JPH05339767A - 水酸化第四級アンモニウム水溶液の製造方法 - Google Patents
水酸化第四級アンモニウム水溶液の製造方法Info
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- JPH05339767A JPH05339767A JP4145666A JP14566692A JPH05339767A JP H05339767 A JPH05339767 A JP H05339767A JP 4145666 A JP4145666 A JP 4145666A JP 14566692 A JP14566692 A JP 14566692A JP H05339767 A JPH05339767 A JP H05339767A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、水酸化第四級アンモニウム水溶液
の新規な製造方法である。 【構成】 カルバミン酸エステルとトリアルキルアミン
とを水および/または極性溶媒の存在下に反応させて得
られる第四級アンモニウム無機酸塩を電解して水酸化第
四級アンモニウム水溶液を得る方法。
の新規な製造方法である。 【構成】 カルバミン酸エステルとトリアルキルアミン
とを水および/または極性溶媒の存在下に反応させて得
られる第四級アンモニウム無機酸塩を電解して水酸化第
四級アンモニウム水溶液を得る方法。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、LSIやLCDの製造
工程におけるポジ型レジストの現像液や基板等の洗浄液
等に使用される高純度な水酸化第四級アンモニウム水溶
液あるいは、ポリカーボネート樹脂用の重合触媒、ゼオ
ライト触媒の製造等に使用されている水酸化第四級アン
モニウム水溶液の製造方法に関するものである。
工程におけるポジ型レジストの現像液や基板等の洗浄液
等に使用される高純度な水酸化第四級アンモニウム水溶
液あるいは、ポリカーボネート樹脂用の重合触媒、ゼオ
ライト触媒の製造等に使用されている水酸化第四級アン
モニウム水溶液の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】水酸化第四級アンモニウム水溶液は、そ
の用途も広範囲に亘り、現在大量に生産されており、特
に近年、安価で高純度な水酸化第四級アンモニウム水溶
液が求められている。
の用途も広範囲に亘り、現在大量に生産されており、特
に近年、安価で高純度な水酸化第四級アンモニウム水溶
液が求められている。
【0003】従来、水酸化第四級アンモニウムの製造方
法としては、次のような方法で行われている。
法としては、次のような方法で行われている。
【0004】1)トリアルキルアミンとハロゲン化アル
キルとを反応させ、第四級アンモニウムハロゲン化物を
合成し、この第四級アンモニウムハロゲン化物を電解し
て水酸化第四級アンモニウムを製造する方法。
キルとを反応させ、第四級アンモニウムハロゲン化物を
合成し、この第四級アンモニウムハロゲン化物を電解し
て水酸化第四級アンモニウムを製造する方法。
【0005】2)トリアルキルアミンと有機カルボン酸
エステルを反応させ、第四級アンモニウム有機カルボン
酸塩を合成し、この第四級アンモニウム有機カルボン酸
塩を電解して水酸化第四級アンモニウムを製造する方
法。(特開昭60−100690号)
エステルを反応させ、第四級アンモニウム有機カルボン
酸塩を合成し、この第四級アンモニウム有機カルボン酸
塩を電解して水酸化第四級アンモニウムを製造する方
法。(特開昭60−100690号)
【0006】3)トリアルキルアミンと炭酸ジアルキル
エステルを反応させ、第四級アンモニウムの無機酸塩を
合成し、この第四級アンモニウム無機酸塩を電解して、
水酸化第四級アンモニウムを製造する方法。
エステルを反応させ、第四級アンモニウムの無機酸塩を
合成し、この第四級アンモニウム無機酸塩を電解して、
水酸化第四級アンモニウムを製造する方法。
【0007】上記(1)の方法では、電解工程で陽極液
中に有害で腐触性のハロゲンイオン、ハロゲンガスが高
濃度で生成し、陽極自体、あるいは装置材質等を腐触す
る等のトラブルが発生する。また、高純度の水酸化第四
級アンモニウム水溶液を製造する場合には、電解時にハ
ロゲン化イオンが、イオン交換膜を通過を通して陰極側
に移行する、あるいは腐触による不純物の増加等の原因
により、純度低下を招く欠点を有している。上記(2)
の方法も電解工程で、腐触性の有機酸イオンを生じ、陽
極自体を腐触し、このギ酸イオンを無害な炭酸ガスまで
電解酸化するには、多大な電気量を必要とする等の問題
点を有している。また、高純度の水酸化第四級アンモニ
ウム水溶液を製造する場合には電解時に、有機酸イオン
がイオン交換膜を通して、陰極側に移行するあるいは、
腐食による不純物の増加等の原因により純度低下を招く
欠点を有している。上記(3)の製造方法は、原料とし
て炭酸ジアルキルエステルを使用するが、炭酸ジアルキ
ルエステルが高価なため、安価な水酸化第四級アンモニ
ウム水溶液を製造するには好適でない。
中に有害で腐触性のハロゲンイオン、ハロゲンガスが高
濃度で生成し、陽極自体、あるいは装置材質等を腐触す
る等のトラブルが発生する。また、高純度の水酸化第四
級アンモニウム水溶液を製造する場合には、電解時にハ
ロゲン化イオンが、イオン交換膜を通過を通して陰極側
に移行する、あるいは腐触による不純物の増加等の原因
により、純度低下を招く欠点を有している。上記(2)
の方法も電解工程で、腐触性の有機酸イオンを生じ、陽
極自体を腐触し、このギ酸イオンを無害な炭酸ガスまで
電解酸化するには、多大な電気量を必要とする等の問題
点を有している。また、高純度の水酸化第四級アンモニ
ウム水溶液を製造する場合には電解時に、有機酸イオン
がイオン交換膜を通して、陰極側に移行するあるいは、
腐食による不純物の増加等の原因により純度低下を招く
欠点を有している。上記(3)の製造方法は、原料とし
て炭酸ジアルキルエステルを使用するが、炭酸ジアルキ
ルエステルが高価なため、安価な水酸化第四級アンモニ
ウム水溶液を製造するには好適でない。
【0008】また、炭酸ジアルキルエステルはホスゲン
とアルコールから製造されるため、炭酸ジアルキルエス
テル中に、塩素化合物が混入する虞れがあり高純度の水
酸化第四級アンモニウム水溶液を製造する上で好ましく
ない。このように、従来の製造方法には多くの問題点を
有しており、いずれも充分な製造方法とは言えず、安価
で高純度な水酸化第四級アンモニウム水溶液の製造方法
が所望されている。
とアルコールから製造されるため、炭酸ジアルキルエス
テル中に、塩素化合物が混入する虞れがあり高純度の水
酸化第四級アンモニウム水溶液を製造する上で好ましく
ない。このように、従来の製造方法には多くの問題点を
有しており、いずれも充分な製造方法とは言えず、安価
で高純度な水酸化第四級アンモニウム水溶液の製造方法
が所望されている。
【0009】
【発明が解決しようとする問題点】本発明は、上記のよ
うな従来方法の種々の問題点を解決し安価でかつ高純度
な水酸化第四級アンモニウム水溶液の製造方法を提供す
るものである。
うな従来方法の種々の問題点を解決し安価でかつ高純度
な水酸化第四級アンモニウム水溶液の製造方法を提供す
るものである。
【0010】
【問題点を解決するための手段】本発明者らは、上記の
従来技術における種々の問題点を解決すべく鋭意検討を
行い、トリアルキルアミンとカルバミン酸エステルを極
性溶媒の存在下、反応させ、次いで水を加え加熱して第
四級アンモニウム無機酸塩を合成し、あるいはトリアル
キルアミンとカルバミン酸エステルを水の存在下で反応
させ第四級アンモニウム無機酸塩を合成し、得られた第
四級アンモニウム無機酸塩を電解して、水酸化第四級ア
ンモニウムを得る新規な水酸化第四級アンモニウム水溶
液の製造方法を見い出し、本発明を成すに至った。
従来技術における種々の問題点を解決すべく鋭意検討を
行い、トリアルキルアミンとカルバミン酸エステルを極
性溶媒の存在下、反応させ、次いで水を加え加熱して第
四級アンモニウム無機酸塩を合成し、あるいはトリアル
キルアミンとカルバミン酸エステルを水の存在下で反応
させ第四級アンモニウム無機酸塩を合成し、得られた第
四級アンモニウム無機酸塩を電解して、水酸化第四級ア
ンモニウムを得る新規な水酸化第四級アンモニウム水溶
液の製造方法を見い出し、本発明を成すに至った。
【0011】本発明における水酸化第四級アンモニウム
は、下記式(1)で表される。
は、下記式(1)で表される。
【0012】
【図1】 (式中、R1 、R2 、R3 およびR4 は、同一であって
も異なってもよく、炭素数1〜3のアルキル基を表
す。)
も異なってもよく、炭素数1〜3のアルキル基を表
す。)
【0013】上記一般式で表される化合物は、具体的に
は、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、テ
トラエチルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラプ
ロピルアンモニウムハイドロオキサイド、トリメチルエ
チルアンモニウムハイドロオキサイド、トリメチルプロ
ピルアンモニウムハイドロオキサイド、ジメチルジプロ
ピルアンモニウムハイドロオキサイド、モノメチルトリ
エチルアンモニウムハイドロオキサイド、モノメチルト
リプロピルアンモニウムハイドロオキサイド等があげら
れる。これらの中で、テトラメチルアンモニウムハイド
ロオキサイド(TMAH)が好ましい。
は、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、テ
トラエチルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラプ
ロピルアンモニウムハイドロオキサイド、トリメチルエ
チルアンモニウムハイドロオキサイド、トリメチルプロ
ピルアンモニウムハイドロオキサイド、ジメチルジプロ
ピルアンモニウムハイドロオキサイド、モノメチルトリ
エチルアンモニウムハイドロオキサイド、モノメチルト
リプロピルアンモニウムハイドロオキサイド等があげら
れる。これらの中で、テトラメチルアンモニウムハイド
ロオキサイド(TMAH)が好ましい。
【0014】本発明におけるトリアルキルアミンは、下
記式(2)で表される。
記式(2)で表される。
【0015】
【図2】 (式中、R1 、R2 、R3 は、同一であっても異なって
もよく、炭素数1〜3のアルキル基を表す。)
もよく、炭素数1〜3のアルキル基を表す。)
【0016】上記一般式で表される化合物は、具体的に
は、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピ
ルアミン、ジメチルエチルアミン、ジメチルプロピルア
ミン、モノメチルジエチルアミン、モノメチルジプロピ
ルアミン、ジエチルプロピルアミン等があげられる。
は、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピ
ルアミン、ジメチルエチルアミン、ジメチルプロピルア
ミン、モノメチルジエチルアミン、モノメチルジプロピ
ルアミン、ジエチルプロピルアミン等があげられる。
【0017】本発明におけるカルバミン酸アルキルエス
テルは、下記式(3)で表される。
テルは、下記式(3)で表される。
【0018】
【図3】 (式中、R4 は炭素数1〜3のアルキル基を表わし、R
5 、R6 は、同一であっても異なってもよく水素原子あ
るいは、炭素数1〜2のアルキル基を表す。)
5 、R6 は、同一であっても異なってもよく水素原子あ
るいは、炭素数1〜2のアルキル基を表す。)
【0019】上記一般式で表される化合物は、具体的に
は、カルバミン酸メチルエステル、カルバミン酸エチル
エステル、カルバミン酸プロピルエステル、N−メチル
カルバミン酸メチルエステル、N,N−ジメチルカルバ
ミン酸メチルエステル、N−メチルカルバミン酸エチル
エステル、N,N−ジメチルカルバミン酸エチルエステ
ル、N−メチルカルバミン酸プロピルエステル等があげ
られる。
は、カルバミン酸メチルエステル、カルバミン酸エチル
エステル、カルバミン酸プロピルエステル、N−メチル
カルバミン酸メチルエステル、N,N−ジメチルカルバ
ミン酸メチルエステル、N−メチルカルバミン酸エチル
エステル、N,N−ジメチルカルバミン酸エチルエステ
ル、N−メチルカルバミン酸プロピルエステル等があげ
られる。
【0020】本発明は、トリアルキルアミンとカルバミ
ン酸エステルとを極性溶媒の存在下反応させ、次いで水
を加えて加熱して第四級アンモニウム無機酸塩を合成
し、次いで電解して水酸化第四級アンモニウムを得る方
法(以下方法Aという)、及び、トリアルキルアミンと
カルバミン酸エステルとを水の存在下で反応させ第四級
アンモニウム無機酸塩を合成し、次いで電解して水酸化
第四級アンモニウムを得る方法(以下方法Bという)と
がある。
ン酸エステルとを極性溶媒の存在下反応させ、次いで水
を加えて加熱して第四級アンモニウム無機酸塩を合成
し、次いで電解して水酸化第四級アンモニウムを得る方
法(以下方法Aという)、及び、トリアルキルアミンと
カルバミン酸エステルとを水の存在下で反応させ第四級
アンモニウム無機酸塩を合成し、次いで電解して水酸化
第四級アンモニウムを得る方法(以下方法Bという)と
がある。
【0021】上記の方法A及びBにおいて、カルバミン
酸エステルあるいはトリアルキルアミンの使用量は、使
用されるカルバミン酸エステルまたはトリアルキルアミ
ンの種類、反応条件等を勘定して適宜選択されるが、一
般的には、カルバミン酸エステルとトリアルキルアミン
のモル比が、0.05〜20の範囲、好ましくは0.1
〜10の範囲で使用される。
酸エステルあるいはトリアルキルアミンの使用量は、使
用されるカルバミン酸エステルまたはトリアルキルアミ
ンの種類、反応条件等を勘定して適宜選択されるが、一
般的には、カルバミン酸エステルとトリアルキルアミン
のモル比が、0.05〜20の範囲、好ましくは0.1
〜10の範囲で使用される。
【0022】方法A及びBにおいて、水は不可欠なもの
であり、水の使用量は基本的にはカルバミン酸エステル
または、トリアルキルアミンに対して反応理論量以上を
添加すればよいが、余りに多いと反応後の分離、除去に
多くの時間を要し経済的に得策ではない。
であり、水の使用量は基本的にはカルバミン酸エステル
または、トリアルキルアミンに対して反応理論量以上を
添加すればよいが、余りに多いと反応後の分離、除去に
多くの時間を要し経済的に得策ではない。
【0023】方法Aにおいて、使用される極性溶媒とし
ては、メタノール、エタノール、プロパノール等のアル
コール類、N,N−ジメチルホルムアミド等の酸アミド
類、アセトニトリルの様な、ニトリル類が例示され、こ
れらの極性溶媒の使用量としては、原料のカルバミン酸
エステルまたはトリアルキルアミンに対して0.5〜2
0倍量(重量)であり好ましくは、1〜10倍量が使用
される。
ては、メタノール、エタノール、プロパノール等のアル
コール類、N,N−ジメチルホルムアミド等の酸アミド
類、アセトニトリルの様な、ニトリル類が例示され、こ
れらの極性溶媒の使用量としては、原料のカルバミン酸
エステルまたはトリアルキルアミンに対して0.5〜2
0倍量(重量)であり好ましくは、1〜10倍量が使用
される。
【0024】方法Aにおけるカルバミン酸エステルとト
リアルキルアミンの反応温度は、通常50〜300℃、
好ましくは100〜250℃の範囲である。方法Aは、
反応後に反応生成物に水を添加し、加熱し、減圧蒸留を
行うか、あるいは、50℃以上の加熱下で、窒素、アル
ゴン、ヘリウム、炭酸ガスあるいは、空気等のガスを吹
き込み、未反応物あるいは、極性溶媒を除去することに
より、第四級アンモニウム無機酸塩を得ることが出来
る。
リアルキルアミンの反応温度は、通常50〜300℃、
好ましくは100〜250℃の範囲である。方法Aは、
反応後に反応生成物に水を添加し、加熱し、減圧蒸留を
行うか、あるいは、50℃以上の加熱下で、窒素、アル
ゴン、ヘリウム、炭酸ガスあるいは、空気等のガスを吹
き込み、未反応物あるいは、極性溶媒を除去することに
より、第四級アンモニウム無機酸塩を得ることが出来
る。
【0025】方法Bにおける水の存在下、カルバミン酸
エステルとトリアルキルアミンとの反応の際の温度は、
通常50〜300℃、好ましくは80〜200℃の範囲
である。この際、水の他に極性溶媒を共存させて反応を
行っても何ら差し支えない。反応後は、減圧下蒸留する
かまたは窒素、アルゴン、ヘリウム、炭酸ガスあるいは
空気等のガスを吹き込み、未反応物、溶媒等を除去する
ことにより第四級アンモニウム無機酸塩を得ることが出
来る。この際、必要により、加熱を行っても何ら差し支
えない。なお、本発明における方法AおよびBの反応の
方法は、回分式、半回分式あるいは連続式の何れの方法
でも実施し得る。
エステルとトリアルキルアミンとの反応の際の温度は、
通常50〜300℃、好ましくは80〜200℃の範囲
である。この際、水の他に極性溶媒を共存させて反応を
行っても何ら差し支えない。反応後は、減圧下蒸留する
かまたは窒素、アルゴン、ヘリウム、炭酸ガスあるいは
空気等のガスを吹き込み、未反応物、溶媒等を除去する
ことにより第四級アンモニウム無機酸塩を得ることが出
来る。この際、必要により、加熱を行っても何ら差し支
えない。なお、本発明における方法AおよびBの反応の
方法は、回分式、半回分式あるいは連続式の何れの方法
でも実施し得る。
【0026】本発明の方法AおよびBで得られた第四級
アンモニウム無機酸塩の電解は、通常、陽イオン交換膜
で陽極と陰極とに区画された電解槽が使用されるが、こ
の他に2枚以上の陽イオン交換膜によって陽極室、陰極
室および1室以上の中間室に区画された電解槽を使用す
ることが出来る。本発明に使用される陽イオン交換膜と
しては、スルフォン基、カルボン酸基等の陽イオン交換
基を有する対腐食性のあるフッ素樹脂系のものが好適に
使用されるが、これ以外に上記の交換基を有するスチレ
ン−ジビニルベンゼン共重合体系ののもの使用しうる。
アンモニウム無機酸塩の電解は、通常、陽イオン交換膜
で陽極と陰極とに区画された電解槽が使用されるが、こ
の他に2枚以上の陽イオン交換膜によって陽極室、陰極
室および1室以上の中間室に区画された電解槽を使用す
ることが出来る。本発明に使用される陽イオン交換膜と
しては、スルフォン基、カルボン酸基等の陽イオン交換
基を有する対腐食性のあるフッ素樹脂系のものが好適に
使用されるが、これ以外に上記の交換基を有するスチレ
ン−ジビニルベンゼン共重合体系ののもの使用しうる。
【0027】本発明に使用される陽極としては、高純度
な炭素電極、白金、イリジウム等の白金族酸化物で被覆
されたチタン電極等この種の電解に使用される電極が使
用される。また、本発明に使用される陰極としては、ス
テンレス鋼、ニッケル等のこの種の電解において陰極と
して使用される電極が使用される。これらの陽極、陰極
は板状、棒状、網状、多孔板状等のいずれの形状でも使
用し得る。
な炭素電極、白金、イリジウム等の白金族酸化物で被覆
されたチタン電極等この種の電解に使用される電極が使
用される。また、本発明に使用される陰極としては、ス
テンレス鋼、ニッケル等のこの種の電解において陰極と
して使用される電極が使用される。これらの陽極、陰極
は板状、棒状、網状、多孔板状等のいずれの形状でも使
用し得る。
【0028】本発明において、電解槽における電解は直
流電圧を印加することによって行われるが、その電流密
度は1〜100A/dm2 、好ましくは3〜50A/d
m2である。また電解時の温度は、10〜50℃の範囲
で行うことが好ましい。本発明における電解は回分式、
連続式いずれでも行うことができ、この際、陽極室に供
給する原料の第四級アンモニウム無機酸塩の濃度は、1
〜60重量%好ましくは3〜40重量%に設定される。
流電圧を印加することによって行われるが、その電流密
度は1〜100A/dm2 、好ましくは3〜50A/d
m2である。また電解時の温度は、10〜50℃の範囲
で行うことが好ましい。本発明における電解は回分式、
連続式いずれでも行うことができ、この際、陽極室に供
給する原料の第四級アンモニウム無機酸塩の濃度は、1
〜60重量%好ましくは3〜40重量%に設定される。
【0029】また、陰極室には、超純水が供給される
が、運転開始時には、超純水単独では、電気伝導度が低
く、電解が起りにくいので、目的物である第四級アンモ
ニウム水酸化物を少量、例えば0.01〜5重量%添加
した液を用いる事が望ましい。また、電解中は窒素、ア
ルゴン等の不活性ガスの雰囲気で行う事が望ましい。
が、運転開始時には、超純水単独では、電気伝導度が低
く、電解が起りにくいので、目的物である第四級アンモ
ニウム水酸化物を少量、例えば0.01〜5重量%添加
した液を用いる事が望ましい。また、電解中は窒素、ア
ルゴン等の不活性ガスの雰囲気で行う事が望ましい。
【0030】以下に本発明の実施例を示す。
実施例1(方法A) トリメチルアミン620g、カルバミン酸メチルエステ
ル750g、メタノール500gを内容積3000ml
の耐圧ステンレス製オートクレーブに充填し、150℃
で5時間、撹拌を行いながら加熱した。得られた反応混
合物に水2000gを加え、80℃加熱し、常圧で窒素
ガスを吹込み未反応物および溶媒であるメタノールを留
去した後、第四級アンモニウム無機酸塩の水溶液を得
た。そこへ、さらに水を加え、第四級アンモニウム無機
酸塩の30重量%の水溶液を調製した。
ル750g、メタノール500gを内容積3000ml
の耐圧ステンレス製オートクレーブに充填し、150℃
で5時間、撹拌を行いながら加熱した。得られた反応混
合物に水2000gを加え、80℃加熱し、常圧で窒素
ガスを吹込み未反応物および溶媒であるメタノールを留
去した後、第四級アンモニウム無機酸塩の水溶液を得
た。そこへ、さらに水を加え、第四級アンモニウム無機
酸塩の30重量%の水溶液を調製した。
【0031】次に、陽イオン交換膜として、Nafio
n324(デュポン社製フッ素系陽イオン交換膜)を使
用し、電解槽を陽極室と陰極室に区画し、陽極にはイリ
ジウムを被覆したチタン電極を、陰極にはニッケルを電
極とした装置を使用し、陽極室に上記の第四級アンモニ
ウム無機酸塩の30重量%水溶液を循環した。陰極室に
は、0.5重量%のテトラメチルアンモニウム水酸化物
水溶液を循環し、20A/dm2 の直流電流を印加し、
温度40℃にて電解を行った。電解電圧は8〜12V、
平均電流効率は89%で、陰極室に、14.1重量%の
テトラメチルアンモニウム水酸化物水溶液が得られた。
n324(デュポン社製フッ素系陽イオン交換膜)を使
用し、電解槽を陽極室と陰極室に区画し、陽極にはイリ
ジウムを被覆したチタン電極を、陰極にはニッケルを電
極とした装置を使用し、陽極室に上記の第四級アンモニ
ウム無機酸塩の30重量%水溶液を循環した。陰極室に
は、0.5重量%のテトラメチルアンモニウム水酸化物
水溶液を循環し、20A/dm2 の直流電流を印加し、
温度40℃にて電解を行った。電解電圧は8〜12V、
平均電流効率は89%で、陰極室に、14.1重量%の
テトラメチルアンモニウム水酸化物水溶液が得られた。
【0032】実施例2(方法B) トリメチルアミン590g、N−メチルカルバミン酸メ
チルエステル979g、メタノール100g、水500
gを内容積5000mlの耐圧ステンレス製オートクレ
ーブに充填し、130℃で5時間、撹拌を行いながら加
熱した。得られた反応混合物を70℃で窒素ガスを常圧
下で吹込みながら、未反応物および溶媒であるメタノー
ルを留去した。そこへさらに、水を加え、第四級アンモ
ニウム無機酸塩の20重量%の水溶液を調製した。
チルエステル979g、メタノール100g、水500
gを内容積5000mlの耐圧ステンレス製オートクレ
ーブに充填し、130℃で5時間、撹拌を行いながら加
熱した。得られた反応混合物を70℃で窒素ガスを常圧
下で吹込みながら、未反応物および溶媒であるメタノー
ルを留去した。そこへさらに、水を加え、第四級アンモ
ニウム無機酸塩の20重量%の水溶液を調製した。
【0033】次に、陽極として、白金を被覆したチタン
電極、陰極としてステンレス鋼を電極とした以外は、実
施例−1と同一の電解槽を使用し、陽極室に上記の第四
級アンモニウム無機酸塩の20重量%水溶液を循環し
た。陰極室には、0.3重量%のテトラメチルアンモニ
ウム水酸化物水溶液を循環し、10A/dm2 の直流電
流を印加し、温度30℃にて電解を行った。電解電圧は
6〜7V、平均電流効率は91%で、陰極室に、9.8
重量%のテトラメチルアンモニウム水酸化物水溶液が得
られた。
電極、陰極としてステンレス鋼を電極とした以外は、実
施例−1と同一の電解槽を使用し、陽極室に上記の第四
級アンモニウム無機酸塩の20重量%水溶液を循環し
た。陰極室には、0.3重量%のテトラメチルアンモニ
ウム水酸化物水溶液を循環し、10A/dm2 の直流電
流を印加し、温度30℃にて電解を行った。電解電圧は
6〜7V、平均電流効率は91%で、陰極室に、9.8
重量%のテトラメチルアンモニウム水酸化物水溶液が得
られた。
【0034】
【発明の効果】本発明の方法によれば、不純物の混入し
ない高純度の水酸化第四級アンモニウム水溶液を安価に
製造することができる。
ない高純度の水酸化第四級アンモニウム水溶液を安価に
製造することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菅原 靖 新潟県新潟市太夫浜字新割182番地 三菱 瓦斯化学株式会社新潟研究所内
Claims (2)
- 【請求項1】 トリアルキルアミンとカルバミン酸アル
キルエステルを極性溶媒の存在下に反応させた後、次い
で水を加え加熱して、第四級アンモニウム無機酸塩を合
成し、この第四級アンモニウム無機酸塩を電解して水酸
化第四級アンモニウムを製造することを特徴とする水酸
化第四級アンモニウム水溶液の製造方法。 - 【請求項2】 トリアルキルアミンとカルバミン酸アル
キルエステルを水の存在下で反応させ第四級アンモニウ
ム無機酸塩を合成し、この第四級アンモニウム無機酸塩
を電解して水酸化第四級アンモニウムを製造することを
特徴とする水酸化第四級アンモニウム水溶液の製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14566692A JP3282633B2 (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | 水酸化第四級アンモニウム水溶液の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14566692A JP3282633B2 (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | 水酸化第四級アンモニウム水溶液の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05339767A true JPH05339767A (ja) | 1993-12-21 |
JP3282633B2 JP3282633B2 (ja) | 2002-05-20 |
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ID=15390282
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14566692A Expired - Fee Related JP3282633B2 (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | 水酸化第四級アンモニウム水溶液の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3282633B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2647845C1 (ru) * | 2017-05-04 | 2018-03-21 | Открытое акционерное общество "Казанский завод синтетического каучука" (ОАО "КЗСК") | Способ получения тетраметиламмония гидроксида |
-
1992
- 1992-06-05 JP JP14566692A patent/JP3282633B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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RU2647845C1 (ru) * | 2017-05-04 | 2018-03-21 | Открытое акционерное общество "Казанский завод синтетического каучука" (ОАО "КЗСК") | Способ получения тетраметиламмония гидроксида |
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Publication number | Publication date |
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