JPH05291605A - 半導体受光素子 - Google Patents
半導体受光素子Info
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- JPH05291605A JPH05291605A JP4118382A JP11838292A JPH05291605A JP H05291605 A JPH05291605 A JP H05291605A JP 4118382 A JP4118382 A JP 4118382A JP 11838292 A JP11838292 A JP 11838292A JP H05291605 A JPH05291605 A JP H05291605A
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- semiconductor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 リーク電流が極めて小さくなるとともに、リ
ーク電流値のバラツキも小さくなるメサ型の半導体受光
素子とその製造方法を提供する。 【構成】 P−InP基板1上にP−InGaAs層
2,n- −InGaAs光吸収層3及びn−InP窓層
4を順次エピタキシャル成長にて形成し、上記P−In
P基板1とこれら得られたエピタキシャル成長層2,3
及び4の所定部分をウエットエッチング等を用いて除去
して、メサ型の能動層(メサ部9)を形成した後、該メ
サ型の能動層の最上面にマスクを配設した状態でその側
壁面上にP−InP層7をエピタキシャル成長によって
形成し、この後、上記マスクを除去し、n側電極5をn
−InP窓層4上に形成し、図示しないp側電極をP−
InP基板1の裏面側に形成する。
ーク電流値のバラツキも小さくなるメサ型の半導体受光
素子とその製造方法を提供する。 【構成】 P−InP基板1上にP−InGaAs層
2,n- −InGaAs光吸収層3及びn−InP窓層
4を順次エピタキシャル成長にて形成し、上記P−In
P基板1とこれら得られたエピタキシャル成長層2,3
及び4の所定部分をウエットエッチング等を用いて除去
して、メサ型の能動層(メサ部9)を形成した後、該メ
サ型の能動層の最上面にマスクを配設した状態でその側
壁面上にP−InP層7をエピタキシャル成長によって
形成し、この後、上記マスクを除去し、n側電極5をn
−InP窓層4上に形成し、図示しないp側電極をP−
InP基板1の裏面側に形成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は光通信等の受光装置に
用いられる半導体受光素子に関し、特に、能動層がメサ
型に形成された半導体受光素子の素子構造の改良に関す
るものである。
用いられる半導体受光素子に関し、特に、能動層がメサ
型に形成された半導体受光素子の素子構造の改良に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】図2は、従来のInGaAs/InP系
のメサ型PINフォトダイオード(以下、PINPDと
称す)の構造を示す断面図であり、図において、30は
メサ型PINPDであり、該メサ型PINPD30は、
P−InP基板1上にP−InGaAs層2,n- −I
nGaAs光吸収層3及びn−InP窓層4を順次エピ
タキシャル成長させ、これらP−InP基板1,P−I
nGaAs層2,n- −InGaAs光吸収層3及びn
−InP窓層4の所定部分をウエットエッチング等によ
って除去してメサ部9を形成し、この後、該メサ部9の
側壁面を覆うようにSiO2 ,SiN,ポリイミド等か
らなる絶縁膜6を配設し、n側電極5をn−InP窓層
4上に、図示しないp側電極をP−InP基板1の裏面
にそれぞれ配設して構成される。
のメサ型PINフォトダイオード(以下、PINPDと
称す)の構造を示す断面図であり、図において、30は
メサ型PINPDであり、該メサ型PINPD30は、
P−InP基板1上にP−InGaAs層2,n- −I
nGaAs光吸収層3及びn−InP窓層4を順次エピ
タキシャル成長させ、これらP−InP基板1,P−I
nGaAs層2,n- −InGaAs光吸収層3及びn
−InP窓層4の所定部分をウエットエッチング等によ
って除去してメサ部9を形成し、この後、該メサ部9の
側壁面を覆うようにSiO2 ,SiN,ポリイミド等か
らなる絶縁膜6を配設し、n側電極5をn−InP窓層
4上に、図示しないp側電極をP−InP基板1の裏面
にそれぞれ配設して構成される。
【0003】次に、動作について説明する。上記図2に
示したメサ型PINPDでは、p−n接合がp−InG
aAs層2とn- −InGaAs層3の間に形成されて
おり、該p−n接合に該p−n接合の接合とは逆方向の
電圧、即ち、逆バイアスが印加され、この状態でn−I
nP窓層4表面から光が入射すると、P−InGaAs
層2,n- −InGaAs光吸収層3及びn−InP窓
層4内で電子及び正孔が発生し、これら電子と正孔がn
- −InGaAs光吸収層3内に形成された空乏領域に
移動することにより、光の強弱に比例した強さの逆方向
電流が流れるようになっている。そして、このメサ型P
INPDでは、能動層をPIN構造にすることより逆バ
イアスが印加されて形成されるn- −InGaAs光吸
収層3内の空乏領域を完全に空乏化させ、また、メサ構
造にすることによりp−n接合の幅を小さくして接合容
量を低下させており、これらによって応答速度の高速化
が図られている。
示したメサ型PINPDでは、p−n接合がp−InG
aAs層2とn- −InGaAs層3の間に形成されて
おり、該p−n接合に該p−n接合の接合とは逆方向の
電圧、即ち、逆バイアスが印加され、この状態でn−I
nP窓層4表面から光が入射すると、P−InGaAs
層2,n- −InGaAs光吸収層3及びn−InP窓
層4内で電子及び正孔が発生し、これら電子と正孔がn
- −InGaAs光吸収層3内に形成された空乏領域に
移動することにより、光の強弱に比例した強さの逆方向
電流が流れるようになっている。そして、このメサ型P
INPDでは、能動層をPIN構造にすることより逆バ
イアスが印加されて形成されるn- −InGaAs光吸
収層3内の空乏領域を完全に空乏化させ、また、メサ構
造にすることによりp−n接合の幅を小さくして接合容
量を低下させており、これらによって応答速度の高速化
が図られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
メサ型の半導体受光素子では、エピタキシャル成長によ
り得られた能動層を構成する半導体層にウエットエッチ
ング等を施して、これをメサ型に成形しているため(メ
サ部9を形成しているため)、得られたメサ部9の側壁
面はエッチングを受けて結晶状態が劣化し、p−InG
aAs層2とn-−InGaAs層3の界面に形成され
るp−n接合がこのメサ部9の側壁面に露出すると、こ
の部分におけるリーク電流が増大するため、このリーク
電流を低減する目的と、この能動層を他の領域から分離
する目的のために該メサ部9の側壁面をSiO2 ,Si
N,ポリイミド等からなる絶縁膜6で覆っている。しか
るに、このSiO2 ,SiN,ポリイミド等からなる絶
縁膜6をメサ部9の側面に配設しても、メサ部9の側壁
面は上記のように結晶状態が劣化しているため、依然と
して、この側壁面に露出するp−n接合部からメサ部9
と絶縁膜6との界面を通ってリーク電流が生じ、また、
その絶縁膜の形成状態によりそのリーク電流値もばらつ
くため、素子特性が安定しないという問題点があった。
メサ型の半導体受光素子では、エピタキシャル成長によ
り得られた能動層を構成する半導体層にウエットエッチ
ング等を施して、これをメサ型に成形しているため(メ
サ部9を形成しているため)、得られたメサ部9の側壁
面はエッチングを受けて結晶状態が劣化し、p−InG
aAs層2とn-−InGaAs層3の界面に形成され
るp−n接合がこのメサ部9の側壁面に露出すると、こ
の部分におけるリーク電流が増大するため、このリーク
電流を低減する目的と、この能動層を他の領域から分離
する目的のために該メサ部9の側壁面をSiO2 ,Si
N,ポリイミド等からなる絶縁膜6で覆っている。しか
るに、このSiO2 ,SiN,ポリイミド等からなる絶
縁膜6をメサ部9の側面に配設しても、メサ部9の側壁
面は上記のように結晶状態が劣化しているため、依然と
して、この側壁面に露出するp−n接合部からメサ部9
と絶縁膜6との界面を通ってリーク電流が生じ、また、
その絶縁膜の形成状態によりそのリーク電流値もばらつ
くため、素子特性が安定しないという問題点があった。
【0005】この発明は、このような問題点を解決する
ためになされたもので、リーク電流を極めて小さくする
ことができ、しかも、リーク電流値のばらつきを無くす
ことができるメサ型の半導体受光素子とその製造方法を
提供することを目的とする。
ためになされたもので、リーク電流を極めて小さくする
ことができ、しかも、リーク電流値のばらつきを無くす
ことができるメサ型の半導体受光素子とその製造方法を
提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係るメサ型の
半導体受光素子及びその製造方法は、半導体基板と該半
導体基板上にエピタキシャル成長して得られた半導体層
からなるメサ型の能動層の側壁面に、該能動層内のp−
n接合を境にしてそれより上部の半導体層の導電型とは
逆の導電型の半導体層をエピタキシャル成長するように
したものである。
半導体受光素子及びその製造方法は、半導体基板と該半
導体基板上にエピタキシャル成長して得られた半導体層
からなるメサ型の能動層の側壁面に、該能動層内のp−
n接合を境にしてそれより上部の半導体層の導電型とは
逆の導電型の半導体層をエピタキシャル成長するように
したものである。
【0007】また、この発明に係るメサ型の半導体受光
素子及びその製造方法は、上記能動層の側壁面にエピタ
キシャル成長する半導体層を、上記半導体基板と格子整
合する材料によって形成するようにしたものである。
素子及びその製造方法は、上記能動層の側壁面にエピタ
キシャル成長する半導体層を、上記半導体基板と格子整
合する材料によって形成するようにしたものである。
【0008】
【作用】この発明においては、メサ型の能動層の側壁面
に、該能動層を構成する該能動層内のp−n接合より上
部の半導体層と逆の導電型の半導体層をエピタキシャル
成長するようにしたから、該半導体層の成長時における
固相拡散効果により、上記メサ型の能動層内のp−n接
合より上部の半導体層に、該上部の半導体層とは逆の導
電型のドーパントが拡散し、これにより、メサ部の側壁
面に表出していたp−n接合部が無くなり、該メサ型の
能動層内のp−n接合の終端が該能動層の最上面(即
ち、その結晶状態が安定なエピタキシャル成長層表面)
に表れるため、従来に比べて、p−n接合の露出領域に
おけるリーク電流は極めて小さくなり、またリーク電流
値のばらつきも小さくなる。
に、該能動層を構成する該能動層内のp−n接合より上
部の半導体層と逆の導電型の半導体層をエピタキシャル
成長するようにしたから、該半導体層の成長時における
固相拡散効果により、上記メサ型の能動層内のp−n接
合より上部の半導体層に、該上部の半導体層とは逆の導
電型のドーパントが拡散し、これにより、メサ部の側壁
面に表出していたp−n接合部が無くなり、該メサ型の
能動層内のp−n接合の終端が該能動層の最上面(即
ち、その結晶状態が安定なエピタキシャル成長層表面)
に表れるため、従来に比べて、p−n接合の露出領域に
おけるリーク電流は極めて小さくなり、またリーク電流
値のばらつきも小さくなる。
【0009】更に、この発明においては、上記メサ型の
能動層の側壁面に形成する半導体エピタキシャル成長層
の構成材料を、能動層の下部及び能動層以外の領域を構
成する半導体基板に対して格子整合する材料にしたか
ら、該半導体エピタキシャル成長層を上記メサ型の能動
層の側壁面に安定に形成することができ、素子特性が安
定化する。
能動層の側壁面に形成する半導体エピタキシャル成長層
の構成材料を、能動層の下部及び能動層以外の領域を構
成する半導体基板に対して格子整合する材料にしたか
ら、該半導体エピタキシャル成長層を上記メサ型の能動
層の側壁面に安定に形成することができ、素子特性が安
定化する。
【0010】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図を用いて説明
する。図1は、この発明の一実施例によるInGaAs
/InP系のメサ型PINPDの構造を示す断面図であ
り、図において、図2と同一符号は同一または相当する
部分を示しており、7はP−InPエピタキシャル成長
層、8はp−n接合部、10はP型領域、20はメサ型
PINPDである。
する。図1は、この発明の一実施例によるInGaAs
/InP系のメサ型PINPDの構造を示す断面図であ
り、図において、図2と同一符号は同一または相当する
部分を示しており、7はP−InPエピタキシャル成長
層、8はp−n接合部、10はP型領域、20はメサ型
PINPDである。
【0011】このInGaAs/InP系のメサ型PI
NPD20は以下のようにして製造される。先ず、従来
と同様に、P−InP基板1上にP−InGaAs層
2,n- −InGaAs光吸収層3及びn−InP窓層
4を順次エピタキシャル成長により形成し、次いで、該
n−InP窓層4の能動層となる領域の上面に選択的に
SiO2 ,Si3 N4 等からなる絶縁膜を形成した後、
この絶縁膜をマスクとしてこれらP−InP基板1,P
−InGaAs層2,n- −InGaAs光吸収層3及
びn−InP窓層4の所定部分をウエットエッチング等
により除去してメサ部9を形成する。
NPD20は以下のようにして製造される。先ず、従来
と同様に、P−InP基板1上にP−InGaAs層
2,n- −InGaAs光吸収層3及びn−InP窓層
4を順次エピタキシャル成長により形成し、次いで、該
n−InP窓層4の能動層となる領域の上面に選択的に
SiO2 ,Si3 N4 等からなる絶縁膜を形成した後、
この絶縁膜をマスクとしてこれらP−InP基板1,P
−InGaAs層2,n- −InGaAs光吸収層3及
びn−InP窓層4の所定部分をウエットエッチング等
により除去してメサ部9を形成する。
【0012】次に、このメサ部9の上面に上記絶縁膜か
らなるマスクを配設した状態で、P−InPをエピタキ
シャル成長させると、メサ部9の側壁面に上記P−In
P基板1と格子接合するP−InPエピタキシャル成長
層7が形成される。そして、この後、ウエットエッチン
グ等を上記マスクを除去した後、従来と同様にn側電極
5をn−InP窓層4上に、図示しないp側電極をP型
InP基板1の裏面側にそれぞれ配設すると、メサ型P
INPIN20が完成する。
らなるマスクを配設した状態で、P−InPをエピタキ
シャル成長させると、メサ部9の側壁面に上記P−In
P基板1と格子接合するP−InPエピタキシャル成長
層7が形成される。そして、この後、ウエットエッチン
グ等を上記マスクを除去した後、従来と同様にn側電極
5をn−InP窓層4上に、図示しないp側電極をP型
InP基板1の裏面側にそれぞれ配設すると、メサ型P
INPIN20が完成する。
【0013】この製造工程におけるメサ部9の形成後の
P−InPエピタキシャル成長層7の成長時、この成長
時の固相拡散効果により、P型ドーパントがn- −In
GaAs光吸収層3とn−InP窓層4に拡散し、該n
- −InGaAs光吸収層3とn−InP窓層4のメサ
部9の側面から内部に続く所定領域にP型領域10が形
成され、図に示すような、P−InGaAs層2とn-
−InGaAs光吸収層3の界面からn- −InGaA
s光吸収層3内を通ってn−InP窓層4表面に延びる
p−n接合部8が形成される。
P−InPエピタキシャル成長層7の成長時、この成長
時の固相拡散効果により、P型ドーパントがn- −In
GaAs光吸収層3とn−InP窓層4に拡散し、該n
- −InGaAs光吸収層3とn−InP窓層4のメサ
部9の側面から内部に続く所定領域にP型領域10が形
成され、図に示すような、P−InGaAs層2とn-
−InGaAs光吸収層3の界面からn- −InGaA
s光吸収層3内を通ってn−InP窓層4表面に延びる
p−n接合部8が形成される。
【0014】尚、上記工程においてメサ部9の側壁面に
配設するエピタキシャル成長層7をP−InPで形成し
たのは、メサ部9の下部及びメサ部9以外の領域に露出
するP−InP基板1にこのエピタキシャル成長層7を
安定に成長させるためであり、P−InP基板1に対し
てこのP−InPからなるエピタキシャル成長層7は格
子整合し、素子特性が安定化する。
配設するエピタキシャル成長層7をP−InPで形成し
たのは、メサ部9の下部及びメサ部9以外の領域に露出
するP−InP基板1にこのエピタキシャル成長層7を
安定に成長させるためであり、P−InP基板1に対し
てこのP−InPからなるエピタキシャル成長層7は格
子整合し、素子特性が安定化する。
【0015】このような本実施例のメサ型PINPD
は、P−InP基板1,P−InGaAs層2,n- −
InGaAs光吸収層3及びn−InP窓層4からなる
メサ部9の側面にP−InPエピタキシャル成長層7を
設けたため、このP−InPエピタキシャル成長層7の
成長時の固相拡散効果により、メサ部9内のp−n接合
の終端が、エッチングを受けたP−InP基板1,P−
InGaAs層2,n-−InGaAs光吸収層3及び
n−InP窓層4からなるメサ部9の側壁面には表れ
ず、結晶状態の安定なn−InP窓層4の最上面に表
れ、その結果、逆バイアスを印加した際、このp−n接
合の終端部におけるリーク電流は極めて小さく、また、
その値のばらつきも小さくなるため、安定した電流電圧
特性が得られ、従来に比べて素子の性能及び信頼性を向
上することができる。また、このようにして作成される
メサ型PINPD20は、リーク電流が極めて小さく、
その値のばらつきも少ないため、得られる素子の特性差
が小さくなり、製造時における歩留りを向上することが
できる。
は、P−InP基板1,P−InGaAs層2,n- −
InGaAs光吸収層3及びn−InP窓層4からなる
メサ部9の側面にP−InPエピタキシャル成長層7を
設けたため、このP−InPエピタキシャル成長層7の
成長時の固相拡散効果により、メサ部9内のp−n接合
の終端が、エッチングを受けたP−InP基板1,P−
InGaAs層2,n-−InGaAs光吸収層3及び
n−InP窓層4からなるメサ部9の側壁面には表れ
ず、結晶状態の安定なn−InP窓層4の最上面に表
れ、その結果、逆バイアスを印加した際、このp−n接
合の終端部におけるリーク電流は極めて小さく、また、
その値のばらつきも小さくなるため、安定した電流電圧
特性が得られ、従来に比べて素子の性能及び信頼性を向
上することができる。また、このようにして作成される
メサ型PINPD20は、リーク電流が極めて小さく、
その値のばらつきも少ないため、得られる素子の特性差
が小さくなり、製造時における歩留りを向上することが
できる。
【0016】尚、上記実施例では、メサ部9の側壁面を
覆うエピタキシャル成長層をp−InP層としたが、p
−InAlAs等のInP基板と格子整合する他の組成
の材料を用いても、同様の効果を得ることができる。
覆うエピタキシャル成長層をp−InP層としたが、p
−InAlAs等のInP基板と格子整合する他の組成
の材料を用いても、同様の効果を得ることができる。
【0017】また、上記実施例では、InP基板1をP
型にしたが、InP基板1をN型にし、他のエピタキシ
ャル成長層の導電型も上記実施例と反対の導電型にして
素子を構成してもよく、この場合も上記実施例と同様の
効果を得ることができる。
型にしたが、InP基板1をN型にし、他のエピタキシ
ャル成長層の導電型も上記実施例と反対の導電型にして
素子を構成してもよく、この場合も上記実施例と同様の
効果を得ることができる。
【0018】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、半導
体基板と該半導体基板上にエピタキシャル成長して得ら
れた半導体層からなるメサ型の能動層の側壁面に、該能
動層内のp−n接合を境にしてそれより上部の半導体層
の導電型とは逆の導電型の半導体層をエピタキシャル成
長するようにしたので、この半導体層のエピタキシャル
成長時における固相拡散効果により、メサ部の側壁面に
表出していたp−n接合部が無くなって、該メサ型の能
動層内のp−n接合の終端が該能動層のその結晶状態が
安定なエピタキシャル成長層表面からなる最上面に表れ
るため、従来に比べて、p−n接合の露出領域における
リーク電流は極めて小さくなり、またリーク電流値のば
らつきも小さくなり、その結果、素子性能及び信頼性が
向上した半導体受光素子を得ることができる。
体基板と該半導体基板上にエピタキシャル成長して得ら
れた半導体層からなるメサ型の能動層の側壁面に、該能
動層内のp−n接合を境にしてそれより上部の半導体層
の導電型とは逆の導電型の半導体層をエピタキシャル成
長するようにしたので、この半導体層のエピタキシャル
成長時における固相拡散効果により、メサ部の側壁面に
表出していたp−n接合部が無くなって、該メサ型の能
動層内のp−n接合の終端が該能動層のその結晶状態が
安定なエピタキシャル成長層表面からなる最上面に表れ
るため、従来に比べて、p−n接合の露出領域における
リーク電流は極めて小さくなり、またリーク電流値のば
らつきも小さくなり、その結果、素子性能及び信頼性が
向上した半導体受光素子を得ることができる。
【0019】また、この発明によれば、上記のように、
従来に比べてp−n接合の露出領域におけるリーク電流
が極めて小さく、且つ、リーク電流値のばらつきも小さ
い受光素子が得られるため、得られる素子間の特性差が
小さくなり、製造時の歩留りを向上することができる。
従来に比べてp−n接合の露出領域におけるリーク電流
が極めて小さく、且つ、リーク電流値のばらつきも小さ
い受光素子が得られるため、得られる素子間の特性差が
小さくなり、製造時の歩留りを向上することができる。
【0020】また、この発明によれば、上記メサ型能動
層の側壁面にエピタキシャル成長する半導体層を、上記
半導体基板と格子整合する材料によって形成したので、
上記メサ型の能動層の側壁面に対してこの半導体層を安
定に成長させることができ、、素子特性を一層安定化す
ることができる。
層の側壁面にエピタキシャル成長する半導体層を、上記
半導体基板と格子整合する材料によって形成したので、
上記メサ型の能動層の側壁面に対してこの半導体層を安
定に成長させることができ、、素子特性を一層安定化す
ることができる。
【図1】この発明の一実施例によるメサ型PINフォト
ダイオードの構造を示す断面図である。
ダイオードの構造を示す断面図である。
【図2】従来のメサ型PINフォトダイオードの構造を
示す断面図である。
示す断面図である。
1 p−InP基板 2 p−InGaAs層 3 n- −InGaAs光吸収層 4 n−InP窓層 5 n側電極 6 絶縁膜 7 メサエピ成長層 8 p−n接合部 9 メサ部 10 P型領域 20,30 メサ型PINPD
Claims (4)
- 【請求項1】 半導体基板及び該半導体基板上に形成さ
れたその内部にp−n接合を有する半導体エピタキシャ
ル成長層の所定部分をエッチング除去して、これらをメ
サ型に成形し、該メサ型に成形された半導体基板及び半
導体エピタキシャル成長層とから能動層を構成してなる
半導体受光素子であって、 上記メサ型能動層の側壁面に、該メサ型能動層内のp−
n接合より上部側の導電型とは逆の導電型を有する半導
体エピタキシャル成長層を配設したことを特徴とする半
導体受光素子。 - 【請求項2】 請求項1に記載の半導体受光素子におい
て、 上記能動層の側壁面に配設する半導体エピタキシャル成
長層が、上記半導体基板と格子整合する材料によって構
成されていることを特徴とする半導体受光素子。 - 【請求項3】 半導体基板及び該半導体基板上に形成さ
れたその内部にp−n接合を有する半導体エピタキシャ
ル成長層の所定部分をエッチング除去して、これらをメ
サ型に成形し、該メサ型に成形された半導体基板及び半
導体エピタキシャル成長層とから能動層を構成してなる
半導体受光素子の製造方法であって、 第1導電型の半導体基板に、その下部側が第1導電型で
上部側が第2導電型となるp−n接合を内部に備えた積
層構造の半導体層をエピタキシャル成長によって形成す
る工程と、 上記第1導電型の半導体基板と上記半導体エピタキシャ
ル成長層の所定部分をエッチング除去して、メサ型能動
層を形成する工程と、 上記メサ型能動層の最上面にマスクを配設した状態で該
メサ型能動層の側壁面に対して第1導電型半導体層をエ
ピタキシャル成長によって形成する工程と、 上記能動層の最上面に配設したマスクを除去した後、該
能動層の上面及び下面に対して電極を形成する工程とを
含むことを特徴とする半導体受光素子の製造方法。 - 【請求項4】 請求項3に記載の半導体受光素子の製造
方法であって、 上記第2導電型半導体エピタキシャル成長層を構成する
材料として、上記第1導電型基板と格子整合する材料を
用いることを特徴とする半導体受光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4118382A JPH05291605A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 半導体受光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP4118382A JPH05291605A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 半導体受光素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH05291605A true JPH05291605A (ja) | 1993-11-05 |
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ID=14735316
Family Applications (1)
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JP4118382A Pending JPH05291605A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 半導体受光素子 |
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Country | Link |
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JP (1) | JPH05291605A (ja) |
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