JP4403229B2 - 基板検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板検査装置に係り、特に、配線などのパターンが形成された配線基板等平板状基板の孔、基板の表面又は裏面のパターン欠け等欠陥の有無を検査する基板検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
通常、配線基板等の製造に際しては、配線パターン形成後に、配線に断線や欠け、基板の孔等欠陥の有無を検査することが行われている。
【0003】
この欠陥検査、特に、配線基板等平板状基板の表面欠陥検査には、ラインCCDセンサ等画像読取装置を用いた自動検査装置が広く採用されている。近年、液晶ディスプレイ装置等に適用される平板状基板は、次第に大型化される傾向を有し、この種の大型化基板に対するより厳しく且つ迅速な自動検査装置が望まれている。
【0004】
従来、当該被検査基板の大型化に伴い、容易に対応できること、高速搬送が可能であること等の理由により、自動検査装置において、被検査基板を搬送ベルト、ローラ等の搬送手段によって搬送し、所定の位置でCCDセンサ等画像読取装置により当該被検査基板の被検査部位を画像として読み取り、この読み取られた画像に基づいて、欠陥の有無を検査する手法が、広く利用されている。
【0005】
具体的には、例えば、対向させた複数組のローラ対を搬送方向に沿って並列して所定間隔で配置し、各組のローラ間に披検査基板の搬送方向の両側縁を支持させ、当該基板の平面度を保ちつつ、被検査基板を搬送し所定位置で欠陥を検査するものが広く利用されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の基板検査装置における搬送装置では、被検査基板の全面を支持せずに搬送を行っているため、被検査基板の大型化に伴い、当該披検査基板の自重により、被検査基板の一部分が下方に沈み込んで、被検査基板が湾曲する。このため、被検査基板の平面性を確保することが困難となり、CCDセンサで画像を読み取る領域内で被写界深度に差が生じ、精度よく欠陥を検出することが出来ないという問題がある。
【0007】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたもので、基板の湾曲、撓み、反り等を防止し、検査領域内の基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位を抑制して基板を搬送することにより、当該検査領域において精度良く基板の欠陥を検査することができる基板検査装置の提供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項1の発明は、配線パターンが形成された基板を少なくとも基板の幅方向両端部をそれぞれの細幅ベルトで挟持して搬送する搬送手段と、前記搬送手段により前記基板が直線的に搬送されるときの軌跡に対して、軸線が前記基板の肉厚方向に平行移動された複数の回転体で構成され、前記回転体により基板を湾曲させ、前記軌跡からの前記基板の肉厚方向の変位量が、搬送路中に設けられた検査領域で最も大きくなるように各回転体が配設され、少なくとも前記検査領域内において、前記基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位がないように搬送を案内する搬送案内手段と、前記検査領域において、前記搬送案内手段で案内されている基板の幅方向に沿って、前記基板面を走査することで基板面を検出するラインセンサと、を有することを特徴とする。
【0009】
請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明において、前記ラインセンサが、前記基板の搬送路において前記基板の表裏両面側に設けられ、当該基板の表裏面のそれぞれに検査領域が設けられており、前記ラインセンサにより前記基板の表裏両面が検出されることを特徴とする。
【0010】
請求項4の発明は、請求項1〜請求項3のいずれか1項記載の発明において、予め基板上の適正な配線パターンが記憶され、該適正な配線パターンと検出結果とを比較する比較手段を更に備えたことを特徴とする。
【0011】
請求項1の発明によれば、搬送手段により基板を定速搬送し、ラインセンサによる検査領域で、搬送案内手段により当該基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位がないように案内する。これにより、検査領域において、基板の検査部位とラインセンサとの距離が基板の幅方向のいずれの部位においても一定となり、基板の幅方向に亘り被写界深度に差が生ずるのが防止される。これにより、ラインセンサによって基板の面の状況を適正に検出することができ、精度良く基板の欠陥検査を行うことができる。
【0012】
加えて、請求項3の発明によれば、1回の搬送中に基板の表面および裏面を順次検査することができ、作業性が向上する。
【0013】
更に、請求項4の発明によれば、比較手段により予め記憶されたパターンと、検出結果とを比較することで検査結果にムラが生じることはなく、また、作業性が向上する。
【0014】
請求項2の発明は、配線パターンが形成された基板を少なくとも基板の幅方向両端部をそれぞれの細幅ベルトで挟持して搬送する搬送手段と、前記搬送手段により前記基板が直線的に搬送されるときの軌跡に対して、搬送路を前記基板の肉厚方向に変位させるための円弧面を有するガイド部材で構成され、前記ガイド部材により基板を湾曲させ、搬送路中に設けられた検査領域に前記円弧面の頂点が対応するように前記ガイド部材が配設され、少なくとも前記検査領域内において、前記基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位がないように搬送を案内する搬送案内手段と、前記検査領域において、前記搬送案内手段で案内された基板の幅方向に沿って、前記基板面を走査することで基板面を検出するラインセンサと、を有することを特徴とする。
【0015】
請求項2の発明によれば、基板を円弧状に搬送させるための円弧面を有するガイド部材を設けることにより、搬送される基板が円弧状に搬送される。即ち、基板が搬送方向に湾曲され、基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位が抑制される。なお、ガイド部材の円弧面で基板を支持することにより、ローラ等を用いるよりも安定性がある。
【0016】
また、請求項1の発明において、前記搬送案内手段は、前記基板が直線的に搬送するときの軌跡に対して、軸線が基板の肉厚方向に平行移動された複数の回転体で構成され、この回転体に案内させることで基板を湾曲させ前記検査領域が最も変位量が大きくなるように各回転体が配設されていることを特徴とする。
【0017】
また、請求項5の発明は、請求項1〜請求項4のいずれか1項の発明において、前記回転体によって、波形の搬送路が形成され、肉厚方向のそれぞれの凸側に前記ラインセンサが配置されていることを特徴とする。
【0018】
請求項1の発明によれば、搬送案内手段として、基板が直線的に搬送するときの軌跡に対して、軸線が基板の肉厚方向に平行移動された複数の回転体を、前記検査領域が最も変位量が大きくなるように各回転体を配設する。そして、この回転体の間に基板を通過させることで、検査領域においてそれぞれの回転体が基板の所定箇所を上側または下側から支持する。回転体はそれぞれ、肉厚方向に変位して配置されており、例えば、各回転体を搬送方向に亘り互い違いに肉厚方向にずらして配置することで基板を搬送方向に湾曲させることができ、前記検査領域において、特に、基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位が抑制される。
【0019】
また、請求項5の発明によれば、肉厚方向のそれぞれの凸側にラインセンサを配置することで、基板の両面を検査することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)
以下、図面を参照して本発明の第1の実施の形態を詳細に説明する。
【0021】
図1、図2に示すように基板検査装置10は、エッチング処理等でプリント配線パターン15Aが形成された合成樹脂製の基板15(図9参照)を図1および図2の矢印A方向に搬送する搬送手段として、下側搬送ベルト11、11と、上側搬送ベルト13、13とを備えている。基板15には、配線パターン15Aの他、部品の端子を半田付けするための複数の孔15Bが設けられている。なお、基板15の寸法は図9に示す如く、L=350mm、W=100mmである。
【0022】
下側搬送ベルト11、11は一対の細幅無端ベルトであり、この下側搬送ベルト11、11は、基板15の幅方向(図1の矢印B方向)両端部を載置させながら搬送するものである。下側搬送ベルト11、11は、ローラ軸12Aで連結された2つの円柱状の下側ベルト用ローラ12、12に巻きかけられている。
【0023】
下側搬送ベルト11、11は、共に下側ベルト用ローラ12、12を介して図示しないモータにより回転力を受けて、その回転力により駆動され、図1および図2の矢印C方向に共に一定速度で回転するようになっている。
【0024】
また、上側搬送ベルト13、13は、下側搬送ベルト11、11と同様に一対の細幅無端ベルトであり、この上側搬送ベルト13、13は、下側搬送ベルト11、11によりその幅方向両端部が下側から支持された基板15を、上側から押さえながら走行するものである。上側搬送ベルト13、13は、下側搬送ベルト11、11と同様に、ローラ軸14Aで連結された2つの円柱状の上側ベルト用ローラ14、14に巻きかけられている。上側搬送ベルト13、13は、下側搬送ベルト11、11の摩擦力により回転力を受け、図1および図2の矢印D方向に共に一定速度で従動回転するようになっている。
【0025】
そして、基板15は、その幅方向両端部を上側搬送ベルト13、13と下側搬送ベルト11、11とにより挟持されることで、図1および図2の矢印Aで示す如く、左側から右側へ搬送されるようになっている。なお、下側搬送ベルト11、11および上側搬送ベルト13、13の幅寸法は、3mm〜5mmである。
【0026】
上側ベルト用ローラ14、14間の所定位置は、基板15の表側面の検査領域としての上側画像読取領域25(図2参照)となっている。上側画像読取領域25の上方には、基板15の表側面の状況を検出するラインセンサとして、基板15の表側面の画像を読み取る上側ラインCCDセンサ16が配置されている。この上側ラインCCDセンサ16の下方には所定間隔を隔ててレンズ17が配置されている。上側ラインCCDセンサ16は、基板15の幅方向に沿って基板15の表側面を走査することで、基板15の表側面の濃度を検出する。
【0027】
また、上側画像読取領域25から若干搬送方向(図2の矢印A方向)に進んだ位置の下方は、基板15の裏側面の検査領域としての下側画像読取領域27(図2参照)となっている。下側画像読取領域27の下方には基板15の裏側面の状況を検出するライン状のラインセンサとしての下側ラインCCDセンサ18が配置されている。下側ラインCCDセンサ18の上方には、所定間隔を隔ててレンズ19が配置されている。下側ラインCCDセンサ18は、上側ラインCCDセンサ16と同様に、基板15の幅方向に沿って基板15の裏側面を走査することで、基板15の裏側面の濃度を検出する。また、上側ラインCCDセンサ16および下側ラインCCDセンサ18近傍には、上側画像読取領域25および下側画像読取領域27に図示しない光源からの光を照射する照明装置(図示省略)が設けられている。なお、この照明装置は、少なくとも上側画像読取領域25および下側画像読取領域27において、基板15の幅方向に亘る線状の領域に均一に光を照射するものである。
【0028】
図2に示す如く、基板15の搬送路の一部である上側画像読取領域25には、搬送される基板15を湾曲させることにより基板の幅方向に亘り肉厚方向(図1および図2の矢印E方向)の変位を抑制する円柱状の案内用ローラ20が複数設けられている。
【0029】
この複数の案内用ローラ20は、基板15の搬送方向に対して各々が所定間隔づつ隔てて設けられており、更に、基板15が直線的に搬送されるときの軌跡L(図5参照)に対して、軸線が基板15の肉厚方向上側に変位して配置されている。これにより、上側画像読取領域25では、基板15は、図2の上に凸状の円弧軌跡を描きながら搬送されるようになっている。また、上側画像読取領域25における上側ラインCCDセンサ16の読取位置には、2つの案内用ローラ20が接近して配置されており(この配置の詳細については後述する)、この2つの案内用ローラ20間は強固に肉厚方向の変位が抑制されるようになっている。
【0030】
同様に、下側画像読取領域27には、案内用ローラ20が複数設けられており、この複数の案内用ローラ20は基板15の搬送方向に対して各々が所定間隔づつ隔てて設けられ、前記軌跡Lに対して軸線が基板15の肉厚方向下側に変位して配置されている。これにより、下側画像読取領域27では、基板15は、図2の下側に凸状の円弧軌跡を描きながら搬送されるようになっている。そして、下側画像読取領域27における下側ラインCCDセンサ18の読取位置には、2つの案内用ローラ20が接近して配置され、この2つの案内用ローラ間は強固に肉厚方向の変位が抑制されるようになっている。
【0031】
図3、図4において、各ローラ20毎の配置構成を示す。なお、各案内用ローラ20を図3および図4においては、20の末尾にA、B、C、D、E、F、G、H、I、Jを付して区別する。最左端の案内用ローラ20Aは、上側搬送ベルト13、13の内側に設けられ、前記軌跡L上にその下端が位置するようになっている。次に、この案内用ローラ20Aの隣に位置する案内用ローラ20Bは、案内用ローラ20Aと所定間隔を隔てて下側搬送ベルト11、11の内側に設けられ、案内用ローラ20Bの回転中心と周縁との中間部近傍の部位が、軌跡L上に位置するようになっている。また、案内用ローラ20Cは、案内用ローラ20Bと所定間隔を隔てて下側搬送ベルト11、11の内側に設けられ、案内用ローラ20Cの回転中心近傍の部位が軌跡L上に位置するようになっている。更に、案内用ローラ20Dは、案内用ローラ20Cと所定間隔を隔てて下側搬送ベルト11、11の内側に設けられ、前記案内用ローラ20Cと同じ高さに位置するようになっている。更にまた、案内用ローラ20Eは、案内用ローラ20Dと所定間隔を隔てて下側搬送ベルト15の内側に設けられ、前記案内用ローラ20Bと同じ高さに位置するようになっている。
【0032】
続いて、案内用ローラ20Fは、案内用ローラ20Eと所定間隔を隔てて上側搬送ベルト13、13の内側に設けられ、案内用ローラ20Fの回転中心と周縁との中間部近傍の部位が、前記軌跡L上に位置するようになっている。案内用ローラ20G、20Hは、それぞれ案内用ローラ20Fと所定間隔を隔てて上側搬送ベルト13、13の内側に設けられ、案内用ローラ20G、20Hの回転中心近傍の部位がそれぞれ前記軌跡L上に位置するようになっている。案内用ローラ20Iは案内用ローラ20Hと所定間隔を隔てて上側搬送ベルト13、13の内側に設けられ、前記案内用ローラ20Fと同じ高さに位置するようになっている。そして、案内用ローラ20Jは、案内用ローラ20Iと所定間隔を隔てて下側搬送ベルト11の、11内側に設けられ、前記軌跡L上にその上端が位置するようになっている。
【0033】
即ち、下側搬送ベルト11、11および上側搬送ベルト13、13は、図4の左側から前記軌跡L上で上側から案内用ローラ20Aに押さえられ、軌跡Lよりやや上方で下側から案内用ローラ20B、20C、20D、20Eにより支持される。このとき、案内用ローラ20C、20Dの変位量は、案内用ローラ20B、20Eの変位量よりも大きいため下側搬送ベルト11、11および上側搬送ベルト13、13とは案内用ローラ20C、20Dの中間を頂点Xとして上側に突出した円弧状の搬送路を形成する。よって、基板15は上側画像読取領域25において、図4の頂点Xを頂点とする円弧軌跡で搬送されることになる。なお、この円弧は300Rである。
【0034】
また、下側搬送ベルト11、11および上側搬送ベルト13、13は、軌跡Lよりやや下方で上側から案内用ローラ20F、20G、20H、20Iにより押さえられ、軌跡L上で下側から案内用ローラ20Jにより支持される。このとき、案内用ローラ20G、20Hの変位量が案内用ローラ20F、20Hの変位量よりも大きいため、下側搬送ベルト11、11および上側搬送ベルト13、13は案内用ローラ20G、20Hの中間部を頂点Yとして下側に突出した円弧状の搬送路を形成する。よって、基板15は下側画像読取領域27において、図4の頂点Yを頂点とする円弧軌跡で搬送されることになる。なお、この円弧は、前記した頂点Xを頂点とする円弧と同様に、約300Rである。
【0035】
この結果、下側搬送ベルト11、11および上側搬送ベルト13、13は、上側画像読取領域25を通過して、更に下側画像読取領域27を通過するとき、側面視でなだらかな波形の搬送路を形成する。そして、基板15はこの波形の搬送路に従って、波形の軌跡で搬送されることとなる。
【0036】
以下、第1の実施の形態の作用について説明する。
【0037】
図1の左側から基板15が搬入されると、下側搬送ベルト11、11が駆動し、基板15は、上側搬送ベルト13、13と下側搬送ベルト11、11とにその幅方向両端部を挟持されることで、図1の左側から右側まで搬送され、図1の右側に搬出される(図1の矢印A参照)。下側搬送ベルト11、11と、上側搬送ベルト13、13とは前記案内用ローラ20に案内されていることから、基板15は上側画像読取領域25を通過するとき、案内用ローラ20Aの下側を通過し、案内用ローラ20B、20C、20D、20Eの上側を通過して上側に突出した円弧軌跡を描く。続いて、基板15は下側画像読取領域27を通過するとき、案内用ローラ20F、20G、20H、20Iの下側を通過し、更に、案内用ローラ20Jの上側を通過して下側に突出した円弧軌跡を描く。この結果、基板15は上側画像読取領域25と下側画像読取領域27とを通過するとき、なだらなかな波形の軌跡で搬送される。
【0038】
基板15の搬送過程において、基板15の先端部が案内用ローラ20C、20D間を通過するとき、その通過部位が上側ラインCCDセンサ16による検査の対象となる。即ち、基板15の先端部が案内用ローラ20C、20D間、即ち、上側画像読取領域25を通過すると図示しないセンサの検出により判断されたとき、上側画像読取領域25に図示しない照明装置によって光が照射され、上側ラインCCDセンサ16が駆動される。そして、基板15の円弧の頂点X(図4参照)が基板15の幅方向に沿って上側ラインCCDセンサ16により画像として読み取られる。
【0039】
続いて、基板15の先端部が案内用ローラ20G、20H間を通過するとき、即ち、基板15の先端部が下側画像読取領域27を通過すると図示しないセンサの検出により判断されたとき、下側画像読取領域27に図示しない照明装置によって光が照射され、下側ラインCCDセンサ18が駆動される。そして、基板15の円弧の頂点Y(図4参照)が基板15の幅方向に沿って下側ラインCCDセンサ18により画像として読み取られる。
【0040】
更に、基板15の後端部が上側画像読取領域25を通過したとき、上側ラインCCDセンサ16による画像の読み取りが終了し、続いて、基板15の後端部が下側画像読取領域27を通過したとき、下側ラインCCDセンサ18による画像の読み取りが終了する。そして、基板15の表裏面全面の画像が読み取られると、この読み取られた画像に基づいて、基板15のパターンの欠け、孔等欠陥の有無が検査される。
【0041】
このように、本実施の形態では、上側画像読取領域25、下側画像読取領域27において、基板15が案内用ローラ20により基板の搬送方向に湾曲され、円弧軌跡で搬送されていることから、基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位が抑制される。従って、上側画像読取領域25および下側画像読取領域27において、上側ラインCCDセンサ16および下側ラインCCDセンサ18の被写界深度に差が生ずることはなく、基板の円弧の頂点X、Yの画像を読み取ることにより、上側ラインCCDセンサ16と下側ラインCCDセンサ18とにより読み取られる画像に基板15が適正に反映される。その結果、読み取られた画像に基づいて、精度良く基板15の欠陥検査をすることができる。
【0042】
(第2の実施の形態)
続いて、本発明の第2の実施の形態である基板検査装置について説明する。本実施の形態において、第1の実施の形態と同一の構成については同符号を付し、その説明を省略する。
【0043】
図6および図7に示すように、基板検査装置における基板15の搬送路の一部である上側画像読取領域25には、第1ガイド31、第2ガイド32が設けられている。
【0044】
第1ガイド31は、下側搬送ベルト11、11の内側に設けられ、その形状は上端面(図7の上側面)が側面視で円弧状の凸状となったかまぼこ形状となっている。第2ガイド32は上側搬送ベルト13、13の内側に設けられ、その形状は直方体形状である。
【0045】
第1ガイド31は、上側画像読取領域25における上側ラインCCDセンサ16による読取位置にその円弧の頂点α(図7参照)が位置するように、且つ、第1ガイド31の中央部近傍の部位が前記軌跡Lと一致するように配置される。第2ガイド32は、第1ガイド31よりも搬送方向と反対方向に所定間隔を隔てて設けられ、その下端面が前記軌跡L(図8参照)と一致するように配置されている。
【0046】
即ち、下側搬送ベルト11、11および上側搬送ベルト13、13とは、図6および図7の左側から前記軌跡L上で上側から第2ガイド32に押さえられ、軌跡Lよりやや上方で第1ガイド31に下側から支持される。このとき、第2ガイド32の下端面は軌跡L上に位置するが、第1ガイド31の円弧面は軌跡Lよりも上側に変位しているため、下側搬送ベルト11、11および上側搬送ベルト13、13とは、第1ガイド31の円弧面の頂点αを頂点として上側に突出した円弧状の搬送路を形成する。
【0047】
よって、第1ガイド31と、第2ガイド32とは、搬送される基板15を湾曲させることにより基板15の幅方向に亘り肉厚方向の変位を抑制するようになっている。
【0048】
同様に、基板15の搬送路の一部である下側画像読取領域27には、第1ガイド33、第2ガイド34とが設けられている。
【0049】
第1ガイド33は、上側搬送ベルト13、13の内側に設けられ、その形状は下端面(図7の下側面)が側面視で円弧状の凸状となったかまぼこ形状となっている。第2ガイド34は上側搬送ベルト11、11の内側に設けられ、その形状は直方体形状である。
【0050】
第1ガイド33は、下側画像読取領域27における下側ラインCCDセンサ17による読取位置にその円弧の頂点β(図7参照)が位置するように、且つ、第1ガイド33の中央部近傍の部位が前記軌跡L(図8参照)と一致するように配置される。第2ガイド34は、第1ガイド33よりも搬送方向に進んだ所定間隔を隔てて設けられ、その上端面が前記軌跡Lと一致するように配置されている。
【0051】
即ち、下側搬送ベルト11、11および上側搬送ベルト13、13とは、図6および図7の左側から前記軌跡Lよりやや下方で上側から第1ガイド33に押さえられ、軌跡L上で第2ガイド34に下側から支持される。このとき、第2ガイド34の上端面は軌跡L上に位置するが、第1ガイド33の円弧面は軌跡Lよりも下側に変位しているため、下側搬送ベルト11、11および上側搬送ベルト13、13とは、第1ガイド31の円弧面の頂点βを頂点として下側に突出した円弧状の搬送路を形成する。
【0052】
よって、第1ガイド33と第2ガイド34とは、搬送される基板15を湾曲させることにより基板15の幅方向に亘り肉厚方向の変位を抑制するようになっている。
【0053】
この結果、下側搬送ベルト11、11と上側搬送ベルト13、13とは、上側画像読取領域25を通過して、下側画像読取領域27を通過するとき、側面視でなだらかな波形の搬送路を形成する。そして、基板15はこの波形の搬送路に従って、波形の軌跡で搬送されることになる(図8参照)。
【0054】
以下、第2の実施の形態の作用について説明する。
【0055】
図6および図7の左側から基板15が搬入されると、下側搬送ベルト11、11が駆動し、基板15は、上側搬送ベルト13、13と下側搬送ベルト11、11とにその幅方向両端部を挟持されることで、図6および図7の左側から右側まで搬送され、図6および図7の右側に搬出される(図6の矢印A参照)。下側搬送ベルト11、11と、上側搬送ベルト13、13とは第1ガイド31、33び第2ガイド32、34に案内されていることから、基板15は上側画像読取領域25を通過するとき、第2ガイド32の下側を通過し、第1ガイド31の上側を通過して上側に突出した円弧軌跡を描く。続いて、基板15は下側画像読取領域27を通過するとき、第1ガイド33の下側を通過し、更に、第2ガイド34の上側を通過して下側に突出した円弧軌跡を描く。この結果、基板15は上側画像読取領域25と下側画像読取領域27とを通過するとき、なだらなかな波形の軌跡で搬送される。
【0056】
基板15の搬送過程において、基板15の先端部が第1ガイド31の頂点αを通過するとき、その通過部位が上側ラインCCDセンサ16による検査の対象となる。即ち、基板15の先端部が上側画像読取領域25を通過すると図示しないセンサの検出により判断されたとき、上側画像読取領域25に図示しない照明装置によって光が照射され、上側ラインCCDセンサ16が駆動される。そして、基板15の円弧の頂点α(図7参照)が基板15の幅方向に沿って上側ラインCCDセンサ16により画像として読み取られる。
【0057】
続いて、基板15の先端部が第1ガイド34の頂点β(図7参照)を通過するとき、即ち、基板15の先端部が下側画像読取領域27を通過すると図示しないセンサの検出により判断されたとき、下側画像読取領域27に図示しない照明装置によって光が照射され、下側ラインCCDセンサ18が駆動される。そして、基板15の円弧の頂点βが基板15の幅方向に沿って下側ラインCCDセンサ18により画像として読み取られる。
【0058】
更に、基板15の後端部が上側画像読取領域25を通過したとき、上側ラインCCDセンサ16による画像の読み取りが終了し、続いて、基板15の後端部が下側画像読取領域27を通過したとき、下側ラインCCDセンサ18による画像の読み取りが終了する。そして、基板15の表裏面全面の画像が読み取られると、この読み取られた画像に基づいて、基板15のパターンの欠け、孔等欠陥の有無が検査される。
【0059】
このように、第2の実施の形態では、上側画像読取領域25、下側画像読取領域27において、基板15が第1ガイド31、33および第2ガイド32、34により基板の搬送方向に湾曲され、円弧軌跡で搬送されていることから、基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位が抑制される。従って、上側画像読取領域25および下側画像読取領域27において、上側ラインCCDセンサ16および下側ラインCCDセンサ18の被写界深度に差が生ずることはなく、基板の円弧の頂点α、βの画像を読み取ることにより、上側ラインCCDセンサ16と下側ラインCCDセンサ18とにより読み取られる画像に基板15が適正に反映される。その結果、読み取られた画像に基づいて、精度良く基板15の欠陥検査をすることができる。
【0060】
上述した2つの実施の形態にかかる基板検査装置おいては、上側および下側にラインCCDセンサ16、18を設けたので、基板15の表裏両面の検査をすることができ、作業性が向上する。更にまた、搬送ベルトが波形の搬送路を形成するように案内用ローラ20、ガイド31、32、33、34を配置することにより、基板15は波形軌跡で搬送される。即ち、基板15は、一旦上側に突出するように湾曲されるが、続いて、下方に突出するように湾曲されるため、検査終了後の基板15は元の平板状に維持される。
【0061】
上述した2つの実施の形態に係る基板検査装置に、さらに、コンピュータ等の予め基板15の正規のパターンを記憶させ、この正規のパターンとラインCCDセンサ16、18により検出した結果とを比較する比較手段を備えることにより、人間による手作業よりも、より確実に精度良く、また、迅速に基板15の欠陥等を検査することができる。
【0062】
なお、基板15は下側搬送ベルト11、11と上側搬送ベルト13、13とによりその幅方向両端部(図9の斜線部)を挟持されながら、基板15と下側搬送ベルト11、11と上側搬送ベルト13、13とが一体に搬送される。従って、基板15が直接案内用ローラ20又はガイド31、32、33、34に接することは無く、基板15の幅方向両端部(図9の斜線部)の損傷を防止することができるという効果もある。更に、基板15の表面または裏面を検出するに際し、ラインCCDセンサ16、18を用いて基板の幅方向に沿って、基板15を走査する。これにより、検出時、即ち画像読み取り時に基板15を停止させる必要が無く、基板15の全面を検査することができ作業性が向上する。更に又、下側搬送ベルト11、11は、上側搬送ベルト13、13よりも長く形成されており、基板15を搬送するときに、搬入台、搬出台としての役割を果たすことができるため、これによっても作業性が向上する。加えて、基板15が画像読取領域25又は画像読取領域27において画像の読み取りが行われているときであり、その処理が終わらない状態であっても、次の基板を搬送することができるため、これによっても作業性が向上する。
【0063】
上述した2つの実施の形態においては、搬送案内手段として、ガイド、回転体であるローラにより搬送ベルトを案内して基板を湾曲させるようにしたが、球等他の回転体によって、又、ベアリング等によって搬送ベルトを案内することにより基板を湾曲させることもできる。
【0064】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、基板の湾曲、撓み、反り等を防止し、検査領域内の基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位を抑制して基板を搬送することにより、当該検査領域において精度良く基板の欠陥を検査することができるという優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る基板検査装置の全体構成を示す斜視図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態に係る基板検査装置の全体構成を示す側面図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態に係る基板検査装置の検査領域の構成を示す斜視図である。
【図4】本発明の第1の実施の形態に係る基板検査装置の検査領域の構成を示す側面図である。
【図5】本発明の第1の実施の形態に係る基板検査装置の検査領域において、基板が直線的に搬送されるときの軌跡と案内用ローラの配置を示す概略側面図である。
【図6】本発明の第2の実施の形態に係る基板検査装置の検査領域の構成を示す斜視図である。
【図7】本発明の第2の実施の形態に係る基板検査装置の検査領域の構成を示す側面図である。
【図8】本発明の第2の実施の形態に係る基板検査装置の検査領域において、基板が直線的に搬送されるときの軌跡と案内用ローラの配置を示す概略側面図である。
【図9】本発明の実施の形態に係る基板検査装置において、搬送される基板を示す平面図である。
【符号の説明】
10 基板検査装置
11 下側搬送ベルト
13 上側搬送ベルト
15 基板
16 ラインCCDセンサ
18 ラインCCDセンサ
20 案内用ローラ
25 上側画像読取領域
27 下側画像読取領域
31、33 第1ガイド
32、34 第2ガイド
Claims (4)
- 配線パターンが形成された基板を少なくとも基板の幅方向両端部をそれぞれの細幅ベルトで挟持して搬送する搬送手段と、
前記搬送手段により前記基板が直線的に搬送されるときの軌跡に対して、軸線が前記基板の肉厚方向に平行移動された複数の回転体で構成され、前記回転体により基板を湾曲させ、前記軌跡からの前記基板の肉厚方向の変位量が、搬送路中に設けられた検査領域で最も大きくなるように各回転体が配設され、少なくとも前記検査領域内において、前記基板の幅方向に亘り肉厚方向の変位がないように搬送を案内する搬送案内手段と、
前記検査領域において、前記搬送案内手段で案内された基板の幅方向に沿って、前記基板面を走査することで基板面を検出するラインセンサと、
を有する基板検査装置。 - 前記ラインセンサが、前記基板の搬送路において前記基板の表裏両面側に設けられ、当該基板の表裏面のそれぞれに検査領域が設けられており、前記ラインセンサにより前記基板の表裏両面が検出されることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 予め基板上の適正な配線パターンが記憶され、該適正な配線パターンと検出結果とを比較する比較手段を更に備えたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の基板検査装置。
- 前記搬送案内手段によって、波形の搬送路が形成され、肉厚方向のそれぞれの凸側に前記ラインセンサが配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項記載の基板検査装置。
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