JP2006250930A - 自動光学検査システム - Google Patents

Abstract

【課題】本発明はフレキシブル印刷回路基板ユニットが連続的に形成されたフィルムまたはテープ形態の検査対象物見掛けを光学的な方式を利用して自動検査する自動光学検査システムに関する。
【解決手段】本発明の自動光学検査システムは検査対象物が提供される巻き出し部、前記巻き出し部から提供される前記検査対象物の表面を検査するビジョン検査部、検査を終えた前記検査対象物がアンローディングされる巻き取り部を含む。前記支持部は前記検査対象物が円弧状の移送路に沿って移送されるように配置され、各々の前記支持部は互いに離隔されて設けられる。一対の支持ローラを有し、前記照明部材は思い出した番の支持ローラの間の隙間を通じて前記検査対象物に光を照射する透過照明を含む。
【選択図】図２

Description

本発明は自動光学検査システム及びその方法に係り、さらに具体的にはフレキシブル印刷回路基板ユニットが連続して形成されたフィルムまたはテープ形態の検査対象物外観を光学的な方式を利用して自動検査する自動光学検査システム及びその方法に関する。

液晶表示装置のドライバ集積回路、メモリなどの各種の半導体デバイスの製造に用いられる主要材料の１つである印刷回路基板は、半導体デバイスの小型化、軽量化の傾向によってフィルム（ｆｉｌｍ）、テープ（ｔａｐｅ）タイプなどのフレキシブル印刷回路基板（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ）を多用している。フレキシブル形態の印刷回路基板には、例えば、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｂｏｎｄｉｎｇ）、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）基板などがあり、露光、現像、エッチング工程などを通じて基板に微細回路パターンが形成される。したがって、フレキシブル印刷回路基板の生産業界では製品出荷の前の検査において、製品のめっき領域、ソルダレジスト（ｓｏｌｄｅｒ ｒｅｓｉｓｔ）領域、半導体ウェーハなどが実装される領域（ｉｎｎｅｒ ｌｅａｄ）などの外観検査が中核をなす検査項目として区別されている。

すなわち、半導体ＩＣ製造用フレキシブル印刷回路基板の生産業界では、前記検査項目の効果的な検査が生産性及び品質管理のキーポイントになっている。

このような既存の自動光学検査システムでは現実的には欠陥であるが良品として判断される未検出や、良品性異物及びほこりなどによる誤検出（例えば、規格上良品を欠陥として判断するなど）を最小化するために多数台のカメラが用いられる。一般的に、カメラは単純にカメラボディーが装着されるのではなく、カメラを固定するブラケッと、カメラの位置を左右または上下に調整するための調整部材が一セットとで設けられるので、多くの装着空間が要求される。

したがって、既存の自動光学検査システムにおいては制限された空間の中に多数台のカメラを設けることが困難であるので、カメラの装着数が限定される。また、追加的にカメラを設けなければならない場合には、その設置空間だけシステムサイズを大きくしなければならないという問題を有している。

また、既存の自動光学検査システムでは現実的には欠陥であるが良品として判断される未検出や、良品性異物及びほこりなどによる誤検出（例えば、規格上良品を欠陥として判断するなど）が発生する。特に、誤検出は製造した良品を自動欠陥廃棄処理するため生産性を大きく低下させ、これは直ちに製造企業の採算性の悪化につながる。フィルム、テープ形態の印刷回路基板製造業界に導入した既存の自動光学検査システムは透過光のみを用いて、または反射光のみを用いて映像を獲得するので、透過光または反射光を通じて獲得した映像では良品性異物及びほこりなどによる誤検出が多く出る。

既存の自動光学検査システムでは、誤検出が発生しても続けて検査を進行させ、検査の結果によって、欠陥処理部で欠陥として判断された印刷回路基板をパンチングまたはマーキングなど欠陥処理をする。その結果、良品が異物またはほこりなどによって欠陥として誤検出され、光学検査装置の検出結果から製品規格上の良品を欠陥として処理するしかなかった。

本発明は、限定された空間に多数台のカメラを装着して空間活用度を高めることができる新しい形態の自動光学検査システム及び方法を提供することを目的とする。

また、本発明は、規格上欠陥であるが良品として判断される未検出や、規格上良品であるが欠陥として判断される誤検出を防止して検査信頼性を得ることができる新しい形態の自動光学検査システム及び方法を提供することを目的とする。

また、本発明は、欠陥の類型をより正確に検査することができる新しい形態の自動光学検査システム及び方法を提供することを目的とする。

本発明は、フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続して形成された検査対象物を自動で光学検査するシステムを提供する。前記システムは、前記検査対象物が提供される巻き出し部と、前記巻き出し部から提供される前記検査対象物の表面を検査する１次ビジョン検査部と、検査を終えた前記検査対象物がアンローディングされる巻き取り部とを含む。前記１次ビジョン検査部は、前記検査対象物を移送する複数の支持部及びカメラと前記検査対象物に光を照射する照明部材を有して、前記支持部によって移送される前記検査対象物の表面を撮像する撮像部材とを含む。前記支持部は、互いに離隔して設けられる一対の支持ローラを含み、前記照明部材は、前記一対の支持ローラの間の隙間を通じて前記検査対象物に透過光を照射する透過照明を含む。

一例によると、前記支持部は前記検査対象物が円弧状に移送されるように配置される。例えば、円弧状の移送路（以下、ラウンドとする）は円弧として提供されることができる。また、前記ラウンドは上に凸の状態で提供されることができる。

一例によると、前記撮像部材の各々はカメラを含み、前記カメラは前記ラウンドの接線に垂直に配置される。

一例によると、前記照明部材は前記カメラと前記検査対象物との間に配置されて、前記検査対象物に反射光を照射する反射照明をさらに含むことができる。

また、前記システムには前記１次ビジョン検査部で前記撮像部材によって撮像された前記検査対象物の表面を再度撮像して、その欠陥の有無を検査する２次ビジョン検査部がさらに提供されることができる。

一例によると、前記１次ビジョン検査部のカメラはラインスキャン方式で撮像するカメラであり、前記２次ビジョン検査部は前記検査対象物をエリアスキャン（ａｒｅａ ｓｃａｎ）方式で撮像するエリアカメラを含む。前記２次ビジョン検査部には前記１次ビジョン検査部または前記エリアカメラで撮像されたイメージを有して欠陥として判断された部分をカラーイメージで撮像するカラーカメラがさらに提供され得る。

また、前記システムは、前記１次ビジョン検査部または前記２次ビジョン検査部で欠陥として判断された部分のイメージと、前記カラーカメラで撮像されたカラーイメージとを作業者に表示して、作業者が最終的に欠陥であるか否かを判断できるようにする最終処理部を有する映像処理部をさらに提供することができる。また、前記システムは、前記検査対象物に形成された前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのうち欠陥として判断されたユニットを表示するマーキング部をさらに提供することができる。

また、本発明は、フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続して形成された検査対象物の自動光学検査方法を提供する。前記方法によると、複数の撮像部材を使用して検査対象物の表面を検査し、前記複数の撮像部材によって撮影が行われる領域で前記検査対象物の移送路は円弧状にて提供される。一の実施例によると、前記検査対象物の移送路は凸の状態であり得る。他の実施例によると、前記検査対象物の移送路は円弧として提供されることができる。また他の実施例によると、前記検査対象物の移送路は前記検査対象物を支持する複数の支持部が円弧をなすように配置することによって提供され得る。

前記複数の撮像部材によって撮影が行われる領域で前記検査対象物の移動路は凸の状態とすることができる。

また、本発明はフレキシブル印刷回路基板ユニットが連続して形成された検査対象物の自動光学検査方法を提供する。前記方法は巻き出し部から提供される前記検査対象物の表面を検査する１次ビジョン検査段階と、前記１次ビジョン検査段階で前記撮像部材によって撮像された前記検査対象物を再度撮像してその欠陥の有無を判断する２次ビジョン検査段階とを含む。前記１次ビジョン検査段階は複数のカメラによって行われ、前記検査対象物は円弧状に移送される。

前記１次ビジョン検査段階で前記検査対象物の撮像はラインスキャン方式によって行なうことができる。

また、前記２次ビジョン検査段階は、前記フレキシブル印刷回路基板ユニットをエリアスキャン方式で撮像して、そのユニットに対する検査結果を算出するエリアスキャン処理段階を含むことができる。また、前記２次ビジョン検査段階は、前記１次ビジョン検査段階及び前記エリアスキャン処理段階で欠陥として判断された部分のイメージと、前記欠陥として判断された部分をカラーイメージで撮像したカラーイメージとを表示して、作業者が最終的に欠陥であるか否かを判断することができる最終処理段階をさらに含むことができる。

また、前記方法は、前記検査対象物に形成された前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのうち欠陥として判断されたユニットを表示するマーキング段階をさらに含むことができる。

本発明の自動光学検査システムは、検査対象物の検査項目に対応する視野（検査領域）別に区分して検査対象物を撮像して、その視野（検査領域）別に提供されるイメージを有して、各々の検査項目を検査結果と統合してフレキシブル印刷回路基板ユニットの全体の欠陥の有無を判定する。したがって、より高い検査品質を得ることができるという格別の効果を有する。また、各々の視野（検査領域）別の特性によって反射照明と透過照明のうちいずれか１つを選択的に用いることができるので、検査品質を高めることができるという格別の効果を有する。また、本発明は、２台のカメラで同一の視野（検査領域）を透過照明と反射照明とで各々二重撮像して、これらの各々のイメージの特徴を比較することによって、より高い検査品質を得ることができるという格別の効果を有する。また、本発明は検査対象物が円弧状に移送されることによって、検査対象物が直線的に移送される直線距離に比べて相対的に長い距離となるので、多数台のカメラを相互干渉させずに設けることができるという格別の効果を有する。

本発明は、１次ビジョン検査部で検査を終えた前記検査対象物を２次ビジョン検査部で最終撮像して、その欠陥の有無を判断するので、未検出や誤検出を防止して検査の信頼性、製品の生産性及び採算性の向上の効果を得ることができる。

本発明の実施形態は、様々な形態に変形することができ、本発明の技術的範囲が実施形態によって限定されると解釈してはならない。本実施形態は、当業界で平均的な知識を持った者に本発明をより完全に説明するために提供される。したがって、図面の要素の形状などはより明確な説明をするために修正されている。

本発明の実施形態を添付の図１乃至図６に基づいて詳細に説明する。また、前記図で同一機能を実行する構成要素に対しては同一の参照番号を併記する。

図１は本発明を説明するためのブロック構成図であり、図２は本発明の実施形態による自動光学検査システムの主要構成を示す図である。図３は１次ビジョン検査部の主要構成を示す図である。図４は１次ビジョン検査部の支持部を示す図である。図５は互いに異なる視野（検査領域）を有して検査対象物を撮像する撮像部材を示す図である。図６は本発明の自動光学検査システムによる検査方法に対するフローチャートである。

図１及び図２を参照すると、本発明の自動光学検査システム１００はフレキシブル印刷回路基板ユニット（図５に示す）１２が連続して形成されたフィルム（ｆｉｌｍ）、テープ（ｔａｐｅ）タイプなどの検査対象物１０を多数台のラインスキャンカメラ、エリアスキャンカメラ及びカラーカメラなどを利用して自動検査するシステムである。図１に表示された‘⇒’符号は前記検査対象物の移動経路を示し、‘→’符号は信号伝送を示す。

前記自動光学検査システム１００は、巻き出し部（ｆｅｅｄ ｒｏｌｌｅｒ，ｌｏａｄｅｒ）１０２、１次ビジョン検査部１１０、２次ビジョン検査部１５０、マーキング部１６０、及び巻取部（ｗｉｎｄｉｎｇ ｒｏｌｌｅｒ，ｕｎｌｏａｄｅｒ）１０６を備えている。

前記巻き出し部１０２には前記検査対象物がリール１０４に巻かれており、前記巻き出し部１０２から送り出された前記検査対象物１０は案内ローラ１０５を経て１次ビジョン検査部１１０のラウンド移送部に供給される。前記検査対象物は前記１次ビジョン検査部１１０、２次ビジョン検査部１５０及びマーキング部１６０を経て巻取部１０６のリール１０８に巻かれる。

図２乃至図４を参照すると、前記１次ビジョン検査部１１０は、ラウンド移送部１１２と、互いに異なる視野（検査領域または撮像領域）を有して前記検査対象物を撮像する４個の撮像部材１２０ａ〜１２０ｄとを含む。ここで、前記撮像部材１２０ａ〜１２０ｄの各々は、前記検査対象物の検査項目に対応する視野を有するように配置される。これと異なり、前記撮像部材を同一の視野を有するように提供することができる。

前記ラウンド移送部１１２は、前記検査対象物１０が円弧状に移送されるように一定の半径に沿って配置されて前記検査対象物を支持する支持部１１４を有する。前記ラウンドは凸の状態で提供され得る。また、前記ラウンドは円弧状で提供されることができる。前記支持部１１４は、互いに離隔して設けられる一対の支持ローラ１１６を含む。

前記１次ビジョン検査部１１０は前記検査対象物１０が円弧状に移送されるために、検査対象物が直線的に移送される直線距離に比べて相対的に長い距離となるので、多数台のカメラを相互干渉させずに設けることができる。一般的に、カメラは固定ブラケットａと、カメラ位置を調整するための調整部材ｂとが一セットで設けられるので、カメラサイズよりずっと広い装着空間が要求される。

前記撮像部材１２０ａ〜１２０ｄは、前記ラウンド移送部１１２の周辺に配置され、１台のカメラ１２２ａ〜１２２ｄと前記検査対象物に光を照射する２つの照明部材１２４とを含む。前記照明部材１２４は、前記検査対象物に透過光を照射する透過照明１２４ａと、前記検査対象物に反射光を照射する反射照明１２４ｂとからなり、検査しようとする項目の特性に応じて反射照明と透過照明とのうちいずれか１つを選択的に用いることができる。前記透過照明１２４ａは前記支持部１１４に設けられ、前記一対の支持ローラ１１６間の隙間を通じて前記検査対象物１０に透過光を照射する。前記反射照明１２４ｂは、カメラと前記検査対象物との間に配置され、前記検査対象物に反射光を照射する。カメラは前記ラウンドの接線と垂直した方向に配置される。前記カメラとしてラインスキャンカメラを使用することができる。

例えば、フレキシブル印刷回路基板ユニットの内側リード（ｉｎｎｅｒ ｌｅａｄ）の曲り、ソルダレジスト領域の位置ずれ、ピンホール、搬送基準ホールの破れなどの欠陥類型は反射照明より透過照明を照射する方が検査品質を高めることができる。これとは反対に、フレキシブル印刷回路基板ユニットの内側リード／パターンめっき領域の表面検査（変色、スクラッチ、異物等）、ソルダレジスト表面検査、搬送基準ホール表面検査などの欠陥の類型は、透過照明より反射照明を照射する方が検査品質を高めることができる。

透過照明と反射照明とで一番明確に判断することができる欠陥の類型は次の通りである。

−透過光：第１カメラ（ＴＡＢ製品内側リード曲り検査）、第２カメラ（ソルダレジスト領域の位置ずれ、ピンホール）、第３カメラ（搬送基準ホールの破れ、ソルダレジスト領域の位置ずれ、ピンホール）
−反射光：第１カメラ（ＣＯＦ内側リード、パターンめっき領域の表面検査−変色、スクラッチ、異物など）、第２カメラ（パターンめっき領域の表面検査−変色、スクラッチ、異物／ソルダレジスト表面上の異物、ピンホールなど）、第３カメラ（ソルダレジスト表面上の異物、ピンホールなど／パターンめっき領域の表面検査−変色、スクラッチ、異物／搬送ホール表面検査）

このように、前記１次ビジョン検査部１１０は、反射照明と透過照明とを選択的に用いることによって、多様な欠陥の類型を正確に判断することができる。

本発明の自動光学検査システム１００は、検査しようとする項目の特性に応じて透過照明または反射照明を選択的に用いることができるので、検査品質を高めることができるという格別の効果を有する。

前記撮像部材１２０ａ〜１２０ｄは、下記においてより具体的に説明する。

図３及び図５に示したように、第１撮像部材１２０ａの第１カメラ１２２ａは、前記フレキシブル印刷回路基板ユニット１２の内側リードの曲り、変色、スクラッチ、異物などを検査するために前記内側リード領域を撮像する。第２撮像部材１２０ｂの第２カメラ１２２ｂは、前記フレキシブル印刷回路基板ユニット１２のパターンめっき領域の表面検査（変色、スクラッチ、異物）と、ソルダレジスト領域のピンホール、スクラッチ、位置ずれなどとを検査するために前記パターンめっき領域と前記ソルダレジスト領域とを撮像する。第３撮像部材１２０ｃの第３カメラ１２２ｃは前記フレキシブル印刷回路基板ユニット１２のソルダレジスト領域のピンホール、スクラッチ、位置ずれなどと搬送基準ホールの破れなどとを検査するために前記検査対象物１０の幅を撮像する。

各カメラ別検査項目及びその使用例を下記に示す。
１．第１カメラ（視野２５ｍｍ）
*ＴＡＢ製品検査項目透過光を利用した内側リードの曲りなどを検査。
*ＣＯＦの場合、反射光を利用した内側リード上の表面検査（変色、スクラッチ、異物など）。
２．第２カメラ（視野３５ｍｍ）
*反射光を利用したパターンめっき領域の表面検査（変色、スクラッチ、異物など）とソルダレジスト領域（ピンホール、スクラッチ、位置ずれなど）
*製品及び顧客の検査基準に応じて透過光を利用することもできる。
３．第３カメラ（視野５０ｍｍ）
*反射光を利用したソルダレジスト領域（ピンホール、位置ずれなど）と搬送基準ホール（ホール破れなど）
*検査対象物（製品）及び使用者の検査基準に応じて反射照明または透過照明を利用することもできる。
*第２カメラのイメージ（映像データ）を参照して異物による誤検出を防止することができる新しい検査方法を提示することができる。

第４撮像部材１２０ｄの第４カメラ１２２ｄは第１カメラ１２２ａと同一の視野（検査領域）を有する。ただし、前記第４撮像部材１２０ｄは、前記第１撮像部材１２０ａとは異なる照明を用いて撮像する。例えば、前記第１撮像部材１２０で前記フレキシブル印刷回路基板ユニットの内側リードを反射照明で撮像した場合には、前記第４撮像部材１２０ｄでは前記フレキシブル印刷回路基板ユニットの内側リードを透過照明で撮像することを特徴とする。

前記第４撮像部材１２０ｄは使用者の要求に応じて選択的に設けることができて、先行のカメラによって撮像された視野（検査領域）のうち重要であると考えられる検査領域を再度撮像するために設けられている。

一方、前記検査対象物の移送速度は、前記第１〜３カメラのうち一番狭い視野を有する第１カメラの映像取得速度（映像スピード）に対応するように調節されることが望ましい。そして、前記第２、第３カメラの映像取得速度は、前記第１カメラの映像取得速度にあわせるように調節された前記検査対象物の移送速度に応じて調整（遅く）することが望ましい。

このように本発明は２台のカメラ１２２ａ，１２２ｄで同一の検査領域を透過照明と反射照明とで各々撮像して、これら各々のイメージの特徴を比較することによって、より高い検査品質を得ることができる格別の効果を有する。

図１及び図２を参照すると、前記１次ビジョン検査部１１０の各カメラから撮像されたイメージ（映像データ）は映像処理部１４０に提供される。前記映像処理部１４０は典型的なコンピュータシステムを具備して、自動光学検査による諸般の動作を制御して、処理する。前記映像処理部１４０は前記カメラからイメージを受けて多数の検査項目を検査する。

前記映像処理部１４０は各々のカメラから視野（検査領域）別に提供されたイメージを有して多数の検査項目と検査結果を統合してフレキシブル印刷回路基板ユニット全体の欠陥の有無を判定するようになる。

前記映像処理部１４０は第１〜４処理部を含む。前記第１処理部１４２ａは前記第１、第４カメラ１２２ａ，１２２ｄによって撮像されたイメージにより前記フレキシブル印刷回路基板ユニット１２の内側リードの曲り、変色、スクラッチ、異物等を判定する。前記第２処理部１４２ｂは前記第２カメラ１２２ｂによって撮像されたイメージにより前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのパターンめっき領域の表面検査（変色、スクラッチ、異物）と、ソルダレジスト領域のピンホール、スクラッチ、位置ずれなどを判断するようになる。第３処理部１４２ｃは前記第３カメラ１２２ｃによって撮像されたイメージにより前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのソルダレジスト領域の表面検査（ピンホール、スクラッチ、位置ずれなど）と、搬送基準ホールの破れなどとを判定する。前記第４処理部１４２ｄと最終処理部１４４とは、２次ビジョン検査部１５０と共に説明する。

前記２次ビジョン検査部１５０は、前記１次ビジョン検査部１１０で検査を終えた前記検査対象物を最終撮像して、その欠陥の有無を判断するためのものである。また、前記２次ビジョン検査部１５０は、エリアスキャンカメラ１５２とカラーカメラ１５４とを有する。前記２次ビジョン検査部１５０はオプションであり、使用者の要求に応じて追加、または省略可能な構成要素である。

前記エリアスキャンカメラ１５２は、前記フレキシブル印刷回路基板ユニット１２のソルダレジスト領域をエリアスキャン方式と反射照明とを使用して撮像する。このように撮像されたイメージは第４処理部１４２ｄに提供され、前記第４処理部でソルダレジスト領域を検査するようになる。前記エリアスキャンカメラ１５２は、ＣＯＦ形態フレキシブル印刷回路基板ユニットよりＴＡＢ形態フレキシブル印刷回路基板ユニットを撮像するために主に用いられる。一般的に、前記ＴＡＢ形態のフレキシブル印刷回路基板ユニットはＣＯＦ形態のフレキシブル印刷回路基板ユニットに比べて相対的に厚いため（特にソルダレジスト領域が厚い）、透過が困難である。このため、ソルダレジスト領域の表面上の異物検査の信頼性は非常に低い。本発明ではこのような問題を解消するために、エリアスキャンカメラ１５２に反射照明１５３を使用して検査対象物（特に、ＴＡＢ形態のフレキシブル印刷回路基板ユニット）のソルダレジスト領域の表面上の異物検査を実施する。その結果として、検査信頼性を高めることができる。

前記カラーカメラ１５４は前段階（前記１次ビジョン検査部及び前記エリアカメラ）で撮像されたイメージを検査して、欠陥として判断された部分をカラーイメージで撮像するためのものである。このように撮像されたカラーイメージは映像処理部１４０の最終処理部１４４に提供され、前記最終処理部１４４では前記カラーイメージと前段階（前記１次ビジョン検査部及び前記エリアカメラ）で欠陥として判断された部分のイメージとをモニタ１４６に表示する。作業者は前記モニタ１４６に表示された２つの映像を比べて、最終的に欠陥の有無を入力装置１４８を通じて入力する。

前記マーキング部１６０は、前記検査対象物に形成された前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのうち欠陥として判断されたユニットに欠陥表示をする。前記マーキング部１６０は前記映像処理部によって制御される。

一方、本発明は前記の構成からなる自動光学検査システムにおいて、多様な変形が可能であり、様々な形態を取ることができる。しかし、本発明は前記の詳細な説明で言及される特別な形態に限定されず、むしろ特許請求の範囲によって定義される本発明の技術的思想と該範囲内とにあるすべての変化形態、均等物及び代替物を含むものである。

次にはフレキシブル印刷回路基板ユニットが連続して形成された検査対象物を検査するための本発明のフローチャートを説明する。

図１、図２及び図６を参照すると、前記巻き出し部１０２から送り出された前記検査対象物１０は、案内ローラ１０５を経て１次ビジョン検査部１１０のラウンド移送部に供給される（Ｓ２１０）。

前記１次ビジョン検査部では、第１、第２及び第３処理段階と二重撮像段階とが順に進行される（Ｓ２２０）。前記１次処理段階（Ｓ２２２）は前記第１カメラにより前記フレキシブル印刷回路基板ユニット１２の内側リード領域（第１検査領域）を撮像する段階（Ｓ２２２ａ）と、前記第１処理部１４２ａで前記第１カメラ１２２ａにより撮像されたイメージを用いて前記フレキシブル印刷回路基板ユニット１２の内側リードの曲り、変色、スクラッチ、異物等を判断する段階（Ｓ２２２ｂ）とを含む。

前記２次処理段階（Ｓ２２４）は、前記第２カメラ１２２ｂにより前記フレキシブル印刷回路基板ユニット１２のパターンめっき領域と、ソルダレジスト領域とを撮像する段階（Ｓ２２４ａ）と、前記第２処理部１４２ｂで前記第２カメラ１２２ｂにより撮像されたイメージを用いた前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのパターンめっき領域の表面検査（変色、スクラッチ、異物）ソルダレジスト領域のピンホール、スクラッチ、位置ずれなどを判断する段階（Ｓ２２４ｂ）とを含む。

前記３次処理段階（Ｓ２２６）は、第３カメラ１２２ｃにより前記検査対象物１０の幅を撮像する段階（Ｓ２２６ａ）と、前記第３処理部１４２ｃで前記第３カメラ１２２ｃにより撮像されたイメージ用いた前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのソルダレジスト領域の表面検査（ピンホール、スクラッチ、位置ずれなど）と、搬送基準ホールの破れなどを判断する段階（Ｓ２２６ｂ）とを含む。

前記二重撮像段階（Ｓ２２８）は、前記第４カメラ１２２ｄにより前記第１カメラ１２２ａと同一の視野（検査領域）を撮像する段階（Ｓ２２８ａ）と、前記第１処理部１４２ａで前記第１カメラ１２２ａにより撮像されたイメージを用いて前記フレキシブル印刷回路基板ユニット１２の内側リードの曲り、変色、スクラッチ、異物等を判断する段階（Ｓ２２８ｂ）とを含む。ここで、前記第４カメラは前記第１カメラとは異なる照明を用いて撮像する特徴を有する。

前記１次ビジョン検査部で１次ビジョン検査を終えた検査対象物は、２次ビジョン検査部に移動される。前記２次ビジョン検査部の検査段階（Ｓ２３０）ではスキャン処理段階（Ｓ２３２）と最終処理段階（Ｓ２３４）とが進行される。

前記スキャン処理段階（Ｓ２３２）は前記エリアスキャンカメラ１５２により前記フレキシブル印刷回路基板ユニット１２のソルダレジスト領域をエリアスキャン方式と反射照明とを用いて撮像する段階（Ｓ２３２ａ）と、前記第４処理部でソルダレジスト領域を検査する段階（Ｓ２３２ｂ）とを含む。

前記最終処理段階（Ｓ２３４）は前記カラーカメラにより前段階（前記１次ビジョン検査部及び前記エリアカメラ）で撮像されたイメージを用いて検査して欠陥として判断された部分をカラーイメージとして撮像する段階（Ｓ２３４ａ）と、前記カラーイメージと前段階（前記１次ビジョン検査部及び前記エリアカメラ）で欠陥として判断された部分のイメージとをモニタ１４６に表示する段階（Ｓ２３４ｂ）と、作業者が前記モニタ１４６に表示された２つの映像を比べて最終的に欠陥であるか否かを入力装置１４８を通じて入力する段階（Ｓ２３４ｃ）とを含む。

このように、最終的に欠陥として判断されたユニットは、前記マーキング部で欠陥表示された後（Ｓ２４０）、巻き取り部に巻かれる（Ｓ２５０）。

以上、本発明による自動光学検査システムの構成及び作用を上述の説明及び図によって示したが、これは例を示して説明したに過ぎず、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で多様な変化及び変更が可能であることは言うまでもない。

図１は、本発明を説明するためのブロック構成図である。 図２は、本発明の実施形態である自動光学検査システムの主要構成を示す図である。 図３は、１次ビジョン検査部の主要構成を示す図である。 図４は、１次ビジョン検査部の支持部を示す図である。 図５は、互いに異なる視野検査領域を持って検査対象物を撮像する撮像部材を示す図である。 図６は、本発明の自動光学検査システムによる検査方法に対するフローチャートである。

符号の説明

１０２ 巻き出し部
１１０ １次ビジョン検査部
１５０ ２次ビジョン検査部
１６０ マーキング部
１０６ 巻き取り部

Claims (10)

1. フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続して形成された検査対象物の自動光学検査システムにおいて、
   前記検査対象物が提供される巻き出し部と、
   前記巻き出し部から提供される前記検査対象物の表面を検査する１次ビジョン検査部と、
   検査を終えた前記検査対象物がアンローディングされる巻き取り部とを含み、
   前記１次ビジョン検査部は、
   前記検査対象物を移送する複数の支持部と、
   カメラと前記検査対象物に光を照射する照明部材とを有し、前記支持部によって移送される前記検査対象物の表面を撮像する撮像部とを含み、
   前記支持部は互いに離隔して設けられる一対の支持ローラを含み、前記照明部材は前記一対の支持ローラの間の隙間を通じて前記検査対象物に光を照射する透過照明を含むことを特徴とする自動光学検査システム。
2. 前記支持部は、
   前記検査対象物が円弧状の移送路に沿って移動されるように配置され、
   前記カメラは、
   前記円弧状の移送路の接線に垂直に配置されることを特徴とする請求項１に記載の自動光学検査システム。
3. 前記円弧状の移送路は、
   円弧の形状として提供されることを特徴とする請求項２に記載の自動光学検査システム。
4. 前記円弧状の移送路は、
   上に凸の状態で提供されることを特徴とする請求項２に記載の自動光学検査システム。
5. 前記照明部材は前記カメラと前記検査対象物との間に配置されて、前記検査対象物に反射光を照射する反射照明をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちいずれか一項に記載の自動光学検査システム。
6. 前記システムは、
   前記１次ビジョン検査部で前記撮像部材によって撮像された前記検査対象物の表面を２次に撮像して、
   その欠陥の有無を検査する２次ビジョン検査部をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちいずれか一項に記載の自動光学検査システム。
7. 前記１次ビジョン検査部のカメラは、
   前記検査対象物をラインスキャン方式で撮像するラインスキャンカメラであり、
   前記２次ビジョン検査部は、
   前記検査対象物をエリアスキャン方式で撮像するエリアカメラを含むことを特徴とする請求項６に記載の自動光学検査システム。
8. 前記２次ビジョン検査部は、
   前記１次ビジョン検査部または前記エリアカメラで撮像されたイメージを有して欠陥として判断された部分をカラーイメージで撮像するカラーカメラをさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の自動光学検査システム。
9. 前記自動光学検査システムは、
   前記１次ビジョン検査部または前記２次ビジョン検査部で欠陥として判断された部分のイメージと、
   前記カラーカメラで撮像されたカラーイメージを作業者に表示して、作業者が最終に欠陥であるか否かを判断するようにする最終処理部とを有する映像処理部をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の自動光学検査システム。
10. 前記自動光学検査システムは、
    前記検査対象物に形成された前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのうち欠陥として判断されたユニットを表示するマーキング部をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちいずれか一項に記載の自動光学検査システム。

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