JPH0536757A - 膜体の平面度矯正方法 - Google Patents
膜体の平面度矯正方法Info
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- JPH0536757A JPH0536757A JP21287991A JP21287991A JPH0536757A JP H0536757 A JPH0536757 A JP H0536757A JP 21287991 A JP21287991 A JP 21287991A JP 21287991 A JP21287991 A JP 21287991A JP H0536757 A JPH0536757 A JP H0536757A
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- Japan
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- tab tape
- outer peripheral
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Abstract
(57)【要約】
［目的］ 膜体の搬送を停止させることなく簡略な構成
で、前記膜体の面を非接触で平らな状態に矯正すること
ができる膜体の平面度矯正方法を提供する。 ［構成］ ＴＡＢテープ１０の搬送路Ｓから偏位した箇
所に、該ＴＡＢテープ１０の搬送方向Ｐと直交する方向
を軸Ｌ１，Ｌ２方向とする２本のガイドローラ３３ａ，
３３ｂを、それらのガイドローラ３３ａ，３３ｂの外周
面３３ｃ，３３ｄが互いに接触しないように夫々回転可
能に配設し、前記搬送路Ｓ中のＴＡＢテープ１０を該搬
送路Ｓから偏位させて前記２本のガイドローラ３３ａ，
３３ｂの外周面３３ｃ，３３ｄに掛け渡して、これら２
本のガイドローラ３３ａ，３３ｂの外周面３３ｃ，３３
ｄ間の前記ＴＡＢテープ１０を平らな状態に矯正するよ
うにした。
で、前記膜体の面を非接触で平らな状態に矯正すること
ができる膜体の平面度矯正方法を提供する。 ［構成］ ＴＡＢテープ１０の搬送路Ｓから偏位した箇
所に、該ＴＡＢテープ１０の搬送方向Ｐと直交する方向
を軸Ｌ１，Ｌ２方向とする２本のガイドローラ３３ａ，
３３ｂを、それらのガイドローラ３３ａ，３３ｂの外周
面３３ｃ，３３ｄが互いに接触しないように夫々回転可
能に配設し、前記搬送路Ｓ中のＴＡＢテープ１０を該搬
送路Ｓから偏位させて前記２本のガイドローラ３３ａ，
３３ｂの外周面３３ｃ，３３ｄに掛け渡して、これら２
本のガイドローラ３３ａ，３３ｂの外周面３３ｃ，３３
ｄ間の前記ＴＡＢテープ１０を平らな状態に矯正するよ
うにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、長尺で可撓可能な膜体
の面を平らな状態に矯正する方法に関する。
の面を平らな状態に矯正する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、集積回路（ＩＣ）や液晶ディスプ
レイ（ＬＣＤ）等のチップを基板上に実装する方式とし
てＴＡＢ（Tape Automated Bonding）方式が注目されて
おり、ＴＡＢテープ上へのリードパターンの形成や、形
成された前記リードパターンの欠損、欠落、不整列とい
った外観不良の検査等を自動で行う装置が各種開発され
ている。このような前記ＴＡＢテープ上への各種作業を
自動化する場合には、前記リードパターン自体が細密な
ものであるため、作業の精密化を図るために当然のこと
ながら前記ＴＡＢテープの面を平らな状態に矯正、保持
することが肝要となる。
レイ（ＬＣＤ）等のチップを基板上に実装する方式とし
てＴＡＢ（Tape Automated Bonding）方式が注目されて
おり、ＴＡＢテープ上へのリードパターンの形成や、形
成された前記リードパターンの欠損、欠落、不整列とい
った外観不良の検査等を自動で行う装置が各種開発され
ている。このような前記ＴＡＢテープ上への各種作業を
自動化する場合には、前記リードパターン自体が細密な
ものであるため、作業の精密化を図るために当然のこと
ながら前記ＴＡＢテープの面を平らな状態に矯正、保持
することが肝要となる。
【０００３】そして、従来このような長尺で可撓可能な
膜体の面を平らな状態に矯正、保持する場合には、図４
に示すように、膜体１の搬送路中に、平坦なガイド面３
を有する透明なガイド部材２を設けて、このガイド面３
上を前記膜体１に通過させ、各種処理を行う際には前記
膜体１の搬送を一時停止させて、該膜体１を図示しない
透明な押え部材等で前記ガイド面３に押え付けるか、或
は、該ガイド面３側からバキューム等で膜体１を吸着す
る等して、膜体１の面を平らな状態に矯正、保持しその
平面性を確保していた。
膜体の面を平らな状態に矯正、保持する場合には、図４
に示すように、膜体１の搬送路中に、平坦なガイド面３
を有する透明なガイド部材２を設けて、このガイド面３
上を前記膜体１に通過させ、各種処理を行う際には前記
膜体１の搬送を一時停止させて、該膜体１を図示しない
透明な押え部材等で前記ガイド面３に押え付けるか、或
は、該ガイド面３側からバキューム等で膜体１を吸着す
る等して、膜体１の面を平らな状態に矯正、保持しその
平面性を確保していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の方法では、膜体１の平面性を確保するための構
造が複雑化すると共に、該膜体１に光を投射して作業を
行う場合、前記ガイド部材２に塵埃等が付着していると
該塵埃の影が映ってしまい、前記作業に影響が出るおそ
れがある。また、前記膜体１がガイド部材２を通過する
際に、該ガイド部材２のガイド面３に膜体１の面が摺接
すると、膜体１や該膜体１上に形成された製品等に傷が
入って製品としての価値を損ねてしまうおそれがある。
た従来の方法では、膜体１の平面性を確保するための構
造が複雑化すると共に、該膜体１に光を投射して作業を
行う場合、前記ガイド部材２に塵埃等が付着していると
該塵埃の影が映ってしまい、前記作業に影響が出るおそ
れがある。また、前記膜体１がガイド部材２を通過する
際に、該ガイド部材２のガイド面３に膜体１の面が摺接
すると、膜体１や該膜体１上に形成された製品等に傷が
入って製品としての価値を損ねてしまうおそれがある。
【０００５】さらに、上述した従来の方法では、前記膜
体１の面を平らな状態に矯正、保持するために膜体１の
搬送を一時停止させなければならず、膜体１に対する各
種作業を行う際の作業効率を向上させることができない
という不具合があった。本発明は、上記の点に着目して
なされたものであり、膜体の搬送を停止させることなく
簡略な構成で、前記膜体の面を非接触で平らな状態に矯
正することができる膜体の平面度矯正方法を提供するこ
とを目的とする。
体１の面を平らな状態に矯正、保持するために膜体１の
搬送を一時停止させなければならず、膜体１に対する各
種作業を行う際の作業効率を向上させることができない
という不具合があった。本発明は、上記の点に着目して
なされたものであり、膜体の搬送を停止させることなく
簡略な構成で、前記膜体の面を非接触で平らな状態に矯
正することができる膜体の平面度矯正方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、長尺で可撓可能な膜体が搬送される搬送路
中の所定位置で、該膜体に対して所定の処理を行う際
に、前記所定位置における前記膜体面を平らな状態に矯
正する方法であって、前記膜体の搬送路から偏位した箇
所に、該膜体の搬送方向と直交する方向を軸方向とする
２本のガイドローラを、それらのガイドローラの外周面
が互いに接触しないように夫々回転可能に配設し、前記
搬送路中の膜体を該搬送路から偏位させて前記２本のガ
イドローラの外周面に掛け渡して、これら２本のガイド
ローラの外周面間の前記膜体を平らな状態に矯正するよ
うにした。
に本発明は、長尺で可撓可能な膜体が搬送される搬送路
中の所定位置で、該膜体に対して所定の処理を行う際
に、前記所定位置における前記膜体面を平らな状態に矯
正する方法であって、前記膜体の搬送路から偏位した箇
所に、該膜体の搬送方向と直交する方向を軸方向とする
２本のガイドローラを、それらのガイドローラの外周面
が互いに接触しないように夫々回転可能に配設し、前記
搬送路中の膜体を該搬送路から偏位させて前記２本のガ
イドローラの外周面に掛け渡して、これら２本のガイド
ローラの外周面間の前記膜体を平らな状態に矯正するよ
うにした。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面に基づい
て説明する。図１は本発明による膜体の平面度矯正方法
の一実施形態を採用した外観検査装置の概略構成を示す
説明図、図２は図１に示す検査部内とその周辺における
ＴＡＢテープの搬送経路を拡大して略説する説明図、図
３はリードパターンが連続的に形成されたＴＡＢテープ
を示す説明図である。
て説明する。図１は本発明による膜体の平面度矯正方法
の一実施形態を採用した外観検査装置の概略構成を示す
説明図、図２は図１に示す検査部内とその周辺における
ＴＡＢテープの搬送経路を拡大して略説する説明図、図
３はリードパターンが連続的に形成されたＴＡＢテープ
を示す説明図である。
【０００８】図３において１０は、両側部にパーフォレ
ーション１１，１１が形成された膜体としてのＴＡＢテ
ープであり、その表面１２、及び裏面１３上には、例え
ばパンチング（穴あけ）加工、銅箔貼着、エッチング等
の工程を経て形成されたリードパターン２０，２０，…
が連続的に配列されて、その他の部分は余白１４となっ
ている。各リードパターン２０は図３に示すように、複
数のパターン２１ａ，２１ａ，…が形成されたベース部
２１と、該ベース部２１の中央に形成されたデバイスホ
ール２２内に突出し前記各パターン２１ａに連なる複数
本のインナーリード２２ａ，２２ａ，…と、前記ベース
部２１の周囲に形成されたアウターリードホール２３側
に突出し前記各パターン２１ａに連なる複数本のアウタ
ーリード２３ａ，２３ａ，…とから概略構成されるもの
である。
ーション１１，１１が形成された膜体としてのＴＡＢテ
ープであり、その表面１２、及び裏面１３上には、例え
ばパンチング（穴あけ）加工、銅箔貼着、エッチング等
の工程を経て形成されたリードパターン２０，２０，…
が連続的に配列されて、その他の部分は余白１４となっ
ている。各リードパターン２０は図３に示すように、複
数のパターン２１ａ，２１ａ，…が形成されたベース部
２１と、該ベース部２１の中央に形成されたデバイスホ
ール２２内に突出し前記各パターン２１ａに連なる複数
本のインナーリード２２ａ，２２ａ，…と、前記ベース
部２１の周囲に形成されたアウターリードホール２３側
に突出し前記各パターン２１ａに連なる複数本のアウタ
ーリード２３ａ，２３ａ，…とから概略構成されるもの
である。
【０００９】この図３に示すようなリードパターン２０
における、前記パターン２１ａ、インナーリード２２
ａ、アウターリード２３ａの外観不良、即ち欠損、欠
落、不整列等の検査を行う図１の検査装置３０では、送
り出しリール３１に巻回された被検査用のＴＡＢテープ
１０が、搬送ローラ群３２を介して、前記外観不良の有
無を判定する検査部３３，３４に搬送され、その後、搬
送ローラ群３５を介して、前記検査部３３，３４による
判定結果をＴＡＢテープ１０上にマーキングするマーキ
ング装置４０に搬送されて、さらに、搬送ローラ３６を
介して巻き取りリール３７に巻き取られるようになって
いる。
における、前記パターン２１ａ、インナーリード２２
ａ、アウターリード２３ａの外観不良、即ち欠損、欠
落、不整列等の検査を行う図１の検査装置３０では、送
り出しリール３１に巻回された被検査用のＴＡＢテープ
１０が、搬送ローラ群３２を介して、前記外観不良の有
無を判定する検査部３３，３４に搬送され、その後、搬
送ローラ群３５を介して、前記検査部３３，３４による
判定結果をＴＡＢテープ１０上にマーキングするマーキ
ング装置４０に搬送されて、さらに、搬送ローラ３６を
介して巻き取りリール３７に巻き取られるようになって
いる。
【００１０】さて、前記検査部３３，３４は、前記ＴＡ
Ｂテープ１０の表裏各面１２，１３について前述したよ
うな内容の外観検査を行うものであり、前記ＴＡＢテー
プ１０上のパターン２１ａ、インナーリード２２ａ、及
びアウターリード２３ａを、例えば画像処理等によって
パターン認識することにより、これらにおける欠損、欠
落、不整列等の外観不良の有無を判定するようになって
いる。そして、前記パターン２１ａ、インナーリード２
２ａ、及びアウターリード２３ａのパターン認識を行う
ために、前記検査部３３，３４においては、それらの内
部に設けられた図示しない発光手段からの光を前記ＴＡ
Ｂテープ１０の表裏両面１２，１３に投射して、その透
過光を検出するようにしている。
Ｂテープ１０の表裏各面１２，１３について前述したよ
うな内容の外観検査を行うものであり、前記ＴＡＢテー
プ１０上のパターン２１ａ、インナーリード２２ａ、及
びアウターリード２３ａを、例えば画像処理等によって
パターン認識することにより、これらにおける欠損、欠
落、不整列等の外観不良の有無を判定するようになって
いる。そして、前記パターン２１ａ、インナーリード２
２ａ、及びアウターリード２３ａのパターン認識を行う
ために、前記検査部３３，３４においては、それらの内
部に設けられた図示しない発光手段からの光を前記ＴＡ
Ｂテープ１０の表裏両面１２，１３に投射して、その透
過光を検出するようにしている。
【００１１】この場合、前記ＴＡＢテープ１０の歪みに
よって前記パターン認識による外観不良の検出に誤りが
生じないように、前記検査部３３，３４内には、ＴＡＢ
テープ１０の表裏両面１２，１３を平らな状態に矯正す
るために２本のガイドローラ３３ａ，３３ｂ，３４ａ，
３４ｂが、図１に示すように配設されている。各検査部
３３，３４における前記ガイドローラ３３ａ，３３ｂ，
３４ａ，３４ｂの配設関係は共通であるため、前記検査
部３３におけるガイドローラ３３ａ，３３ｂを代表して
説明すると、図２に示すように前記ガイドローラ３３
ａ，３３ｂは、それらの軸Ｌ１，Ｌ２の方向が前記ＴＡ
Ｂテープ１０の搬送方向Ｐと直交する向きとなってお
り、前記軸Ｌ１，Ｌ２の回りに夫々回転可能となってい
る。
よって前記パターン認識による外観不良の検出に誤りが
生じないように、前記検査部３３，３４内には、ＴＡＢ
テープ１０の表裏両面１２，１３を平らな状態に矯正す
るために２本のガイドローラ３３ａ，３３ｂ，３４ａ，
３４ｂが、図１に示すように配設されている。各検査部
３３，３４における前記ガイドローラ３３ａ，３３ｂ，
３４ａ，３４ｂの配設関係は共通であるため、前記検査
部３３におけるガイドローラ３３ａ，３３ｂを代表して
説明すると、図２に示すように前記ガイドローラ３３
ａ，３３ｂは、それらの軸Ｌ１，Ｌ２の方向が前記ＴＡ
Ｂテープ１０の搬送方向Ｐと直交する向きとなってお
り、前記軸Ｌ１，Ｌ２の回りに夫々回転可能となってい
る。
【００１２】そして、図２に示すように前記ガイドロー
ラ３３ａ，３３ｂは、その外周面３３ｃ，３３ｄが図中
の想像線で示すＴＡＢテープ１０の本来の搬送経路Ｓか
ら偏位して位置しており、このガイドローラ３３ａ，３
３ｂに前記ＴＡＢテープ１０が掛け渡されている。尚、
図２中Ｋで示す前記ガイドローラ３３ａ，３３ｂの外周
面３３ｃ，３３ｄ間の透き間、即ち距離は、前記検査部
３３，３４がパターン認識を行うのに必要な分だけ確保
されており、本実施例では、前記検査部３３，３４内に
おけるパターン認識用の光が前記リードパターン２０
（図３）の全体に投射されるように、前記ＴＡＢテープ
１０の長手方向における前記リードパターン２０の長さ
よりも若干長い程度の距離を確保しつつも、できるだけ
短い距離としてある。
ラ３３ａ，３３ｂは、その外周面３３ｃ，３３ｄが図中
の想像線で示すＴＡＢテープ１０の本来の搬送経路Ｓか
ら偏位して位置しており、このガイドローラ３３ａ，３
３ｂに前記ＴＡＢテープ１０が掛け渡されている。尚、
図２中Ｋで示す前記ガイドローラ３３ａ，３３ｂの外周
面３３ｃ，３３ｄ間の透き間、即ち距離は、前記検査部
３３，３４がパターン認識を行うのに必要な分だけ確保
されており、本実施例では、前記検査部３３，３４内に
おけるパターン認識用の光が前記リードパターン２０
（図３）の全体に投射されるように、前記ＴＡＢテープ
１０の長手方向における前記リードパターン２０の長さ
よりも若干長い程度の距離を確保しつつも、できるだけ
短い距離としてある。
【００１３】前記ガイドローラ３３ａ，３３ｂに掛け渡
されたＴＡＢテープ１０は、その搬送時において最も短
い経路を通ろうとするので、前記ガイドローラ３３ａを
図２中下向きに押え付けようとする一方、前記ガイドロ
ーラ３３ｂを図２中上向きに押え付けようとする。これ
に伴って、前記ガイドローラ３３ａの外周面３３ｃに当
接するＴＡＢテープ１０には、ガイドローラ３３ａから
の図２中上向きへの張力が加わり、前記ガイドローラ３
３ｂの外周面３３ｄに当接するＴＡＢテープ１０には、
ガイドローラ３３ｂからの図２中下向きへの張力が加わ
り、これにより、前記ガイドローラ３３ａ，３３ｂ間に
位置するＴＡＢテープ１０が高い精度で平らな状態に矯
正される。
されたＴＡＢテープ１０は、その搬送時において最も短
い経路を通ろうとするので、前記ガイドローラ３３ａを
図２中下向きに押え付けようとする一方、前記ガイドロ
ーラ３３ｂを図２中上向きに押え付けようとする。これ
に伴って、前記ガイドローラ３３ａの外周面３３ｃに当
接するＴＡＢテープ１０には、ガイドローラ３３ａから
の図２中上向きへの張力が加わり、前記ガイドローラ３
３ｂの外周面３３ｄに当接するＴＡＢテープ１０には、
ガイドローラ３３ｂからの図２中下向きへの張力が加わ
り、これにより、前記ガイドローラ３３ａ，３３ｂ間に
位置するＴＡＢテープ１０が高い精度で平らな状態に矯
正される。
【００１４】このように、本実施例で示した構成によれ
ば、ＴＡＢテープ１０を回転可能なガイドローラ３３
ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂに掛け渡すことにより、前
記検査部３３，３４内における、前記ガイドローラ３３
ａ，３３ｂ間、及びガイドローラ３４ａ，３４ｂ間のＴ
ＡＢテープ１０の表裏両面１２，１３の平面性を、非接
触で向上させることができる。このため、前記検査部３
３，３４内におけるＴＡＢテープ１０の歪みが解消さ
れ、高い精度でのリードパターン２０のパターン認識が
行えるようになり、検査部３３，３４での外観不良の有
無の判定精度を向上させることができるようになると共
に、前記ＴＡＢテープ１０の搬送を停止させる必要がな
くなる。尚、前記ガイドローラ３３ａ，３３ｂ，３４
ａ，３４ｂの径は任意であるが、これらガイドローラ３
３ａ，３３ｂ間、及びガイドローラ３４ａ，３４ｂ間に
位置するＴＡＢテープ１０の長手方向における長さを短
くするために、できるだけ短い径とするのが望ましい。
ば、ＴＡＢテープ１０を回転可能なガイドローラ３３
ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂに掛け渡すことにより、前
記検査部３３，３４内における、前記ガイドローラ３３
ａ，３３ｂ間、及びガイドローラ３４ａ，３４ｂ間のＴ
ＡＢテープ１０の表裏両面１２，１３の平面性を、非接
触で向上させることができる。このため、前記検査部３
３，３４内におけるＴＡＢテープ１０の歪みが解消さ
れ、高い精度でのリードパターン２０のパターン認識が
行えるようになり、検査部３３，３４での外観不良の有
無の判定精度を向上させることができるようになると共
に、前記ＴＡＢテープ１０の搬送を停止させる必要がな
くなる。尚、前記ガイドローラ３３ａ，３３ｂ，３４
ａ，３４ｂの径は任意であるが、これらガイドローラ３
３ａ，３３ｂ間、及びガイドローラ３４ａ，３４ｂ間に
位置するＴＡＢテープ１０の長手方向における長さを短
くするために、できるだけ短い径とするのが望ましい。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明の膜体の平面
度矯正方法によれば、膜体の搬送路から偏位した箇所
に、該膜体の搬送方向と直交する方向を軸方向とする２
本のガイドローラを、それらのガイドローラの外周面が
互いに接触しないように夫々回転可能に配設し、前記搬
送路中の膜体を該搬送路から偏位させて前記２本のガイ
ドローラの外周面に掛け渡して、これら２本のガイドロ
ーラの外周面間の前記膜体を平らな状態に矯正するよう
にしたので、膜体の搬送を停止させることなく簡略な構
成で、前記膜体の面を非接触で平らな状態に矯正するこ
とができる。
度矯正方法によれば、膜体の搬送路から偏位した箇所
に、該膜体の搬送方向と直交する方向を軸方向とする２
本のガイドローラを、それらのガイドローラの外周面が
互いに接触しないように夫々回転可能に配設し、前記搬
送路中の膜体を該搬送路から偏位させて前記２本のガイ
ドローラの外周面に掛け渡して、これら２本のガイドロ
ーラの外周面間の前記膜体を平らな状態に矯正するよう
にしたので、膜体の搬送を停止させることなく簡略な構
成で、前記膜体の面を非接触で平らな状態に矯正するこ
とができる。
【図１】本発明による膜体の平面度矯正方法の一実施形
態を採用した外観検査装置の概略構成を示す説明図であ
る。
態を採用した外観検査装置の概略構成を示す説明図であ
る。
【図２】図１に示す検査部内とその周辺におけるＴＡＢ
テープの搬送経路を拡大して略説する説明図である。
テープの搬送経路を拡大して略説する説明図である。
【図３】リードパターンが連続的に形成されたＴＡＢテ
ープを示す説明図である。
ープを示す説明図である。
【図４】従来における、膜体の面を平らな状態に矯正、
保持するための構成を示す説明図である。
保持するための構成を示す説明図である。
１０ ＴＡＢテープ（膜体） １２ 表面（膜体面） １３ 裏面（膜体面） ３３ａ，３３ｂ，３４，３４ｂ ガイドローラ ３３ｃ，３３ｄ 外周面 Ｌ１，Ｌ２ 軸 Ｐ 搬送方向 Ｓ 距離
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 長尺で可撓可能な膜体が搬送される搬送
路中の所定位置で、該膜体に対して所定の処理を行う際
に、前記所定位置における前記膜体面を平らな状態に矯
正する方法であって、 前記膜体の搬送路から偏位した箇所に、該膜体の搬送方
向と直交する方向を軸方向とする２本のガイドローラ
を、それらのガイドローラの外周面が互いに接触しない
ように夫々回転可能に配設し、 前記搬送路中の膜体を該搬送路から偏位させて前記２本
のガイドローラの外周面に掛け渡して、これら２本のガ
イドローラの外周面間の前記膜体を平らな状態に矯正す
るようにした、 ことを特徴とする膜体の平面度矯正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21287991A JPH0536757A (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | 膜体の平面度矯正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21287991A JPH0536757A (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | 膜体の平面度矯正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0536757A true JPH0536757A (ja) | 1993-02-12 |
Family
ID=16629777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21287991A Pending JPH0536757A (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | 膜体の平面度矯正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0536757A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006250930A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Ajuhitek Inc | 自動光学検査システム |
| JP2007129005A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Athlete Fa Kk | 基板供給装置、基板巻取装置、基板処理システム、基板供給方法および基板巻取方法 |
| US7500502B2 (en) | 2004-02-19 | 2009-03-10 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Inspection apparatus and method for film carrier tapes for mounting electronic components and semiconductor devices |
| JP2009271058A (ja) * | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Utechzone Co Ltd | 撮影検査装置 |
-
1991
- 1991-07-29 JP JP21287991A patent/JPH0536757A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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