JPH0547805A - マガジンカセツト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 マガジンを頻繁に交換する必要がなく、作業
効率の向上を図ることができるマガジンカセット装置を
提供する。 【構成】 マガジンカセット装置１は、マガジン２０を
収納する収納装置２と、収納装置２を回転軸６の回りに
回転する回転装置と、マガジン２０に収納したキャリヤ
３０を回転軸６に沿って上下方向に移動する移動装置４
と、収納装置２を加熱・保温する加熱装置とを備えるも
のである。移動装置４の上方にマガジン２０がくるよう
に収納装置２を回転する。移動装置４を駆動し、一番上
のキャリヤがマガジン上部から所定の位置に上昇するよ
うにキャリヤ全体を持ち上げる。そして、一番上のキャ
リヤをローダ装置で掴み、作業工程に供給する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造工程
において半導体装置をマガジン（magazine）方式で次工
程に搬入及び搬出する際に使用されるマガジンカセット
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、フィルムキャリヤテープとＩ
Ｃチップの電極とをインナーリードボンディングする場
合には、テープの可撓性を利用したリール・トウ・リー
ル（reel to reel）方式を採用することにより、作業の
自動化を促進している。しかし、この方式では、例えば
ＩＣチップが大型化した場合等、テープをリールで巻き
取る際に、リードの断線やリードとＩＣチップとの接触
により不良品が発生することがある。このため、ＩＣチ
ップが大きい場合には、定尺に切断したテープをキャリ
ヤで挟持し、このキャリヤをマガジンに収納して作業を
行うマガジン（magazine）方式が採用されている。

【０００３】図８は通常使用されるマガジンの概略斜視
図である。図８に示すマガジン７０は、直方体形状であ
り、上部７２に把手７４が形成されている。前後の側面
には壁が形成されておらず、この前後の側面からフィル
ムキャリヤテープ等を挟持したキャリヤ８０を挿入し、
約２０〜３０枚を積層する。今、キャリヤ８０をマガジ
ン７０から樹脂封止工程に搬入する場合、たとえば金型
に二つのキャリヤを入れることができるときには、所定
の装置内に二つのマガジン７０を平行に配置し、各マガ
ジンの一番上部にあるキャリヤ８０を一方向に引き出
し、所定の位置に搬送するためのローダ装置（不図示）
によりキャリヤ８０を所定の作業位置に搬送する。キャ
リヤ８０に対して樹脂封止作業が終了すると、マガジン
７０を上方向に上昇させた後、マガジン７０からローダ
装置により次のキャリヤ８０を取り出し、同じ作業を繰
り返す。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一方向
にマガジン７０内のキャリヤ８０を出し入れする従来の
方式では、多くとも二つのマガジン７０しか所定の装置
にセットすることができないため、マガジン内にキャリ
ヤがなくなると、空になったマガジンを装置から取り出
し、キャリヤ８０を収納してある新たなマガジンと交換
する必要がある。このため、大量のテープ等に対して作
業を行う場合には、マガジンを頻繁に交換しなければな
らなくなり、作業効率が悪いという問題があった。

【０００５】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、マガジンを頻繁に交換する必要がなく、作業効
率を向上させることができるマガジンカセット装置を提
供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明に係るマガジンカセット装置は、被処理物の
処理工程間の搬送に用いるキャリアが複数個収納された
マガジンを略放射状に収納する収納手段と、該収納手段
を回転させる回転手段とを備えることを特徴とするもの
である。

【０００７】また、前記マガジンに収納したキャリヤを
前記収納手段の回転軸に沿って移動させるキャリヤ移動
手段及び前記収納手段を前記回転軸に沿って移動させる
収納移動手段のうち少なくともいずれか一方を備えてい
ることが望ましい。

【０００８】

【作用】本発明は上記の構成によって、被処理物である
例えば半導体装置が載置されたフィルム又はリードフレ
ームの処理工程間の搬送に用いるキャリアが複数個収納
されたマガジンを収納手段に放射状に収納することによ
り、マガジンを収納手段に複数収納することができる。
また、収納手段を回転させる回転手段を設けたことによ
り、一つのマガジンにキャリヤがなくなった場合には、
収納手段を回転するだけで、次のマガジンからキャリヤ
を容易に供給することができる。

【０００９】また、マガジンに収納したキャリヤを収納
手段の回転軸に沿って移動させるキャリヤ移動手段ある
いは収納手段を回転軸に沿って移動させる収納移動手段
を設けることにより、キャリアを所定の位置に搬送する
際の受渡しが容易になる。

【００１０】

【実施例】以下に、本発明の一実施例を図面を参照して
説明する。図１は本発明の一実施例であるマガジンカセ
ット装置の概略斜視図、図２はそのマガジンカセット装
置に収納されるマガジンの概略斜視図、図３（ａ）はそ
のマガジンに収納されるキャリヤの概略斜視図、図３
（ｂ）はそのキャリヤの概略平面図、図４は本発明の一
実施例であるマガジンカセット装置にマガジンを挿入し
た様子を示す図、図５はそのマガジンカセット装置を用
いてフィルムキャリヤテープに搭載されたＩＣチップを
樹脂封止する工程を説明するための図である。

【００１１】図１に示すマガジンカセット装置１は、マ
ガジンを収納する収納装置２と、収納装置２を回転させ
る回転装置（不図示）と、被処理物（ＴＡＢテープ、リ
ードフレーム等）を挟持したキャリヤを上下方向に移動
する移動装置４と、収納装置２を加熱・保温する加熱装
置（不図示）とを備えるものである。

【００１２】収納装置２は、円柱状の本体部１０の側面
にマガジンが収納できる収納部１２を形成したものであ
る。収納部１２は円柱の回転対称軸に対して対称な位置
に六個形成されている。また、収納部１２の側面には左
右二つずつ溝部１４を形成している。収納装置２はマガ
ジンカセット装置から取り外しが可能であり、また、ア
ルミニウムで形成しているので、ステンレス等で形成し
た場合に比べて軽くなり、持ち運びが容易である。尚、
一般には、収納部１２は三つ以上形成することが望まし
く、必ずしも収納部１２を対称に形成する必要はない。
また、本体部１０は多角柱形状に形成してもよい。

【００１３】回転装置は収納装置２を回転対称な軸の回
りに回転させるもので、これは正・逆両方向に回転可能
な構成にしてもよい。移動装置４は収納部１２に収納し
たマガジン内のキャリヤを回転軸６に沿って図１の上下
方向に移動させるものである。尚、移動装置４も回転軸
６の回りに回転可能に構成してもよい。

【００１４】マガジンカセット装置を樹脂封止工程に使
用する場合には、加熱装置を設けたことにより、作業前
にあっては、キャリヤを溶融樹脂と略同じ温度に加熱・
保温することができるため、テープが熱膨張した状態で
樹脂封止作業に移行することができるので、作業中にテ
ープが膨張して半導体装置等の搭載位置にずれが生ずる
のを防止することができる。また、作業後にあっては、
熱硬化性樹脂をキュアする作業を、キャリヤを収納装置
に収納した状態で容易に行うことができる。

【００１５】マガジン２０は、図２に示すように、長方
体形状に形成されている。上部には引抜自在の上板２２
があり、この上板２２には持ち運びを容易にするため把
手２４が付いている。マガジン２０の前後の側面には壁
が形成されておらず、この前後の側面からキャリヤを挿
入してマガジン２０内に積層する。通常、キャリヤは約
２０〜３０枚積層される。左右の外側面には各々二つず
つ凸部２６が形成されている。この凸部２６を収納装置
２の溝部１４に挿入することにより、マガジン２０を収
納装置２の収納部１２内に正確に安定させて収納するこ
とができる。また、マガジン２０の底部にも壁が形成さ
れておらず、底部の数カ所に設けた小さな保持部２８で
キャリヤを保持している。

【００１６】尚、マガジン２０はキャリヤを直に積層し
て収納する構造ではなく、たとえば、上方向にしか動か
ないツメをマガジンの左右の内側面に形成して、各キャ
リヤをこのツメで保持して積層するようにしてもよい。
この場合でも、移動装置４を上方向に駆動することによ
り、キャリヤを容易に持ち上げることができる。

【００１７】図３に示すキャリヤ３０は、上キャリヤ片
３２ａと、下キャリヤ片３２ｂと、蝶番３４とからな
る。下キャリヤ片３２ｂにはピン３６が形成され、ピン
３６に対応する上キャリヤ片３２ａの位置には穴部３８
が形成されている。ピン３６はＴＡＢテープとキャリヤ
３０との位置合わせに使用される。図３（ｂ）の一点鎖
線はＴＡＢテープが配置される位置を示す。ピン３６に
ＴＡＢテープのスプロケットホールを入れ、二つのキャ
リヤ片３２ａ，３２ｂを重ね合わせることによりＴＡＢ
テープがキャリヤ３０に固定される。また、キャリヤ片
３２ａ，３２ｂには、ＴＡＢテープを挟持しない部分の
略中央部に穴部４２，４２が、ＴＡＢテープを挟持する
部分の一端に切込部４４，４４が形成されている。穴部
４２はキャリヤ３０と金型のキャビティとの位置合わせ
に使用され、切込部４４はＴＡＢテープと金型のキャビ
ティとの位置合わせに使用される。

【００１８】また、上キャリヤ片３２ａの両端部には切
欠部４６が形成されている。このため、キャリヤ３０で
ＴＡＢテープを挟持した場合、上キャリヤ片３２ａの側
から見ると、キャリヤの切欠部４６にＴＡＢテープと下
キャリヤ片３２ｂが露出する。このように上キャリヤ片
３２ａの両端部を切り欠いて形成したのは、後述するよ
うにローダ装置として真空吸着装置を使用したことによ
る。

【００１９】ところで、従来のキャリヤはＴＡＢテープ
の各コマを三方から挟持するものであったが、本実施例
で使用するキャリヤ３０は、各コマの端縁部を四方から
挟持する構造にしている。ただし、樹脂封止作業におい
て樹脂供給口をふさがらないように樹脂供給口に対応す
る部分は一部切り欠いている。テープとして二層構造の
ものを使用する場合、二層テープは三層構造のテープに
比べて、薄型であり、テープの剛性も劣っている。この
ため、従来のキャリヤで二層テープを挟持した場合、テ
ープの歪みにより、位置ずれが生じたり、また樹脂封止
作業を行った際には、テープが樹脂の流れにより、歪ん
だ状態で封止され、樹脂封止製品が不良となってしま
う。本実施例では、テープの各コマの端縁部を四方から
挟持するため、テープの歪みを抑え、フラットな状態で
しっかりと固定することができるので、製品の歩留りを
良くすることができる。

【００２０】本実施例では、フィルムキャリヤテープと
して３５ミリテープを使用することにしているので、キ
ャリヤ３０は、キャリヤ片３２ａ，３２ｂの厚さが約２
ｍｍで、幅約４０ｍｍ、奥行き約２６０ｍｍのものを使
用している。マガジン２０は、このキャリヤを挿入する
ことができるように設計している。尚、キャリヤの幅・
奥行きを、フィルムキャリヤテープの幅の最大規格であ
る７０ミリテープに合わせて形成することにより、３５
ミリ、４８ミリのテープを使用する場合でも、テープを
挟持する部分の設計を変えることによって、キャリヤ全
体のサイズはそのままで、同一のマガジンを使用するこ
とができる。また、マガジン２０、キャリヤ３０はステ
ンレス鋼で形成している。

【００２１】次に、本実施例のマガジンカセット装置を
使用してＴＡＢテープの樹脂封止処理を行う場合の動作
について説明する。

【００２２】最初に、キャリヤ３０でＴＡＢテープを挟
持する。多数のキャリヤ３０をマガジン２０の中に積層
した後、図４に示すように、六つのマガジン２０を収納
装置２の収納部１２に挿入する。そして、各マガジン２
０の上板２２を取り外す。ここで、加熱装置により収納
装置２を溶融樹脂と略同じ温度に加熱する。次に、移動
装置４の上方にマガジンがくるように収納装置２を回転
させる。移動装置４を駆動し、図５に示すように、一番
上のキャリヤがマガジン上部から一定の距離だけ離れた
位置（ローダ装置がキャリヤを掴む位置）に上昇するよ
うにキャリヤ全体を持ち上げる。そして、一番上のキャ
リヤをローダ装置によりモールド工程に供給する。

【００２３】図６は本実施例で使用するローダ装置（真
空吸着装置）が吸引するキャリヤの部分を示す図、図７
はそのローダ装置がキャリヤを吸引する様子を示すＡ−
Ａ方向矢視概略断面図である。本実施例では、ローダ装
置として真空吸着装置５０を使用している。真空吸着装
置５０は、キャリヤ３０の周囲を吸引してキャリヤ３０
を所定の位置に搬送するものである。図６では、斜線部
分が真空吸着装置５０で吸引するキャリヤの部分を示し
ている。キャリヤ３０は上キャリヤ片３２ａの両端部に
切欠部４６を形成しているので、この切欠部４６では真
空吸着装置５０は上キャリヤ片３２ａだけを吸引するの
ではなく、斜線部ＸでＴＡＢテープを、斜線部Ｙで下キ
ャリヤ片３２ｂを吸引することができる。これにより、
真空吸着装置５０が上キャリヤ片３２ａだけを吸引して
下キャリヤ片３２ｂが開いてしまうのを防止して、キャ
リヤ３０を確実に吸引することができる。

【００２４】次に、図５に示すように、真空吸着装置で
キャリヤ３０を下金型６０に移動し、下金型６０のキャ
ビティ６２内に形成したパイロットピン６４にキャリヤ
３０の穴部４２を挿入する。本実施例では二つのキャリ
ヤを所定位置に搬送した後に、上金型（不図示）を下金
型６０に被せる。金型のキャビティ内に樹脂を流し込
み、フィルムキャリヤテープに搭載したＩＣチップを樹
脂封止する。樹脂封止作業が終わると、真空吸着装置で
キャリヤ３０を別のマガジンカセット装置１０１の収納
装置１０２に搬送する。このマガジンカセット装置１０
１はキャリヤが搭載されていないマガジン１２０を収納
装置１０２に収納している。そして、移動装置１０４の
受け部１０４ａは、アンローダ装置（真空吸着装置）が
ＴＡＢテープを搬送する位置まで上昇している。真空吸
着装置で搬送されたキャリヤ３０が移動装置１０４の受
け部１０４ａに載せられた後、移動装置１０４はキャリ
ヤの厚み分だけ下降する。

【００２５】その後、上記の動作が繰り返し行われ、次
々とフィルムキャリヤテープに搭載されたＩＣチップが
樹脂封止される。一つのマガジン２０にキャリヤ３０が
なくなると、移動装置４は下降し、収納装置２を回転さ
せて、次のマガジンの処理に移行する。樹脂封止作業が
終了したキャリヤ３０を収納するマガジンカセット装置
１０１においても、キャリヤがマガジン１２０に満杯に
入ると、収納装置１０２を回転させて、空いている次の
マガジンにキャリヤを収納する。

【００２６】最後に、樹脂封止作業の後、熱硬化性樹脂
をキュアする必要がある場合には、マガジンカセット装
置１０１に設けた加熱装置により容易に樹脂の硬化を進
行させることができる。

【００２７】本実施例のマガジンカセット装置では、マ
ガジンを収納装置に放射状に６個収納したことにより、
マガジンの取り替える作業を頻繁に行う必要がなくなる
ので、作業効率が向上する。また、回転装置を設け、収
納装置を回転可能な構成としたことにより、一つのマガ
ジンにキャリヤがなくなった場合には、収納装置を回転
するだけで、次のマガジンと交換することができる。さ
らに、キャリヤを移動させる移動装置を用いたことによ
り、キャリヤをローダ装置が掴む位置に容易に配置する
ことができるため、ローダ装置でこのキャリヤを掴んで
所定の位置に連続的に搬送することができ、したがって
作業時間の短縮を図ることができる。

【００２８】また、収納装置をマガジンカセット装置か
ら取り外すことができるため、作業工程が終了した後で
も、キャリヤを入れたマガジンを収納装置に収納してお
くことができるので、製品を収納装置で管理・保管する
ことができる。しかも、次工程に移行する際には、収納
装置だけを装着すればよいので、各工程間の移行も容易
になる。

【００２９】尚、上記の実施例では、マガジンカセット
装置を樹脂封止工程において使用する場合について説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本実
施例のマガジンカセット装置はＩＣチップのボンディン
グ工程や検査工程にも使用することができる。

【００３０】また、上記の実施例では、マガジンカセッ
ト装置にキャリヤを移動させる移動装置を設けた場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されるものでは
なく、キャリヤ移動装置の代わりに収納装置を回転軸に
沿って上下に移動させる収納移動装置を設けてもよい。
更に、キャリヤ及び収納装置を共に移動させる移動装置
を設けてもよい。

【００３１】また、上記の実施例では、マガジンの上板
が引き出し式になっている場合について説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、マガジンの上板
は電磁石により取着する構造であってもよい。また、キ
ャリヤを上方から取り出すローダ装置を使用しない場合
には、上板は取り外しができないように構成してもよ
い。

【００３２】更に、上記の実施例では、上キャリヤ片の
両端部に切欠部を形成した場合について説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、ローダ装置とし
て真空吸着装置を使用しなければ、上キャリヤ片と下キ
ャリヤ片とは同じ形に形成してもよい。

【００３３】加えて、上記の実施例では、ＴＡＢテープ
をキャリヤで挟持した場合について説明したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、キャリヤで挟持する
のは、リードフレーム等でもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、マ
ガジンを収納手段に放射状に収納し、収納手段を回転す
る回転手段を設けたことにより、マガジンを収納手段に
複数収納することができ、しかも一つのマガジンにキャ
リヤがなくなった場合には、収納手段を回転するだけ
で、次のマガジンからキャリヤを容易に供給することが
できるので、マガジンの交換作業を頻繁に行う必要がな
くなり、作業の自動化を促進して作業効率を向上させる
ことができるマガジンカセット装置を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるマガジンカセット装置
の概略斜視図である。

【図２】本実施例のマガジンカセット装置に収納される
マガジンの概略斜視図である。

【図３】（ａ）は本実施例のマガジンに収納されるキャ
リヤの概略斜視図、（ｂ）はそのキャリヤの概略平面図
である。

【図４】本発明の一実施例であるマガジンカセット装置
にマガジンを挿入した様子を示す図である。

【図５】本実施例のマガジンカセット装置を用いてフィ
ルムキャリヤテープに搭載されたＩＣチップを樹脂封止
する工程を説明するための図である。

【図６】本実施例で使用するローダ装置（真空吸着装
置）が吸引するキャリヤの部分を示す図である。

【図７】ローダ装置がキャリヤを吸引する様子を示すＡ
−Ａ方向矢視概略断面図である。

【図８】通常使用されるマガジンの概略斜視図である。

【符号の説明】

１、１０１ マガジンカセット装置 ２、１０２ 収納装置 ４、１０４ 移動装置 ６ 回転軸 １２ 収納部 １４ 溝部 ２０、１２０ マガジン ２２ 上板 ２４ 把手 ２６ 凸部 ２８ 保持部 ３０ キャリヤ ３２ａ 上キャリヤ片 ３２ｂ 下キャリヤ片 ３４ 蝶番 ３６ 位置決めピン ３８ 穴部 ４２ 穴部 ４４ 切込部 ５０ 真空吸着装置 ６０ 下金型 ６２ キャビティ ６４ パイロットピン

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理物の処理工程間の搬送に用いるキ
   ャリアが複数個収納されたマガジンを略放射状に収納す
   る収納手段と、該収納手段を回転させる回転手段とを備
   えることを特徴とするマガジンカセット装置。
2. 【請求項２】 前記マガジンに収納したキャリヤを前記
   収納手段の回転軸に沿って移動させるキャリヤ移動手段
   及び前記収納手段を前記回転軸に沿って移動させる収納
   移動手段のうち少なくともいずれか一方を備えた請求項
   １記載のマガジンカセット装置。
3. 【請求項３】 前記収納手段を前記回転手段に対して着
   脱自在に構成した請求項１又は２記載のマガジンカセッ
   ト装置。