JPH0542657A - 基板位置決め方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶表示装置用のガラス基板に印刷すると
き、基板面に傷をつけずに、かつ、塵を舞い上がらせず
に、基板を正確に位置決めする。 【構成】 突き上げピン19により基板１を定盤11から浮
き上がらせた状態で、水平方向へ移動する位置決め爪27
により基板１を位置決めするとともに固定する。その
後、位置決め爪27により基板１を位置決めしたまま、突
き上げピン19および基板１の下降に同期して位置決め爪
27を下降させることにより、基板１を定盤11上に載せ
る。これにより、基板１を定盤11上で正確に位置決めで
きる。基板１が大きな定盤11と擦れないので、基板１に
傷がつかない。空気流により基板１を浮き上がらせる場
合とは違って、塵が舞い上がらない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえばガラス基板な
どの基板の処理工程に際し、基板を位置決めする方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえばインク等をガラス基板面に印刷
する装置に用いられる従来の基板位置決め装置の一例を
図４および図５に基づいて説明する。

【０００３】ガラス基板１を上面に受ける金属製の定盤
51があり、この定盤51の隣接する２辺部に位置決め機構
52がそれぞれ設けられている。これら位置決め機構52
は、それぞれ、アクチュエータ53により上下方向へ駆動
される昇降体54と、アクチュエータ55により水平方向で
矢印Ｘ，Ｙに示す方向および反対方向へ駆動されるフォ
ーク状のスライダー56とからなっており、このスライダ
ー56上に位置決めローラー57が軸着された構造になって
いる。なお、両スライダー56は、互いに直交する方向に
移動する。そして、定盤51の２辺部に形成された切り欠
き58内に昇降体54とスライダー56および位置決めローラ
ー57とがそれぞれ位置しており、これら位置決めローラ
ー57は、切り欠き58より定盤51上へ突出している。

【０００４】そして、定盤51上にガラス基板１が置かれ
ると、定盤51より突出した位置決めローラー57が、それ
ぞれ、アクチュエータ55の駆動により矢印Ｘ，Ｙ方向へ
移動し、ガラス基板１を２辺から押して位置決めする。
この位置決めが完了すると、位置決めローラー57がアク
チュエータ53の駆動により定盤51の上面より下がるとと
もに、ガラス基板１が定盤51上に真空吸着等により固定
され、ガラス基板１に印刷ローラー59等により印刷が行
なわれる。

【０００５】ところが、前記従来の基板位置決め装置で
は、定盤51に位置決めローラー57を逃すための切り欠き
58があり、これらの切り欠き58がガラス基板１の下にま
で入り込むため、印刷時に、切り欠き58に重なった部分
でガラス基板１に対する加圧が不十分になる。その結
果、図６に示すように、印刷状態が均一とならず、ガラ
ス基板１に定盤51の切り欠き58の跡60（平行斜線で示し
た部分）がついてしまう。また、位置決めローラー57に
よりガラス基板１を位置決めする際、このガラス基板１
は金属製の定盤51上を全面が擦るため、ガラス基板１の
表面に傷ができてしまう。

【０００６】その対策として、図７に示すように、たと
えばエアーブロー71によりガラス基板１を定盤51から浮
かせて位置決めを行なう方法も行なわれているが、この
従来の方法では、発塵の問題がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このように、前述した
従来の基板位置決め装置では、基板を位置決めする際、
基板面と定盤面とが擦れるため、基板面に傷ができると
いった問題があった。また、この問題点を解決するため
に、基板を定盤から浮かせて位置決めする方法でも、従
来はエアーブローを利用していたため、発塵等の問題が
あった。

【０００８】本発明は、このような問題点を解決しよう
とするもので、基板面に傷をつけることなく、かつ、発
塵等の問題を生じさせることなく、基板を正確に位置決
めできる基板位置決め方法を提供することを目的とする
ものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の基板位置決め方
法は、基板を上面に受ける定盤と、この定盤から前記基
板を浮き上がらせる突き上げ機構と、前記基板を機械的
に位置決めする位置決め機構とを備えた基板位置決め装
置を用いる。そして、前記突き上げ機構により前記基板
を前記定盤から浮き上がらせた状態で、前記位置決め機
構により前記基板を位置決め固定する。その後、前記位
置決め機構が前記基板を位置決め固定した状態を保持し
ながら、前記突き上げ機構による前記基板の下降に同期
して前記位置決め機構を下降させ、前記基板を前記定盤
上に位置決めするものである。

【００１０】

【作用】本発明の基板位置決め方法では、突き上げ機構
により基板を定盤から浮き上がらせた状態で、位置決め
機構により基板を位置決めするので、位置決めに際し
て、定盤面と基板面とが擦れることがなく、したがっ
て、基板面に傷がつくことがない。このとき、基板を突
き上げて定盤から浮き上がらせるので、エアーブローに
より浮かせる場合とは異なり、発塵等の問題も生じな
い。また、位置決め機構が基板を位置決め固定した状態
のまま、突き上げ機構による基板の下降に同期して位置
決め機構を下降させ、基板を定盤上に供給するので、基
板は、定盤上でも正確に位置決めされることになる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１から図３を参
照して説明する。

【００１２】まず、基板位置決め装置の構成を説明す
る。なお、この実施例の装置は、印刷機に応用されたも
のである。

【００１３】基板位置決め装置は、供給された矩形状の
ガラス基板１を上面に受ける金属製の印刷定盤11と、こ
の定盤11からガラス基板１を浮き上がらせる突き上げ機
構12と、ガラス基板１を機械的に位置決めする位置決め
機構13とを備えている。

【００１４】前記定盤11には、複数個たとえば３角形状
に配置された３つの小径孔16が上下方向へ貫通させて形
成されている。これら小径孔16の径は、ガラス基板１の
大きさに対して十分小さく、このガラス基板１の印刷工
程に影響のない大きさになっている。

【００１５】前記突き上げ機構12は、シリンダー等のア
クチュエータ17により上下方向へ駆動される水平な昇降
板18を有しており、前記定盤11の下方に位置するこの昇
降板18に複数本の同一長さの突き上げピン19が上方へ突
出させて固定されており、これら突き上げピン19が前記
定盤11の各小径孔16にそれぞれ下方から挿入されてい
る。

【００１６】前記位置決め機構13は、ガラス基板１をそ
の３辺から水平方向へ押して位置決めするものであり、
同じ構造のものが定盤11の３方の外部にそれぞれある。
ここで、各位置決め機構13について詳しく説明する。

【００１７】前記定盤11の側方にあるベース21上に、ス
ライダー22がレール23を介して水平方向で矢印X1，X2，
Ｙに示す方向および反対方向へ移動自在に支持されてい
る。このスライダー22は、同じベース21上に取り付けら
れたアクチュエータ24により駆動される。なお、矢印X
1，X2方向と矢印Ｙ方向とは互いに直交する方向であ
る。また、スライダー22における定盤11側の位置には、
昇降体25がレール26を介して上下動自在に支持されてい
る。この昇降体25の上部には、定盤11の上方に位置し、
ガラス基板１に側方から当たってこのガラス基板１を押
す位置決め爪27が形成されている。

【００１８】また、同じ昇降体25の下端部にはローラー
28が軸着されており、このローラー28が前記突き上げ機
構12の昇降板18上に載っている。こうして、突き上げ機
構12と位置決め機構13とが互いに連結されている。そし
て、位置決め爪27の下面27aは、前記突き上げピン19の
上端と同一高さに位置している。

【００１９】なお、突き上げ機構12と位置決め機構13と
を連結させるための手段は、ローラー28に限るものでは
なく、レール等であってもよい。

【００２０】つぎに、前述した装置を用いた基板位置決
め方法について説明する。

【００２１】定盤11へガラス基板１が供給される前に、
図１に示すように、アクチュエータ17の駆動により昇降
板18および突き上げピン19が上昇し、これら突き上げピ
ン19が定盤11の上面より上方へ突出する。この状態で、
ガラス基板供給機（図には示さず）等によりガラス基板
１が突き上げピン19上に供給される。これら突き上げピ
ン19により保持されたガラス基板１は、その下面が位置
決め爪27の下面27a と同一高さに位置する。

【００２２】こうしてガラス基板１が供給された後、こ
のガラス基板１が定盤11から浮き上がったままの状態
で、アクチュエータ24の駆動によりスライダー22および
昇降体25が一体的に矢印X1，X2，Ｙ方向に移動し、これ
ら昇降体25の待機していた位置決め爪27がガラス基板１
を３辺から押して水平方向へ適宜移動させ、機械的に位
置決めする。これとともに、位置決め爪27がガラス基板
１の３辺に当たることにより、このガラス基板１は、位
置決めされた状態でがたつかないように固定されること
になる。

【００２３】こうして位置決めが完了した後、位置決め
爪27がガラス基板１を位置決め固定した状態を保持しな
がら、突き上げピン19が下降する。このとき、突き上げ
ピン19が固定された昇降板18上に、位置決め爪27のある
昇降体25の下端部のローラー28が載っているため、突き
上げピン19およびガラス基板１の下降動作に完全に同期
して位置決め爪27が下降する。こうして、位置決め爪27
は、ガラス基板１を確実に固定したまま、図３に示すよ
うに、ガラス基板１が定盤11の上面に載るまで下降す
る。したがって、ガラス基板１は、定盤11上でも正確に
位置決めされることになる。

【００２４】こうしてガラス基板１が定盤11上に供給さ
れると、ガラス基板１は定盤11上に真空吸着により固定
される。つぎに、スライダー22とともに昇降体25が矢印
X1，X2，Ｙ方向と反対方向に移動し、位置決め爪27がガ
ラス基板１から離れる。そして、この状態で、ガラス基
板１に印刷が行なわれる。

【００２５】本装置における定盤11には、従来の装置に
あるような大きな切り欠きがないので、ガラス基板１の
全面に均一に印刷荷重が加わり、良好な印刷が可能とな
る。また、ガラス基板１の位置決めを定盤11上ではなく
突き上げピン19上で行なうため、位置決め時における、
ガラス基板１の表面と他のものとの接触が少なく、ガラ
ス基板１の表面に傷がつかない。すなわち、従来のよう
に大きな面積に渡ってガラス基板１の表面と金属製の定
盤の上面とが擦れるようなことがないので、ガラス基板
１の表面に傷がつかない。

【００２６】これとともに、ガラス基板１を定盤11から
浮き上がらせるために突き上げピン19を用いているの
で、エアーブローにより浮かせる場合とは異なり、発塵
等の問題も生じない。

【００２７】なお、突き上げピン19の材質はもちろん金
属でもよいが、ガラス基板１と接触する突き上げピン19
の先端部もしくは突き上げピン19全体を樹脂等の比較的
柔らかい材質からなるものとすることにより、より大き
な効果を得ることができる。さらに、ガラス基板１を突
き上げた状態で位置決めを行なうものの、その後、位置
決め状態を保持したまま、ガラス基板１を定盤11上に供
給するので、この供給の途中で位置ずれが発生すること
はない。したがって、ガラス基板１は、定盤11上で正確
に位置決めされる。

【００２８】なお、前記実施例では、印刷機に応用した
例について説明してきたが、もちろんこれに限るもので
はなく、印刷以外の他の処理工程にも本発明を応用する
ことができる。そして、印刷以外の処理工程でも、ガラ
ス基板１の下面全体を均一な定盤11の上面が受けること
により、ガラス基板１の状態が均一になり、したがっ
て、処理条件も均一化されるので、ガラス基板１の全面
に均一に処理を行なうことができ、歩留り、品質の向上
を実現できる。

【００２９】さらに、前記実施例では、ガラス基板１の
位置決めについて説明したが、ガラス以外のプリント基
板、ウェハー等の基板への応用も可能である。

【００３０】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、基板面
に傷をつけることなく、かつ、発塵等の問題を生じさせ
ることなく、基板を正確に位置決めでき、歩留り、品質
の向上を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板位置決め方法の一実施例に用いる
基板位置決め装置を示すものであり、図３のＡ−Ａ断面
図である。

【図２】図１と同様の断面図で、基板を位置決め固定し
て定盤上に供給した状態を示すものである。

【図３】前記基板位置決め装置の平面図である。

【図４】従来の基板位置決め装置の一例を示す平面図で
ある。

【図５】図４のＢ−Ｂ断面図である。

【図６】従来例における問題点を示す基板の説明平面図
である。

【図７】従来例における問題点に対する対策手段の一例
を示す説明断面図である。

【符号の説明】

１ 基板 11 定盤 12 突き上げ機構 13 位置決め機構

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を上面に受ける定盤と、この定盤か
   ら前記基板を浮き上がらせる突き上げ機構と、前記基板
   を機械的に位置決めする位置決め機構とを備えた基板位
   置決め装置を用いて、 前記突き上げ機構により前記基板を前記定盤から浮き上
   がらせた状態で、前記位置決め機構により前記基板を位
   置決め固定した後、 前記位置決め機構が前記基板を位置決め固定した状態を
   保持しながら、前記突き上げ機構による前記基板の下降
   に同期して前記位置決め機構を下降させ、前記基板を前
   記定盤上に位置決めすることを特徴とする基板位置決め
   方法。