JPH05338728A - ウエーハ搬送方法及び装置 - Google Patents
ウエーハ搬送方法及び装置Info
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- JPH05338728A JPH05338728A JP14469692A JP14469692A JPH05338728A JP H05338728 A JPH05338728 A JP H05338728A JP 14469692 A JP14469692 A JP 14469692A JP 14469692 A JP14469692 A JP 14469692A JP H05338728 A JPH05338728 A JP H05338728A
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- magazine
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 作業テーブルに対し複数枚のウエーハを収容
するマガジンからウエーハを搬入し、且つ作業テーブル
上のウエーハをマガジンに搬出するウエーハ搬送に関
し、作業テーブル上のウエーハ交換に伴う作業テーブル
の停滞時間を短縮させることを目的とする。 【構成】 マガジン１と作業テーブル３の間に、１枚宛
のウエーハを収容可能な第１及び第２収容部２１，２２
を有する中継部２０を配置し、前記搬入はウエーハが第
１収容部２１を経由し、前記搬出はウエーハが第２収容
部２２を経由するようにして、第１のウエーハＷ１が作
業テーブル３上にある間に第２のウエーハＷ２をマガジ
ン１から第１収容部２１に搬送しておき〔図１
（ｃ）〕、第１のウエーハＷ１を作業テーブル３から第
２収容部２２に搬送したところで、第２のウエーハＷ２
を第１収容部２１から作業テーブル３に搬送するように
する。ウエーハ搬送はＡまたはＢの高さで行う。
するマガジンからウエーハを搬入し、且つ作業テーブル
上のウエーハをマガジンに搬出するウエーハ搬送に関
し、作業テーブル上のウエーハ交換に伴う作業テーブル
の停滞時間を短縮させることを目的とする。 【構成】 マガジン１と作業テーブル３の間に、１枚宛
のウエーハを収容可能な第１及び第２収容部２１，２２
を有する中継部２０を配置し、前記搬入はウエーハが第
１収容部２１を経由し、前記搬出はウエーハが第２収容
部２２を経由するようにして、第１のウエーハＷ１が作
業テーブル３上にある間に第２のウエーハＷ２をマガジ
ン１から第１収容部２１に搬送しておき〔図１
（ｃ）〕、第１のウエーハＷ１を作業テーブル３から第
２収容部２２に搬送したところで、第２のウエーハＷ２
を第１収容部２１から作業テーブル３に搬送するように
する。ウエーハ搬送はＡまたはＢの高さで行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウエーハ搬送方法及び装
置に係り、特に、ウエーハを載せる作業テーブルに対し
複数枚のウエーハを収容するマガジンからウエーハを搬
入し、且つ該作業テーブル上のウエーハを該マガジンに
搬出するウエーハ搬送に関する。
置に係り、特に、ウエーハを載せる作業テーブルに対し
複数枚のウエーハを収容するマガジンからウエーハを搬
入し、且つ該作業テーブル上のウエーハを該マガジンに
搬出するウエーハ搬送に関する。
【０００２】半導体装置の製造におけるウエーハの取扱
では、一連の処理工程の間の運搬に上記マガジンを使用
して、処理工程の作業テーブルに対し上記のように遣り
取りすることが多い。その際、ウエーハの搬入搬出に伴
う作業テーブルの停滞時間を短くすることが望まれる。
その停滞が処理工程のスループットを低下させるからで
ある。
では、一連の処理工程の間の運搬に上記マガジンを使用
して、処理工程の作業テーブルに対し上記のように遣り
取りすることが多い。その際、ウエーハの搬入搬出に伴
う作業テーブルの停滞時間を短くすることが望まれる。
その停滞が処理工程のスループットを低下させるからで
ある。
【０００３】
【従来の技術】従来、上記ウエーハの搬入搬出は次のよ
うに行っている。即ち、マガジンを作業テーブルに隣接
させることが困難である場合には、マガジンと作業テー
ブルの間に中継部を配置し、ウエーハの搬入は、ウエー
ハをマガジンから中継部に搬送し更に中継部から作業テ
ーブルに搬送して行い、ウエーハの搬出は、ウエーハを
作業テーブルから中継部に搬送し更に中継部からマガジ
ンに搬送して行っている。場合によっては、マガジン−
中継部間の搬送と中継部−作業テーブル間の搬送との間
に中継部の移動を設けることがある。
うに行っている。即ち、マガジンを作業テーブルに隣接
させることが困難である場合には、マガジンと作業テー
ブルの間に中継部を配置し、ウエーハの搬入は、ウエー
ハをマガジンから中継部に搬送し更に中継部から作業テ
ーブルに搬送して行い、ウエーハの搬出は、ウエーハを
作業テーブルから中継部に搬送し更に中継部からマガジ
ンに搬送して行っている。場合によっては、マガジン−
中継部間の搬送と中継部−作業テーブル間の搬送との間
に中継部の移動を設けることがある。
【０００４】そして、処理を済ませた作業テーブル上の
ウエーハを次に処理するウエーハに交換するのは、上記
搬出を行った後に上記搬入を行う作業となっている。
ウエーハを次に処理するウエーハに交換するのは、上記
搬出を行った後に上記搬入を行う作業となっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このため、作業テーブ
ル上のウエーハ交換は、少なくともウエーハを４回搬送
する時間を必要としている。この時間は、作業テーブル
の停滞時間となり、当該処理工程のスループットを低下
させることになる。
ル上のウエーハ交換は、少なくともウエーハを４回搬送
する時間を必要としている。この時間は、作業テーブル
の停滞時間となり、当該処理工程のスループットを低下
させることになる。
【０００６】そこで本発明は、ウエーハを載せる作業テ
ーブルに対し複数枚のウエーハを収容するマガジンから
ウエーハを搬入し、且つ該作業テーブル上のウエーハを
該マガジンに搬出するウエーハ搬送に関し、該作業テー
ブル上のウエーハ交換に伴う該作業テーブルの停滞時間
を短縮させるウエーハ搬送方法及び装置の提供を目的と
する。
ーブルに対し複数枚のウエーハを収容するマガジンから
ウエーハを搬入し、且つ該作業テーブル上のウエーハを
該マガジンに搬出するウエーハ搬送に関し、該作業テー
ブル上のウエーハ交換に伴う該作業テーブルの停滞時間
を短縮させるウエーハ搬送方法及び装置の提供を目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によるウエーハ搬送方法は、ウエーハを載せ
る作業テーブルに対し複数枚のウエーハを収容するマガ
ジンからウエーハを搬入し、且つ該作業テーブル上のウ
エーハを該マガジンに搬出するウエーハ搬送方法であっ
て、該マガジンと該作業テーブルの間に、それぞれが１
枚宛のウエーハを収容可能な第１及び第２収容部を有す
る中継部を配置し、前記搬入はウエーハが該第１収容部
を経由し、前記搬出はウエーハが該第２収容部を経由す
るようにして、第１のウエーハが該作業テーブル上にあ
る間に第２のウエーハを該マガジンから該第１収容部に
搬送しておき、該第１のウエーハを該作業テーブルから
該第２収容部に搬送したところで、該第２のウエーハを
該第１収容部から該作業テーブルに搬送することを特徴
としている。
に、本発明によるウエーハ搬送方法は、ウエーハを載せ
る作業テーブルに対し複数枚のウエーハを収容するマガ
ジンからウエーハを搬入し、且つ該作業テーブル上のウ
エーハを該マガジンに搬出するウエーハ搬送方法であっ
て、該マガジンと該作業テーブルの間に、それぞれが１
枚宛のウエーハを収容可能な第１及び第２収容部を有す
る中継部を配置し、前記搬入はウエーハが該第１収容部
を経由し、前記搬出はウエーハが該第２収容部を経由す
るようにして、第１のウエーハが該作業テーブル上にあ
る間に第２のウエーハを該マガジンから該第１収容部に
搬送しておき、該第１のウエーハを該作業テーブルから
該第２収容部に搬送したところで、該第２のウエーハを
該第１収容部から該作業テーブルに搬送することを特徴
としている。
【０００８】また、ウエーハ搬送装置は、ウエーハ搬送
を第１の高さで行ってウエーハを載せる作業テーブルに
対し、側方からの挿入により複数枚のウエーハを階層配
置に収容するマガジンからウエーハを搬入し、且つ該作
業テーブル上のウエーハを該マガジンに搬出するウエー
ハ搬送装置であって、該マガジンを載置して該マガジン
の任意のウエーハ収容部の高さを第２の高さに合わせる
ことが可能なエレベータ部と、それぞれが側方からの挿
入により１枚宛のウエーハを収容可能な第１及び第２収
容部を階層配置に有して、該第１及び第２収容部それぞ
れの高さを該第１及び第２の高さに合わせることが可能
な中継部と、該第１の高さで該中継部と該作業テーブル
との間のウエーハ搬送を行う第１搬送機構と、該第２の
高さで該エレベータ上のマガジンと該中継部との間のウ
エーハ搬送を行う第２搬送機構と、前記ウエーハ搬送方
法が行われるように該エレベータ部，該中継部，該第１
及び第２搬送機構を制御する制御回路と、を有すること
を特徴としている。そして、前記中継部は、前記第１及
び第２収容部をウエーハの挿入方向に対し横方向に適宜
に移動可能であることが望ましい。
を第１の高さで行ってウエーハを載せる作業テーブルに
対し、側方からの挿入により複数枚のウエーハを階層配
置に収容するマガジンからウエーハを搬入し、且つ該作
業テーブル上のウエーハを該マガジンに搬出するウエー
ハ搬送装置であって、該マガジンを載置して該マガジン
の任意のウエーハ収容部の高さを第２の高さに合わせる
ことが可能なエレベータ部と、それぞれが側方からの挿
入により１枚宛のウエーハを収容可能な第１及び第２収
容部を階層配置に有して、該第１及び第２収容部それぞ
れの高さを該第１及び第２の高さに合わせることが可能
な中継部と、該第１の高さで該中継部と該作業テーブル
との間のウエーハ搬送を行う第１搬送機構と、該第２の
高さで該エレベータ上のマガジンと該中継部との間のウ
エーハ搬送を行う第２搬送機構と、前記ウエーハ搬送方
法が行われるように該エレベータ部，該中継部，該第１
及び第２搬送機構を制御する制御回路と、を有すること
を特徴としている。そして、前記中継部は、前記第１及
び第２収容部をウエーハの挿入方向に対し横方向に適宜
に移動可能であることが望ましい。
【０００９】
【作用】上記ウエーハ搬送方法においては、ウエーハの
マガジンから作業テーブルへの搬入及び作業テーブルか
らマガジンへの搬出のそれぞれに、従来と同様に２回の
ウエーハ搬送を必要としているが、中継部が上記第１及
び第２収容部を有することにより、作業テーブル上のウ
エーハ交換に要する時間は、作業テーブルから中継部へ
の１回と中継部から作業テーブルへの１回による２回の
ウエーハ搬送の時間で足らすことができる。従って作業
テーブルの停滞時間は従来より大幅に短縮される。
マガジンから作業テーブルへの搬入及び作業テーブルか
らマガジンへの搬出のそれぞれに、従来と同様に２回の
ウエーハ搬送を必要としているが、中継部が上記第１及
び第２収容部を有することにより、作業テーブル上のウ
エーハ交換に要する時間は、作業テーブルから中継部へ
の１回と中継部から作業テーブルへの１回による２回の
ウエーハ搬送の時間で足らすことができる。従って作業
テーブルの停滞時間は従来より大幅に短縮される。
【００１０】また、上記ウエーハ搬送装置においては、
中継部の第１及び第２収容部それぞれの高さを上記第１
及び第２の高さに合わせることが可能なので、作業テー
ブル上のウエーハを上記のように交換することができ、
然も作業テーブル上のウエーハに処理を施している最中
にマガジンと中継部との間で搬出及び搬入ウエーハの搬
送ができる。これにより、上記ウエーハ搬送方法を実施
することが可能であり、作業テーブルの停滞時間を上記
のように短縮することができる。
中継部の第１及び第２収容部それぞれの高さを上記第１
及び第２の高さに合わせることが可能なので、作業テー
ブル上のウエーハを上記のように交換することができ、
然も作業テーブル上のウエーハに処理を施している最中
にマガジンと中継部との間で搬出及び搬入ウエーハの搬
送ができる。これにより、上記ウエーハ搬送方法を実施
することが可能であり、作業テーブルの停滞時間を上記
のように短縮することができる。
【００１１】ところで、上記マガジンは収容したウエー
ハの処理が終わる度に交換するものである。載置したマ
ガジンの位置が中継部へのウエーハ挿入に対し横方向に
ずれた際には、マガジン−中継部間の搬送途上でウエー
ハが引っ掛かる恐れがある。これは従来の場合も同様で
ある。この点は、中継部の第１及び第２収容部を上記の
ように横方向に移動可能にすることにより解決される。
ハの処理が終わる度に交換するものである。載置したマ
ガジンの位置が中継部へのウエーハ挿入に対し横方向に
ずれた際には、マガジン−中継部間の搬送途上でウエー
ハが引っ掛かる恐れがある。これは従来の場合も同様で
ある。この点は、中継部の第１及び第２収容部を上記の
ように横方向に移動可能にすることにより解決される。
【００１２】
【実施例】以下本発明の実施例について図１〜図７を用
いて説明する。図１は実施例のウエーハ搬送の順序を示
す模式図、図２は実施例の装置全体を示す三面図、図３
は実施例のエレベータ部の斜視図、図４は実施例の中継
部の斜視図、図５は実施例の作業テーブル部の平面図と
側面図、図６は実施例の第１搬送機構の斜視図、図７は
実施例のウエーハ搬送制御のブロック図、である。
いて説明する。図１は実施例のウエーハ搬送の順序を示
す模式図、図２は実施例の装置全体を示す三面図、図３
は実施例のエレベータ部の斜視図、図４は実施例の中継
部の斜視図、図５は実施例の作業テーブル部の平面図と
側面図、図６は実施例の第１搬送機構の斜視図、図７は
実施例のウエーハ搬送制御のブロック図、である。
【００１３】図１において、１はマガジン、２０は中継
部、３は作業テーブル、である。作業テーブル３は、ウ
エーハＷを載せたり取り出したりする際のウエーハ搬送
を第１の高さＡで行うようになっている。マガジンは１
は、側方からの挿入により複数枚のウエーハＷを階層配
置に収容するものであり、後述のエレベータ部１０に載
置して各ウエーハ収容部１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・が第
２の高さＢとなるように高さを変えることができる。中
継部２０は、それぞれが側方からの挿入により１枚宛の
ウエーハＷを収容可能な第１収容部２１及び第２収容部
２２を階層配置に有して、両収容部２１，２２それそれ
の高さを第１の高さＡ及び第２の高さＢに合わせること
ができるものである。
部、３は作業テーブル、である。作業テーブル３は、ウ
エーハＷを載せたり取り出したりする際のウエーハ搬送
を第１の高さＡで行うようになっている。マガジンは１
は、側方からの挿入により複数枚のウエーハＷを階層配
置に収容するものであり、後述のエレベータ部１０に載
置して各ウエーハ収容部１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・が第
２の高さＢとなるように高さを変えることができる。中
継部２０は、それぞれが側方からの挿入により１枚宛の
ウエーハＷを収容可能な第１収容部２１及び第２収容部
２２を階層配置に有して、両収容部２１，２２それそれ
の高さを第１の高さＡ及び第２の高さＢに合わせること
ができるものである。
【００１４】マガジン１のウエーハ収容部１ａ，１ｂ，
１ｃ，・・・に収容されているウエーハＷをそれぞれＷ
１，Ｗ２，Ｗ３，・・・として、ウエーハ搬送の順序は
次の通りである。
１ｃ，・・・に収容されているウエーハＷをそれぞれＷ
１，Ｗ２，Ｗ３，・・・として、ウエーハ搬送の順序は
次の通りである。
【００１５】先ず図１（ａ）のように、マガジン１のウ
エーハ収容部１ａと中継部２０の第１収容部２１の高さ
を第２の高さＢに合わせて、ウエーハ収容部１ａにある
ウエーハＷ１を第１収容部２１に搬送する。次いで図１
（ｂ）のように、第１収容部２１の高さを第１の高さＡ
に合わせて、ウエーハＷ１を第１収容部２１から作業テ
ーブル３に搬送してウエーハＷ１の搬入を終える。そし
てウエーハＷ１は処理が施される。
エーハ収容部１ａと中継部２０の第１収容部２１の高さ
を第２の高さＢに合わせて、ウエーハ収容部１ａにある
ウエーハＷ１を第１収容部２１に搬送する。次いで図１
（ｂ）のように、第１収容部２１の高さを第１の高さＡ
に合わせて、ウエーハＷ１を第１収容部２１から作業テ
ーブル３に搬送してウエーハＷ１の搬入を終える。そし
てウエーハＷ１は処理が施される。
【００１６】次いでウエーハＷ１の処理が行われている
最中に、図１（ｃ）のように、マガジン１のウエーハ収
容部１ｂと先の第１収容部２１の高さを第２の高さＢに
合わせて、ウエーハ収容部１ｂにあるウエーハＷ２を第
１収容部２１に搬送する。次いで図１（ｄ）のように、
中継部２０の第２収容部２２の高さを第１の高さＡに合
わせておき、ウエーハＷ１の処理が終わった後にウエー
ハＷ１を作業テーブル３から第２収容部２２に搬送す
る。次いで図１（ｅ）のように、第１収容部２１の高さ
を第１の高さＡに合わせて、ウエーハＷ２を第１収容部
２１から作業テーブル３に搬送してウエーハＷ２の搬入
を終える。そしてウエーハＷ２は処理が施される。
最中に、図１（ｃ）のように、マガジン１のウエーハ収
容部１ｂと先の第１収容部２１の高さを第２の高さＢに
合わせて、ウエーハ収容部１ｂにあるウエーハＷ２を第
１収容部２１に搬送する。次いで図１（ｄ）のように、
中継部２０の第２収容部２２の高さを第１の高さＡに合
わせておき、ウエーハＷ１の処理が終わった後にウエー
ハＷ１を作業テーブル３から第２収容部２２に搬送す
る。次いで図１（ｅ）のように、第１収容部２１の高さ
を第１の高さＡに合わせて、ウエーハＷ２を第１収容部
２１から作業テーブル３に搬送してウエーハＷ２の搬入
を終える。そしてウエーハＷ２は処理が施される。
【００１７】次いでウエーハＷ２の処理が行われている
最中に、図１（ｆ）のように、マガジン１の空いている
ウエーハ収容部の中の何れか一つここではウエーハ収容
部１ｂと、ウエーハＷ１を収容している第２収容部２２
の高さを第２の高さＢに合わせて、ウエーハＷ１をウエ
ーハ収容部１ｂに搬送してウエーハＷ１の搬出を終え
る。その後は、図１（ｃ）に準じてマガジン１から中継
部２０にウエーハＷ３を搬送するといった具合に、図１
（ｃ）以降の順序を繰り返す。
最中に、図１（ｆ）のように、マガジン１の空いている
ウエーハ収容部の中の何れか一つここではウエーハ収容
部１ｂと、ウエーハＷ１を収容している第２収容部２２
の高さを第２の高さＢに合わせて、ウエーハＷ１をウエ
ーハ収容部１ｂに搬送してウエーハＷ１の搬出を終え
る。その後は、図１（ｃ）に準じてマガジン１から中継
部２０にウエーハＷ３を搬送するといった具合に、図１
（ｃ）以降の順序を繰り返す。
【００１８】このようにすることにより、作業テーブル
３上のウエーハ交換に対してマガジン１と中継部２０と
の間のウエーハ搬送が外段取化されて、そのウエーハ交
換が短時間でできるようになり、先行ウエーハの処理が
終わってから後続ウエーハの処理を開始するまでの作業
テーブル３の停滞時間が従来より短縮される。
３上のウエーハ交換に対してマガジン１と中継部２０と
の間のウエーハ搬送が外段取化されて、そのウエーハ交
換が短時間でできるようになり、先行ウエーハの処理が
終わってから後続ウエーハの処理を開始するまでの作業
テーブル３の停滞時間が従来より短縮される。
【００１９】図２は上述のウエーハ搬送を行う装置の全
体を示し、ダイシングを終えたウエーハＷをチップのピ
ックアップ用の作業テーブル３に搬入する場合のものを
例にとってある。図２において、１０は前記したエレベ
ータ部、２０は前記した中継部、３０は前記した作業テ
ーブル３を含む作業テーブル部、４０は前記した第１の
高さＡで中継部２０と作業テーブル３との間のウエーハ
搬送を行う第１搬送機構、５０は前記した第２の高さＢ
でエレベータ部１０上のマガジン１と中継部２０との間
のウエーハ搬送を行う第２搬送機構である。
体を示し、ダイシングを終えたウエーハＷをチップのピ
ックアップ用の作業テーブル３に搬入する場合のものを
例にとってある。図２において、１０は前記したエレベ
ータ部、２０は前記した中継部、３０は前記した作業テ
ーブル３を含む作業テーブル部、４０は前記した第１の
高さＡで中継部２０と作業テーブル３との間のウエーハ
搬送を行う第１搬送機構、５０は前記した第２の高さＢ
でエレベータ部１０上のマガジン１と中継部２０との間
のウエーハ搬送を行う第２搬送機構である。
【００２０】図３はエレベータ部１０を示し、マガジン
１を載せた状態である。図３において、マガジン１は、
対向する２側板に高さを等しく変えて前後に切り込んだ
溝の対向する対がそれぞれにウエーハ収容部１ａ，１
ｂ，１ｃ，・・・を構成しており、エレベータ部１０の
マガジン台１１上に載置する。矢印ＣはウエーハＷの引
出方向を示す。エレベータ部１０は、モータ１２が駆動
するボールネジ１３の回転によりマガジン台１１が上下
移動（矢印Ｄの方向）して、各ウエーハ収容部１ａ，１
ｂ，１ｃ，・・・の高さを前記した第２の高さＢに合わ
せることができる。なお同図でウエーハ収容部１ａ，１
ｂ，１ｃに収容してあるウエーハＷは、マガジン１の構
造が見えるように、ウエーハダイシングの際に用いるウ
エーハリングのみで示してある。この点は以後の図にお
いても同様である。ウエーハの処理工程がチップのピッ
クアップではなくそれ以前の工程である場合には、ウエ
ーハＷがウエーハ単体となることはいうまでもない。
１を載せた状態である。図３において、マガジン１は、
対向する２側板に高さを等しく変えて前後に切り込んだ
溝の対向する対がそれぞれにウエーハ収容部１ａ，１
ｂ，１ｃ，・・・を構成しており、エレベータ部１０の
マガジン台１１上に載置する。矢印ＣはウエーハＷの引
出方向を示す。エレベータ部１０は、モータ１２が駆動
するボールネジ１３の回転によりマガジン台１１が上下
移動（矢印Ｄの方向）して、各ウエーハ収容部１ａ，１
ｂ，１ｃ，・・・の高さを前記した第２の高さＢに合わ
せることができる。なお同図でウエーハ収容部１ａ，１
ｂ，１ｃに収容してあるウエーハＷは、マガジン１の構
造が見えるように、ウエーハダイシングの際に用いるウ
エーハリングのみで示してある。この点は以後の図にお
いても同様である。ウエーハの処理工程がチップのピッ
クアップではなくそれ以前の工程である場合には、ウエ
ーハＷがウエーハ単体となることはいうまでもない。
【００２１】図４は中継部２０を示す。図４において、
第１収容部２１及び第２収容部２２は、前述のウエーハ
収容部１ａ，１ｂと同様な構成であり、モータ２３が駆
動するボールネジ２４の回転により上下移動して、両収
容部２１及び２２それぞれの高さを前記した第１の高さ
Ａ及び第２の高さＢに合わせることができる。矢印Ｅは
ウエーハ搬送によるウエーハＷの移動方向を示す。ま
た、第１収容部２１及び第２収容部２２は、図示省略の
機構により矢印Ｆの方向即ち矢印Ｅの方向に対し横方向
に若干の移動が可能である。これは、マガジン１と中継
部２０の間のウエーハ搬送の際に、先に述べたウエーハ
Ｗの引っ掛かりが生じないように、マガジン１に対する
横方向の整合をとるためである。
第１収容部２１及び第２収容部２２は、前述のウエーハ
収容部１ａ，１ｂと同様な構成であり、モータ２３が駆
動するボールネジ２４の回転により上下移動して、両収
容部２１及び２２それぞれの高さを前記した第１の高さ
Ａ及び第２の高さＢに合わせることができる。矢印Ｅは
ウエーハ搬送によるウエーハＷの移動方向を示す。ま
た、第１収容部２１及び第２収容部２２は、図示省略の
機構により矢印Ｆの方向即ち矢印Ｅの方向に対し横方向
に若干の移動が可能である。これは、マガジン１と中継
部２０の間のウエーハ搬送の際に、先に述べたウエーハ
Ｗの引っ掛かりが生じないように、マガジン１に対する
横方向の整合をとるためである。
【００２２】図５は作業テーブル部３０を示す。図５に
おいて、作業テーブル３は、チップのピックアップのた
めＸ軸テーブル３１及びＹ軸テーブル３２によりＸ方向
（矢印Ｇの方向）及びＹ方向（矢印Ｈの方向）に移動す
るが、中継部２０との間のウエーハ搬送は図の位置にお
いて前記した第１の高さＡで行われ、そのウエーハ搬送
の方向は矢印Ｉの方向である。
おいて、作業テーブル３は、チップのピックアップのた
めＸ軸テーブル３１及びＹ軸テーブル３２によりＸ方向
（矢印Ｇの方向）及びＹ方向（矢印Ｈの方向）に移動す
るが、中継部２０との間のウエーハ搬送は図の位置にお
いて前記した第１の高さＡで行われ、そのウエーハ搬送
の方向は矢印Ｉの方向である。
【００２３】図６は第１搬送機構４０を示す。図６にお
いて、ウエーハ搬送の方向は矢印Ｊの方向であり、ウエ
ーハ搬送は、前記した第１の高さＡでクランプ爪４１が
ウエーハＷの一端をクランプして矢印Ｊの方向に移動す
ることによって行い、中継部２０と作業テーブル３との
間を搬送する。クランプ爪４１の移動はモータ４２によ
って駆動する。マガジン１と中継部２０との間のウエー
ハ搬送を行う第２搬送機構５０は、第１搬送機構４０を
勝手違いにしたものであり、クランプ爪４１に相当する
クランプ爪の高さを前記した第２の高さＢに合わせてあ
る。
いて、ウエーハ搬送の方向は矢印Ｊの方向であり、ウエ
ーハ搬送は、前記した第１の高さＡでクランプ爪４１が
ウエーハＷの一端をクランプして矢印Ｊの方向に移動す
ることによって行い、中継部２０と作業テーブル３との
間を搬送する。クランプ爪４１の移動はモータ４２によ
って駆動する。マガジン１と中継部２０との間のウエー
ハ搬送を行う第２搬送機構５０は、第１搬送機構４０を
勝手違いにしたものであり、クランプ爪４１に相当する
クランプ爪の高さを前記した第２の高さＢに合わせてあ
る。
【００２４】図７はウエーハ搬送の制御を示す。制御回
路６０が、図１で説明したウエーハ搬送が行われるよう
に、エレベータ部１０，中継部２０，第１搬送機構４
０，第２搬送機構５０を制御する。チップをピックアッ
プするための作業テーブル３の移動は、トリガー信号を
制御回路６０から貰う別の制御回路で制御するのが一般
的であるが、その制御を制御回路６０に組み込んでも良
い。
路６０が、図１で説明したウエーハ搬送が行われるよう
に、エレベータ部１０，中継部２０，第１搬送機構４
０，第２搬送機構５０を制御する。チップをピックアッ
プするための作業テーブル３の移動は、トリガー信号を
制御回路６０から貰う別の制御回路で制御するのが一般
的であるが、その制御を制御回路６０に組み込んでも良
い。
【００２５】なお上述した実施例でマガジン１を作業テ
ーブル３からもっと離したい場合には、その両者の間を
中継部２０が直線的に移動するようにすれば良い。中継
部２０のウエーハＷが出入りする側を一方に揃えて中継
部２０をターンテーブルの周縁部に配置するのも一策で
ある。この中継部２０の移動は、作業テーブル３上のウ
エーハ交換に対して外段取となるので、作業テーブル３
の停滞時間を長引かせない。
ーブル３からもっと離したい場合には、その両者の間を
中継部２０が直線的に移動するようにすれば良い。中継
部２０のウエーハＷが出入りする側を一方に揃えて中継
部２０をターンテーブルの周縁部に配置するのも一策で
ある。この中継部２０の移動は、作業テーブル３上のウ
エーハ交換に対して外段取となるので、作業テーブル３
の停滞時間を長引かせない。
【００２６】また、搬入前のウエーハを収容するマガジ
ンと搬出するウエーハを収容するマガジンを別にするこ
とも可能である。マガジン台１１上にその二つのマガジ
ンを横並びに載置し、両マガジンのそれぞれが中継部２
０と対向するようにマガジン台１１を横方向に移動すれ
ば良い。
ンと搬出するウエーハを収容するマガジンを別にするこ
とも可能である。マガジン台１１上にその二つのマガジ
ンを横並びに載置し、両マガジンのそれぞれが中継部２
０と対向するようにマガジン台１１を横方向に移動すれ
ば良い。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ウ
エーハを載せる作業テーブルに対し複数枚のウエーハを
収容するマガジンからウエーハを搬入し、且つ該作業テ
ーブル上のウエーハを該マガジンに搬出するウエーハ搬
送に関し、該作業テーブル上のウエーハ交換に伴う該作
業テーブルの停滞時間を短縮させるウエーハ搬送方法及
び装置が提供されて、ウエーハの搬入先となる処理工程
のスループット向上を可能にさせる効果がある。
エーハを載せる作業テーブルに対し複数枚のウエーハを
収容するマガジンからウエーハを搬入し、且つ該作業テ
ーブル上のウエーハを該マガジンに搬出するウエーハ搬
送に関し、該作業テーブル上のウエーハ交換に伴う該作
業テーブルの停滞時間を短縮させるウエーハ搬送方法及
び装置が提供されて、ウエーハの搬入先となる処理工程
のスループット向上を可能にさせる効果がある。
【図１】 実施例のウエーハ搬送の順序を示す模式図
【図２】 実施例の装置全体を示す三面図
【図３】 実施例のエレベータ部の斜視図
【図４】 実施例の中継部の斜視図
【図５】 実施例の作業テーブル部の平面図と側面図
【図６】 実施例の第１搬送機構の斜視図
【図７】 実施例のウエーハ搬送制御のブロック図
１ マガジン １ａ〜１ｃ ウエーハ収容部 １０ エレベータ部 １１ マガジン台 １２ モータ １３ ボールネジ ２０ 中継部 ２１ 第１収容部 ２２ 第２収容部 ２３ モータ ２４ ボールネジ ３ 作業テーブル ３０ 作業テーブル部 ３１ Ｘ軸テーブル ３２ Ｙ軸テーブル ４０ 第１搬送機構 ４１ クランプ爪 ４２ モータ ５０ 第２搬送機構 ６０ 制御回路 Ｗ，Ｗ１〜Ｗ３ ウエーハ Ａ 第１の高さ Ｂ 第２の高さ Ｃ マガジンのウエーハ引出し方向を示す矢印 Ｄ マガジン台の上下移動方向を示す矢印 Ｅ 中継部のウエーハ移動方向を示す矢印 Ｆ 第１及び第２収容部の横移動方向を示す矢印 Ｇ 作業テーブル部のＸ方向を示す矢印 Ｈ 作業テーブル部のＹ方向を示す矢印 Ｉ 作業テーブル部のウエーハ搬送方向を示す矢印 Ｊ 第１搬送機構のウエーハ搬送方向を示す矢印
Claims (3)
- 【請求項１】 ウエーハを載せる作業テーブルに対し複
数枚のウエーハを収容するマガジンからウエーハを搬入
し、且つ該作業テーブル上のウエーハを該マガジンに搬
出するウエーハ搬送方法であって、 該マガジンと該作業テーブルの間に、それぞれが１枚宛
のウエーハを収容可能な第１及び第２収容部を有する中
継部を配置し、 前記搬入はウエーハが該第１収容部を経由し、前記搬出
はウエーハが該第２収容部を経由するようにして、 第１のウエーハが該作業テーブル上にある間に第２のウ
エーハを該マガジンから該第１収容部に搬送しておき、
該第１のウエーハを該作業テーブルから該第２収容部に
搬送したところで、該第２のウエーハを該第１収容部か
ら該作業テーブルに搬送することを特徴とするウエーハ
搬送方法。 - 【請求項２】 ウエーハ搬送を第１の高さで行ってウエ
ーハを載せる作業テーブルに対し、側方からの挿入によ
り複数枚のウエーハを階層配置に収容するマガジンから
ウエーハを搬入し、且つ該作業テーブル上のウエーハを
該マガジンに搬出するウエーハ搬送装置であって、 該マガジンを載置して該マガジンの任意のウエーハ収容
部の高さを第２の高さに合わせることが可能なエレベー
タ部と、 それぞれが側方からの挿入により１枚宛のウエーハを収
容可能な第１及び第２収容部を階層配置に有して、該第
１及び第２収容部それぞれの高さを該第１及び第２の高
さに合わせることが可能な中継部と、 該第１の高さで該中継部と該作業テーブルとの間のウエ
ーハ搬送を行う第１搬送機構と、 該第２の高さで該エレベータ上のマガジンと該中継部と
の間のウエーハ搬送を行う第２搬送機構と、 請求項１記載のウエーハ搬送方法が行われるように該エ
レベータ部，該中継部，該第１及び第２搬送機構を制御
する制御回路と、を有することを特徴とするウエーハ搬
送装置。 - 【請求項３】 前記中継部は、前記第１及び第２収容部
をウエーハの挿入方向に対し横方向に適宜に移動可能で
あることを特徴とする請求項２記載のウエーハ搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14469692A JPH05338728A (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | ウエーハ搬送方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14469692A JPH05338728A (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | ウエーハ搬送方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05338728A true JPH05338728A (ja) | 1993-12-21 |
Family
ID=15368148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14469692A Withdrawn JPH05338728A (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | ウエーハ搬送方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05338728A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6071059A (en) * | 1995-03-28 | 2000-06-06 | Brooks Automation Gmbh | Loading and unloading station for semiconductor processing installations |
| KR100271586B1 (ko) * | 1995-03-28 | 2000-11-15 | 엘렌 베. 리치스톤 | 반도체 가공 장비용 투입 방출장치 |
| US6364593B1 (en) | 2000-06-06 | 2002-04-02 | Brooks Automation | Material transport system |
| US6869263B2 (en) | 2002-07-22 | 2005-03-22 | Brooks Automation, Inc. | Substrate loading and unloading station with buffer |
| US7677859B2 (en) | 2002-07-22 | 2010-03-16 | Brooks Automation, Inc. | Substrate loading and uploading station with buffer |
| JP2013258300A (ja) * | 2012-06-13 | 2013-12-26 | Canon Machinery Inc | チップ実装装置 |
| JP2013258299A (ja) * | 2012-06-13 | 2013-12-26 | Canon Machinery Inc | ウエハリング交換装置およびチップ実装装置 |
| JP5679498B1 (ja) * | 2014-05-01 | 2015-03-04 | 上野精機株式会社 | ウェハ搬送装置及びウェハ供給排出装置 |
| JP2016207987A (ja) * | 2015-04-28 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2016207988A (ja) * | 2015-04-28 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
-
1992
- 1992-06-05 JP JP14469692A patent/JPH05338728A/ja not_active Withdrawn
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6071059A (en) * | 1995-03-28 | 2000-06-06 | Brooks Automation Gmbh | Loading and unloading station for semiconductor processing installations |
| KR100271586B1 (ko) * | 1995-03-28 | 2000-11-15 | 엘렌 베. 리치스톤 | 반도체 가공 장비용 투입 방출장치 |
| US6375403B1 (en) | 1995-03-28 | 2002-04-23 | Brooks Automation, Gmbh | Loading and unloading station for semiconductor processing installations |
| US6461094B1 (en) | 1995-03-28 | 2002-10-08 | Jenoptik Ag | Loading and unloading station for semiconductor processing installations |
| US6837663B2 (en) | 1995-03-28 | 2005-01-04 | Brooks Automation, Inc. | Loading and unloading station for semiconductor processing installations |
| US6364593B1 (en) | 2000-06-06 | 2002-04-02 | Brooks Automation | Material transport system |
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| US7677859B2 (en) | 2002-07-22 | 2010-03-16 | Brooks Automation, Inc. | Substrate loading and uploading station with buffer |
| US8454293B2 (en) | 2002-07-22 | 2013-06-04 | Brooks Automation, Inc. | Substrate loading and unloading station with buffer |
| US9670010B2 (en) | 2002-07-22 | 2017-06-06 | Brooks Automation, Inc. | Substrate loading and unloading station with buffer |
| JP2013258300A (ja) * | 2012-06-13 | 2013-12-26 | Canon Machinery Inc | チップ実装装置 |
| JP2013258299A (ja) * | 2012-06-13 | 2013-12-26 | Canon Machinery Inc | ウエハリング交換装置およびチップ実装装置 |
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| JP2016207987A (ja) * | 2015-04-28 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2016207988A (ja) * | 2015-04-28 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |