KR100252697B1

KR100252697B1 - 프린트헤드의기록액분사장치및그제조방법

Info

Publication number: KR100252697B1
Application number: KR1019970028762A
Authority: KR
Inventors: 김일
Original assignee: 이형도; 삼성전기주식회사
Priority date: 1997-06-28
Filing date: 1997-06-28
Publication date: 2000-04-15
Also published as: KR19990004635A

Abstract

본 발명은 프린트헤드의 기록액 분사장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.

본 발명은 서로 일정간격 떨어진 다수개의 격벽에 의해 액실이 구획되는 유로판의 상부에 진동판이 부착되고 진동판의 상부에 단일판체로 구성된 압전판체가 부착된 다음 액실과 대응되는 부분만 남도록 압전판체를 절삭가공하면 각 액실의 직 상부마다 압전박막이 자동으로 형성되도록 함으로써, 구성이 간소화 되고 또한 대량생산이 가능해지는 프린트헤드의 기록액 분사장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 특히 다수개의 액실을 구획하는 다수개의 입설된 격벽; 상기 격벽이 저면에 부착되어 상기 액실의 아래면을 형성하는 유로판; 상기 각 격벽의 상면에 부착되어 상기 각 액실을 덮는 진동판; 상기 진동판의 상부에 상기 각 액실과 대응되는 위치마다 부착되어 상기 진동판의 일부를 형상변화시키는 압전박판; 상기 각 압전박판의 상부에 형성되어 인가되는 전원에 따라 상기 각 압전박판을 형상변화시키는 전극; 그리고 상기 각 액실의 전면에 구비되고 상기 각 액실과 대응되는 위치마다 기록액을 분사하는 노즐이 형성된 노즐판을 구비하는 특징이 있다.

Description

프린트헤드의 기록액 분사장치 및 그 제조방법

제1도는 종래 한 실시예의 기록액 분사장치를 나타낸 단면도.

제2도는 종래 다른 실시예의 기록액 분사장치를 나타낸 단면도.

제3도는 본 발명 기록액 분사장치를 나타낸 분리 사시도.

제4(a)도, 제4(b)도는 본 발명 기록액 분사장치의 단면도.

제5(a)도, 제5(b)도는 본 발명에 따른 트랜스버스모드 작동상태를 나타낸 단면도.

제6(a)도, 제6(b)도는 본 발명에 따른 쉐어모드 작동상태를 나타낸 단면도.

제7도는 본 발명 다른 실시예의 기록액 분사장치를 나타낸 단면도.

제8도는 본 발명 또 다른 실시예의 기록액 분사장치를 나타낸 단면도.

제9도는 본 발명 또 다른 실시예의 기록액 분사장치를 나타낸 단면도.

제10(a)도, 제10(f)도는 본 발명에 따른 프린트헤드의 제조 공정도.

제11도는 본 발명에 따른 제조 공정을 나타낸 순서도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 유로판 11 : 액실

12 : 격벽 13 : 진동판

14 : 진동부 15 : 요입부

17 : 압전판체 18 : 압전박막

19 : 도전성접착제 20 : 전극

21 : 노즐판 22 : 노즐

100 : 진동판형성단계 110 : 도전성접착제도포단계

120 : 압전판체부착단계 130 : 전극도포단계

140 : 압전판체절단단계 150 : 압전박막형성단계

160 : 유로판부착단계

본 발명은 프린트헤드의 기록액 분사장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기록액이 수용된 다수개의 액실을 갖는 유로판의 상부에 진동판이 부착되고 진동판의 상부에 단일판체로 구성된 압전판체를 부착한 다음 각 액실과 대응되는 부분만 남도록 압전판체를 절삭가공함으로써, 각 액실의 직 상부마다 압전박판이 형성되어 기록액이 분사됨으로 구조가 간소화 되고 대량생산이 가능하게 되는 프린트헤드의 기록액 분사장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 압전소자(Piezo-Electric)를 이용하여 기록액을 분사하는 장치는 제1도에 도시된 바와 같이 다수개 입설된 격벽(3)에 의해 기록액이 수용되는 액실(2)이 마련된 유로판(1)의 상부에 덮개(5)가 부착되어 액실(2)이 밀폐된 공간으로 구성되며 또한 유로판(1)의 전방에 기록액이 분사되는 노즐(5)이 위치된다. 그리고 각 격벽(3)의 상부 양측면에 전극(4)이 부착형성되며 해당전극(4)에 전원이 인가되면 형태가 변하면서 기록액이 노즐(6)을 통하여 액적의 상태로 분사된다.

이처럼 구성된 종래의 분사장치는 유로판(1) 전체가 압전소자로 구성된다. 즉 압전소자로 구성된 유로판(1)의 상부에 액실(2)과 격벽(3)이 형성되도록 절삭가공한 다음 각 격벽(3)의 양측면에 전극(4)이 부착된다. 따라서 전극(4)에 전원이 인가되면 폴링(polling:전기장을 가하면 압전소자에 방향성이 형성됨)된 상태의 격벽(12)이 쉬어모드(shear mode)로 변형하여, 가상선과 같이 양측의 격벽(3)이 서로 근접되면서 액실(2)의 부피가 줄어들며 이과정에서 기록액이 분사된다.

그러나 유로판(1)의 상부에 다수개의 액실(2)과 격벽(3)이 형성되도록 절삭가공해야 됨으로 가공성이 저하되며 또한 유로판(1) 전체가 압전소자를 이용함으로 재료비가 상승되는 단점이 있다. 또한 각 격벽(3)이 쉐어모드로 동작됨으로 한 셀이 동작되는 동안 옆의 셀을 이용하지 못하는 등의 단점이 있으며 각 격벽(3)이 조밀하게 형성됨으로 이들 각 격벽(3)의 양측에 일정한 부분에만 전극(4)을 입히는 작업이 까다로운 등의 단점이 있다.

제2도는 종래 다른 실시예의 기록액 분사장치를 나타낸 단면도로서, 액실(2a)을 갖는 기판(1a)의 하부에 구멍(3b)(4b)을 갖는 다수개의 유로판(3a)(4a)이 적층 형성되고, 노즐(7b)을 갖는 노즐판(7a)이 구비된다. 또한 기판(1a)의 상부에 액실(2a)을 덮는 진동판(5a)이 구비되며 진동판(5a)의 상부에 압전박판(6a)이 형성된다.

이처럼 구성된 종래 다른 실시예는 세라믹재료로 형성되는 진동판(5a)과 기판(1a)을 접합하여 1000℃ 정도의 고온에서 소결처리된다. 그리고 진동판(5a)의 상부에 압전박판(6a)을 도포한 다음 고온에서 소결처리된다. 세라믹재료 부분이 완성되면 기판(1a)의 하부에 유로판(3a)(4a)과 노즐판(7a)이 순차적으로 결합된다. 따라서 압전박판(6a)에 전원이 인가되면 트랜스버스모드(transvers mode)로 폴링된 압전박판(6a)이 휨변형되고 액실(2a)의 내압이 증가되면서 기록액이 액적의 상태로 노즐을 거쳐 분사된다.

그러나 종래 다른 실시예의 기록액 분사장치는 압전박판(6a)을 소결처리하는 과정에서 진동판(5a)이 휨변형될 우려가 있으며 또한 세라믹을 소결하여 형성되는 진동판(5a)과 기판(1a)을 소결처리하는 과정에서 형태와 치수가 변하여 정밀한 가공이 힘들다는 단점이 있으며 고온공정을 견딜 수 있는 세라믹재질로 구성해야 됨으로 재질선택의 폭이 좁아지는 등의 단점이 있다. 또한 기판(1a)과 유로판(3a)(4a)을 적층하는 과정에서 액실(2a)과 각 구멍(3b)(4b)들의 위치관계를 정확하게 맞추어야 됨으로 조립성이 저하되며 기록액이 각 구멍(3b)(4b)들과 액실(2a)을 거쳐 노즐(7b)로 분사됨으로 유로가 복잡해져 기록액의 분사후 재충전이 신속하게 이루어지지 않는 등의 단점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 여러 가지 문제점을 해결하기 위해 개발한 것으로서, 본 발명의 목적은 서로 일정간격 떨어진 다수개의 격벽에 의해 액실이 구획되는 유로판의 상부에 진동판이 부착되고 진동판의 상부에 단일판체로 구성된 압전판체가 부착된 다음 액실과 대응되는 부분만 남도록 압전판체를 절삭가공하면 각 액실의 직 상부마다 압전박막이 자동으로 형성되도록 함으로써, 구성이 간소화되고 또한 대량생산이 가능해지는 프린트헤드의 기록액 분사장치 및 그 제조방법을 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 프린헤드의 기록액분사장치는 다수개의 액실을 구획하는 다수개의 입설된 격벽; 상기 격벽의 저면에 부착되어 상기 액실의 아래면을 형성하는 유로판; 상기 각 격벽의 상면에 부착되어 상기 각 액실을 덮는 진동판; 상기 진동판의 상부에 상기 각 액실과 대응되는 위치마다 부착되어 상기 진동판의 일부를 형상변화시키는 압전박판; 상기 각 압전박판의 상부에 형성되는 인가되는 전원에 따라 상기 각 압전박판을 형상변화시키는 전극; 그리고 상기 각 액실의 전면에 구비되고 상기 각 액실과 대응되는 위치마다 기록액을 분사하는 노즐이 형성된 노즐판이 구비되는 점에 그 특징이 있다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.

제3도는 본 발명 기록액 분사장치를 나타낸 분리 사시도이고 제4(a)도, 제4(b)도는 본 발명 기록액 분사장치의 단면도이다. 일정간격 떨어진 상태로 입설된 다수개의 격벽(12)에 의해 다수개의 액실(11)이 구획되고 각 격벽(12)의 저면에 부착되는 유로판(10)이 구비된다. 또한 유로판(10)의 상부에 각 액실(11)을 덮는 진동판(13)이 구비된다. 유로판(10)은 금속 또는 합성수지로 구성할 수 있으며 합성수지로 할 경우 격벽(12)을 일체로 사출성형할 수 있다. 또한 유로판(10)의 상부에 진동판(13)이 구비된다. 진동판(13)은 유로판(10)에 형성된 각 액실(11)의 상부를 덮는 것으로 각 격벽(12)의 상면과 진동판(13)의 저면 사이가 접착제(16)에 의해 서로 결합된다.

또한 진동판(13)의 상부에 단일판체로 구성된 압전판체(17)가 구비된다.

압전판체(17)는 도전성접착제(19)를 통하여 진동판(13)의 상부에 부착되며 부착된 다음 각 액실(11)의 상부와 대응되는 부분을 제외하고 나머지 부분이 절삭에 의해 제거된다. 따라서 액실(11)의 직 상부마다 압전박막(18)이 구성된다.

또한 진동판(13)에는 진동이 원활하게 이루어지도록 각 격벽(12)의 직상부마다 요입부(15)가 구비되고 각 액실(11)의 직 상부마다 진동부(14)가 구비된다.

요입부(15)는 각 액실(11)의 직 상부마다 위치되는 진동부(14)가 독립적으로 진동할 수 있도록 해준다. 또한 각 압전박판(18)은 각 진동부(14)의 상부에 형성되며 이들 압전박판(18)의 상면에 전극(20)이 형성된다. 또한 유로판(10)의 전방에 해당 액실(11)과 대응되는 노즐(22)이 다수개 형성된 노즐판(21)이 구비되며 각 압전박판(18) 및 진동부(14)가 휨변형에 의해 진동되는 동안 기록액이 노즐(22)을 거쳐 액적의 형태로 분사된다.

이처럼 구성된 본 발명은 합성수지를 사출성형하거나 또는 금속을 가공하여 형성되는 유로판(10)의 상부에 진동판(13)이 부착된다. 이때 진동판(13)을 구성하는 다수개의 요입부(15)가 격벽(12)의 상면에 접착제(16)를 통하여 부착되면 진동판(13)이 유로판(10)의 상부에 결합된다. 이때 진동부(14)가 액실(11)의 직상부에 위치되며 또한 진동판(13)의 상부에 단일판체로 구성된 압전판체(17)가 도전성접착제(19)를 통하여 부착된 다음 각 요입부(15)와 대응되는 부분을 절삭가공하면 진동부(14) 마다 압전박막(18)이 형성된다.

이처럼 조립되는 본 발명은 압전박막(18)에 폴링된 상태에 따라 형상변형이 다르게 일어나다. 제4도 및 제5도는 트랜스버스모드(transvers mode)로 동작되는 상태를 나타낸 것으로써, 화살표와 같은 폴링방향으로 압전박막(18)의 상부와 하부에 형성된 전극(20) 및 도전성접착제(19)에 전원이 인가되면 압전박막(18)이 길이방향으로 신축운동을 하며 진동부(14)와 함께 휨변형된다.

이때 진동부(14)가 휨변형되고 액실(11)의 내압이 증가되면서 기록액이 액적의 상태로 노즐(22)을 통하여 외부로 분사된다. 또한 기록액이 분사된 다음 압전박막(18)과 진동부(14)가 복원되고 기록액이 보충된다. 또한 상기 진동부(14) 두께는 아래식을 만족한다.

(압전박판(18)의 두께)²×(압전박판(18)의 탄성계수)=

(진동부(14)의 두께)²×(진동판(13)의 탄성계수)

위의 식에 따르면 압전박막(18)의 두께(a) 및 진동판(13)의 두께(b)는 70μm~90μm이고, 요입부(15)의 두께(c)는 10μm~30μm 정도가 바람직하다.

또한 제6도는 쉐어모드(shear mode)로 변형될 수 있도록 폴링된 상태에서 폴링방향이 화살표와 같이 된다. 즉 압전박막(18)의 상부와 하부에 형성된 전극(20) 및 도전성접착제(19)에 전원이 인가되면 압전박막(18)이 전단변형에 의해 양쪽으로 쏠림이 발생된다. 이때 진동부(14)가 함께 변형되고 이 과정에서 액실(11) 내부의 기록액이 노즐(22)을 통하여 분사되고 또한 기록액이 분사된 다음 압전박막(18)과 진동부(14)가 복원되고 기록액이 액실(11) 내부로 보충된다. 또한 압전박막(18)은 압전판체(17)로 구성된 상태에서 진동판(13)의 상부에 부착 형성됨으로 이들의 두께를 조절할 수 있다.

제7도는 본 발명 다른 실시예의 기록액 분사장치를 나타낸 단면도로서, 제4도와 동일 구성요소는 동일 부호를 사용하여 본 발명 다른 실시예를 설명한다. 본 발명 다른 실시예는 유로판(10)의 각 액실(11)과 대응되는 부분 마다 노즐(22)이 형성된다. 따라서 별도의 노즐플레이트가 불필요해진다.

제8도는 본 발명 또 다른 실시예의 기록액 분사장치를 나타낸 단면도로서, 제4도와 동일 구성요소는 동일 부호를 사용하여 본 발명 또 다른 실시예를 설명한다. 본 발명 또 다른 실시예는 진동판(13)의 일측에 각 액실(11)과 대응되는 부분마다 노즐(22)이 형성된다. 이처럼 구성하면 별도의 노즐플레이트가 필요없음으로 구성이 간소화 된다.

제9도는 본 발명 또 다른 실시예의 기록액 분사장치를 나타낸 단면도, 제4도와 동일 구성요소는 동일 부호를 사용하여 본 발명 또 다른 실시예를 설명한다. 본 발명은 격벽(12)의 상면과 저면에 진동판(13)이 구비되어 액실(11)의 상부벽과 하부벽으로 구성된다. 따라서 이들 각 진동판(13)에 형성된 압전박판(18)이 진동을 하면 액실(11)의 상하부에서 진동부(14)가 진동을 함으로 기록액의 분사속도가 증가된다.

제10(a)도 내지 제10(f)도는 본 발명에 따른 기록액 분사장치의 제조 공정도이고 제11도는 본 발명에 따른 제조 공정을 나타낸 순서도이다. 금속 또는 합성수지의 진동판(13)에 진동부(14)와 요입부(15)가 번갈아 가며 다수개 형성되도록 하는 단계(100)가 구비되고 각 진동부(14)의 상부에 도전성접착제(19)를 도포하는 단계(110)가 구비된다. 또한 단일판체로 구성된 압전판체(17)를 진동판(13)의 각 진동부(14) 상부에 올려 놓고 도전성접착제(19)로 접착되도록 하는 단계(120)가 구비된다. 그리고 압전판체(17)의 상부에 전극(20)를 도포하는 단계(30)가 구비되고, 각 요입부(15)가 노출되도롤 와이어커터(23) 또는 다이아몬드 쏘(saw)를 이용하여 압전판체(17)의 상부를 절단하는 단계(140)가 구비된다.

절단하는 단계(140)에서 각 요입부(15)가 외부로 노출된다. 그리고 절단과정에서 압전판체(17)는 다수개의 압전박판(18)으로 분리되는 단계(150)를 거치게 된다. 또한 진동판(13)의 각 진동부(14) 마다 압전박판(18)이 형성되면 진동판(13)의 하부에 격벽(12)과 유로판(10)이 부착되는 단계(160)가 구비된다. 격벽(12)과 유로판(10)을 부착하는 과정에서 진동판(13)의 각 요입부(15)의 하부마다 각 격벽(12)의 상면이 접착제(16)를 통하여 부착 형성된다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면 진동판의 상부에 단일판체로 구성된 압전판체를 도전성접착제를 이용하여 부착한 다음 와이어커터를 이용하여 단일판체를 절단한다. 그리고 절단과정에서 압전판체은 다수개의 압전박막으로 분리됨으로 진동판의 상부에 압전박막을 형성하기 편리하다. 또한 진동판의 하부에 액실을 갖는 유로판을 부착하면 기록액 분사장치가 완성됨으로 구조가 간소화되고 또한 대량생산이 가능해지는 등의 효과가 있다.

Claims

다수개의 액실(11)을 구획하는 다수개의 입설된 격벽(12);

상기 격벽(12)의 저면에 부착되어 상기 액실(11)의 아래면을 형성하는 유로판(10);

상기 각 격벽(12)의 상면에 부착되어 상기 각 액실(11)을 덮는 진동판(13);

상기 잔동판(13)의 상부에 상기 각 액실(11)과 대응되는 위치마다 부착되어 상기 진동판(13)의 일부를 형상변화시키는 압전박판(18);

상기 각 압전박판(18)의 상부에 형성되어 인가되는 전원에 따라 상기 각 압전박판(18)을 형상변화시키는 전극(20);

그리고 상기 각 액실(11)의 전면에 구비되고 상기 각 액실(11)과 대응되는 위치마다 기록액을 분사하는 노즐(22)이 형성된 노즐판(21)을 구비하는 프린트헤드의 기옥액 분사장치.
제1항에 있어서,

상기 진동판(13)의 상부에 부착되는 압전박판(18)은 도전성접착제(19)로 접착되며 상기 도전성접착제(19)에 전원이 인가되면 상기 압전박판(18)이 형상변화됨을 특징으로 하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
제1항에 있어서,

상기 진동판(13)은 상기 각 액실(11)과 대응되는 위치마다 상기 압전박판(18)이 형상변화될 때 함께 형상변화되는 진동부(14)가 구비되며, 상기 각 진동부(14)가 서로 간섭되지 않도록 상기 각 진동부(14)의 사이에 상기 각 격벽(12)의 상면과 부착되는 위치마다 요입부(15)가 형성됨을 특징으로 하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
제3항에 있어서,

상기 압전박판(18) 및 진동부(14)의 두께는 70μm~90μm이고, 상기 요입부(15)의 두께는 10μm~30μm임을 특징으로 하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
다수개의 액실(11)을 구획하는 다수개의 입설된 격벽(12);

상기 격벽(12)의 저면에 부착되어 상기 액실(11)의 아래면을 형성하는 유로판(10);

상기 각 격벽(12)의 상면에 부착되어 상기 각 액실(11)을 덮는 진동판(13);

상기 진동판(13)의 상부에 상기 각 액실(11)과 대응되는 위치마다 부착되어 상기 진동판(13)의 일부를 형상변화시키는 압전박판(18);

상기 각 압전박판(18)의 상부에 형성되어 인가되는 전원에 따라 상기 각 압전박판(18)을 형상변화시키는 전극(20);

그리고 상기 액실(11)과 대응되는 상기 유로판(10)에 다수개 형성되어 기록액을 분사하는 노즐(22)을 구비하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
제5항에 있어서,

상기 진동판(13)의 상부에 부착되는 압전박판(18)은 도전성접착제(19)로 접착되며 상기 도전성접착제(19)에 전원이 인가되면 상기 압전박판(18)이 형상변화됨을 특징으로 하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
제5항에 있어서,

상기 진동판(13)은 상기 각 액실(11)과 대응되는 위치마다 상기 압전박판(18)이 형상변화될 때 함께 형상변화되는 진동부(14)가 구비되며, 상기 각 진동부(14)가 서로 간섭되지 않도록 상기 각 진동부(14)의 사이에 상기 각 격벽(12)의 상면과 부착되는 위치마다 요입부(15)가 형성됨을 특징으로 하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
제7항에 있어서,

상기 압전박판(18) 및 진동부(14)의 두께는 70μm~90μm이고, 상기 요입부(15)의 두게는 10μm~30μm임을 특징으로 하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
다수개의 액실(11)을 구획하는 다수개의 입설된 격벽(12);

상기 격벽(12)의 저면에 부착되어 상기 액실(11)의 아래면을 형성하는 유로판(10);

상기 각 격벽(12)의 상면에 부착되어 상기 각 액실(11)을 덮는 진동판(13);

상기 진동판(13)의 상부에 상기 각 액실(11)과 대응되는 위치마다 부착되어 상기 진동판(13)의 일부를 형상변화시키는 압전박판18);

상기 각 압전박판(18)의 상부에 형성되는 인가되는 전원에 따라 상기 각 압전박판(18)을 형상변화시키는 전극(20);

그리고 상기 액실(11)과 대응되는 상기 진동판(13)에 다수개 형성되어 기록액을 분사하는 노즐(22)을 구비하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
제9항에 있어서,

상기 진동판(13)의 상부에 부착되는 압전박판(18)은 도전성접착제(19)로 접착되며 상기 도전성접착제(19)에 전원이 인가되면 상기 압전박판(18)이 형상변화됨을 특징으로 하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
제9항에 있어서,

상기 진동판(13)은 상기 각 액실(11)과 대응되는 위치마다 상기 압전박판(18)이 형상변화될 때 함께 형상변화되는 진동부(14)가 구비되며, 상기 각 진동부(14)가 간섭되지 않도록 상기 각 진동부(14)의 사이에 상기 각 격벽(12)의 상면과 부착되는 위치마다 요입부(15)가 형성됨을 특징으로 하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
제11항에 있어서,

상기 압전박판(18) 및 진동부(14)의 두게는 70μm~90μm이고, 상기 요입부(15)의 두게는 10μm~30μm임을 특징으로 하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
다수개의 액실(11)을 구획하는 다수개의 입설된 격벽(12);

상기 격벽(12)의 저면과 상면에 각각 부착되어 상기 액실(11)의 아래면과 상면을 형성하는 한쌍의 진동판(10);

상기 각 진동판(13)의 표면에 상기 각 액실(11)과 대응되는 위치마다 부착되어 상기 각 진동판(13)의 일부를 형상변화시키는 압전박판(18);

상기 각 압전박판(18)의 표면에 형성되어 인가되는 전원에 따라 상기 각 압전박판(18)의 형상변화시키는 전극(20);

그리고 상기 각 액실(11)의 전면에 구비되고 상기 각 액실(11)과 대응되는 위치마다 기록액을 분사하는 노즐(22)이 형성된 노즐판(21)을 구비하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
제13항에 있어서,

상기 각 진동판(13)의 표면에 부착되는 압전박판(18)은 도전성접착제(19)로 접착되며 상기 도전성접착제(19)에 전원이 인가되면 상기 압전박판(18)이 형상변화됨을 특징으로 하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
제13항에 있어서,

상기 각 진동판(13)은 상기 각 액실(11)과 대응되는 위치마다 상기 압전박판(18)이 형상변화될 때 함께 형상변화되는 진동부(14)가 구비되며, 상기 각 진동부(14)가 서로 간섭되지 않도록 상기 각 진동부(14)의 사이에 상기 각 격벽(12)의 저면 및 상면과 부착되는 위치마다 요입부(15)가 형성됨을 특징으로 하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
제15항에 있어서,

상기 압전박판(18) 및 진동부(14)의 두께는 70μm~90μm이고, 상기 요입부(15)의 두게는 10μm~30μm임을 특징으로 하는 프린트헤드의 기록액 분사장치.
진동판(13)에 진동부(14)와 요입부(15)가 번갈아 다수개 형성되는 단계(100);

상기 진동부(14)의 상부에 도전성접착제(19)를 도포하는 단계(110);

상기 진동판(13)의 상부에 단일판체로 구성된 압전판체(17)를 올리놓고 상기 각 진동부(14)에 부착하는 단계(120);

상기 압전판체(17)의 상부에 전극(20)을 도포하는 단계(130);

와이어커터(23)를 이용하여 상기 각 요입부(15)가 노출되도록 상기 압전판체(17)를 절단하는 단계(140);

상기 절단하는 과정에서 상기 압전판체(17)가 다수개의 압전박판(18)으로 분할되어 상기 각 진동부(14)의 상부에 놓이는 단계(150);

그리고 상기 진동판(13)의 하부에 액실(11)과 격벽(12)이 형성된 유로판(10)을 부착하는 단계(160)를 구비하는 프린트헤드 제조방법.