JPH05293961A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPH05293961A JPH05293961A JP10305992A JP10305992A JPH05293961A JP H05293961 A JPH05293961 A JP H05293961A JP 10305992 A JP10305992 A JP 10305992A JP 10305992 A JP10305992 A JP 10305992A JP H05293961 A JPH05293961 A JP H05293961A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- positioning
- vibrators
- positioning member
- pressure chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 振動子組み込み時の変位方向位置精度を向上
させてインク滴の安定吐出を実現すること、併せてノズ
ル配置を高密度化すること、複数の振動子を同時組立し
て合理化することを目的とする。 【構成】 振動子の変位方向に圧力室壁を変位させてイ
ンク滴を吐出するインクジェットヘッドであって、振動
子１と一体化された位置決め部材２を備え、該位置決め
部材の少なくとも一部に振動子に対して位置を出した位
置決め部２ａを設け、その位置決め部を基準にして振動
子を圧力室壁５ａに配置する。位置決め部を短冊状に並
んだ複数の振動子の両側に位置させ、その位置決め部を
基準に複数の振動子を同時に設置する。
させてインク滴の安定吐出を実現すること、併せてノズ
ル配置を高密度化すること、複数の振動子を同時組立し
て合理化することを目的とする。 【構成】 振動子の変位方向に圧力室壁を変位させてイ
ンク滴を吐出するインクジェットヘッドであって、振動
子１と一体化された位置決め部材２を備え、該位置決め
部材の少なくとも一部に振動子に対して位置を出した位
置決め部２ａを設け、その位置決め部を基準にして振動
子を圧力室壁５ａに配置する。位置決め部を短冊状に並
んだ複数の振動子の両側に位置させ、その位置決め部を
基準に複数の振動子を同時に設置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインク滴の吐出によって
記録を行うインクジェット記録装置に適したインクジェ
ットヘッドの構成に関する。
記録を行うインクジェット記録装置に適したインクジェ
ットヘッドの構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】振動子の変位方向に圧力室壁を変位させ
て、圧力室内のインクを加圧し、圧力室に連通するノズ
ルよりインク滴を吐出するインクジェットヘッドは特開
昭５８ー１１９８７０に開示されており、その構造を図
７に示す。
て、圧力室内のインクを加圧し、圧力室に連通するノズ
ルよりインク滴を吐出するインクジェットヘッドは特開
昭５８ー１１９８７０に開示されており、その構造を図
７に示す。
【０００３】しかし、振動子２０に付いた脚部２１先端
位置を高精度に決めねばならないにもかかわらず、この
種の構造では組立時、振動子に付いた脚部先端の変位方
向の位置が定まらない。そのため脚部先端が各振動子毎
でばらつくので、特性ばらつきをきす。悪いものは脚部
がダイアフラム２５に達せず、振動子の変位がダイアフ
ラムに伝わらない場合が生じる。或いは脚部がたわみ易
いダイアフラムを大きく押し込んでしまい、ダイアフラ
ムの反力による振動子の折れや曲がりが発生したり、薄
いダイアフラムに亀裂、破損を引き起こしてしまう。
位置を高精度に決めねばならないにもかかわらず、この
種の構造では組立時、振動子に付いた脚部先端の変位方
向の位置が定まらない。そのため脚部先端が各振動子毎
でばらつくので、特性ばらつきをきす。悪いものは脚部
がダイアフラム２５に達せず、振動子の変位がダイアフ
ラムに伝わらない場合が生じる。或いは脚部がたわみ易
いダイアフラムを大きく押し込んでしまい、ダイアフラ
ムの反力による振動子の折れや曲がりが発生したり、薄
いダイアフラムに亀裂、破損を引き起こしてしまう。
【０００４】また各振動子毎に包囲して支持するこの種
の構造では振動子間隔が広く、従って、密に圧力室とノ
ズルを配置できない。
の構造では振動子間隔が広く、従って、密に圧力室とノ
ズルを配置できない。
【０００５】また複数の振動子各々を一本ずつ配置する
ため組立工数が大変である。
ため組立工数が大変である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した従来
の問題点を解決して、振動子の位置決め精度が高く、且
つ高密度に配置でき、また組立の簡単化を実現したイン
クジェットヘッドを提供するもである。
の問題点を解決して、振動子の位置決め精度が高く、且
つ高密度に配置でき、また組立の簡単化を実現したイン
クジェットヘッドを提供するもである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そこで本発明では、圧力
室壁を変位させる振動子と該振動子と一体化された位置
決め部材を備え、該位置決め部材の少なくとも一部に、
振動子に対して振動変位方向の位置を出した位置決め部
を備えた。
室壁を変位させる振動子と該振動子と一体化された位置
決め部材を備え、該位置決め部材の少なくとも一部に、
振動子に対して振動変位方向の位置を出した位置決め部
を備えた。
【０００８】また位置決め部を等間隔に配置された振動
子の少なくとも両側に位置させた。また位置決め部材で
振動子の片側を固定し、他側から変位を取り出すよう構
成した。
子の少なくとも両側に位置させた。また位置決め部材で
振動子の片側を固定し、他側から変位を取り出すよう構
成した。
【０００９】
【実施例】以下に本発明の実施例に沿って詳細に説明す
る。図１は本発明によるインクジェットヘッドの一実施
例の分解斜視図であり、図２はある流路に着目した断面
図である。振動子１は、一列当り複数本、例えば２４本
が短冊状に、ピッチ１／１８０インチで形成されてお
り、しかもそれが２列ある。振動子１の片側はＵ字形の
切り欠き２ｂを有する位置決め部材２に固着されてお
り、他側の支持されない部分が、リード３を通じて電力
を供給するとき振動子１の長手方向に、すなわち図に於
ける矢印ｚ方向に変位する。位置決め部材２はハウジン
グ１０に強固に固定されて振動子の片側を固定する固定
部材として機能する。
る。図１は本発明によるインクジェットヘッドの一実施
例の分解斜視図であり、図２はある流路に着目した断面
図である。振動子１は、一列当り複数本、例えば２４本
が短冊状に、ピッチ１／１８０インチで形成されてお
り、しかもそれが２列ある。振動子１の片側はＵ字形の
切り欠き２ｂを有する位置決め部材２に固着されてお
り、他側の支持されない部分が、リード３を通じて電力
を供給するとき振動子１の長手方向に、すなわち図に於
ける矢印ｚ方向に変位する。位置決め部材２はハウジン
グ１０に強固に固定されて振動子の片側を固定する固定
部材として機能する。
【００１０】ノズルプレート４はインク滴吐出ノズル６
を２列にわたって備える。流路プレート７は長方形状の
圧力室７ａと各圧力室に共通のインク室７ｂを備える。
ノズルプレート４と流路プレート７を積層すれば各ノズ
ル６は対応する各圧力室７ａにそれぞれ連通する。流路
プレート７に圧力室壁でもある蓋板５を積層すると閉じ
た流路ができる。開発例によれば圧力室７ａは幅０．１
ｍｍ、長さ２ｍｍ、深さ０．１ｍｍである。インクは図
示されないインクカートリッジからパイプ８を通ってイ
ンク室７ｂに供給される。
を２列にわたって備える。流路プレート７は長方形状の
圧力室７ａと各圧力室に共通のインク室７ｂを備える。
ノズルプレート４と流路プレート７を積層すれば各ノズ
ル６は対応する各圧力室７ａにそれぞれ連通する。流路
プレート７に圧力室壁でもある蓋板５を積層すると閉じ
た流路ができる。開発例によれば圧力室７ａは幅０．１
ｍｍ、長さ２ｍｍ、深さ０．１ｍｍである。インクは図
示されないインクカートリッジからパイプ８を通ってイ
ンク室７ｂに供給される。
【００１１】蓋板５は、図２に示すように圧力室７ａを
カバーして振動子先端１ａと結合する剛性を高めた長方
形状の厚肉部５ａと振動子１の変位を受けてたわみを起
こす薄肉部５ｂおよび周辺の厚肉部５ｃから成る。蓋板
５は例えばニッケル電鋳で作られ、薄肉部５ｂは０．５
μｍ〜３μｍ、厚肉部５ａ、５ｂは１０〜１００μｍの
範囲から選ばれる。蓋板５は薄肉部と厚肉部に分けて作
ることも可能で、例えば薄い金属フィルムにメッキや樹
脂層で厚肉部を形成することもできる。
カバーして振動子先端１ａと結合する剛性を高めた長方
形状の厚肉部５ａと振動子１の変位を受けてたわみを起
こす薄肉部５ｂおよび周辺の厚肉部５ｃから成る。蓋板
５は例えばニッケル電鋳で作られ、薄肉部５ｂは０．５
μｍ〜３μｍ、厚肉部５ａ、５ｂは１０〜１００μｍの
範囲から選ばれる。蓋板５は薄肉部と厚肉部に分けて作
ることも可能で、例えば薄い金属フィルムにメッキや樹
脂層で厚肉部を形成することもできる。
【００１２】振動子１を位置決め部材２と一体化した
後、振動子先端１ａ及び後述の位置決め部２ａに接着剤
を塗布し、次に位置決め部材２を予め蓋板５上に接合さ
れたハウジング１０のスロット１０ａに沿って図の下方
向から組み込む。１３は回路基板である。
後、振動子先端１ａ及び後述の位置決め部２ａに接着剤
を塗布し、次に位置決め部材２を予め蓋板５上に接合さ
れたハウジング１０のスロット１０ａに沿って図の下方
向から組み込む。１３は回路基板である。
【００１３】図３は他方向から見た断面図で、蓋板５上
に配置された振動子１の様子を示す。
に配置された振動子１の様子を示す。
【００１４】振動子１を固着した位置決め部材２には２
カ所の位置決め部２ａを設けてあり、その位置決め部２
ａと振動子先端１ａは同一平面上にある。他方蓋板５の
厚肉部５ａ、５ｃも同一平面上にある。振動子を組み込
むには、先述したように振動子先端１ａと位置決め部２
ａに接着剤を塗布した後位置決め部２ａを蓋板の厚肉部
５ｃに図の下方から度当てて振動子長手方向に対する位
置を決め、その状態で塗布した接着剤を硬化させる。と
共に位置決め部材２をハウジング１０に接着剤を流し込
んで或は機械的に固定する。尚、位置決め部材から度当
ての荷重を受けても変形が起こらずに位置が決まるよう
度当たる流路部分には流路等の空洞部を作らない。
カ所の位置決め部２ａを設けてあり、その位置決め部２
ａと振動子先端１ａは同一平面上にある。他方蓋板５の
厚肉部５ａ、５ｃも同一平面上にある。振動子を組み込
むには、先述したように振動子先端１ａと位置決め部２
ａに接着剤を塗布した後位置決め部２ａを蓋板の厚肉部
５ｃに図の下方から度当てて振動子長手方向に対する位
置を決め、その状態で塗布した接着剤を硬化させる。と
共に位置決め部材２をハウジング１０に接着剤を流し込
んで或は機械的に固定する。尚、位置決め部材から度当
ての荷重を受けても変形が起こらずに位置が決まるよう
度当たる流路部分には流路等の空洞部を作らない。
【００１５】位置決め部２ａを等間隔で並んだ複数本の
振動子の両側に設けることにより、短冊状の振動子を傾
きなく確実に圧力室壁上にセットできる、また両側の位
置決め部は振動子組み込み時脆い振動子を保護する。
振動子の両側に設けることにより、短冊状の振動子を傾
きなく確実に圧力室壁上にセットできる、また両側の位
置決め部は振動子組み込み時脆い振動子を保護する。
【００１６】また位置決め部材２に振動子の片側を固定
して他側から変位を取り出すよう位置決め部材２に固定
機能をも持たせた。
して他側から変位を取り出すよう位置決め部材２に固定
機能をも持たせた。
【００１７】また以上からわかるように、複数の振動子
を同時に精度よく組み込むことができるので組立が非常
に合理化できる。
を同時に精度よく組み込むことができるので組立が非常
に合理化できる。
【００１８】尚、以上の様な位置決め構造にあっても、
厳密には部品寸法誤差、組立誤差があるため振動子先端
１ａと蓋板５の厚肉部５ａ間に隙間が出たり、逆に先端
１ａが厚肉部５ａを圧力室側へ押し込むことがある。し
かし本構造によればその値は微少で、私共の開発例では
隙間、押し込み共最大ほぼ５μｍ程度であった。隙間は
塗布した接着剤で埋められて先端１ａと厚肉部５ｂとの
結合には問題がなく、また厚肉部５ａが押し込まれたと
きも微量のため薄肉部５ｂがたわんで誤差を吸収し、蓋
板５が応力破壊を起こしたり、振動子が曲がったり折れ
たりすることがない。
厳密には部品寸法誤差、組立誤差があるため振動子先端
１ａと蓋板５の厚肉部５ａ間に隙間が出たり、逆に先端
１ａが厚肉部５ａを圧力室側へ押し込むことがある。し
かし本構造によればその値は微少で、私共の開発例では
隙間、押し込み共最大ほぼ５μｍ程度であった。隙間は
塗布した接着剤で埋められて先端１ａと厚肉部５ｂとの
結合には問題がなく、また厚肉部５ａが押し込まれたと
きも微量のため薄肉部５ｂがたわんで誤差を吸収し、蓋
板５が応力破壊を起こしたり、振動子が曲がったり折れ
たりすることがない。
【００１９】位置決め部材２の面上には薄膜電極２ｖと
２ｗがパターン状に形成されている。Ｕ字型の薄い金属
プレート１１は各振動子上の共通電極と薄膜電極２ｗの
間を接続し、各振動子の電極は薄膜電極２ｖに接続して
おり、薄膜電極２ｗ，２ｖには図１で示したリード３が
接続する。
２ｗがパターン状に形成されている。Ｕ字型の薄い金属
プレート１１は各振動子上の共通電極と薄膜電極２ｗの
間を接続し、各振動子の電極は薄膜電極２ｖに接続して
おり、薄膜電極２ｗ，２ｖには図１で示したリード３が
接続する。
【００２０】図４（ａ）（ｂ）（ｃ）に振動子１と位置
決め部材２の組立を斜視図で示す。薄膜電極２ｖが付け
られた位置決め部材２に板状の振動子１を接着剤または
ろう付けにより接合する。次に回転ブレードやワイヤソ
ー等を使ったスライシングマシンで振動子と位置決め部
材を同時に、または同一工程で矢印１２方向に切断して
先端位置を作る。すなわち、スライシングマシンで振動
子先端１ａと位置決め部２ａを同一平面に揃える。次に
スライシングマシンで振動子と位置決め部材上の薄膜電
極を同時に切断し、振動子を短冊状に作ると共に薄膜電
極を分割して各振動子毎の引出し電極２ｖを作る。私ど
もの開発ヘッドによれば振動子は１／１８０インチのピ
ッチで並び、その寸法は幅７０μｍ、厚さ５００μｍ、
長さ５ｍｍであった。また低電圧で大きな変位を得るた
め、且つ振動子の剛性を得るため圧電材を電極を介して
多層に積層した振動子を用いた。位置決め部材２の材料
としては金属、プラスチック、セラミックが使用可能で
ある。
決め部材２の組立を斜視図で示す。薄膜電極２ｖが付け
られた位置決め部材２に板状の振動子１を接着剤または
ろう付けにより接合する。次に回転ブレードやワイヤソ
ー等を使ったスライシングマシンで振動子と位置決め部
材を同時に、または同一工程で矢印１２方向に切断して
先端位置を作る。すなわち、スライシングマシンで振動
子先端１ａと位置決め部２ａを同一平面に揃える。次に
スライシングマシンで振動子と位置決め部材上の薄膜電
極を同時に切断し、振動子を短冊状に作ると共に薄膜電
極を分割して各振動子毎の引出し電極２ｖを作る。私ど
もの開発ヘッドによれば振動子は１／１８０インチのピ
ッチで並び、その寸法は幅７０μｍ、厚さ５００μｍ、
長さ５ｍｍであった。また低電圧で大きな変位を得るた
め、且つ振動子の剛性を得るため圧電材を電極を介して
多層に積層した振動子を用いた。位置決め部材２の材料
としては金属、プラスチック、セラミックが使用可能で
ある。
【００２１】他の組立方法として、振動子先端の位置と
位置決め部の位置を治具を使って合わせた状態で振動子
と位置決め部材を接合し、次に振動子を短冊上に加工す
る事も可能である。
位置決め部の位置を治具を使って合わせた状態で振動子
と位置決め部材を接合し、次に振動子を短冊上に加工す
る事も可能である。
【００２２】図５は振動子１と位置決め部材２の他の実
施例で、位置決め部材２の位置決め部２ａを振動子先端
１ａより寸法ｇ引っ込めたものである。この振動子を蓋
板５上に図の下方から設置した場合、振動子先端１ａが
蓋板５をやや強制的に圧力室内へたわませる。従って先
端１ａに塗布する接着剤が薄くても厚肉部５ａと先端１
ａは確実に接合される。また全圧力室で蓋板５が内部へ
たわむとき接着剤を省くことも可能となる。 図６は振
動子１を蓋板５上に設置した他の実施例で、位置決め部
材２の位置決め部２ａをハウジング１０の位置決め部１
０ｃに度当てて振動子１の先端１ａの位置を出したもの
である。
施例で、位置決め部材２の位置決め部２ａを振動子先端
１ａより寸法ｇ引っ込めたものである。この振動子を蓋
板５上に図の下方から設置した場合、振動子先端１ａが
蓋板５をやや強制的に圧力室内へたわませる。従って先
端１ａに塗布する接着剤が薄くても厚肉部５ａと先端１
ａは確実に接合される。また全圧力室で蓋板５が内部へ
たわむとき接着剤を省くことも可能となる。 図６は振
動子１を蓋板５上に設置した他の実施例で、位置決め部
材２の位置決め部２ａをハウジング１０の位置決め部１
０ｃに度当てて振動子１の先端１ａの位置を出したもの
である。
【００２３】以上に本発明の実施例を説明したが、他
に、振動子を固着する固定部材を位置決め部材と分離し
て別に設けることも可能である。或はハウジングに振動
子の固定部材としての機能をもたせて位置決め部材を独
立して設けることもできる。
に、振動子を固着する固定部材を位置決め部材と分離し
て別に設けることも可能である。或はハウジングに振動
子の固定部材としての機能をもたせて位置決め部材を独
立して設けることもできる。
【００２４】従来例のように振動子先端に脚部を付ける
ことも可能で、その場合は脚部先端に対して位置決め部
２ａを設定する。
ことも可能で、その場合は脚部先端に対して位置決め部
２ａを設定する。
【００２５】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によるイン
クジェットヘッドは振動子と該振動子と一体化された位
置決め部材を備え、その位置決め部材には振動子先端に
対して位置を出した位置決め部を形成した。そしてその
位置決め部を基準として振動子を圧力室壁に対し押し当
てて組み立てる。従って、 （１） 振動子の先端を高精度に位置決めできるため、
従来問題であった振動子先端が圧力室壁から離れたり、
或は圧力室壁を深く押し込み過ぎて細い振動子が折れた
り、曲がったり、さらには蓋板の薄肉部が破壊するとい
った問題は解決する。
クジェットヘッドは振動子と該振動子と一体化された位
置決め部材を備え、その位置決め部材には振動子先端に
対して位置を出した位置決め部を形成した。そしてその
位置決め部を基準として振動子を圧力室壁に対し押し当
てて組み立てる。従って、 （１） 振動子の先端を高精度に位置決めできるため、
従来問題であった振動子先端が圧力室壁から離れたり、
或は圧力室壁を深く押し込み過ぎて細い振動子が折れた
り、曲がったり、さらには蓋板の薄肉部が破壊するとい
った問題は解決する。
【００２６】（２） しかも高精度に位置が決まるのみ
ならず、さらに複数の振動子を同じ位置決め部基準で位
置を決めるため、各振動子間でばらつきがなく、各ノズ
ルからのインク滴吐出が揃い、優れた記録品質が可能と
なった。
ならず、さらに複数の振動子を同じ位置決め部基準で位
置を決めるため、各振動子間でばらつきがなく、各ノズ
ルからのインク滴吐出が揃い、優れた記録品質が可能と
なった。
【００２７】（３） 位置決め部を有する支持部材は材
質、形状の自由度が高く、また強度的に優れ、押し付け
ても破損や曲がりが出ないので組立精度が上がるばかり
でなく、組立てやすく、また多少乱暴な機械組立をも可
能となった。
質、形状の自由度が高く、また強度的に優れ、押し付け
ても破損や曲がりが出ないので組立精度が上がるばかり
でなく、組立てやすく、また多少乱暴な機械組立をも可
能となった。
【図１】本発明のインクジェットヘッドの分解斜視図。
【図２】本発明のインクジェットヘッドの一部断面図。
【図３】本発明のインクジェットヘッドの一部断面図。
【図４】（ａ）〜（ｃ）本発明のインクジェットヘッド
の振動子と位置決め部材を説明するための斜視図。
の振動子と位置決め部材を説明するための斜視図。
【図５】本発明のインクジェットヘッドの振動子と位置
決め部材の他の例を示す説明図。
決め部材の他の例を示す説明図。
【図６】本発明のインクジェットヘッドの振動子の他の
位置決め構造の説明図。
位置決め構造の説明図。
【図７】従来のインクジェットヘッドの説明図。
１ 振動子 １ａ 振動子先端 ２ 位置決め部材 ２ａ 位置決め部 ４ ノズルプレート ５ 蓋板 ５ａ 圧力室に対応する蓋板の厚肉部 ５ｂ 蓋板の薄肉部 ５ｃ 圧力室周辺の蓋板の厚肉部 ６ ノズル ７ 流路プレート ７ａ 圧力室 ７ｂ 共通のインク室 １０ ハウジング
Claims (3)
- 【請求項１】 振動子の変位方向に圧力室壁を変位させ
て、該圧力室内のインクを加圧し、該圧力室に連通する
ノズルよりインク滴を吐出するインクジェットヘッドに
おいて、該振動子と一体化された位置決め部材を備え、
該位置決め部材の少なくとも一部に、前記振動子に対し
て振動変位方向の位置を出した位置決め部を設けたこと
を特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 前記位置決め部が等間隔で配置された複
数の振動子の少なくとも両側に位置することを特徴とす
る請求項１記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 前記位置決め部材が振動子の片側を固定
することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘ
ッド。
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10305992A JP3185812B2 (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | インクジェットヘッド |
| EP92121977A EP0550030B1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head and process for forming same |
| SG1996008561A SG49270A1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head and process for forming same |
| DE69233523T DE69233523T2 (de) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Tintenstrahldruckkopf |
| DE69224975T DE69224975T2 (de) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Tintenstrahldruckkopf und sein Herstellungsverfahren |
| EP97108517A EP0795404B1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head |
| US07/997,571 US5517225A (en) | 1991-12-26 | 1992-12-28 | Ink jet recording head |
| US08/471,230 US5630274A (en) | 1991-12-26 | 1995-06-06 | Method of making an ink jet recording head |
| US08/469,504 US5764257A (en) | 1991-12-26 | 1995-06-06 | Ink jet recording head |
| US09/070,766 US6286942B1 (en) | 1991-12-26 | 1998-05-01 | Ink jet recording head with mechanism for positioning head components |
| HK98110817A HK1010045A1 (en) | 1991-12-26 | 1998-09-22 | Ink jet recording head and process for forming same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10305992A JP3185812B2 (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05293961A true JPH05293961A (ja) | 1993-11-09 |
| JP3185812B2 JP3185812B2 (ja) | 2001-07-11 |
Family
ID=14344110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10305992A Expired - Lifetime JP3185812B2 (ja) | 1991-12-26 | 1992-04-22 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3185812B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009241576A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-10-22 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
| US8029111B2 (en) | 2007-11-05 | 2011-10-04 | Seiko Epson Corporation | Droplet ejection head and droplet ejection apparatus |
| US8029110B2 (en) | 2007-11-05 | 2011-10-04 | Seiko Epson Corporation | Droplet ejection head and droplet ejection apparatus |
-
1992
- 1992-04-22 JP JP10305992A patent/JP3185812B2/ja not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
| US8029111B2 (en) | 2007-11-05 | 2011-10-04 | Seiko Epson Corporation | Droplet ejection head and droplet ejection apparatus |
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| JP2009241576A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-10-22 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
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|---|---|
| JP3185812B2 (ja) | 2001-07-11 |
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