JPH05220956A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
- Publication number
- JPH05220956A JPH05220956A JP2512692A JP2512692A JPH05220956A JP H05220956 A JPH05220956 A JP H05220956A JP 2512692 A JP2512692 A JP 2512692A JP 2512692 A JP2512692 A JP 2512692A JP H05220956 A JPH05220956 A JP H05220956A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- adhesive
- fixing plate
- recording head
- ink jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ばらつきが少ない、安定した吐出特性と信頼
性のあるインクジェットヘッドを提供する。 【構成】 一体の積層型圧電素子を保持基板２に接合
後、切断加工を施し、複数の圧電素子１と成し、端面平
坦度を出した圧電素子ユニットを作る。さらに圧電素子
ユニットと、これを固定する固定板３とを常温近傍で硬
化させることにより固定板３と圧電素子１の先端の平坦
性を良好なものとし、圧力壁５ａとの接合において圧力
壁５ａに余計な応力を与えないで接合させる。また、接
合時に仮止め接合手段をとることにより組立冶具の保持
時間を短縮し量産性を上げる。
性のあるインクジェットヘッドを提供する。 【構成】 一体の積層型圧電素子を保持基板２に接合
後、切断加工を施し、複数の圧電素子１と成し、端面平
坦度を出した圧電素子ユニットを作る。さらに圧電素子
ユニットと、これを固定する固定板３とを常温近傍で硬
化させることにより固定板３と圧電素子１の先端の平坦
性を良好なものとし、圧力壁５ａとの接合において圧力
壁５ａに余計な応力を与えないで接合させる。また、接
合時に仮止め接合手段をとることにより組立冶具の保持
時間を短縮し量産性を上げる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液滴の吐出によって記
録を行うインクジェット記録ヘッドの構造及び製造に関
する。
録を行うインクジェット記録ヘッドの構造及び製造に関
する。
【０００２】
【従来の技術】圧電素子の長手方向変位を利用して、そ
の変位方向に圧力壁を変位させて圧力室内のインクを加
圧し該圧力室に連通するノズルよりインク滴を噴射する
インクジェット記録ヘッドは、特公平２−５２６２５号
に示されている。図７は、その構造の概略を示す図であ
る。図７に示すようにインク吐出口１０１を有するノズ
ルプレート１０２を接合した流路基板１０３に圧力壁１
０４を形成する圧力プレートを接合し、各圧力室に位置
する部分に圧電素子１０５の長手方向先端に配設された
脚部１０６を粘弾性部材１０７で連結させる。図８は、
脚部１０６と粘弾性部材１０７の部分の部分拡大断面図
である。圧電素子１０５は、１素子づつ固定板１０８に
よって位置決めされて接合され、更にその上の回路基板
１０９により電気的配線がなされている。
の変位方向に圧力壁を変位させて圧力室内のインクを加
圧し該圧力室に連通するノズルよりインク滴を噴射する
インクジェット記録ヘッドは、特公平２−５２６２５号
に示されている。図７は、その構造の概略を示す図であ
る。図７に示すようにインク吐出口１０１を有するノズ
ルプレート１０２を接合した流路基板１０３に圧力壁１
０４を形成する圧力プレートを接合し、各圧力室に位置
する部分に圧電素子１０５の長手方向先端に配設された
脚部１０６を粘弾性部材１０７で連結させる。図８は、
脚部１０６と粘弾性部材１０７の部分の部分拡大断面図
である。圧電素子１０５は、１素子づつ固定板１０８に
よって位置決めされて接合され、更にその上の回路基板
１０９により電気的配線がなされている。
【０００３】しかし、前記の構造では、第１に、圧電素
子１０５が１素子づつ固定される構造の為、その接合に
かかる手間が大きいといった問題がある。第２には、接
合時の接合圧力のばらつきにより圧力壁１０４にかかる
子圧も各々ばらつくことになり、従って圧力壁１０４に
かかる応力、たわみ量もばらつく為、ヘッドの吐出特性
に影響を与えることになる。第３には、圧電素子１０５
と圧力壁１０４との間に脚部１０６を有する為、脚部１
０６と圧電素子１０５との接合に手間がかかる上、その
脚部１０６が持つ容積が隣の脚部１０６と干渉しない為
にも圧電素子１０５の配列間隔はあまり小さく出来ずヘ
ッドの小型化に限界が生じるといった問題がある。第４
には、ヘッド小型化の為に、例えばノズル配列を小さく
し、圧電素子１０５の変位を大きくとると云う手段をと
るような場合、圧力壁１０４に生じる応力は大きくな
る。更にそこに圧力壁１０４に圧電素子１０５を組み付
けるときの子圧による余計な応力が加わると、圧力壁１
０４の応力限界を越える恐れが生じるといった問題があ
る。
子１０５が１素子づつ固定される構造の為、その接合に
かかる手間が大きいといった問題がある。第２には、接
合時の接合圧力のばらつきにより圧力壁１０４にかかる
子圧も各々ばらつくことになり、従って圧力壁１０４に
かかる応力、たわみ量もばらつく為、ヘッドの吐出特性
に影響を与えることになる。第３には、圧電素子１０５
と圧力壁１０４との間に脚部１０６を有する為、脚部１
０６と圧電素子１０５との接合に手間がかかる上、その
脚部１０６が持つ容積が隣の脚部１０６と干渉しない為
にも圧電素子１０５の配列間隔はあまり小さく出来ずヘ
ッドの小型化に限界が生じるといった問題がある。第４
には、ヘッド小型化の為に、例えばノズル配列を小さく
し、圧電素子１０５の変位を大きくとると云う手段をと
るような場合、圧力壁１０４に生じる応力は大きくな
る。更にそこに圧力壁１０４に圧電素子１０５を組み付
けるときの子圧による余計な応力が加わると、圧力壁１
０４の応力限界を越える恐れが生じるといった問題があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題に鑑みなされたもので、その目的とするところは、圧
力壁と圧電素子の結合を容易かつ量産性を有するものと
し、高密度のノズル配列でも安定で、ばらつきが少な
い、安定した吐出特性と信頼性のあるインクジェットヘ
ッドを提供することにある。
題に鑑みなされたもので、その目的とするところは、圧
力壁と圧電素子の結合を容易かつ量産性を有するものと
し、高密度のノズル配列でも安定で、ばらつきが少な
い、安定した吐出特性と信頼性のあるインクジェットヘ
ッドを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明では、一
体の圧電素子をセラミック等からなる保持基板に接合後
切断加工し、初期の圧電素子先端の平坦度を保ちつつ１
本ずつの振動子形状になるようにし、その圧電素子ユニ
ットを固定板にとりつけることにより圧電素子を１本ず
つ接合しなくてもよい構造とさせる。また、脚部を設け
ず圧力壁に一体形成され、かつ圧電素子形状より小さい
形状に形成された突起部とを直接接合する構成とする。
体の圧電素子をセラミック等からなる保持基板に接合後
切断加工し、初期の圧電素子先端の平坦度を保ちつつ１
本ずつの振動子形状になるようにし、その圧電素子ユニ
ットを固定板にとりつけることにより圧電素子を１本ず
つ接合しなくてもよい構造とさせる。また、脚部を設け
ず圧力壁に一体形成され、かつ圧電素子形状より小さい
形状に形成された突起部とを直接接合する構成とする。
【０００６】製造面上では、固定板と圧電素子ユニット
の接合を常温硬化可能な接着剤にて接合し、材質の違い
による熱膨張差を抑え、固定板と圧電素子上端面の平坦
度を保ち、圧力壁との接合時に余分な子圧がかからない
ようにせしめる。また、常温硬化接着剤による接合の際
に、速硬化型の仮止め接着剤を併用することにより製造
時の冶具の保持時間を短縮し量産性を高める。
の接合を常温硬化可能な接着剤にて接合し、材質の違い
による熱膨張差を抑え、固定板と圧電素子上端面の平坦
度を保ち、圧力壁との接合時に余分な子圧がかからない
ようにせしめる。また、常温硬化接着剤による接合の際
に、速硬化型の仮止め接着剤を併用することにより製造
時の冶具の保持時間を短縮し量産性を高める。
【０００７】
【実施例】図２は、本発明の実施例を説明する為のイン
クジェット記録ヘッドの概略構成を示す断面図であ
る。、図３は、図２のＡ−Ａ’断面図、図４は図２のＢ
−Ｂ’断面図である。以下図２〜図４を基に構成を説明
する。
クジェット記録ヘッドの概略構成を示す断面図であ
る。、図３は、図２のＡ−Ａ’断面図、図４は図２のＢ
−Ｂ’断面図である。以下図２〜図４を基に構成を説明
する。
【０００８】１は櫛状の積層型圧電素子で、２は圧電素
子１を保持する保持基板であり、保持基板２上では、各
圧電素子１を駆動する為の信号電極パターン２ａが各圧
電素子１に導通している。これは、セラミックあるいは
ガラエポ基板等の保持基板２となる電極パターンを設け
た基板材に一体の積層型圧電素子を接着剤等で接合し、
基板材の一定深さまで、所定の幅ｗにダイシング等で溝
を切ることにより製造される。
子１を保持する保持基板であり、保持基板２上では、各
圧電素子１を駆動する為の信号電極パターン２ａが各圧
電素子１に導通している。これは、セラミックあるいは
ガラエポ基板等の保持基板２となる電極パターンを設け
た基板材に一体の積層型圧電素子を接着剤等で接合し、
基板材の一定深さまで、所定の幅ｗにダイシング等で溝
を切ることにより製造される。
【０００９】また圧電素子１の他面では、駆動電圧を供
給する為の共通電極１１が設けられている。この一体と
なった圧電素子１と保持基板２は、金属あるいは樹脂あ
るいはセラミック等の材料で形成された固定板３に固定
されている。圧電素子１の先端側には、インク流路ユニ
ット１２が接合部材４を介し接合される。インクユニッ
ト１２はノズル部１０を持つノズルプレート７、圧力室
８、圧力室８からノズル１０に連通する連通孔９、イン
ク供給溜１３、前記部分を構成する為の肉部６、圧力室
８に圧力を付加する圧力壁５ａ、５ｂから成っている。
圧力壁５ａは、圧電素子１の発生力を受ける部分で圧電
素子１と接合部材４ａで接合され、圧力壁５ａの部分は
回りの殻部分の圧力壁５ｂより厚く突起状に形成されて
いる。圧力壁５ｂの部分は圧電素子１の変位を受けて梁
状にたわむことができる。圧力壁５ａ、５ｂは圧力プレ
ート５に包含され、圧力プレート５は固定板３とともに
接合部材４で接合されている。圧力プレート５の製造方
法としては、金属電鋳による形成や、金属エッチング、
プラスチックフィルムあるいは金属箔と感光性樹脂等の
組合せで製造することができる。
給する為の共通電極１１が設けられている。この一体と
なった圧電素子１と保持基板２は、金属あるいは樹脂あ
るいはセラミック等の材料で形成された固定板３に固定
されている。圧電素子１の先端側には、インク流路ユニ
ット１２が接合部材４を介し接合される。インクユニッ
ト１２はノズル部１０を持つノズルプレート７、圧力室
８、圧力室８からノズル１０に連通する連通孔９、イン
ク供給溜１３、前記部分を構成する為の肉部６、圧力室
８に圧力を付加する圧力壁５ａ、５ｂから成っている。
圧力壁５ａは、圧電素子１の発生力を受ける部分で圧電
素子１と接合部材４ａで接合され、圧力壁５ａの部分は
回りの殻部分の圧力壁５ｂより厚く突起状に形成されて
いる。圧力壁５ｂの部分は圧電素子１の変位を受けて梁
状にたわむことができる。圧力壁５ａ、５ｂは圧力プレ
ート５に包含され、圧力プレート５は固定板３とともに
接合部材４で接合されている。圧力プレート５の製造方
法としては、金属電鋳による形成や、金属エッチング、
プラスチックフィルムあるいは金属箔と感光性樹脂等の
組合せで製造することができる。
【００１０】さて、図５および図６は、圧電素子１と保
持基板２の一体物と固定板３を組み込む概略を示すもの
であるが、圧力壁５ｂの部分は圧電素子１の変位により
曲げ応力が発生する為、疲労破壊が発生しやすく、たわ
みを組立時に与えることが許されない。従って、組立時
には、圧電素子１の先端１ａと固定板３の上面３ａの平
坦性が、またインク流路側では圧力プレート５の平坦性
が要求される。
持基板２の一体物と固定板３を組み込む概略を示すもの
であるが、圧力壁５ｂの部分は圧電素子１の変位により
曲げ応力が発生する為、疲労破壊が発生しやすく、たわ
みを組立時に与えることが許されない。従って、組立時
には、圧電素子１の先端１ａと固定板３の上面３ａの平
坦性が、またインク流路側では圧力プレート５の平坦性
が要求される。
【００１１】図１は本発明の構造を示す概略図である。
固定板３と圧電素子１及び保持基板２との接合部は、圧
電素子１の変位による保持基板２の振動を抑える為に保
持基板２と固定板３の隙間２１で確実に接合されねばな
らない。また、本実施例の構造では図３に示すダミーの
圧電素子部１４（インク吐出用としての機能をもたせ
ず、構造体の一部として配設したもの）を設けてあり、
このダミーの圧電素子１４と固定板３の隙間２２で接合
することも効果的である。これらの接合には、接着剤に
よる接合が確実であり、適度な粘性の接着剤を図１にお
けるＡ部やＢ部に置くだけで隙間２１、２２に浸透し必
要箇所全面にいきわたるよう隙間２１、２２は適度な寸
法に設定されている。逆に接着剤を付けてはならない箇
所は、予め隙間２１、２２以上に広げておくことで接着
剤の浸透を防ぐことができる。本実施例では、固定板３
の材質はエポキシ系樹脂、保持基板２の材質として快削
性セラミクス、接着剤として粘土５００ｍＰａｓのエポ
キシ系一液接着剤を使用したが、浸透性は良好であっ
た。ところで、前述したエポキシ系接着剤の硬化時間は
常温で２４〜４８時間、１００゜Ｃで３０分〜１時間で
ある。固定板３と圧電素子１および保持基板２の接合時
には接合用冶具を用いるが、量産性の点から冶具の保持
時間を極力短くしたい。従って、１００゜Ｃで加熱硬化
をしたいところではあるが、加熱硬化の場合、圧電素子
１や保持基板２や固定板３の材質、形状が異なる為に、
熱膨張差によって圧電素子１の先端１ａと固定板３の上
面３ａの平坦性がそこなわれるという問題が生じる。そ
こで、常温硬化をさせながらかつ冶具の保持時間を短く
する為に仮止めの接着剤を併用させた。図１に示す２３
の部分は仮止め接着剤である。本実施例においては、前
述のエポキシ一液接着剤を注入後、仮止め接着剤として
アクリル系ＵＶ接着剤を２３の部分に盛り、ＵＶ照射を
３０秒施した。その直後に冶具を解放し、圧電素子１の
先端１ａと固定板３の上面３ａの平坦性を測定し、本接
着剤であるエポキシ一液接着剤の硬化までの間その平坦
性の変化をチェックしたが、変化は測定誤差も含め１μ
ｍ以内であった。本実施例では、エポキシ一液接着剤を
用いたが、ＵＶ嫌気性接着剤を用いても同様用の効果が
ある。
固定板３と圧電素子１及び保持基板２との接合部は、圧
電素子１の変位による保持基板２の振動を抑える為に保
持基板２と固定板３の隙間２１で確実に接合されねばな
らない。また、本実施例の構造では図３に示すダミーの
圧電素子部１４（インク吐出用としての機能をもたせ
ず、構造体の一部として配設したもの）を設けてあり、
このダミーの圧電素子１４と固定板３の隙間２２で接合
することも効果的である。これらの接合には、接着剤に
よる接合が確実であり、適度な粘性の接着剤を図１にお
けるＡ部やＢ部に置くだけで隙間２１、２２に浸透し必
要箇所全面にいきわたるよう隙間２１、２２は適度な寸
法に設定されている。逆に接着剤を付けてはならない箇
所は、予め隙間２１、２２以上に広げておくことで接着
剤の浸透を防ぐことができる。本実施例では、固定板３
の材質はエポキシ系樹脂、保持基板２の材質として快削
性セラミクス、接着剤として粘土５００ｍＰａｓのエポ
キシ系一液接着剤を使用したが、浸透性は良好であっ
た。ところで、前述したエポキシ系接着剤の硬化時間は
常温で２４〜４８時間、１００゜Ｃで３０分〜１時間で
ある。固定板３と圧電素子１および保持基板２の接合時
には接合用冶具を用いるが、量産性の点から冶具の保持
時間を極力短くしたい。従って、１００゜Ｃで加熱硬化
をしたいところではあるが、加熱硬化の場合、圧電素子
１や保持基板２や固定板３の材質、形状が異なる為に、
熱膨張差によって圧電素子１の先端１ａと固定板３の上
面３ａの平坦性がそこなわれるという問題が生じる。そ
こで、常温硬化をさせながらかつ冶具の保持時間を短く
する為に仮止めの接着剤を併用させた。図１に示す２３
の部分は仮止め接着剤である。本実施例においては、前
述のエポキシ一液接着剤を注入後、仮止め接着剤として
アクリル系ＵＶ接着剤を２３の部分に盛り、ＵＶ照射を
３０秒施した。その直後に冶具を解放し、圧電素子１の
先端１ａと固定板３の上面３ａの平坦性を測定し、本接
着剤であるエポキシ一液接着剤の硬化までの間その平坦
性の変化をチェックしたが、変化は測定誤差も含め１μ
ｍ以内であった。本実施例では、エポキシ一液接着剤を
用いたが、ＵＶ嫌気性接着剤を用いても同様用の効果が
ある。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によるインク
ジェット記録ヘッドは、積層型圧電素子を保持する保持
基板と、保持基板を固定する固定板との接合を接着剤で
行うことにより、保持基板の固定に必要な全面にわたっ
て確実に接合でき、さらに接着剤を常温硬化させること
により圧電素子上端面と固定板上面との平坦性を良好に
させ、圧力壁への余計な応力の発生を防ぎ安定した吐出
特性のヘッドを供給することができる。またＵＶ系接着
剤等の仮止め接着剤を併用することにより常温硬化時間
の長い本接着剤でも冶具の保持時間を短縮することがで
きる為、少ない冶具数で量産可能であり、製造コストの
低減にもつながる。また圧電素子の加工を保持基板接合
後に行う為、圧電素子の端面平坦度も向上し、圧電素子
の固定板への組み付け工数も低減される。さらに圧電素
子と圧力壁との結合を直接接合材で接合することにより
ヘッドの高密度化にも対応できる。以上のように本発明
によれば、高密度化された形状のヘッドに対しても安定
した、ばらつきの少ない、信頼性の高い圧力壁と圧電素
子の接合できる圧電素子構造体を提供することができ
る。これは当然のことながら安定した吐出特性と信頼性
のあるインクジェットヘッドを提供することになる。
ジェット記録ヘッドは、積層型圧電素子を保持する保持
基板と、保持基板を固定する固定板との接合を接着剤で
行うことにより、保持基板の固定に必要な全面にわたっ
て確実に接合でき、さらに接着剤を常温硬化させること
により圧電素子上端面と固定板上面との平坦性を良好に
させ、圧力壁への余計な応力の発生を防ぎ安定した吐出
特性のヘッドを供給することができる。またＵＶ系接着
剤等の仮止め接着剤を併用することにより常温硬化時間
の長い本接着剤でも冶具の保持時間を短縮することがで
きる為、少ない冶具数で量産可能であり、製造コストの
低減にもつながる。また圧電素子の加工を保持基板接合
後に行う為、圧電素子の端面平坦度も向上し、圧電素子
の固定板への組み付け工数も低減される。さらに圧電素
子と圧力壁との結合を直接接合材で接合することにより
ヘッドの高密度化にも対応できる。以上のように本発明
によれば、高密度化された形状のヘッドに対しても安定
した、ばらつきの少ない、信頼性の高い圧力壁と圧電素
子の接合できる圧電素子構造体を提供することができ
る。これは当然のことながら安定した吐出特性と信頼性
のあるインクジェットヘッドを提供することになる。
【図１】本発明のインクジェット記録ヘッドの駆動部分
を示す図。
を示す図。
【図２】本発明の実施例のヘッドの全体構成を示す断面
図。
図。
【図３】図２におけるＡ−Ａ’断面図。
【図４】図２におけるＢ−Ｂ’断面図。
【図５】固定板と圧電素子の組立を説明する図。
【図６】固定板と圧電素子の組立を説明する図。
【図７】従来のインクジェットヘッドの構造を説明する
図。
図。
【図８】従来のインクジェットヘッドの構造を説明する
部分断面図。
部分断面図。
１ ・・・・・・・ 積層型圧電素子 １ａ ・・・・・・・ 積層型圧電素子の
上端面 ２ ・・・・・・・ 保持基板 ２ａ ・・・・・・・ 信号電極パターン ３ ・・・・・・・ 固定板 ３ ・・・・・・・ 固定板の上面 ４ ・・・・・・・ 固定板と圧力プレ
ートとの接合部材 ４ａ ・・・・・・・ 圧力室と圧力壁と
の接合部材 ５ ・・・・・・・ 圧力プレート ５ａ、５ｂ ・・・・・・・ 圧力壁 ６ ・・・・・・・ 流路肉部 ７ ・・・・・・・ ノズルプレート ８ ・・・・・・・ 圧力室 ９ ・・・・・・・ 連通孔 １０ ・・・・・・・ ノズル １１ ・・・・・・・ 共通電極パターン １２ ・・・・・・・ インク流路ユニッ
ト １３ ・・・・・・・ インク供給溜 １４ ・・・・・・・ ダミー圧電素子 ２１ ・・・・・・・ 保持基板と固定板
との隙間 ２２ ・・・・・・・ ダミー圧電素子と
固定板との隙間 ２３ ・・・・・・・ 仮止め接着部
上端面 ２ ・・・・・・・ 保持基板 ２ａ ・・・・・・・ 信号電極パターン ３ ・・・・・・・ 固定板 ３ ・・・・・・・ 固定板の上面 ４ ・・・・・・・ 固定板と圧力プレ
ートとの接合部材 ４ａ ・・・・・・・ 圧力室と圧力壁と
の接合部材 ５ ・・・・・・・ 圧力プレート ５ａ、５ｂ ・・・・・・・ 圧力壁 ６ ・・・・・・・ 流路肉部 ７ ・・・・・・・ ノズルプレート ８ ・・・・・・・ 圧力室 ９ ・・・・・・・ 連通孔 １０ ・・・・・・・ ノズル １１ ・・・・・・・ 共通電極パターン １２ ・・・・・・・ インク流路ユニッ
ト １３ ・・・・・・・ インク供給溜 １４ ・・・・・・・ ダミー圧電素子 ２１ ・・・・・・・ 保持基板と固定板
との隙間 ２２ ・・・・・・・ ダミー圧電素子と
固定板との隙間 ２３ ・・・・・・・ 仮止め接着部
Claims (5)
- 【請求項１】 圧電素子の変位を利用してその変位方向
に配設された圧力室の圧力壁を変位させて前記圧力室内
のインクを加圧し、前記圧力室に連通するノズルにより
インク滴を噴射するインクジェット記録ヘッドにおい
て、前記圧電素子及び前記圧電素子を保持する保持基板
とからなる圧電素子ユニットと、前記圧電素子および前
記保持基板を包含し前記圧力室を１つまたは複数含むイ
ンク流路基板と接合されている固定板とを有し、前記圧
電素子ユニットと、前記固定板とを接着剤で接合するこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記圧電素子ユニットと固定板とを接合
する接着剤を１０゜Ｃ乃至４０゜Ｃの範囲で硬化させる
ことを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘ
ッド。 - 【請求項３】 前記圧電素子ユニットと固定板とを接合
する接着剤として、本接着剤と仮固定の為の仮止め接着
剤とを併用することを特徴とする請求項１記載のインク
ジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記圧電素子ユニットが、保持基板と圧
電セラミックとを接合後に１振動子ずつに形成されるよ
うにかつ各振動子が一体保持されるように加工されてい
ることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録
ヘッド。 - 【請求項５】 前記圧力壁は、前記圧電素子の変位を受
ける受け部分と変位によりたわむ殻部分から成り、前記
受け部分が殻部分より厚く形成された突起状の形状を成
し、前記受け部分と前記圧電素子先端部と直接接合材に
て接合されていることを特徴とする請求項１記載のイン
クジェット記録ヘッド。
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2512692A JP3262134B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | インクジェット記録ヘッド、及びその製造方法 |
| EP92121977A EP0550030B1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head and process for forming same |
| SG1996008561A SG49270A1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head and process for forming same |
| DE69233523T DE69233523T2 (de) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Tintenstrahldruckkopf |
| DE69224975T DE69224975T2 (de) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Tintenstrahldruckkopf und sein Herstellungsverfahren |
| EP97108517A EP0795404B1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head |
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