JP2006250930A - 自動光学検査システム - Google Patents
自動光学検査システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006250930A JP2006250930A JP2006053483A JP2006053483A JP2006250930A JP 2006250930 A JP2006250930 A JP 2006250930A JP 2006053483 A JP2006053483 A JP 2006053483A JP 2006053483 A JP2006053483 A JP 2006053483A JP 2006250930 A JP2006250930 A JP 2006250930A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- unit
- automatic optical
- camera
- inspection object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の自動光学検査システムは検査対象物が提供される巻き出し部、前記巻き出し部から提供される前記検査対象物の表面を検査するビジョン検査部、検査を終えた前記検査対象物がアンローディングされる巻き取り部を含む。前記支持部は前記検査対象物が円弧状の移送路に沿って移送されるように配置され、各々の前記支持部は互いに離隔されて設けられる。一対の支持ローラを有し、前記照明部材は思い出した番の支持ローラの間の隙間を通じて前記検査対象物に光を照射する透過照明を含む。
【選択図】図2
Description
−反射光:第1カメラ(COF内側リード、パターンめっき領域の表面検査−変色、スクラッチ、異物など)、第2カメラ(パターンめっき領域の表面検査−変色、スクラッチ、異物/ソルダレジスト表面上の異物、ピンホールなど)、第3カメラ(ソルダレジスト表面上の異物、ピンホールなど/パターンめっき領域の表面検査−変色、スクラッチ、異物/搬送ホール表面検査)
1.第1カメラ(視野25mm)
*TAB製品検査項目透過光を利用した内側リードの曲りなどを検査。
*COFの場合、反射光を利用した内側リード上の表面検査(変色、スクラッチ、異物など)。
2.第2カメラ(視野35mm)
*反射光を利用したパターンめっき領域の表面検査(変色、スクラッチ、異物など)とソルダレジスト領域(ピンホール、スクラッチ、位置ずれなど)
*製品及び顧客の検査基準に応じて透過光を利用することもできる。
3.第3カメラ(視野50mm)
*反射光を利用したソルダレジスト領域(ピンホール、位置ずれなど)と搬送基準ホール(ホール破れなど)
*検査対象物(製品)及び使用者の検査基準に応じて反射照明または透過照明を利用することもできる。
*第2カメラのイメージ(映像データ)を参照して異物による誤検出を防止することができる新しい検査方法を提示することができる。
110 1次ビジョン検査部
150 2次ビジョン検査部
160 マーキング部
106 巻き取り部
Claims (10)
- フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続して形成された検査対象物の自動光学検査システムにおいて、
前記検査対象物が提供される巻き出し部と、
前記巻き出し部から提供される前記検査対象物の表面を検査する1次ビジョン検査部と、
検査を終えた前記検査対象物がアンローディングされる巻き取り部とを含み、
前記1次ビジョン検査部は、
前記検査対象物を移送する複数の支持部と、
カメラと前記検査対象物に光を照射する照明部材とを有し、前記支持部によって移送される前記検査対象物の表面を撮像する撮像部とを含み、
前記支持部は互いに離隔して設けられる一対の支持ローラを含み、前記照明部材は前記一対の支持ローラの間の隙間を通じて前記検査対象物に光を照射する透過照明を含むことを特徴とする自動光学検査システム。 - 前記支持部は、
前記検査対象物が円弧状の移送路に沿って移動されるように配置され、
前記カメラは、
前記円弧状の移送路の接線に垂直に配置されることを特徴とする請求項1に記載の自動光学検査システム。 - 前記円弧状の移送路は、
円弧の形状として提供されることを特徴とする請求項2に記載の自動光学検査システム。 - 前記円弧状の移送路は、
上に凸の状態で提供されることを特徴とする請求項2に記載の自動光学検査システム。 - 前記照明部材は前記カメラと前記検査対象物との間に配置されて、前記検査対象物に反射光を照射する反射照明をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちいずれか一項に記載の自動光学検査システム。
- 前記システムは、
前記1次ビジョン検査部で前記撮像部材によって撮像された前記検査対象物の表面を2次に撮像して、
その欠陥の有無を検査する2次ビジョン検査部をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちいずれか一項に記載の自動光学検査システム。 - 前記1次ビジョン検査部のカメラは、
前記検査対象物をラインスキャン方式で撮像するラインスキャンカメラであり、
前記2次ビジョン検査部は、
前記検査対象物をエリアスキャン方式で撮像するエリアカメラを含むことを特徴とする請求項6に記載の自動光学検査システム。 - 前記2次ビジョン検査部は、
前記1次ビジョン検査部または前記エリアカメラで撮像されたイメージを有して欠陥として判断された部分をカラーイメージで撮像するカラーカメラをさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の自動光学検査システム。 - 前記自動光学検査システムは、
前記1次ビジョン検査部または前記2次ビジョン検査部で欠陥として判断された部分のイメージと、
前記カラーカメラで撮像されたカラーイメージを作業者に表示して、作業者が最終に欠陥であるか否かを判断するようにする最終処理部とを有する映像処理部をさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の自動光学検査システム。 - 前記自動光学検査システムは、
前記検査対象物に形成された前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのうち欠陥として判断されたユニットを表示するマーキング部をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちいずれか一項に記載の自動光学検査システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20050019135 | 2005-03-08 | ||
KR1020050019134A KR100673394B1 (ko) | 2005-03-08 | 2005-03-08 | 자동 광학 검사 시스템 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006250930A true JP2006250930A (ja) | 2006-09-21 |
Family
ID=37091587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006053483A Pending JP2006250930A (ja) | 2005-03-08 | 2006-02-28 | 自動光学検査システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006250930A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009271058A (ja) * | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Utechzone Co Ltd | 撮影検査装置 |
JP2021032894A (ja) * | 2019-08-16 | 2021-03-01 | ラオンピープル株式会社 | 基板不良検査装置及び方法 |
CN114076771A (zh) * | 2020-08-19 | 2022-02-22 | 南通深南电路有限公司 | 底片的检验方法及底片检测组件 |
KR20230059596A (ko) * | 2021-10-26 | 2023-05-03 | 주식회사 신화아이티 | 이차전지 리드탭 비전검사장치 |
KR20230066763A (ko) * | 2021-11-08 | 2023-05-16 | 주식회사 티엔에스솔루션 | 롤투롤 플렉시블 기판 검사 모니터링 시스템 |
KR20230083873A (ko) * | 2021-12-03 | 2023-06-12 | 해성디에스 주식회사 | 릴투릴 인라인 검사 시스템 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03108432U (ja) * | 1990-02-21 | 1991-11-07 | ||
JPH0536757A (ja) * | 1991-07-29 | 1993-02-12 | Asahi Optical Co Ltd | 膜体の平面度矯正方法 |
JPH1048147A (ja) * | 1996-08-03 | 1998-02-20 | Nippon Avionics Co Ltd | パターン撮像装置 |
JP2000227401A (ja) * | 1999-02-08 | 2000-08-15 | Nippon Steel Corp | テープキャリア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥検査装置におけるテープキャリアの搬送方法 |
JP2001272356A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | ワーク外観検査装置 |
JP2002005846A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Tokimec Inc | 欠陥検査装置 |
JP2005003645A (ja) * | 2003-06-16 | 2005-01-06 | Inspeck Kk | パターン検査装置 |
-
2006
- 2006-02-28 JP JP2006053483A patent/JP2006250930A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03108432U (ja) * | 1990-02-21 | 1991-11-07 | ||
JPH0536757A (ja) * | 1991-07-29 | 1993-02-12 | Asahi Optical Co Ltd | 膜体の平面度矯正方法 |
JPH1048147A (ja) * | 1996-08-03 | 1998-02-20 | Nippon Avionics Co Ltd | パターン撮像装置 |
JP2000227401A (ja) * | 1999-02-08 | 2000-08-15 | Nippon Steel Corp | テープキャリア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥検査装置におけるテープキャリアの搬送方法 |
JP2001272356A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | ワーク外観検査装置 |
JP2002005846A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Tokimec Inc | 欠陥検査装置 |
JP2005003645A (ja) * | 2003-06-16 | 2005-01-06 | Inspeck Kk | パターン検査装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009271058A (ja) * | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Utechzone Co Ltd | 撮影検査装置 |
JP2021032894A (ja) * | 2019-08-16 | 2021-03-01 | ラオンピープル株式会社 | 基板不良検査装置及び方法 |
JP7224048B2 (ja) | 2019-08-16 | 2023-02-17 | ラオンピープル株式会社 | 基板不良検査装置及び方法 |
CN114076771A (zh) * | 2020-08-19 | 2022-02-22 | 南通深南电路有限公司 | 底片的检验方法及底片检测组件 |
KR20230059596A (ko) * | 2021-10-26 | 2023-05-03 | 주식회사 신화아이티 | 이차전지 리드탭 비전검사장치 |
KR102667808B1 (ko) * | 2021-10-26 | 2024-05-21 | 주식회사 신화아이티 | 이차전지 리드탭 비전검사장치 |
KR20230066763A (ko) * | 2021-11-08 | 2023-05-16 | 주식회사 티엔에스솔루션 | 롤투롤 플렉시블 기판 검사 모니터링 시스템 |
KR102643866B1 (ko) * | 2021-11-08 | 2024-03-07 | 주식회사 티엔에스솔루션 | 롤투롤 플렉시블 기판 검사 모니터링 시스템 |
KR20230083873A (ko) * | 2021-12-03 | 2023-06-12 | 해성디에스 주식회사 | 릴투릴 인라인 검사 시스템 |
KR102670468B1 (ko) * | 2021-12-03 | 2024-05-29 | 해성디에스 주식회사 | 릴투릴 인라인 검사 시스템 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5203572B2 (ja) | 自動光学検査システム及び方法 | |
JP2006017726A (ja) | 印刷回路基板の微細パターンを検査するための照明装置と、これを具備する自動光学検査システムおよびそれの検査方法 | |
US20060158643A1 (en) | Method and system of inspecting mura-defect and method of fabricating photomask | |
KR100820917B1 (ko) | 연성인쇄회로기판의 외관 검사 장치 및 방법 | |
JP2006250930A (ja) | 自動光学検査システム | |
JP2016145887A (ja) | 検査装置および検査方法 | |
KR100673394B1 (ko) | 자동 광학 검사 시스템 | |
KR100707822B1 (ko) | 배선 패턴 검사 장치 | |
US6600561B2 (en) | Apparatus and method for measuring pattern alignment error | |
JP2009063575A (ja) | 自動光学検査装置及び方法 | |
JP2009128158A (ja) | パターン検査装置 | |
JP2009300438A (ja) | フレキシブル印刷回路基板の総合検査システム及びその方法 | |
JP2009128268A (ja) | パターン検査装置 | |
JPS62127652A (ja) | 半導体ウエハの表面欠陥検査装置 | |
KR100834113B1 (ko) | 자동 광학 검사 시스템 | |
KR20110116369A (ko) | 레이저 3차원 측정기를 이용한 플렉시블 인쇄회로기판의 외관검사장치 | |
JPH04194701A (ja) | 画像入力方法およびその装置 | |
JP2009122089A (ja) | プリント回路基板の光学検査装置及びその方法 | |
KR100673397B1 (ko) | 인쇄 회로 기판의 과검출 방지를 위해 실시간 모니터링하는자동 광학 검사 시스템 및 그 처리 방법 | |
JPH09265536A (ja) | 外観検査装置および被検査部の照明方法 | |
JPS63246642A (ja) | フレキシブル配線板の回路欠陥検査方法 | |
JP2002267616A (ja) | 欠陥検出方法及びその装置 | |
JP2000098621A (ja) | 露光装置 | |
JPH10111252A (ja) | ガラス板の欠点検出装置 | |
KR20090109294A (ko) | 반도체 기판의 광학적 검사 방법 및 그 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110405 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20110705 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120104 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |