JP2005231671A - 電子部品実装用フィルムキャリアテープおよび半導体装置の検査装置および検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 電子部品実装用フィルムキャリアテープの外観検査を行う際に、拡大レンズ装置の拡大倍率によらず検査員が着席した状態で無理のない姿勢で検査することができ、装置サイズがコンパクトで、さらに、検査を行う室内のスペースを有効に利用することができる電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 巻き出しリール３と巻き取りリール７とを隣接配置するとともに、この隣接配置された巻き出しリール３と巻き取りリール７が検査部１０の位置から巻き出しリール３、巻き取りリール７の順で並ぶように検査部１０を配置して、巻き出しリール３からのフィルムキャリアテープＴを検査部１０で略鉛直線方向へ搬送して、この略鉛直線方向に沿ったフィルムキャリアテープＴを拡大レンズ装置１１で検査するようにした。
【選択図】 図１

Description

本発明は、電子部品実装用フィルムキャリアテープ（ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ、Ｔ−ＢＧＡ（Tape Ball Grid Array）テープ、ＣＳＰ(Chip Size Package)テ
ープ、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）テープ、ＣＯＦ（Chip on
Film）テープ、２メタル（両面配線）テープなど）（以下、単に「電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープ」という。）について、半導体等の電子部品実装前後に最終的にリードなどの不良を検査した後、不良フィルムキャリア片に、例えば、パンチングなどにより製品不良表示をする電子部品実装用フィルムキャリアテープおよび半導体装置の検査装置および検査方法に関する。

エレクトロニクス産業の発達に伴い、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）などの電子部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加しているが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望される中、これら電子部品の実装方法として、ＴＡＢテープ、Ｔ−ＢＧＡテープおよびＣＯＦテープなどの電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いた実装方式が採用されている。特に、パーソナルコンピュータなどのように高精細化、薄型化、液晶画面の額縁面積の狭小化が要望されている液晶表示素子（ＬＣＤ）を使用する電子産業においてその重要性が高まっている。

このような電子部品実装用フィルムキャリアテープでは、半導体等の電子部品実装前後にその品質について検査を行っている。具体的には、人による外観検査である目視検査（透過光検査、反射光検査）を行い、電子部品実装部のリードの電気的な断線、短絡、欠け、突起などのパターン欠陥、メッキ異常、テープ形状の変形、ソルダーレジストの欠陥などの各種の品質を検査した後、不良品についてパンチング、インキング、マジックなどにより不良表示を施す検査方法が行われている。

従来より、この電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査には、図９に示した構成の検査装置が使用されている（例えば特許文献１を参照）。この従来の検査装置１００は、巻き出し装置１０２と、検査部１１０と、巻き取り装置１０６とを備えている。

巻き出し装置１０２の巻き出し駆動軸１０４には、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴ（以下、フィルムキャリアテープＴという）がスペーサＳを介して巻装された巻き出しリール１０３が装着されている。そして、図示しない駆動モータの駆動により、巻き出し駆動軸１０４が回転して、フィルムキャリアテープＴが巻き出しリール１０３からスペーサＳとともに繰り出されて、案内ローラ１１５を介して、検査部１１０へ供給されるようになっている。

この検査部１１０で検査を行う際には、例えばフィルムキャリアテープＴのスプロケット孔に係合して搬送駆動するドライブギア１２２の駆動が一時停止され、フィルムキャリアテープＴが正確に所定の検査位置に位置決めされる。なお、図中、１２１は、検査装置１１０の上流側から下流側へ水平に搬送されるフィルムキャリアテープＴにバックテンションを付与するバックテンション付与装置である。

検査部１１０には、例えばリードの欠け、突起などのパターン欠陥、メッキしみなどのメッキ異常、反りなどのテープ形状の変形、ソルダーレジストの飛び散りやピンホールなどのソルダーレジストの欠陥などの各種の品質検査を、反射光もしくは透過光を利用して
、人の目視にて行うための顕微鏡１１１などの拡大レンズ装置が配置されている。そして、フィルムキャリアテープＴの搬送が停止された状態で、フィルムキャリアテープＴの長手方向に一列に形成された、各電子部品が実装されるそれぞれの配線パターン単位（電子部品実装部）について、所定の検査位置に検査を行う電子部品実装部を位置させた状態で外観検査を行う。検査の結果、不良部分が存在している場合には、例えばパンチング、インクマーキングなどにより不良表示を施す不良表示装置１１２で不良表示を施している。

外観検査、不良表示工程を経た後、フィルムキャリアテープＴは案内ローラ１１６を介して、巻き取り装置１０６の巻き取り駆動軸１０８に装着された巻き取りリール１０７に巻き取られる。この際、スペーサ案内ローラ１１７、１１８を介して巻き出しリール１０２から送給されたスペーサＳが同時に巻き取りリール１０７に巻き取られ、このスペーサＳを介してフィルムキャリアテープＴが巻き取りリール１０７に巻装されるようにしている。

なお、１２５、１２６は、搬送されるフィルムキャリアテープＴにテンションを付与するダンサーローラである。
特開２００１−３４５３４５号公報

しかしながら、電子部品実装用フィルムキャリアテープに形成される配線パターンの狭ピッチ化が進行する中で、この狭ピッチで形成されたパターンを有する電子部品実装部の配線パターン領域全体を顕微鏡１１１で拡大して目視検査する際には、目視のために必要な拡大倍率を確保するために、使用するレンズの焦点距離が短くなり、図８に示したように、接眼位置Ｐ１からフィルムキャリアテープＴの検査位置Ｐ２までの距離Ｌを短くする必要がある。

そして、この距離Ｌの減少に伴い、接眼位置Ｐ１の検査装置１００を設置した床からの高さが低くなると、従来では検査員が無理のない姿勢で椅子に座りながら接眼レンズを介して目視による検査を行っていたが、前のめりになって接眼レンズを覗くことになる。例えばレンズの拡大倍率が２．６倍の場合、フィルムキャリアテープとレンズとの間の距離は約２１ｃｍであるが、拡大倍率を４．１倍にするとその距離は１３ｃｍとなり、このように距離差が生じる。

電子部品実装用フィルムキャリアテープの外観検査は、巻き出しリール１０３に巻装された長尺のテープ上に長手方向へ多数形成されている各電子部品実装部について行われ、長時間前のめりの状態で行うのは大変であり、また人体から出る微細な異物が検査済のフィルムキャリアテープ面に落下する確率が増加する。

また、検査部を並走する多条のフィルムキャリアテープを拡大レンズ装置の同一視野内で見るためには、多条のフィルムキャリアテープの全幅が広い場合、拡大倍率を低くする場合があるが、この場合はレンズの焦点距離が長くなり、図８における検査員の接眼位置Ｐ１からフィルムキャリアテープＴの検査位置Ｐ２までの距離Ｌが長くなる。従来では検査員が通常の高さの椅子に座りながら接眼レンズを介して目視による検査を行っていたが、このように焦点距離が長くなると座席の位置を高くする必要があり、安全上好ましくない。また、場合によっては立った状態でないと接眼レンズを覗くことができなくなった。上述したように、電子部品実装用フィルムキャリアテープの外観検査は、巻き出しリールに巻装された長尺のテープ上に長手方向へ多数形成されている各電子部品実装部について行われるため、長時間立った状態で行うのは大変である。

また、外観検査は、検査装置１００を室内に複数設置して行われており、室内のスペースを有効活用するためには一台ごとの検査に要するスペースは小さい方が望ましい。

本発明は、上記した従来技術の問題点を解決するために為されたものであり、その目的は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの外観検査を行う際に、拡大レンズ装置の拡大倍率によらず、検査員が通常の高さの椅子に着席した状態で無理のない姿勢で検査することができ、装置サイズがコンパクトで、さらに、検査を行う室内のスペースを有効に利用することができる電子部品実装用フィルムキャリアテープおよび半導体装置の検査装置および検査方法を提供することにある。

本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、巻き出しリールに巻装された電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出す巻き出し装置と、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査する検査部と、
前記検査部で検査された電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き取りリールに巻き取る巻き取り装置とを備えた電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置であって、
前記巻き出しリールと巻き取りリールとを隣接配置するとともに、この隣接配置された巻き出しリールと巻き取りリールが前記検査部の位置から巻き出しリール、巻き取りリールの順で、あるいは巻き取りリール、巻き出しリールの順で並ぶように該検査部を配置したことを特徴とする。

このように構成することにより、従来における、巻き出しリールと巻き取りリールとの間に検査部を配置して電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査部で水平方向に搬送させる装置構成に比して、検査装置全体のサイズをコンパクトにすることができる。

また、検査者は、従来のように装置の幅方向中央部に配置された検査部へ、装置の幅方向に対して垂直な方向から対峙して検査を行うのではなく、装置の幅方向端部に配置された検査部へ、幅方向から対峙して検査を行う。

したがって、例えば２台の検査装置を、互いの裏面側を近接させて設置することで、この一組の検査装置の幅方向両側を通路とすることができ、検査を行う室内のスペースを有効に利用することができる。

本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、前記検査部で前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを略鉛直線方向へ搬送して、この略鉛直線方向に沿った電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大レンズ装置で検査するように構成したことを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法は、電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査方法であって、
巻き出しリールから巻き出した電子部品実装用フィルムキャリアテープを、該電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査する検査部で略鉛直線方向へ搬送して、この略鉛直線方向に沿った電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大レンズ装置で検査することを特徴とする。

このように構成することにより、検査部において略鉛直線方向を向いた電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、拡大レンズ装置が正面に配置され、テープ面と拡大レンズ装置とが水平方向で対峙することになる。このため、拡大倍率を高くしても、あるいは低くしても、レンズの焦点距離の向きが水平方向であるため、接眼位置から電子部品実
装用フィルムキャリアテープの検査位置までの距離は縦方向には変化しない。

したがって、拡大レンズ装置の拡大倍率によらず、検査員が着席した状態で無理のない姿勢で検査することができる。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、前記検査部の上方と下方にそれぞれ上方案内ローラと下方案内ローラとを設け、上方案内ローラから下方案内ローラへ、あるいは下方案内ローラから上方案内ローラへ搬送される前記電子部品実装用フィルムキャリアテープのテープ方向が略鉛直線方向となるように構成したことを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法は、前記検査部の上方と下方にそれぞれ上方案内ローラと下方案内ローラとを設け、上方案内ローラから下方案内ローラへ、あるいは下方案内ローラから上方案内ローラへ、略鉛直線方向に前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを搬送することを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、前記下方案内ローラによって、テープ方向が、前記上方案内ローラから下方案内ローラへ向かう略鉛直線方向から、前記巻き取りリール側へ向かう略水平方向となるように前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを案内するとともに、
前記略水平方向に沿った位置に、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを搬送駆動するドライブギアを設け、
前記上方案内ローラの搬送方向上流側と、前記ドライブギアの搬送方向下流側の位置にテンション付与装置を設けたことを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法は、前記下方案内ローラによって、テープ方向が、前記上方案内ローラから下方案内ローラへ向かう略鉛直線方向から、前記巻き取りリール側へ向かう略水平方向となるように前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを案内するとともに、
前記略水平方向に沿った位置に設けたドライブギアで前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを搬送駆動し、
前記上方案内ローラの搬送方向上流側と、前記ドライブギアの搬送方向下流側の位置に設けたテンション付与装置で、前記下方案内ローラを介して略鉛直線方向から略水平方向に沿った電子部品実装用フィルムキャリアテープにテンションを付与することを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、前記略水平方向に沿った位置に、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープに不良表示を施す不良表示装置を設けたことを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法は、前記略水平方向に沿った位置に設けた不良表示装置で前記電子部品実装用フィルムキャリアテープに不良表示を施すことを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、前記巻き出しリールから巻き取りリールへスペーサ案内ローラを介さずにスペーサを搬送するようにしたことを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法は、前記巻き出しリールから巻き取りリールへスペーサ案内ローラを介さずにスペーサを搬送することを特徴
とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、隣接配置した前記巻き出しリールと巻き取りリールとからなる対を複数備え、
前記各巻き出しリールから巻き出された各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを前記検査部で略鉛直線方向へ並列に搬送して、この略鉛直線方向に沿って並列した多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大レンズ装置で同一視野でほぼ同時に検査するように構成したことを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法は、隣接配置した前記巻き出しリールと巻き取りリールとからなる複数の対における、それぞれの対の各巻き出しリールから各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出し、
前記各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを前記検査部で略鉛直線方向へ並列に搬送して、この略鉛直線方向に沿って並列した多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大レンズ装置で同一視野でほぼ同時に検査することを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、検査者が検査部で搬送される電子部品実装用フィルムキャリアテープを目視で検査する検査装置であり、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープが検査者の視野を縦方向に搬送されることを特徴とする。

また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法は、検査者が検査部で搬送される電子部品実装用フィルムキャリアテープを目視で検査する際に、検査者が、視野を縦方向に搬送される前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを目視検査することを特徴とする。

また、本発明の半導体装置の検査装置および検査方法は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの代わりに、電子部品実装用フィルムキャリアテープに電子部品が実装された半導体装置を上記の検査装置に搬送して検査を行うことを特徴とする。

また、本発明の半導体装置の検査方法は、検査者が検査部で搬送される前記半導体装置を目視で検査する際に、検査者が、視野を縦方向に搬送される半導体装置を目視検査することを特徴とする。

本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープおよび半導体装置の検査装置および検査方法によれば、装置のサイズがコンパクトであり、コンパクトな装置構成で検査を行うことができる。また、拡大レンズ装置の拡大倍率によらず、検査員が通常の高さの椅子に着席した状態で無理のない姿勢で検査することができる。

以下、本発明の実施の形態（実施例）について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置の実施例を示す正面図である。

図１に示した本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置１（以下、検査装置１という）は、２条の電子部品実装用フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２（以下、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２という）を同時検査するように構成され、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２を巻き出す巻き出し装置２ａ、２ｂと、検査部１０と、検査を終了したこれらのフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２を巻き取る巻き取り装置６ａ、６ｂと
を備えている。フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２としては、例えば、図５に示したような、いわゆる多数個取りと呼ばれる、各電子部品が実装される複数の配線パターン単位（電子部品実装部Ｇ）が、長手方向に２列に（Ｇ１、Ｇ２）配置された２条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを、スリット装置で裁断して得られた各条のフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２が使用される。また、その各テープ幅としては、例えば、３５ｍｍ幅、４８ｍｍ幅、７０ｍｍ幅、あるいは９６ｍｍ幅のものが使用可能である。

巻き出し装置２ａの巻き出し駆動軸４ａに装着された巻き出しリール３ａには検査を行うフィルムキャリアテープＴ１がスペーサＳ１を介して巻装され、巻き取り装置６ａの巻き取り駆動軸８ａに装着された巻き取りリール７ａには、検査を終了したフィルムキャリアテープＴ１がスペーサＳ１を介して巻装される。これらの巻き出しリール３ａと巻き取りリール７ａは、リール径方向に沿って略水平方向に隣接配置され、これらの間でスペーサＳ１がスペーサ案内ローラを介さずに直接に送給される。なお、リール３ａと７ａは検査員３１から見た装置の奥行き方向に対して斜めに配置されていてもよく、例えばその角度が４５度となるように配置することができる。また、スペーサＳ１はスペーサ案内ローラを介して送給してもよい。

巻き出し装置２ｂの巻き出し駆動軸４ｂに装着された巻き出しリール３ｂには検査を行うフィルムキャリアテープＴ２がスペーサＳ２を介して巻装され、巻き取り装置６ｂの巻き取り駆動軸８ｂに装着された巻き取りリール７ｂには、検査を終了したフィルムキャリアテープＴ２がスペーサＳ２を介して巻装される。これらの巻き出しリール３ｂと巻き取りリール７ｂも、リール径方向に沿って略水平方向に隣接配置され、これらの間でスペーサＳ２が案内ローラを介さずに直接に送給される。なお、リール３ｂと７ｂは検査員３１から見た装置の奥行き方向に対して斜めに配置されていてもよく、例えばその角度が４５度となるように配置することができる。また、スペーサＳ２はスペーサ案内ローラを介して送給してもよい。図１では、これらの隣接配置された巻き出しリール３ａおよび巻き取りリール７ａの対と、巻き出しリール３ｂおよび巻き取りリール７ｂの対とは、それぞれ上下の位置に幅方向を合わせて配置しているが、幅方向の配置は他の機器のレイアウトに合わせて適宜行えばよい。

フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２はそれぞれ、図示しない駆動モータの駆動により巻き出し駆動軸４ａ、４ｂが回転して、巻き出しリール３ａ、３ｂからスペーサＳ１、Ｓ２とともに繰り出される。巻き出しリール３ａ、３ｂから繰り出されたフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２は、案内ローラ２７、上方案内ローラ２８で案内されて、巻き出しリール３ａ、３ｂ側に配置され、その位置から巻き出しリール、巻き取りリールの順で並ぶように配置された検査部１０へ並列に供給される。なお、２５は、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２にテンションを付与するテンション付与装置であり、本実施例ではダンサーローラを用いている。

検査部１０の前後では、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２のテープ方向が略鉛直線方向となっている。ここで、略鉛直線方向とは、好ましくは鉛直線に対する傾きが４５度以内、さらに好ましくは２０度以内、最も好ましくは１０度以内である方向であり、重力方向と、これと逆の方向も含む。すなわち、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２が略鉛直線方向へ搬送されるように上方案内ローラ２８と下方案内ローラ２９を設置して、この略鉛直線方向を向いたフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２を、着席した検査員３１がほぼ正面を向いた状態で、低倍率の顕微鏡１１（拡大レンズ装置）で外観検査を行うことができるようにしている。

この顕微鏡１１（拡大レンズ装置）は、電子部品実装部Ｇのリードの電気的な断線、短絡、欠け、突起などの各種の品質検査を、反射光もしくは透過光を利用して、検査員３１
の目視にて行うためのものであり、この他の拡大レンズ装置としては、例えばガラスレンズ、フレネルレンズなどのレンズが１枚の拡大鏡が用いられるが、設置が比較的容易であることから低倍率の顕微鏡を用いることが望ましい。顕微鏡１１は、光軸がテープ面に対してほぼ直角となるように、例えば各レンズが配置された光学系が略水平方向となるように、寝かせた状態で設置されている。

この拡大レンズ装置の拡大率としては、長さの拡大率で１．４〜６．０倍、好ましくは１．８〜５．５倍、さらに好ましくは２．０〜５．０倍であることが望ましい。拡大レンズ装置の拡大率が１．４倍未満では、拡大率が小さいために不良品を検出することが難しくなる。また、拡大レンズ装置の拡大率が６倍を超えるとパターンが視野からはみだしてしまう。

具体的には、複数のレンズからなる実体顕微鏡の場合には、２〜６倍とすることが望ましい。また、１枚のレンズからなる拡大鏡の場合には、拡大率を１．４〜２．５倍とすることが望ましい。但し、不良品と思われるパターンを詳細に検査する場合には、倍率を２０倍程度に上げて検査することもある。

拡大レンズ装置を用いたフィルムキャリアテープの検査は、一例として次のように行う。複数のパターンが同時に視野に入るように、拡大率を例えば２〜６倍に設定し、原則として検査中にはこの拡大率を変更しないで検査する。但し、不良と思われるパターンが見つかった場合に、そのパターンを詳細に検査する場合には、実体顕微鏡を、例えば２〜６倍の低倍率で使用している場合には、高倍率に変更して、例えば２０倍程度の拡大率で検査する。また、拡大鏡を使用している場合には、拡大鏡の位置をずらして拡大率の高い実体顕微鏡を用いて、例えば２０倍程度の拡大率で検査する。

本実施例では、拡大レンズ装置によって、検査部１０において並走するフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２に対して、これらのフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２を全幅方向で二列一度に検査を行う。このように同一視野内で複数条のフィルムキャリアテープを検査する場合、複数条のフィルムキャリアテープの幅の合計が、１６０ｍｍ以内、好ましくは１３０ｍｍ、さらに好ましくは１１０ｍｍ以内であるのが望ましい。なお、検査部で検査を行う際に、複数のパターンが同じ視野に入っていればよいので、複数条のフィルムキャリアテープの相対位置が同じ視野に入る範囲であれば、正確に一致していなくてもずれていてもよい。

検査部１０においてフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２のテープ方向を略鉛直線方向として、その正面に顕微鏡１１を配置することにより、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の検査位置の表面と顕微鏡１１の拡大レンズが水平方向で対峙することになる。したがって、拡大倍率を高くしても、レンズの焦点距離の向きが水平方向であるため、図７に示したように、接眼位置Ｐ１からフィルムキャリアテープＴの検査位置Ｐ２までの距離Ｌは縦方向に変化しない。なお、顕微鏡１１の位置はスライド機構により検査員の座高に応じて自由に高さが調整できるようになっている。

したがって、前述した従来の装置構成では、拡大倍率を変更すると距離Ｌの変化分だけ接眼位置を高くあるいは低くする必要があったが、本実施例の構成では接眼位置を縦方向に変更せずとも必要な拡大倍率を確保することができる。

このため、例えば図９に示したような従来の型では、検査員が通常の高さの椅子に着席して検査する場合の拡大レンズ装置の拡大率が２倍未満であり、不良の目視判定が可能な配線パターンピッチが最低で７５μｍ、通常は１００μｍ以上であったが、本実施例のように縦方向のフィルムキャリアテープを検査するように構成することで、最低で５０μｍ
、通常は７５μｍ以上の配線パターンピッチを、検査員が椅子に着席した状態で目視判定することができる。

図２、３に、検査部１０におけるフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の搬送位置の構成の一例を示す。検査部１０で外観検査を行う際には、図１のドライブギア２２による搬送駆動を一時停止して、検査を行う電子部品実装部Ｇがガイド部材３４の所定位置に、例えば透過光照射装置４８からの透過光にて外観検査を行う際には透過光が通過する開口部３６ａに位置するように位置決めされる。

このガイド部材３４は、図３に示したように断面略コ字状であり、奥側の基板部３６の両端部から前方（顕微鏡１１の方向）に突設され、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の最外側の両端部Ｔ３、Ｔ４を案内する両端のサイド案内部３８、４０を備えている。

このサイド案内部３８、４０には、それぞれ段部３８ａ、４０ａが形成され、この段部３８ａ、４０ａに沿って、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の最外側の両端部Ｔ３、Ｔ４が案内される。

また、これらの両端のサイド案内部３８、４０の間には、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２が隣接する側部Ｔ５、Ｔ６を案内するように、基板部３６から前方に突設された、平坦な前方面を有する隣接部分案内部４２を備えている。

この隣接部分案内部４２には、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２が隣接する側部Ｔ５、Ｔ６が互いに接触して磨耗損傷しないように、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２を案内する平坦な前方面を仕切るように分離突設部４２ａが突設されている。なお、この分離突設部４２ａの幅は、特に限定されないが、適切にこれらの側部Ｔ５、Ｔ６を分離するためには、３ｍｍ程度とするのが好適である。

これらのサイド案内部３８、４０と、隣接部分案内部４２との間には、空隙４４、４６が形成され、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２を搬送する際に、摩擦などによりフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の底面側が損傷しないようにしている。

検査部１０におけるフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の搬送位置を上記のように構成することにより、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の両側端部Ｔ３、Ｔ４、ならびにこれらが隣接する側部Ｔ５、Ｔ６が全て、ガイド部材３４のサイド案内部３８、４０と隣接部分案内部４２で支持され案内される。このため、検査部１０において並列に搬送されるフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２が、それぞれ幅方向に湾曲する（歪む）ことなく搬送され、検査位置における拡大レンズの焦点位置からのテープ表面のずれが防止される。したがって、目視にて配線パターンを正確に把握して、精度よく品質検査を行うことができる。なお、ガイド部材３４の前後に押さえローラを設けて、ガイド部材３４が検査員側から見て反対側に１〜４５度傾斜できる構造としてもよい。

検査が行われたフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２は、図１の下方案内ローラ２９によって、略鉛直線方向であるテープ方向が、巻き取りリール７ａ、７ｂ側へ向かう略水平方向となるように案内される。なお、この水平部分は装置のレイアウトに応じて斜め上方に傾斜あるいは斜め下方に傾斜していてもよい。

この水平方向に沿ったテープ搬送路には、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２に対してパンチング、インクマーキングなどにより不良表示を施す不良表示装置１２が設けられている。検査部１０における外観検査の結果、不良であった電子部品実装部Ｇには、不良表示装置１２によりその所定位置に不良表示が施される。なお、不良表示装置１２は下方案
内ローラ２９の上流側の、検査部１０と下方案内ローラ２９との間の鉛直部に設けることもできる。

上方案内ローラ２８から下方案内ローラ２９を介して案内ローラ１６に至る、図１において逆Ｌ字状に案内されたフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２には、ダンサーローラ２５、２６によって、それぞれ上流側および下流側から互いに逆方向のテンションが付与されている。このテンションが付与されている搬送路のフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２は、下方案内ローラ２９の下流側の略水平方向に沿ったテープ搬送路に設けられたドライブギア２２によって搬送駆動される。

ドライブギア２２は、図４に示したように、軸部６０と、この軸部６０に装着された、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やフッ素樹脂等の合成樹脂などから形成したローラ本体６６と、ローラ本体６６の両端に配設された両端ギア６２、６４と、ローラ本体６６の中央部に配設された中間ギア６８、７０とを備えている。

両端ギア６２、６４はそれぞれ、図５に示したフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の最外側の両端部Ｔ３、Ｔ４に形成されたスプロケットホールＨ３、Ｈ４と係合する。

中間ギア６８、７０はそれぞれ、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２の隣接する側部Ｔ５、Ｔ６に形成されたスプロケットホールＨ５、Ｈ６と係合する。

また、安定に搬送駆動を行うために、ドライブギア２２との間でフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２を挟持するように押さえローラ７２を設置している。

ローラ本体６６は、駆動モータにより軸部６０とともに回転し、これによりフィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２は、その両端部Ｔ３、Ｔ４およびこれらが隣接する側部Ｔ５、Ｔ６に形成されたスプロケットホールＨ３〜Ｈ６が全て、ドライブギア２２の両端ギア６２、６４と中間ギア６８、７０と係合した状態で、同時に同速度で搬送される。

したがって、検査部１０において、並列に搬送される各フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２が、相互に位置ずれすることがなく、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２を同時に、且つ正確に検査することができる。なお、ドライブギア２２の代わりに、スプロケット孔を保護するためにギアのない駆動ローラを用いてもよい。

外観検査、不良表示工程を経た後、フィルムキャリアテープＴ１、Ｔ２は、案内ローラ１６、３０を介して、フィルムキャリアテープＴ１は巻き取りリール７ａへ、フィルムキャリアテープＴ２は巻き取りリール７ｂへ、それぞれ巻き取られる。

すなわち、図示しない駆動モータの駆動により巻き取り駆動軸８ａが回転して、巻き取りリール７ａにフィルムキャリアテープＴ１がスペーサＳ１を介して巻装される。一方、図示しない駆動モータの駆動により巻き取り駆動軸８ｂが回転して、巻き取りリール７ｂにフィルムキャリアテープＴ２がスペーサＳ２を介して巻装される。

以上に説明した本実施例の検査装置１では、巻き出しリールと巻き取りリールとをリール径方向に沿って略水平方向に隣接配置するとともに、この隣接配置された巻き出しリールと巻き取りリールの巻き出しリール側に、そのリール径方向に沿って検査部を配置している。そして、巻き出しリールから検査部の方向へ巻き出した電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査部で略鉛直線方向へ搬送した後、巻き出しリールの下方を巻き取りリールの方向へ搬送して、巻き取りリールで電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き取るように構成している。

このように構成することにより、従来の、巻き出しリールと巻き取りリールとの間に検査部を配置して電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査部で水平方向に搬送させる装置構成に比して、装置の設置面積を約５０％コンパクトにすることができる。

また、巻き出しリールと巻き取りリールとをそれぞれ隣接配置しているため、スペーサは直接巻き出しリールから巻き取りリールへ送給される。このように、本実施例では、図９に示した従来の検査装置１００に設けられたスペーサ案内ローラ１１７、１１８を省くことができる。

また、図６Ｂに示したように、従来では、検査員３１が検査装置１００の幅方向中央部に配置された検査部１１０へ、検査装置１００の幅方向に対して垂直な方向から対峙して検査を行っていたため、例えば室内に各検査装置１００を同図のように設置して、各検査装置１００，１００の幅方向端部の間に通路８０を設けていた。

これに対し、本実施例の検査装置１では、図６Ａに示したように、検査員３１が検査装置１の幅方向端部に配置された検査部１０へ、幅方向から対峙して検査を行うように構成されるため、例えば、互いに鏡像関係（右手と左手のように）となる装置構成を有する１組の検査装置１，１を、互いの裏面側を近接させて設置することで、同図に示したように、この一組の検査装置１，１の幅方向両側を通路８０とすることができる。したがって、従来の検査装置１００を用いた場合に比して、検査を行う室内のスペースをより有効に利用することができる。

また、図９のような従来の装置では、検査員は視界を横方向に移動するように搬送されるフィルムキャリアテープを目視検査していたが、この場合、横方向に移動するフィルムキャリアテープを眼で追うと、検査員が検査中に船酔い状に気分が悪くなることがあった。ところが、本実施例の装置では、検査者は視界を縦方向に移動するように搬送されるフィルムキャリアテープを目視検査するので、このように検査員が気分を悪くすることが非常に少なくなる。

以上、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置の実施例について説明したが、本発明はこの実施例に限定されず、例えば、本実施例のように２条の電子部品実装用フィルムキャリアテープ（Ｔ１、Ｔ２）を同時検査する構成の他、１条の電子部品実装用フィルムキャリアテープ、あるいは２条を超える多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査する構成としてもよい。

また、本実施例では検査部１０をテープが上から下に向かって、すなわち上方案内ローラ２８から下方案内ローラ２９に向かって搬送されるが、逆に下方案内ローラ２９から上方案内ローラ２８に向かって、下から上へテープを搬送させるようにしてもよい。

また、本実施例では上方案内ローラから下方案内ローラへ電子部品実装用フィルムキャリアテープを搬送した後、巻き出しリールの下方を経由して巻き取りリールへ搬送するようにしたが、例えば、案内ローラを適切な位置に配置することによって、下方案内ローラから上方案内ローラへ電子部品実装用フィルムキャリアテープを搬送した後、巻き出しリールの上方を経由して巻き取りリールへ搬送するようにしてもよい。

検査部１０を搬送されるテープは鉛直であることが好ましいが、検査員の方向に向かって例えば１〜４５度の角度で斜めに傾斜して搬送されても検査に支障は生じない。

また、本実施例では不良表示装置は検査部の下流側の水平方向に沿った位置に設けたが
、検査部よりも下流側であれば、巻き取りリールまでの斜め方向、垂直方向などの任意の場所に設置可能である。

また、隣接配置した巻き出しリールおよび巻き取りリールを検査部の位置から巻き出しリール、巻き取りリールの順で並ぶように配置したが、場合によってはこれらを検査部の位置から巻き取りリール、巻き出しリールの順で並ぶように配置することもできる。

また、上記実施例では、検査部において人による目視検査で検査を実施するようにしたが、例えば、ＣＣＤカメラなどによるコンピュータを用いた画像認識で自動で品質検査を行うようにしてもよく、またＣＣＤカメラなどの画像を目視で判定して品質検査を行うこともできる。

また、電子部品が実装されたパッケージ（半導体装置）の外観検査にも適用することができる。

図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置の実施例の正面図である。 図２は、検査部におけるガイド部材の正面図である。 図３は、図２のＡ−Ａ線での断面図である。 図４は、図１の実施例の検査装置のドライブギアの概略図である。 図５は、２条に形成された電子部品実装用フィルムキャリアテープの上面図である。 図６（Ａ）は、本発明の検査装置の室内における設置例の説明図、図６（Ｂ）は、従来の検査装置の室内における設置例の説明図である。 図７は、本発明の検査装置における拡大レンズ装置の焦点距離方向の説明図である。 図８は、従来の検査装置における拡大レンズ装置の焦点距離方向の説明図である。 図９は、従来の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置の正面図である。

符号の説明

１ 検査装置
２ａ、２ｂ 巻き出し装置
３ａ、３ｂ 巻き出しリール
４ａ、４ｂ 巻き出し駆動軸
６ａ、６ｂ 巻き取り装置
７ａ、７ｂ 巻き取りリール
８ａ、８ｂ 巻き取り駆動軸
１０ 検査部
１１ 顕微鏡（拡大レンズ装置）
１２ 不良表示装置
１６ 案内ローラ
２２ ドライブギア
２５ ダンサーローラ
２６ ダンサーローラ
２７ 案内ローラ
２８ 上方案内ローラ
２９ 下方案内ローラ
３０ 案内ローラ
３１ 検査員
３４ ガイド部材
３６ 基板部
３６ａ 開口部
３８ サイド案内部
４０ サイド案内部
３８ａ 段部
４０ａ 段部
４２ 隣接部分案内部
４２ａ 分離突設部
４４ 空隙
４６ 空隙
４８ 透過光照射装置
６０ 軸部
６２、６４ 両端ギア
６６ ローラ本体
６８、７０ 中間ギア
７２ 押さえローラ
８０ 通路
１００ 検査装置
１０２ 巻き出し装置
１０３ 巻き出しリール
１０４ 巻き出し駆動軸
１０６ 巻き取り装置
１０７ 巻き取りリール
１０８ 巻き取り駆動軸
１１０ 検査部
１１１ 顕微鏡（拡大レンズ装置）
１１２ 不良表示装置
１１５ 案内ローラ
１１６ 案内ローラ
１１７ スペーサ案内ローラ
１１８ スペーサ案内ローラ
１２１ バックテンション付与装置
１２２ ドライブギア
１２５ ダンサーローラ
１２６ ダンサーローラ
Ｔ 電子部品実装用フィルムキャリアテープ
Ｔ１ 電子部品実装用フィルムキャリアテープ
Ｔ２ 電子部品実装用フィルムキャリアテープ
Ｔ３、Ｔ４ 両端部
Ｔ５、Ｔ６ 側部
Ｓ スペーサ
Ｓ１ スペーサ
Ｓ２ スペーサ
Ｇ 電子部品実装部
Ｇ１ 電子部品実装部
Ｇ２ 電子部品実装部
Ｈ３、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６ スプロケット孔
Ｐ１ 接眼位置
Ｐ２ 検査位置
Ｌ 接眼位置から検査位置までの距離

Claims (21)

1. 巻き出しリールに巻装された電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出す巻き出し装置と、
   前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査する検査部と、
   前記検査部で検査された電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き取りリールに巻き取る巻き取り装置とを備えた電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置であって、
   前記巻き出しリールと巻き取りリールとを隣接配置するとともに、この隣接配置された巻き出しリールと巻き取りリールが前記検査部の位置から巻き出しリール、巻き取りリールの順で、あるいは巻き取りリール、巻き出しリールの順で並ぶように該検査部を配置したことを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
2. 前記検査部で前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを略鉛直線方向へ搬送して、この略鉛直線方向に沿った電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大レンズ装置で検査するように構成したことを特徴とする請求項１に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
3. 前記検査部の上方と下方にそれぞれ上方案内ローラと下方案内ローラとを設け、上方案内ローラから下方案内ローラへ、あるいは下方案内ローラから上方案内ローラへ搬送される前記電子部品実装用フィルムキャリアテープのテープ方向が略鉛直線方向となるように構成したことを特徴とする請求項２に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
4. 前記下方案内ローラによって、テープ方向が、前記上方案内ローラから下方案内ローラへ向かう略鉛直線方向から、前記巻き取りリール側へ向かう略水平方向となるように前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを案内するとともに、
   前記略水平方向に沿った位置に、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを搬送駆動するドライブギアを設け、
   前記上方案内ローラの搬送方向上流側と、前記ドライブギアの搬送方向下流側の位置にテンション付与装置を設けたことを特徴とする請求項３に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
5. 前記略水平方向に沿った位置に、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープに不良表示を施す不良表示装置を設けたことを特徴とする請求項４に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
6. 前記巻き出しリールから巻き取りリールへスペーサ案内ローラを介さずにスペーサを搬送するようにしたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
7. 隣接配置した前記巻き出しリールと巻き取りリールとからなる対を複数備え、
   前記各巻き出しリールから巻き出された各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを前記検査部で略鉛直線方向へ並列に搬送して、この略鉛直線方向に沿って並列した多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大レンズ装置で検査するように構成したことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
8. 検査者が検査部で搬送される電子部品実装用フィルムキャリアテープを目視で検査する検査装置であり、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープが検査者の視野を縦方向に
   搬送されることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置。
9. 電子部品実装用フィルムキャリアテープの代わりに、電子部品実装用フィルムキャリアテープに電子部品が実装された半導体装置を請求項１〜８のいずれかに記載の検査装置に搬送して検査を行うことを特徴とする半導体装置の検査装置。
10. 検査者が検査部で搬送される前記半導体装置を目視で検査する検査装置であり、半導体装置が検査者の視野を縦方向に搬送されることを特徴とする請求項９に記載の半導体装置の検査装置。
11. 電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査するための検査方法であって、
    巻き出しリールから巻き出した電子部品実装用フィルムキャリアテープを、該電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査する検査部で略鉛直線方向へ搬送して、この略鉛直線方向に沿った電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大レンズ装置で検査することを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
12. 前記巻き出しリールと巻き取りリールとを隣接配置したことを特徴とする請求項１１に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
13. 隣接配置された前記巻き出しリールと巻き取りリールが、前記検査部の位置から巻き出しリール、巻き取りリールの順で、あるいは巻き取りリール、巻き出しリールの順で並ぶように該検査部を配置したことを特徴とする請求項１２に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
14. 前記検査部の上方と下方にそれぞれ上方案内ローラと下方案内ローラとを設け、上方案内ローラから下方案内ローラへ、あるいは下方案内ローラから上方案内ローラへ、略鉛直線方向に前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを搬送することを特徴とする請求項１３に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
15. 前記下方案内ローラによって、テープ方向が、前記上方案内ローラから下方案内ローラへ向かう略鉛直線方向から、前記巻き取りリール側へ向かう略水平方向となるように前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを案内するとともに、
    前記略水平方向に沿った位置に設けたドライブギアで前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを搬送駆動し、
    前記上方案内ローラの搬送方向上流側と、前記ドライブギアの搬送方向下流側の位置に設けたテンション付与装置で、前記下方案内ローラを介して略鉛直線方向から略水平方向に沿った電子部品実装用フィルムキャリアテープにテンションを付与することを特徴とする請求項１４に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
16. 前記略水平方向に沿った位置に設けた不良表示装置で前記電子部品実装用フィルムキャリアテープに不良表示を施すことを特徴とする請求項１５に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
17. 前記巻き出しリールから巻き取りリールへスペーサ案内ローラを介さずにスペーサを搬送することを特徴とする請求項１１〜１６のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
18. 隣接配置した前記巻き出しリールと巻き取りリールとからなる複数の対における、それぞれの対の各巻き出しリールから各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻き出
    し、
    前記各条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを前記検査部で略鉛直線方向へ並列に搬送して、この略鉛直線方向に沿って並列した多条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを拡大レンズ装置で検査することを特徴とする請求項１１〜１７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
19. 検査者が検査部で搬送される電子部品実装用フィルムキャリアテープを目視で検査する際に、検査者が、視野を縦方向に搬送される前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを目視検査することを特徴とする請求項１１〜１８のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法。
20. 電子部品実装用フィルムキャリアテープの代わりに、電子部品実装用フィルムキャリアテープに電子部品が実装された半導体装置を請求項１１〜１９のいずれかに記載の検査装置に搬送して検査を行うことを特徴とする半導体装置の検査方法。
21. 検査者が検査部で搬送される前記半導体装置を目視で検査する際に、検査者が、視野を縦方向に搬送される半導体装置を目視検査することを特徴とする請求項２０に記載の半導体装置の検査方法。

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