JPH05283275A - 積層セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents
積層セラミックコンデンサの製造方法Info
- Publication number
- JPH05283275A JPH05283275A JP7668992A JP7668992A JPH05283275A JP H05283275 A JPH05283275 A JP H05283275A JP 7668992 A JP7668992 A JP 7668992A JP 7668992 A JP7668992 A JP 7668992A JP H05283275 A JPH05283275 A JP H05283275A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- internal electrode
- ceramic green
- electrode layer
- laminated
- ceramic capacitor
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- Pending
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- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 デラミネイション(層間剥離)の発生を抑制
し、生産歩留りの向上を図る積層セラミックコンデンサ
の製造方法を提供する。 【構成】 PETフィルム1上に内部電極ペーストを印
刷して内部電極層2を形成し、この内部電極層2を覆う
ように誘電体スラリーを印刷して誘電体層3を形成した
セラミックグリーンシートを積層して積層セラミックコ
ンデンサを製造する際、誘電体スラリーの溶剤に内部電
極ペーストのバインダに対して非溶性のものを用いるこ
とにより、上記溶剤が上記バインダを溶かして内部電極
層2を膨潤させることがなくなってセラミックグリーン
シートの表面段差が極めて小さくなり、これを多数枚積
層してもデラミネイションは起こらない。
し、生産歩留りの向上を図る積層セラミックコンデンサ
の製造方法を提供する。 【構成】 PETフィルム1上に内部電極ペーストを印
刷して内部電極層2を形成し、この内部電極層2を覆う
ように誘電体スラリーを印刷して誘電体層3を形成した
セラミックグリーンシートを積層して積層セラミックコ
ンデンサを製造する際、誘電体スラリーの溶剤に内部電
極ペーストのバインダに対して非溶性のものを用いるこ
とにより、上記溶剤が上記バインダを溶かして内部電極
層2を膨潤させることがなくなってセラミックグリーン
シートの表面段差が極めて小さくなり、これを多数枚積
層してもデラミネイションは起こらない。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、積層セラミックコンデ
ンサの製造方法に関するものである。
ンサの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の積層セラミックコンデンサの製造
方法は、まず、チタン酸バリウムを主成分とする誘電体
材料をバインダ成分を含む有機ビヒクルと混練して誘電
体スラリーを作製する。次に、この誘電体スラリーをド
クターブレード法等により支持体としてのポリエチレン
テレフタレートフィルム(以下、PETフィルムと記
す)上に塗布した後乾燥し、さらに電極材料としてのパ
ラジウム等の金属微粉を含む内部電極ペーストを用いて
その表面に内部電極層を印刷し、これを乾燥してセラミ
ックグリーンシートを作製する。そして、このセラミッ
クグリーンシートをPETフィルムから剥離後複数枚積
層し、所定の大きさに切断して積層体を作製する。次
に、この積層体を焼成し、さらに外部電極を形成して積
層セラミックコンデンサを製造している。
方法は、まず、チタン酸バリウムを主成分とする誘電体
材料をバインダ成分を含む有機ビヒクルと混練して誘電
体スラリーを作製する。次に、この誘電体スラリーをド
クターブレード法等により支持体としてのポリエチレン
テレフタレートフィルム(以下、PETフィルムと記
す)上に塗布した後乾燥し、さらに電極材料としてのパ
ラジウム等の金属微粉を含む内部電極ペーストを用いて
その表面に内部電極層を印刷し、これを乾燥してセラミ
ックグリーンシートを作製する。そして、このセラミッ
クグリーンシートをPETフィルムから剥離後複数枚積
層し、所定の大きさに切断して積層体を作製する。次
に、この積層体を焼成し、さらに外部電極を形成して積
層セラミックコンデンサを製造している。
【0003】また、上記とは別な製造方法として、支持
体上に形成された内部電極層の上に誘電体層を形成する
電極埋め込み型のセラミックグリーンシートを積層する
製造方法も種々提案されている。
体上に形成された内部電極層の上に誘電体層を形成する
電極埋め込み型のセラミックグリーンシートを積層する
製造方法も種々提案されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の技術では、誘電体層上に内部電極層を形成するた
め、セラミックグリーンシートを多数枚積層したとき、
内部電極層の厚みがセラミックグリーンシート間の段差
となり、特に高積層にした場合、セラミックグリーンシ
ート間の接着が不足し、積層セラミックコンデンサがデ
ラミネイション(積層剥離)を起こすという問題を有し
ていた。
来の技術では、誘電体層上に内部電極層を形成するた
め、セラミックグリーンシートを多数枚積層したとき、
内部電極層の厚みがセラミックグリーンシート間の段差
となり、特に高積層にした場合、セラミックグリーンシ
ート間の接着が不足し、積層セラミックコンデンサがデ
ラミネイション(積層剥離)を起こすという問題を有し
ていた。
【0005】また、電極埋め込み型のセラミックグリー
ンシートの場合でも、誘電体スラリー中の溶剤と内部電
極ペースト中のバインダが相溶する場合、内部電極ペー
ストを塗布し乾燥させた後に誘電体スラリーを塗布する
と、誘電体スラリー中の溶剤が内部電極層中のバインダ
に浸透し、膨潤させる。このバインダの膨潤により、セ
ラミックグリーンシート中の内部電極層を有する部分と
内部電極層の無い部分の表面段差を助長させるために前
記と同様のデラミネイションを起こすという問題を有し
ていた。
ンシートの場合でも、誘電体スラリー中の溶剤と内部電
極ペースト中のバインダが相溶する場合、内部電極ペー
ストを塗布し乾燥させた後に誘電体スラリーを塗布する
と、誘電体スラリー中の溶剤が内部電極層中のバインダ
に浸透し、膨潤させる。このバインダの膨潤により、セ
ラミックグリーンシート中の内部電極層を有する部分と
内部電極層の無い部分の表面段差を助長させるために前
記と同様のデラミネイションを起こすという問題を有し
ていた。
【0006】本発明はこのような問題点を解決するもの
で、デラミネイションの発生を抑制し、生産歩留りの高
い積層セラミックコンデンサの製造方法を提供すること
を目的とする。
で、デラミネイションの発生を抑制し、生産歩留りの高
い積層セラミックコンデンサの製造方法を提供すること
を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の積層セラミックコンデンサの製造方法は、支
持体の表面に内部電極ペーストを塗布して内部電極層を
形成し、前記内部電極ペーストに含有されているバイン
ダに対して非溶性の溶剤を含有する誘電体スラリーを前
記内部電極層を覆うように前記支持体の表面に塗布して
セラミックグリーンシートを作製し、これを積層し焼成
して積層セラミックコンデンサを製造するものである。
に本発明の積層セラミックコンデンサの製造方法は、支
持体の表面に内部電極ペーストを塗布して内部電極層を
形成し、前記内部電極ペーストに含有されているバイン
ダに対して非溶性の溶剤を含有する誘電体スラリーを前
記内部電極層を覆うように前記支持体の表面に塗布して
セラミックグリーンシートを作製し、これを積層し焼成
して積層セラミックコンデンサを製造するものである。
【0008】
【作用】この構成によれば、誘電体スラリーの溶剤に内
部電極ペーストのバインダに対して非溶性の溶剤を使用
しているため、支持体上に内部電極ペーストを塗布し乾
燥した後、その内部電極層上に誘電体スラリーを塗布し
ても内部電極層の膨潤が起こらず、表面段差のほとんど
ないセラミックグリーンシートが得られる。したがっ
て、このセラミックグリーンシートを用いることによ
り、各セラミックグリーンシート間の接着が強固にな
り、デラミネイションの発生しない積層セラミックコン
デンサが容易に製造できる。
部電極ペーストのバインダに対して非溶性の溶剤を使用
しているため、支持体上に内部電極ペーストを塗布し乾
燥した後、その内部電極層上に誘電体スラリーを塗布し
ても内部電極層の膨潤が起こらず、表面段差のほとんど
ないセラミックグリーンシートが得られる。したがっ
て、このセラミックグリーンシートを用いることによ
り、各セラミックグリーンシート間の接着が強固にな
り、デラミネイションの発生しない積層セラミックコン
デンサが容易に製造できる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の一実施例における積層セラミ
ックコンデンサの製造方法について、図面を参照しなが
ら説明する。
ックコンデンサの製造方法について、図面を参照しなが
ら説明する。
【0010】図1は本実施例におけるセラミックグリー
ンシートの部分断面図である。図1において、1は支持
体であるPETフィルム、2は内部電極層、3は誘電体
層である。
ンシートの部分断面図である。図1において、1は支持
体であるPETフィルム、2は内部電極層、3は誘電体
層である。
【0011】次に、このようなセラミックグリーンシー
トを用いた積層セラミックコンデンサの製造方法につい
て説明する。
トを用いた積層セラミックコンデンサの製造方法につい
て説明する。
【0012】まず、パラジウム粉末、有機バインダ成分
としてエチルセルロース、溶剤としてα−テルピネオー
ルからなる電極ペーストを作製した。また、チタン酸バ
リウムを主成分とする誘電体材料をポリブチルアルコー
ル樹脂系バインダと可塑剤とともに有機溶剤の酢酸メチ
ルアミル中に分散し、誘電体スラリーを作製した。前記
電極ペーストを支持体であるPETフィルム1の上に所
定のパターン形状で乾燥膜厚で5μmとなるようにスク
リーン印刷し、その後乾燥して内部電極層2を形成し
た。
としてエチルセルロース、溶剤としてα−テルピネオー
ルからなる電極ペーストを作製した。また、チタン酸バ
リウムを主成分とする誘電体材料をポリブチルアルコー
ル樹脂系バインダと可塑剤とともに有機溶剤の酢酸メチ
ルアミル中に分散し、誘電体スラリーを作製した。前記
電極ペーストを支持体であるPETフィルム1の上に所
定のパターン形状で乾燥膜厚で5μmとなるようにスク
リーン印刷し、その後乾燥して内部電極層2を形成し
た。
【0013】次に、誘電体スラリーをドクターブレード
法により、内部電極層2を形成したPETフィルム1の
片面に乾燥膜厚で20μmとなるように塗布し、さらに
乾燥して誘電体層3を形成した。これを100mm×10
0mm程度の大きさに切断してセラミックグリーンシート
を作製した。そして、このセラミックグリーンシートを
PETフィルム1から剥離した後、内部電極層2が誘電
体層3を挟んで対向するように配置して50層積層し、
さらに加圧圧着後所望の寸法に切断してグリーンチップ
を得た。そして、このグリーンチップを箱型電気炉を用
いて大気中350℃で脱脂を行った後、大気中1350
℃で焼成して焼結体を得、この焼結体に外部電極を形成
して積層セラミックコンデンサを作製した。
法により、内部電極層2を形成したPETフィルム1の
片面に乾燥膜厚で20μmとなるように塗布し、さらに
乾燥して誘電体層3を形成した。これを100mm×10
0mm程度の大きさに切断してセラミックグリーンシート
を作製した。そして、このセラミックグリーンシートを
PETフィルム1から剥離した後、内部電極層2が誘電
体層3を挟んで対向するように配置して50層積層し、
さらに加圧圧着後所望の寸法に切断してグリーンチップ
を得た。そして、このグリーンチップを箱型電気炉を用
いて大気中350℃で脱脂を行った後、大気中1350
℃で焼成して焼結体を得、この焼結体に外部電極を形成
して積層セラミックコンデンサを作製した。
【0014】本実施例ではこの製造工程の中間段階で次
に示す評価を実施した。まず、セラミックグリーンシー
トの内部電極層2を有する部分とそれが無い部分との厚
みの差を表面段差として測定した。次に、このセラミッ
クグリーンシートを用いて作製した焼結体のデラミネイ
ションの発生率を調査した。なお、比較のため、従来法
すなわち誘電体スラリーをドクターブレード法によりP
ETフィルム上に塗布後乾燥し、この上に内部電極層を
印刷した後乾燥したセラミックグリーンシートを従来品
Aとし、またPETフィルム上に誘電体スラリー中の溶
剤に対して非溶性のバインダを含まない内部電極ペース
トを印刷後乾燥し、この上に誘電体スラリーをドクター
ブレード法により塗布、乾燥したセラミックグリーンシ
ートを従来品Bとし、これらを用いた積層セラミックコ
ンデンサの焼結体についても同様の測定を行った。
に示す評価を実施した。まず、セラミックグリーンシー
トの内部電極層2を有する部分とそれが無い部分との厚
みの差を表面段差として測定した。次に、このセラミッ
クグリーンシートを用いて作製した焼結体のデラミネイ
ションの発生率を調査した。なお、比較のため、従来法
すなわち誘電体スラリーをドクターブレード法によりP
ETフィルム上に塗布後乾燥し、この上に内部電極層を
印刷した後乾燥したセラミックグリーンシートを従来品
Aとし、またPETフィルム上に誘電体スラリー中の溶
剤に対して非溶性のバインダを含まない内部電極ペース
トを印刷後乾燥し、この上に誘電体スラリーをドクター
ブレード法により塗布、乾燥したセラミックグリーンシ
ートを従来品Bとし、これらを用いた積層セラミックコ
ンデンサの焼結体についても同様の測定を行った。
【0015】これらの測定結果を(表1)に示す。ただ
し、(表1)におけるデラミネイション発生率は、焼結
体各200個中デラミネイションが観察された個数の割
合を示す。
し、(表1)におけるデラミネイション発生率は、焼結
体各200個中デラミネイションが観察された個数の割
合を示す。
【0016】
【表1】
【0017】(表1)から明らかなように、本実施例に
よる積層セラミックコンデンサは、デラミネイションの
発生が全くなく、極めて優れた効果が得られる。
よる積層セラミックコンデンサは、デラミネイションの
発生が全くなく、極めて優れた効果が得られる。
【0018】なお、本実施例では内部電極ペーストがバ
インダにエチルセルロースを、誘電体スラリーの溶剤と
してこのエチルセルロースに対して非溶性の酢酸メチル
アミルを用いた例を示したが、本発明はこのバインダと
この溶剤との組み合せに限定されるものではなく、たと
えば次のような組み合せも有効である。すなわち、エチ
ルセルロースに対しては酢酸メチルアミルのほか、乳酸
−n−イソアミル、ジエチルエーテル、ブチレングリコ
ールなどが有効である。
インダにエチルセルロースを、誘電体スラリーの溶剤と
してこのエチルセルロースに対して非溶性の酢酸メチル
アミルを用いた例を示したが、本発明はこのバインダと
この溶剤との組み合せに限定されるものではなく、たと
えば次のような組み合せも有効である。すなわち、エチ
ルセルロースに対しては酢酸メチルアミルのほか、乳酸
−n−イソアミル、ジエチルエーテル、ブチレングリコ
ールなどが有効である。
【0019】また、エチルセルロースは水に対しては非
溶性であるので誘電体スラリーのバインダに水溶性のも
の、たとえばポリビニルアルコール系ポリマー、アクリ
ル系ポリマー、エチレンオキサイドポリマーなどの有機
樹脂を用いてもよい。
溶性であるので誘電体スラリーのバインダに水溶性のも
の、たとえばポリビニルアルコール系ポリマー、アクリ
ル系ポリマー、エチレンオキサイドポリマーなどの有機
樹脂を用いてもよい。
【0020】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明
は、誘電体スラリーの溶剤に内部電極のバインダに対し
て非溶性のものを用いてセラミックグリーンシートを作
製し、このセラミックグリーンシートを積層して積層セ
ラミックコンデンサを製造することにより、デラミネイ
ションの発生しない積層セラミックコンデンサを容易に
作製することができ、積層セラミックコンデンサの生産
歩留まり向上に大きな効果をもたらす。
は、誘電体スラリーの溶剤に内部電極のバインダに対し
て非溶性のものを用いてセラミックグリーンシートを作
製し、このセラミックグリーンシートを積層して積層セ
ラミックコンデンサを製造することにより、デラミネイ
ションの発生しない積層セラミックコンデンサを容易に
作製することができ、積層セラミックコンデンサの生産
歩留まり向上に大きな効果をもたらす。
【図1】本発明の一実施例におけるセラミックグリーン
シートの部分断面図
シートの部分断面図
1 PETフィルム(支持体) 2 内部電極層 3 誘電体層
Claims (1)
- 【請求項1】支持体の表面に内部電極ペーストを塗布し
て内部電極層を形成した後前記内部電極ペーストに含有
されるバインダに対して非溶性の溶剤を含有する誘電体
スラリーを前記内部電極層を覆うように前記支持体の表
面に塗布してセラミックグリーンシートを作製し、この
セラミックグリーンシートを積層した後焼成する積層セ
ラミックコンデンサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7668992A JPH05283275A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7668992A JPH05283275A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05283275A true JPH05283275A (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=13612432
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7668992A Pending JPH05283275A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05283275A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001167971A (ja) * | 1999-12-13 | 2001-06-22 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型セラミック電子部品およびその製造方法 |
JP2007149993A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Kyocera Corp | 電子部品の製造方法 |
-
1992
- 1992-03-31 JP JP7668992A patent/JPH05283275A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001167971A (ja) * | 1999-12-13 | 2001-06-22 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型セラミック電子部品およびその製造方法 |
JP2007149993A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Kyocera Corp | 電子部品の製造方法 |
JP4651519B2 (ja) * | 2005-11-28 | 2011-03-16 | 京セラ株式会社 | 電子部品の製造方法 |
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