収納部12を形成したものであ
る。収納部12は円柱の回転対称軸に対して対称な位置
に六個形成されている。また、収納部12の側面には左
右二つずつ溝部14を形成している。収納装置2はマガ
ジンカセット装置から取り外しが可能であり、また、ア
ルミニウムで形成しているので、ステンレス等で形成し
た場合に比べて軽くなり、持ち運びが容易である。尚、
一般には、収納部12は三つ以上形成することが望まし
く、必ずしも収納部12を対称に形成する必要はない。
また、本体部10は多角柱形状に形成してもよい。
【0013】回転装置は収納装置2を回転対称な軸の回
りに回転させるもので、これは正・逆両方向に回転可能
な構成にしてもよい。移動装置4は収納部12に収納し
たマガジン内のキャリヤを回転軸6に沿って図1の上下
方向に移動させるものである。尚、移動装置4も回転軸
6の回りに回転可能に構成してもよい。
りに回転させるもので、これは正・逆両方向に回転可能
な構成にしてもよい。移動装置4は収納部12に収納し
たマガジン内のキャリヤを回転軸6に沿って図1の上下
方向に移動させるものである。尚、移動装置4も回転軸
6の回りに回転可能に構成してもよい。
【0014】マガジンカセット装置を樹脂封止工程に使
用する場合には、加熱装置を設けたことにより、作業前
にあっては、キャリヤを溶融樹脂と略同じ温度に加熱・
保温することができるため、テープが熱膨張した状態で
樹脂封止作業に移行することができるので、作業中にテ
ープが膨張して半導体装置等の搭載位置にずれが生ずる
のを防止することができる。また、作業後にあっては、
熱硬化性樹脂をキュアする作業を、キャリヤを収納装置
に収納した状態で容易に行うことができる。
用する場合には、加熱装置を設けたことにより、作業前
にあっては、キャリヤを溶融樹脂と略同じ温度に加熱・
保温することができるため、テープが熱膨張した状態で
樹脂封止作業に移行することができるので、作業中にテ
ープが膨張して半導体装置等の搭載位置にずれが生ずる
のを防止することができる。また、作業後にあっては、
熱硬化性樹脂をキュアする作業を、キャリヤを収納装置
に収納した状態で容易に行うことができる。
【0015】マガジン20は、図2に示すように、長方
体形状に形成されている。上部には引抜自在の上板22
があり、この上板22には持ち運びを容易にするため把
手24が付いている。マガジン20の前後の側面には壁
が形成されておらず、この前後の側面からキャリヤを挿
入してマガジン20内に積層する。通常、キャリヤは約
20〜30枚積層される。左右の外側面には各々二つず
つ凸部26が形成されている。この凸部26を収納装置
2の溝部14に挿入することにより、マガジン20を収
納装置2の収納部12内に正確に安定させて収納するこ
とができる。また、マガジン20の底部にも壁が形成さ
れておらず、底部の数カ所に設けた小さな保持部28で
キャリヤを保持している。
体形状に形成されている。上部には引抜自在の上板22
があり、この上板22には持ち運びを容易にするため把
手24が付いている。マガジン20の前後の側面には壁
が形成されておらず、この前後の側面からキャリヤを挿
入してマガジン20内に積層する。通常、キャリヤは約
20〜30枚積層される。左右の外側面には各々二つず
つ凸部26が形成されている。この凸部26を収納装置
2の溝部14に挿入することにより、マガジン20を収
納装置2の収納部12内に正確に安定させて収納するこ
とができる。また、マガジン20の底部にも壁が形成さ
れておらず、底部の数カ所に設けた小さな保持部28で
キャリヤを保持している。
【0016】尚、マガジン20はキャリヤを直に積層し
て収納する構造ではなく、たとえば、上方向にしか動か
ないツメをマガジンの左右の内側面に形成して、各キャ
リヤをこのツメで保持して積層するようにしてもよい。
この場合でも、移動装置4を上方向に駆動することによ
り、キャリヤを容易に持ち上げることができる。
て収納する構造ではなく、たとえば、上方向にしか動か
ないツメをマガジンの左右の内側面に形成して、各キャ
リヤをこのツメで保持して積層するようにしてもよい。
この場合でも、移動装置4を上方向に駆動することによ
り、キャリヤを容易に持ち上げることができる。
【0017】図3に示すキャリヤ30は、上キャリヤ片
32aと、下キャリヤ片32bと、蝶番34とからな
る。下キャリヤ片32bにはピン36が形成され、ピン
36に対応する上キャリヤ片32aの位置には穴部38
が形成されている。ピン36はTABテープとキャリヤ
30との位置合わせに使用される。図3(b)の一点鎖
線はTABテープが配置される位置を示す。ピン36に
TABテープのスプロケットホールを入れ、二つのキャ
リヤ片32a,32bを重ね合わせることによりTAB
テープがキャリヤ30に固定される。また、キャリヤ片
32a,32bには、TABテープを挟持しない部分の
略中央部に穴部42,42が、TABテープを挟持する
部分の一端に切込部44,44が形成されている。穴部
42はキャリヤ30と金型のキャビティとの位置合わせ
に使用され、切込部44はTABテープと金型のキャビ
ティとの位置合わせに使用される。
32aと、下キャリヤ片32bと、蝶番34とからな
る。下キャリヤ片32bにはピン36が形成され、ピン
36に対応する上キャリヤ片32aの位置には穴部38
が形成されている。ピン36はTABテープとキャリヤ
30との位置合わせに使用される。図3(b)の一点鎖
線はTABテープが配置される位置を示す。ピン36に
TABテープのスプロケットホールを入れ、二つのキャ
リヤ片32a,32bを重ね合わせることによりTAB
テープがキャリヤ30に固定される。また、キャリヤ片
32a,32bには、TABテープを挟持しない部分の
略中央部に穴部42,42が、TABテープを挟持する
部分の一端に切込部44,44が形成されている。穴部
42はキャリヤ30と金型のキャビティとの位置合わせ
に使用され、切込部44はTABテープと金型のキャビ
ティとの位置合わせに使用される。
【0018】また、上キャリヤ片32aの両端部には切
欠部46が形成されている。このため、キャリヤ30で
TABテープを挟持した場合、上キャリヤ片32aの側
から見ると、キャリヤの切欠部46にTABテープと下
キャリヤ片32bが露出する。このように上キャリヤ片
32aの両端部を切り欠いて形成したのは、後述するよ
うにローダ装置として真空吸着装置を使用したことによ
る。
欠部46が形成されている。このため、キャリヤ30で
TABテープを挟持した場合、上キャリヤ片32aの側
から見ると、キャリヤの切欠部46にTABテープと下
キャリヤ片32bが露出する。このように上キャリヤ片
32aの両端部を切り欠いて形成したのは、後述するよ
うにローダ装置として真空吸着装置を使用したことによ
る。
【0019】ところで、従来のキャリヤはTABテープ
の各コマを三方から挟持するものであったが、本実施例
で使用するキャリヤ30は、各コマの端縁部を四方から
挟持する構造にしている。ただし、樹脂封止作業におい
て樹脂供給口をふさがらないように樹脂供給口に対応す
る部分は一部切り欠いている。テープとして二層構造の
ものを使用する場合、二層テープは三層構造のテープに
比べて、薄型であり、テープの剛性も劣っている。この
ため、従来のキャリヤで二層テープを挟持した場合、テ
ープの歪みにより、位置ずれが生じたり、また樹脂封止
作業を行った際には、テープが樹脂の流れにより、歪ん
だ状態で封止され、樹脂封止製品が不良となってしま
う。本実施例では、テープの各コマの端縁部を四方から
挟持するため、テープの歪みを抑え、フラットな状態で
しっかりと固定することができるので、製品の歩留りを
良くすることができる。
の各コマを三方から挟持するものであったが、本実施例
で使用するキャリヤ30は、各コマの端縁部を四方から
挟持する構造にしている。ただし、樹脂封止作業におい
て樹脂供給口をふさがらないように樹脂供給口に対応す
る部分は一部切り欠いている。テープとして二層構造の
ものを使用する場合、二層テープは三層構造のテープに
比べて、薄型であり、テープの剛性も劣っている。この
ため、従来のキャリヤで二層テープを挟持した場合、テ
ープの歪みにより、位置ずれが生じたり、また樹脂封止
作業を行った際には、テープが樹脂の流れにより、歪ん
だ状態で封止され、樹脂封止製品が不良となってしま
う。本実施例では、テープの各コマの端縁部を四方から
挟持するため、テープの歪みを抑え、フラットな状態で
しっかりと固定することができるので、製品の歩留りを
良くすることができる。
【0020】本実施例では、フィルムキャリヤテープと
して35ミリテープを使用することにしているので、キ
ャリヤ30は、キャリヤ片32a,32bの厚さが約2
mmで、幅約40mm、奥行き約260mmのものを使
用している。マガジン20は、このキャリヤを挿入する
ことができるように設計している。尚、キャリヤの幅・
奥行きを、フィルムキャリヤテープの幅の最大規格であ
る70ミリテープに合わせて形成することにより、35
ミリ、48ミリのテープを使用する場合でも、テープを
挟持する部分の設計を変えることによって、キャリヤ全
体のサイズはそのままで、同一のマガジンを使用するこ
とができる。また、マガジン20、キャリヤ30はステ
ンレス鋼で形成している。
して35ミリテープを使用することにしているので、キ
ャリヤ30は、キャリヤ片32a,32bの厚さが約2
mmで、幅約40mm、奥行き約260mmのものを使
用している。マガジン20は、このキャリヤを挿入する
ことができるように設計している。尚、キャリヤの幅・
奥行きを、フィルムキャリヤテープの幅の最大規格であ
る70ミリテープに合わせて形成することにより、35
ミリ、48ミリのテープを使用する場合でも、テープを
挟持する部分の設計を変えることによって、キャリヤ全
体のサイズはそのままで、同一のマガジンを使用するこ
とができる。また、マガジン20、キャリヤ30はステ
ンレス鋼で形成している。
【0021】次に、本実施例のマガジンカセット装置を
使用してTABテープの樹脂封止処理を行う場合の動作
について説明する。
使用してTABテープの樹脂封止処理を行う場合の動作
について説明する。
【0022】最初に、キャリヤ30でTABテープを挟
持する。多数のキャリヤ30をマガジン20の中に積層
した後、図4に示すように、六つのマガジン20を収納
装置2の収納部12に挿入する。そして、各マガジン2
0の上板22を取り外す。ここで、加熱装置により収納
装置2を溶融樹脂と略同じ温度に加熱する。次に、移動
装置4の上方にマガジンがくるように収納装置2を回転
させる。移動装置4を駆動し、図5に示すように、一番
上のキャリヤがマガジン上部から一定の距離だけ離れた
位置(ローダ装置がキャリヤを掴む位置)に上昇するよ
うにキャリヤ全体を持ち上げる。そして、一番上のキャ
リヤをローダ装置によりモールド工程に供給する。
持する。多数のキャリヤ30をマガジン20の中に積層
した後、図4に示すように、六つのマガジン20を収納
装置2の収納部12に挿入する。そして、各マガジン2
0の上板22を取り外す。ここで、加熱装置により収納
装置2を溶融樹脂と略同じ温度に加熱する。次に、移動
装置4の上方にマガジンがくるように収納装置2を回転
させる。移動装置4を駆動し、図5に示すように、一番
上のキャリヤがマガジン上部から一定の距離だけ離れた
位置(ローダ装置がキャリヤを掴む位置)に上昇するよ
うにキャリヤ全体を持ち上げる。そして、一番上のキャ
リヤをローダ装置によりモールド工程に供給する。
【0023】図6は本実施例で使用するローダ装置(真
空吸着装置)が吸引するキャリヤの部分を示す図、図7
はそのローダ装置がキャリヤを吸引する様子を示すA−
A方向矢視概略断面図である。本実施例では、ローダ装
置として真空吸着装置50を使用している。真空吸着装
置50は、キャリヤ30の周囲を吸引してキャリヤ30
を所定の位置に搬送するものである。図6では、斜線部
分が真空吸着装置50で吸引するキャリヤの部分を示し
ている。キャリヤ30は上キャリヤ片32aの両端部に
切欠部46を形成しているので、この切欠部46では真
空吸着装置50は上キャリヤ片32aだけを吸引するの
ではなく、斜線部XでTABテープを、斜線部Yで下キ
ャリヤ片32bを吸引することができる。これにより、
真空吸着装置50が上キャリヤ片32aだけを吸引して
下キャリヤ片32bが開いてしまうのを防止して、キャ
リヤ30を確実に吸引することができる。
空吸着装置)が吸引するキャリヤの部分を示す図、図7
はそのローダ装置がキャリヤを吸引する様子を示すA−
A方向矢視概略断面図である。本実施例では、ローダ装
置として真空吸着装置50を使用している。真空吸着装
置50は、キャリヤ30の周囲を吸引してキャリヤ30
を所定の位置に搬送するものである。図6では、斜線部
分が真空吸着装置50で吸引するキャリヤの部分を示し
ている。キャリヤ30は上キャリヤ片32aの両端部に
切欠部46を形成しているので、この切欠部46では真
空吸着装置50は上キャリヤ片32aだけを吸引するの
ではなく、斜線部XでTABテープを、斜線部Yで下キ
ャリヤ片32bを吸引することができる。これにより、
真空吸着装置50が上キャリヤ片32aだけを吸引して
下キャリヤ片32bが開いてしまうのを防止して、キャ
リヤ30を確実に吸引することができる。
【0024】次に、図5に示すように、真空吸着装置で
キャリヤ30を下金型60に移動し、下金型60のキャ
ビティ62内に形成したパイロットピン64にキャリヤ
30の穴部42を挿入する。本実施例では二つのキャリ
ヤを所定位置に搬送した後に、上金型(不図示)を下金
型60に被せる。金型のキャビティ内に樹脂を流し込
み、フィルムキャリヤテープに搭載したICチップを樹
脂封止する。樹脂封止作業が終わると、真空吸着装置で
キャリヤ30を別のマガジンカセット装置101の収納
装置102に搬送する。このマガジンカセット装置10
1はキャリヤが搭載されていないマガジン120を収納
装置102に収納している。そして、移動装置104の
受け部104aは、アンローダ装置(真空吸着装置)が
TABテープを搬送する位置まで上昇している。真空吸
着装置で搬送されたキャリヤ30が移動装置104の受
け部104aに載せられた後、移動装置104はキャリ
ヤの厚み分だけ下降する。
キャリヤ30を下金型60に移動し、下金型60のキャ
ビティ62内に形成したパイロットピン64にキャリヤ
30の穴部42を挿入する。本実施例では二つのキャリ
ヤを所定位置に搬送した後に、上金型(不図示)を下金
型60に被せる。金型のキャビティ内に樹脂を流し込
み、フィルムキャリヤテープに搭載したICチップを樹
脂封止する。樹脂封止作業が終わると、真空吸着装置で
キャリヤ30を別のマガジンカセット装置101の収納
装置102に搬送する。このマガジンカセット装置10
1はキャリヤが搭載されていないマガジン120を収納
装置102に収納している。そして、移動装置104の
受け部104aは、アンローダ装置(真空吸着装置)が
TABテープを搬送する位置まで上昇している。真空吸
着装置で搬送されたキャリヤ30が移動装置104の受
け部104aに載せられた後、移動装置104はキャリ
ヤの厚み分だけ下降する。
【0025】その後、上記の動作が繰り返し行われ、次
々とフィルムキャリヤテープに搭載されたICチップが
樹脂封止される。一つのマガジン20にキャリヤ30が
なくなると、移動装置4は下降し、収納装置2を回転さ
せて、次のマガジンの処理に移行する。樹脂封止作業が
終了したキャリヤ30を収納するマガジンカセット装置
101においても、キャリヤがマガジン120に満杯に
入ると、収納装置102を回転させて、空いている次の
マガジンにキャリヤを収納する。
々とフィルムキャリヤテープに搭載されたICチップが
樹脂封止される。一つのマガジン20にキャリヤ30が
なくなると、移動装置4は下降し、収納装置2を回転さ
せて、次のマガジンの処理に移行する。樹脂封止作業が
終了したキャリヤ30を収納するマガジンカセット装置
101においても、キャリヤがマガジン120に満杯に
入ると、収納装置102を回転させて、空いている次の
マガジンにキャリヤを収納する。
【0026】最後に、樹脂封止作業の後、熱硬化性樹脂
をキュアする必要がある場合には、マガジンカセット装
置101に設けた加熱装置により容易に樹脂の硬化を進
行させることができる。
をキュアする必要がある場合には、マガジンカセット装
置101に設けた加熱装置により容易に樹脂の硬化を進
行させることができる。
【0027】本実施例のマガジンカセット装置では、マ
ガジンを収納装置に放射状に6個収納したことにより、
マガジンの取り替える作業を頻繁に行う必要がなくなる
ので、作業効率が向上する。また、回転装置を設け、収
納装置を回転可能な構成としたことにより、一つのマガ
ジンにキャリヤがなくなった場合には、収納装置を回転
するだけで、次のマガジンと交換することができる。さ
らに、キャリヤを移動させる移動装置を用いたことによ
り、キャリヤをローダ装置が掴む位置に容易に配置する
ことができるため、ローダ装置でこのキャリヤを掴んで
所定の位置に連続的に搬送することができ、したがって
作業時間の短縮を図ることができる。
ガジンを収納装置に放射状に6個収納したことにより、
マガジンの取り替える作業を頻繁に行う必要がなくなる
ので、作業効率が向上する。また、回転装置を設け、収
納装置を回転可能な構成としたことにより、一つのマガ
ジンにキャリヤがなくなった場合には、収納装置を回転
するだけで、次のマガジンと交換することができる。さ
らに、キャリヤを移動させる移動装置を用いたことによ
り、キャリヤをローダ装置が掴む位置に容易に配置する
ことができるため、ローダ装置でこのキャリヤを掴んで
所定の位置に連続的に搬送することができ、したがって
作業時間の短縮を図ることができる。
【0028】また、収納装置をマガジンカセット装置か
ら取り外すことができるため、作業工程が終了した後で
も、キャリヤを入れたマガジンを収納装置に収納してお
くことができるので、製品を収納装置で管理・保管する
ことができる。しかも、次工程に移行する際には、収納
装置だけを装着すればよいので、各工程間の移行も容易
になる。
ら取り外すことができるため、作業工程が終了した後で
も、キャリヤを入れたマガジンを収納装置に収納してお
くことができるので、製品を収納装置で管理・保管する
ことができる。しかも、次工程に移行する際には、収納
装置だけを装着すればよいので、各工程間の移行も容易
になる。
【0029】尚、上記の実施例では、マガジンカセット
装置を樹脂封止工程において使用する場合について説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本実
施例のマガジンカセット装置はICチップのボンディン
グ工程や検査工程にも使用することができる。
装置を樹脂封止工程において使用する場合について説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本実
施例のマガジンカセット装置はICチップのボンディン
グ工程や検査工程にも使用することができる。
【0030】また、上記の実施例では、マガジンカセッ
ト装置にキャリヤを移動させる移動装置を設けた場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されるものでは
なく、キャリヤ移動装置の代わりに収納装置を回転軸に
沿って上下に移動させる収納移動装置を設けてもよい。
更に、キャリヤ及び収納装置を共に移動させる移動装置
を設けてもよい。
ト装置にキャリヤを移動させる移動装置を設けた場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されるものでは
なく、キャリヤ移動装置の代わりに収納装置を回転軸に
沿って上下に移動させる収納移動装置を設けてもよい。
更に、キャリヤ及び収納装置を共に移動させる移動装置
を設けてもよい。
【0031】また、上記の実施例では、マガジンの上板
が引き出し式になっている場合について説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、マガジンの上板
は電磁石により取着する構造であってもよい。また、キ
ャリヤを上方から取り出すローダ装置を使用しない場合
には、上板は取り外しができないように構成してもよ
い。
が引き出し式になっている場合について説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、マガジンの上板
は電磁石により取着する構造であってもよい。また、キ
ャリヤを上方から取り出すローダ装置を使用しない場合
には、上板は取り外しができないように構成してもよ
い。
【0032】更に、上記の実施例では、上キャリヤ片の
両端部に切欠部を形成した場合について説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、ローダ装置とし
て真空吸着装置を使用しなければ、上キャリヤ片と下キ
ャリヤ片とは同じ形に形成してもよい。
両端部に切欠部を形成した場合について説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、ローダ装置とし
て真空吸着装置を使用しなければ、上キャリヤ片と下キ
ャリヤ片とは同じ形に形成してもよい。
【0033】加えて、上記の実施例では、TABテープ
をキャリヤで挟持した場合について説明したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、キャリヤで挟持する
のは、リードフレーム等でもよい。
をキャリヤで挟持した場合について説明したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、キャリヤで挟持する
のは、リードフレーム等でもよい。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、マ
ガジンを収納手段に放射状に収納し、収納手段を回転す
る回転手段を設けたことにより、マガジンを収納手段に
複数収納することができ、しかも一つのマガジンにキャ
リヤがなくなった場合には、収納手段を回転するだけ
で、次のマガジンからキャリヤを容易に供給することが
できるので、マガジンの交換作業を頻繁に行う必要がな
くなり、作業の自動化を促進して作業効率を向上させる
ことができるマガジンカセット装置を提供することがで
きる。
ガジンを収納手段に放射状に収納し、収納手段を回転す
る回転手段を設けたことにより、マガジンを収納手段に
複数収納することができ、しかも一つのマガジンにキャ
リヤがなくなった場合には、収納手段を回転するだけ
で、次のマガジンからキャリヤを容易に供給することが
できるので、マガジンの交換作業を頻繁に行う必要がな
くなり、作業の自動化を促進して作業効率を向上させる
ことができるマガジンカセット装置を提供することがで
きる。
【図1】本発明の一実施例であるマガジンカセット装置
の概略斜視図である。
の概略斜視図である。
【図2】本実施例のマガジンカセット装置に収納される
マガジンの概略斜視図である。
マガジンの概略斜視図である。
【図3】(a)は本実施例のマガジンに収納されるキャ
リヤの概略斜視図、(b)はそのキャリヤの概略平面図
である。
リヤの概略斜視図、(b)はそのキャリヤの概略平面図
である。
【図4】本発明の一実施例であるマガジンカセット装置
にマガジンを挿入した様子を示す図である。
にマガジンを挿入した様子を示す図である。
【図5】本実施例のマガジンカセット装置を用いてフィ
ルムキャリヤテープに搭載されたICチップを樹脂封止
する工程を説明するための図である。
ルムキャリヤテープに搭載されたICチップを樹脂封止
する工程を説明するための図である。
【図6】本実施例で使用するローダ装置(真空吸着装
置)が吸引するキャリヤの部分を示す図である。
置)が吸引するキャリヤの部分を示す図である。
【図7】ローダ装置がキャリヤを吸引する様子を示すA
−A方向矢視概略断面図である。
−A方向矢視概略断面図である。
【図8】通常使用されるマガジンの概略斜視図である。
1、101 マガジンカセット装置 2、102 収納装置 4、104 移動装置 6 回転軸 12 収納部 14 溝部 20、120 マガジン 22 上板 24 把手 26 凸部 28 保持部 30 キャリヤ 32a 上キャリヤ片 32b 下キャリヤ片 34 蝶番 36 位置決めピン 38 穴部 42 穴部 44 切込部 50 真空吸着装置 60 下金型 62 キャビティ 64 パイロットピン
Claims (3)
- 【請求項1】 被処理物の処理工程間の搬送に用いるキ
ャリアが複数個収納されたマガジンを略放射状に収納す
る収納手段と、該収納手段を回転させる回転手段とを備
えることを特徴とするマガジンカセット装置。 - 【請求項2】 前記マガジンに収納したキャリヤを前記
収納手段の回転軸に沿って移動させるキャリヤ移動手段
及び前記収納手段を前記回転軸に沿って移動させる収納
移動手段のうち少なくともいずれか一方を備えた請求項
1記載のマガジンカセット装置。 - 【請求項3】 前記収納手段を前記回転手段に対して着
脱自在に構成した請求項1又は2記載のマガジンカセッ
ト装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22956191A JPH0547805A (ja) | 1991-08-16 | 1991-08-16 | マガジンカセツト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22956191A JPH0547805A (ja) | 1991-08-16 | 1991-08-16 | マガジンカセツト装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0547805A true JPH0547805A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16894105
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22956191A Withdrawn JPH0547805A (ja) | 1991-08-16 | 1991-08-16 | マガジンカセツト装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0547805A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6488778B1 (en) * | 2000-03-16 | 2002-12-03 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for controlling wafer environment between thermal clean and thermal processing |
US7855814B2 (en) | 2006-02-27 | 2010-12-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanner and hinge |
US8345318B2 (en) | 2006-02-27 | 2013-01-01 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanner |
-
1991
- 1991-08-16 JP JP22956191A patent/JPH0547805A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6488778B1 (en) * | 2000-03-16 | 2002-12-03 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for controlling wafer environment between thermal clean and thermal processing |
US7855814B2 (en) | 2006-02-27 | 2010-12-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanner and hinge |
US8345318B2 (en) | 2006-02-27 | 2013-01-01 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanner |
US8472086B2 (en) | 2006-02-27 | 2013-06-25 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanner |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981112 |