JPH0526993A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
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- JPH0526993A JPH0526993A JP3186290A JP18629091A JPH0526993A JP H0526993 A JPH0526993 A JP H0526993A JP 3186290 A JP3186290 A JP 3186290A JP 18629091 A JP18629091 A JP 18629091A JP H0526993 A JPH0526993 A JP H0526993A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 構造が物理的に安定し信号の再現性が良く小
型かつ安価な磁気センサを得る。 【構成】 素子基板１２上に感磁部１４ａ，１４ｂと平
行に導体パターン２２を被着形成する。導体パターン２
２に電流が流れると、この結果生じた磁界が感磁部１４
ａ，１４ｂに加わる。導体パターン２２を基準交流磁界
の供給に用いると初期診断性能が向上することとなり、
本発明に係る磁気センサを電流センサに用いて導体パタ
ーン２２に電流を流すと、小型かつ軽量な構成で電流の
高精度の検出を行うことができる。
型かつ安価な磁気センサを得る。 【構成】 素子基板１２上に感磁部１４ａ，１４ｂと平
行に導体パターン２２を被着形成する。導体パターン２
２に電流が流れると、この結果生じた磁界が感磁部１４
ａ，１４ｂに加わる。導体パターン２２を基準交流磁界
の供給に用いると初期診断性能が向上することとなり、
本発明に係る磁気センサを電流センサに用いて導体パタ
ーン２２に電流を流すと、小型かつ軽量な構成で電流の
高精度の検出を行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気抵抗素子を用いて
構成した磁気センサの改良に関する。
構成した磁気センサの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、磁気抵抗素子を用いた磁気セ
ンサが知られている。磁気センサは、例えば磁気ライン
センサに用いられており、その構成は例えば特開平２−
７５０８７号公報に開示されている。
ンサが知られている。磁気センサは、例えば磁気ライン
センサに用いられており、その構成は例えば特開平２−
７５０８７号公報に開示されている。
【０００３】図７には、一従来例に係る磁気センサの構
成が示されている。この図に示される磁気センサ１０
は、素子基板１２上に一対の感磁部１４ａ，１４ｂを被
着形成した磁気抵抗素子を備えている。感磁部１４ａ，
１４ｂは、例えばＩｎＳｂ等の材料から形成されてお
り、素子基板１２上にエッチングまたは蒸着により被着
形成されている。
成が示されている。この図に示される磁気センサ１０
は、素子基板１２上に一対の感磁部１４ａ，１４ｂを被
着形成した磁気抵抗素子を備えている。感磁部１４ａ，
１４ｂは、例えばＩｎＳｂ等の材料から形成されてお
り、素子基板１２上にエッチングまたは蒸着により被着
形成されている。
【０００４】この磁気抵抗素子は、感磁部１４ａ，１４
ｂに加わる磁界の変化に応じて信号を出力する。すなわ
ち、この磁気抵抗素子の感磁部１４ａ，１４ｂに沿って
磁性体（例えば紙幣上に磁気インクにより印刷された磁
気パターン）が通過すると、この通過に伴い磁気抵抗素
子は信号を出力する。
ｂに加わる磁界の変化に応じて信号を出力する。すなわ
ち、この磁気抵抗素子の感磁部１４ａ，１４ｂに沿って
磁性体（例えば紙幣上に磁気インクにより印刷された磁
気パターン）が通過すると、この通過に伴い磁気抵抗素
子は信号を出力する。
【０００５】また、この従来例は、磁気抵抗素子を磁気
バイアスする磁石１６を備えている。通常、紙幣の磁気
パターンを検出する磁気抵抗素子の出力信号電圧は微弱
であるため、そのままでは、取扱いが困難である。そこ
で、この従来例においては、磁石１６により磁気抵抗素
子に磁気バイアスを加えて磁気動作点を移動させ、微小
な磁界の変化に対して出力信号レベルを大きくとれるよ
うに構成している。
バイアスする磁石１６を備えている。通常、紙幣の磁気
パターンを検出する磁気抵抗素子の出力信号電圧は微弱
であるため、そのままでは、取扱いが困難である。そこ
で、この従来例においては、磁石１６により磁気抵抗素
子に磁気バイアスを加えて磁気動作点を移動させ、微小
な磁界の変化に対して出力信号レベルを大きくとれるよ
うに構成している。
【０００６】さらに、磁気抵抗素子及び磁石１６は、ケ
ース１８に収納されている。この図には詳細には図示し
ないが、ケース１８は、磁石１６及び磁気抵抗素子を収
納する室を有している。また、ケース１８の上部はメタ
ルカバー２０によって覆われている。このような構成を
採る場合、メタルカバー２０側が検知面として機能する
ことになる。
ース１８に収納されている。この図には詳細には図示し
ないが、ケース１８は、磁石１６及び磁気抵抗素子を収
納する室を有している。また、ケース１８の上部はメタ
ルカバー２０によって覆われている。このような構成を
採る場合、メタルカバー２０側が検知面として機能する
ことになる。
【０００７】そして、この従来例においては、導体線２
２が設けられている。導体線２２は、基準交流磁界を発
生させる導体線でありその表面は絶縁被覆されている。
２が設けられている。導体線２２は、基準交流磁界を発
生させる導体線でありその表面は絶縁被覆されている。
【０００８】基準交流磁界とは、図７（ｂ）及び（ｃ）
に示されるように、導体線２２に周波数ｆa （Ｈｚ）の
交流電流を流した場合に生ずる磁界である。図７（ｂ）
においては磁束密度Ｂにより表されている。
に示されるように、導体線２２に周波数ｆa （Ｈｚ）の
交流電流を流した場合に生ずる磁界である。図７（ｂ）
においては磁束密度Ｂにより表されている。
【０００９】この従来例の動作は、図６に示される導体
線２２に電流が流れていないときは、図６（ａ）に示さ
れる如く、永久磁石１６から発する磁界は永久磁石の磁
極面近傍で磁気抵抗素子の感磁部１４ａ，１４ｂに垂直
に加わる。このため２個の磁気抵抗素子の感磁部１４ａ
及び１４ｂに加わる磁界の強さはほぼ等しいものとな
る。
線２２に電流が流れていないときは、図６（ａ）に示さ
れる如く、永久磁石１６から発する磁界は永久磁石の磁
極面近傍で磁気抵抗素子の感磁部１４ａ，１４ｂに垂直
に加わる。このため２個の磁気抵抗素子の感磁部１４ａ
及び１４ｂに加わる磁界の強さはほぼ等しいものとな
る。
【００１０】２個の磁気抵抗素子は、図７（ｃ）に示さ
れるように結線されており、２個の磁気抵抗素子の抵抗
がほぼ等しいので出力Ｖout は印加電圧がＶinのときＶ
in／２の電圧となる。
れるように結線されており、２個の磁気抵抗素子の抵抗
がほぼ等しいので出力Ｖout は印加電圧がＶinのときＶ
in／２の電圧となる。
【００１１】次に図６（ｂ）において導体線２２に紙面
表面から裏面の方向へ電流Ｉを流すと、右ねじの法則に
より導体線２２の周囲に磁界Ｂが発生する。この磁界Ｂ
により永久磁石から発する磁界は図６（ｂ）のように乱
され、一方の素子の感磁部１４ａに加わる磁束密度が高
くなり、反面もう一方の素子の感磁部１４ｂに加わる磁
束密度が低くなる。このため、２個の磁気抵抗素子の抵
抗変化率が異なり、図７（ｃ）の出力Ｖout はＶin／２
から変動する。同様に電流の方向が変わると出力Ｖout
の変動も正負を逆とする。この結果、電流Ｉを周波数ｆ
a （Ｈｚ）の基準交流電流とすると出力Ｖout は図７
（ｃ）に示されるような周波数ｆa （Ｈｚ）の模擬電圧
出力となる。
表面から裏面の方向へ電流Ｉを流すと、右ねじの法則に
より導体線２２の周囲に磁界Ｂが発生する。この磁界Ｂ
により永久磁石から発する磁界は図６（ｂ）のように乱
され、一方の素子の感磁部１４ａに加わる磁束密度が高
くなり、反面もう一方の素子の感磁部１４ｂに加わる磁
束密度が低くなる。このため、２個の磁気抵抗素子の抵
抗変化率が異なり、図７（ｃ）の出力Ｖout はＶin／２
から変動する。同様に電流の方向が変わると出力Ｖout
の変動も正負を逆とする。この結果、電流Ｉを周波数ｆ
a （Ｈｚ）の基準交流電流とすると出力Ｖout は図７
（ｃ）に示されるような周波数ｆa （Ｈｚ）の模擬電圧
出力となる。
【００１２】このような基準交流磁界を発生させる導体
線２２を用いるのは、いわゆるイニシャルチェック（初
期診断）を行うためである。磁気抵抗素子の特性は、い
わゆる経時変化によって変化し、あるいは磁気抵抗素子
が故障することもある。このような場合には、基準交流
磁界を感磁部１４ａ，１４ｂに与えても、所定のレベル
の模擬信号が得られない。従って、基準交流磁界を発生
させている状態で磁気抵抗素子から所定のレベルの模擬
信号が得られるか否かで、特性の劣化、故障等が生じて
いるかどうかを診断することができる。従って、導体線
２２を用いこれを初期診断に用いることによって、その
特性劣化等の評価を簡易な手段で行うことができる。
線２２を用いるのは、いわゆるイニシャルチェック（初
期診断）を行うためである。磁気抵抗素子の特性は、い
わゆる経時変化によって変化し、あるいは磁気抵抗素子
が故障することもある。このような場合には、基準交流
磁界を感磁部１４ａ，１４ｂに与えても、所定のレベル
の模擬信号が得られない。従って、基準交流磁界を発生
させている状態で磁気抵抗素子から所定のレベルの模擬
信号が得られるか否かで、特性の劣化、故障等が生じて
いるかどうかを診断することができる。従って、導体線
２２を用いこれを初期診断に用いることによって、その
特性劣化等の評価を簡易な手段で行うことができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成においては、導体線と感磁部との位置関係が一
定しない。すなわち、導体線はメタルカバー等に対して
固定されており、感磁部に対しては必ずしも位置精度が
確保されない。また、導体線を精度良く固定する作業は
困難であり、導体線を取り付けた後にケースの振動や変
形等が発生した場合には、この振動、変形等によって出
力信号（模擬信号）が影響を受けることとなる。
うな構成においては、導体線と感磁部との位置関係が一
定しない。すなわち、導体線はメタルカバー等に対して
固定されており、感磁部に対しては必ずしも位置精度が
確保されない。また、導体線を精度良く固定する作業は
困難であり、導体線を取り付けた後にケースの振動や変
形等が発生した場合には、この振動、変形等によって出
力信号（模擬信号）が影響を受けることとなる。
【００１４】本発明は、このような問題点を解決するこ
とを課題としてなされたものであり、感磁部と導体線と
の位置関係が変化しにくく、より容易に初期診断を行う
ことが可能な磁気センサを提供することを目的とする。
とを課題としてなされたものであり、感磁部と導体線と
の位置関係が変化しにくく、より容易に初期診断を行う
ことが可能な磁気センサを提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、導体を、感磁部の対とほぼ平行と
なるよう基板上に配置することを特徴とする。
るために、本発明は、導体を、感磁部の対とほぼ平行と
なるよう基板上に配置することを特徴とする。
【００１６】
【作用】本発明においては、基板上に導体が配置され
る。従って、導体と感磁部との位置関係が変化しにく
く、その結果、出力信号レベルの再現性が向上し、ケー
ス等の変形、振動に対しても強くなる。
る。従って、導体と感磁部との位置関係が変化しにく
く、その結果、出力信号レベルの再現性が向上し、ケー
ス等の変形、振動に対しても強くなる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について図面に
基づき説明する。なお、図７に示されている従来例と同
様の構成には同一の符号を付し説明を省略する。
基づき説明する。なお、図７に示されている従来例と同
様の構成には同一の符号を付し説明を省略する。
【００１８】図１には、本発明の第１実施例に係る磁気
センサの構成が示されている。図１（ａ）には素子基板
１２の上方から見た平面形状が、図１（ｂ）には側面形
状が、図１（ｃ）にはケース１８内に収納した状態の断
面図が、図１（ｄ）には結線が、それぞれ示されてい
る。
センサの構成が示されている。図１（ａ）には素子基板
１２の上方から見た平面形状が、図１（ｂ）には側面形
状が、図１（ｃ）にはケース１８内に収納した状態の断
面図が、図１（ｄ）には結線が、それぞれ示されてい
る。
【００１９】この実施例においては、一対の感磁部１４
ａ，１４ｂに加え、導体パターン２２が素子基板１２上
に被着形成されている。被着形成は、例えばエッチング
で行う。なお、素子基板１２は例えばフェライトであ
り、感磁部１４ａ，１４ｂはＩｎＳｂ等であり、導体パ
ターン２２はＩｎＳｂ，Ａｌ，Ｃｕ等により形成されて
いる。
ａ，１４ｂに加え、導体パターン２２が素子基板１２上
に被着形成されている。被着形成は、例えばエッチング
で行う。なお、素子基板１２は例えばフェライトであ
り、感磁部１４ａ，１４ｂはＩｎＳｂ等であり、導体パ
ターン２２はＩｎＳｂ，Ａｌ，Ｃｕ等により形成されて
いる。
【００２０】このように感磁部１４ａ，１４ｂと平行に
素子基板１２上に被着形成された導体パターン２２に基
準交流電流を流すと、これによって基準交流磁界が発生
し、感磁部１４ａ，１４ｂに与えられることとなる。す
ると、図７に示される従来例と同様の原理によって、感
磁部１４ａ，１４ｂからは模擬信号出力が得られ、この
模擬信号のレベルによって自己診断が可能となる。
素子基板１２上に被着形成された導体パターン２２に基
準交流電流を流すと、これによって基準交流磁界が発生
し、感磁部１４ａ，１４ｂに与えられることとなる。す
ると、図７に示される従来例と同様の原理によって、感
磁部１４ａ，１４ｂからは模擬信号出力が得られ、この
模擬信号のレベルによって自己診断が可能となる。
【００２１】図２には、本発明の第２実施例に係る磁気
センサ、特にその素子基板１２の側面形状が示されてい
る。この図に示される磁気抵抗素子においては、一対の
感磁部１４ａ，１４ｂの両側に導体パターン２２が被着
形成されている。このようにしても、第１実施例と同様
に、感磁部１４ａ，１４ｂに基準交流磁界を与えること
ができる。
センサ、特にその素子基板１２の側面形状が示されてい
る。この図に示される磁気抵抗素子においては、一対の
感磁部１４ａ，１４ｂの両側に導体パターン２２が被着
形成されている。このようにしても、第１実施例と同様
に、感磁部１４ａ，１４ｂに基準交流磁界を与えること
ができる。
【００２２】図３には、本発明の第３実施例に係る磁気
センサが図２と同様の態様で示されている。この図に示
される磁気センサにおいては、基準交流磁界の発生に係
る導体パターン２２が素子基板１２の裏側に被着形成さ
れている。このようにしても、やはり第１及び第２実施
例と同様の効果を得ることができる。
センサが図２と同様の態様で示されている。この図に示
される磁気センサにおいては、基準交流磁界の発生に係
る導体パターン２２が素子基板１２の裏側に被着形成さ
れている。このようにしても、やはり第１及び第２実施
例と同様の効果を得ることができる。
【００２３】導体パターン２２と感磁部１４ａ，１４ｂ
との間隔が、図７に示される従来例と比べ接近してい
る。この結果、模擬信号レベルをより大きくとることが
でき、初期診断をより正確に行うことが可能となる。逆
に言えば、基準交流電流を従来ほど大きくしなくてす
む。
との間隔が、図７に示される従来例と比べ接近してい
る。この結果、模擬信号レベルをより大きくとることが
でき、初期診断をより正確に行うことが可能となる。逆
に言えば、基準交流電流を従来ほど大きくしなくてす
む。
【００２４】また、従来においては、導体線２２を固定
する製造工程が必要であった。これに対し、第１乃至第
３実施例においては、導体パターン２２の形成がかかる
工程を実行することなく実現される。さらには、導体パ
ターン２２が素子基板１２上に配置されているため、ケ
ース１８等が常に変形したり振動したりした場合におい
ても、出力信号に影響が生じない。このように、特性変
化、故障の評価をより正確かつ安全に行うことが可能と
なる。
する製造工程が必要であった。これに対し、第１乃至第
３実施例においては、導体パターン２２の形成がかかる
工程を実行することなく実現される。さらには、導体パ
ターン２２が素子基板１２上に配置されているため、ケ
ース１８等が常に変形したり振動したりした場合におい
ても、出力信号に影響が生じない。このように、特性変
化、故障の評価をより正確かつ安全に行うことが可能と
なる。
【００２５】本発明の構成は、以上説明したような磁気
センサに限定されるものではない。第１乃至第３実施例
に係る磁気センサは、例えば紙幣上に磁気インクにより
印刷された磁気パターンを読み取るためのセンサとして
用い得るものであるが、本発明は、例えば磁気抵抗素子
を用いて電流を検出しようとするセンサにも適用するこ
とができる。
センサに限定されるものではない。第１乃至第３実施例
に係る磁気センサは、例えば紙幣上に磁気インクにより
印刷された磁気パターンを読み取るためのセンサとして
用い得るものであるが、本発明は、例えば磁気抵抗素子
を用いて電流を検出しようとするセンサにも適用するこ
とができる。
【００２６】図４には、このような電流検出機能を実現
した磁気センサの一例構成が示されている。
した磁気センサの一例構成が示されている。
【００２７】図４（ａ）に示されるように、第４実施例
に係る磁気センサは、素子基板３０上に一対の感磁部３
２ａ，３２ｂ及び導体層３４を被着形成した構成であ
る。感磁部３２ａ，３２ｂからは、それぞれ一対の電極
３６及び３８が引き出されており、導体層３４からも一
対の電極４０及び４２が引き出されている。導体層３４
は、素子基板３０上に直接に被着形成されるのではな
く、半導体層４４とのオーミック接触を介して被着され
る。
に係る磁気センサは、素子基板３０上に一対の感磁部３
２ａ，３２ｂ及び導体層３４を被着形成した構成であ
る。感磁部３２ａ，３２ｂからは、それぞれ一対の電極
３６及び３８が引き出されており、導体層３４からも一
対の電極４０及び４２が引き出されている。導体層３４
は、素子基板３０上に直接に被着形成されるのではな
く、半導体層４４とのオーミック接触を介して被着され
る。
【００２８】この導体層３４は、本実施例において、検
出すべき電流が流される導体である。すなわち、図５に
示されるように被検知電流Ｉが導体層３４に流される
と、これに応じて感磁部３２ａ，３２ｂの接続中点から
出力電圧Ｖが得られる。感磁部３２ａ，３２ｂは、図５
に示されるように、直列接続されており、かつ、差動状
態となるように接続に係る電極が選択されている。この
直列接続された感磁部３２ａ，３２ｂの一対に電源４６
から電圧が加わると、被検知電流Ｉによって生じた磁界
により感磁部３２ａ，３２ｂの抵抗値が変化し、その結
果、出力電圧Ｖの値の変化が生ずる。この出力電圧Ｖの
値の変化によって、電流の量及び方向がわかることとな
る。図４の磁気センサも図示しないが永久磁石の磁極面
に取り付けられている。
出すべき電流が流される導体である。すなわち、図５に
示されるように被検知電流Ｉが導体層３４に流される
と、これに応じて感磁部３２ａ，３２ｂの接続中点から
出力電圧Ｖが得られる。感磁部３２ａ，３２ｂは、図５
に示されるように、直列接続されており、かつ、差動状
態となるように接続に係る電極が選択されている。この
直列接続された感磁部３２ａ，３２ｂの一対に電源４６
から電圧が加わると、被検知電流Ｉによって生じた磁界
により感磁部３２ａ，３２ｂの抵抗値が変化し、その結
果、出力電圧Ｖの値の変化が生ずる。この出力電圧Ｖの
値の変化によって、電流の量及び方向がわかることとな
る。図４の磁気センサも図示しないが永久磁石の磁極面
に取り付けられている。
【００２９】この実施例の動作を説明する。導体層３４
にまだ電流が流されていない時は、感磁部３２ａ，３２
ｂには、図示しない磁石１８によるバイアスに係る磁界
のみが加わる。従って、この状態では、感磁部３２ａ，
３２ｂに加わる磁界はバランスしており、出力電圧Ｖも
安定している。
にまだ電流が流されていない時は、感磁部３２ａ，３２
ｂには、図示しない磁石１８によるバイアスに係る磁界
のみが加わる。従って、この状態では、感磁部３２ａ，
３２ｂに加わる磁界はバランスしており、出力電圧Ｖも
安定している。
【００３０】この後、導体層３４に電流が流れると、こ
れによって磁界が生ずる。この磁界は、図示しない磁石
１８によって発生する磁界と合成されることとなり、こ
の結果、感磁部３２ａ，３２ｂに加わる磁界には不均衡
が生ずることとなる。この不均衡は、磁気抵抗素子の抵
抗値を変化させ、従って、その接続中点に現れる出力電
圧Ｖの値が変化する。導体層３４によって生ずる磁界の
強さ及び方向は、電流Ｉの量及び方向によって変化する
ため、出力電圧Ｖの変化の量及び方向を観測することに
よって、電流Ｉを検出することができる。
れによって磁界が生ずる。この磁界は、図示しない磁石
１８によって発生する磁界と合成されることとなり、こ
の結果、感磁部３２ａ，３２ｂに加わる磁界には不均衡
が生ずることとなる。この不均衡は、磁気抵抗素子の抵
抗値を変化させ、従って、その接続中点に現れる出力電
圧Ｖの値が変化する。導体層３４によって生ずる磁界の
強さ及び方向は、電流Ｉの量及び方向によって変化する
ため、出力電圧Ｖの変化の量及び方向を観測することに
よって、電流Ｉを検出することができる。
【００３１】このように、本発明を電流センサに応用す
ることが可能であり、この結果、小型、軽量かつ安価な
センサが実現される。従来の電流センサは、例えばホー
ル素子を用いたものであり、このホール素子を動作させ
るためには、磁界を加えるためのコイルやコア、ヨーク
等が必要であった。本実施例においては、このような大
型または重量の部材は必要でなく、従って前述の効果が
得られる。勿論、第１乃至第３実施例において得られる
配置精度の向上の効果も得られることは言うまでもな
い。
ることが可能であり、この結果、小型、軽量かつ安価な
センサが実現される。従来の電流センサは、例えばホー
ル素子を用いたものであり、このホール素子を動作させ
るためには、磁界を加えるためのコイルやコア、ヨーク
等が必要であった。本実施例においては、このような大
型または重量の部材は必要でなく、従って前述の効果が
得られる。勿論、第１乃至第３実施例において得られる
配置精度の向上の効果も得られることは言うまでもな
い。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
感磁部の対とほぼ平行となるように基板上に導体を配置
するようにしたため、感磁部に対する導体の位置精度が
向上し、信号の再現性が高くなる。また、寸法が小型化
され、製造も容易となる。
感磁部の対とほぼ平行となるように基板上に導体を配置
するようにしたため、感磁部に対する導体の位置精度が
向上し、信号の再現性が高くなる。また、寸法が小型化
され、製造も容易となる。
【００３３】更に紙幣等を検出する磁気センサとして使
用する場合は、自己診断するための磁界手段を他に必要
としない利点があり、また電流検出用磁気センサとして
利用するときは、基板上の導体に非検出電流を流すだけ
でよい利点がある。
用する場合は、自己診断するための磁界手段を他に必要
としない利点があり、また電流検出用磁気センサとして
利用するときは、基板上の導体に非検出電流を流すだけ
でよい利点がある。
【図１】本発明の第１実施例に係る磁気センサの構成を
示す図であり、図１（ａ）は素子基板の平面図、図１
（ｂ）は側面図、図１（ｃ）はケースに収納しカバーを
被せた状態での断面図、図１（ｄ）は結線図である。
示す図であり、図１（ａ）は素子基板の平面図、図１
（ｂ）は側面図、図１（ｃ）はケースに収納しカバーを
被せた状態での断面図、図１（ｄ）は結線図である。
【図２】本発明の第２実施例に係る磁気センサの構成を
示す図である。
示す図である。
【図３】本発明の第３実施例に係る磁気センサの構成を
示す図である。
示す図である。
【図４】本発明の第４実施例に係る磁気センサの構成を
示す図であり、図４（ａ）は素子基板の上面図、図４
（ｂ）はＡ−Ａ´断面図である。
示す図であり、図４（ａ）は素子基板の上面図、図４
（ｂ）はＡ−Ａ´断面図である。
【図５】第４実施例の回路構成を示す図である。
【図６】第４実施例の動作を示す図であり、図６（ａ）
は電流が流れていない状態を、図６（ｂ）は流れている
状態を、それぞれ示す図である。
は電流が流れていない状態を、図６（ｂ）は流れている
状態を、それぞれ示す図である。
【図７】一従来例に係る磁気センサの構成を示す図であ
り、図７（ａ）は断面図、図７（ｂ）は導体線の作用
を、図７（ｃ）は模擬信号出力を、それぞれ示す図であ
る。
り、図７（ａ）は断面図、図７（ｂ）は導体線の作用
を、図７（ｃ）は模擬信号出力を、それぞれ示す図であ
る。
１０ 磁気センサ １２ 素子基板 １４ 感磁部 １６ 磁石 ２２ 導体パターン ３０ 素子基板 ３２ 感磁部 ３４ 導体層 ３６，３８，４０，４２ 電極
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 加わる磁界の変化により抵抗値が変化し
これに応じたレベルの信号を出力する感磁部の対が平行
に基板上に配置された一対の磁気抵抗素子と、 前記感磁部の対とほぼ平行となるよう基板上に配置され
た導体と、 を備えることを特徴とする磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3186290A JP2666613B2 (ja) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3186290A JP2666613B2 (ja) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | 磁気センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0526993A true JPH0526993A (ja) | 1993-02-05 |
| JP2666613B2 JP2666613B2 (ja) | 1997-10-22 |
Family
ID=16185728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3186290A Expired - Fee Related JP2666613B2 (ja) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2666613B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015147045A1 (ja) * | 2014-03-27 | 2015-10-01 | 三菱電機株式会社 | 情報読取装置及び情報読取方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01153967A (ja) * | 1987-12-10 | 1989-06-16 | Fujitsu Ltd | 電流検出器およびその製造方法 |
| JPH01214784A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-29 | Fujitsu Ltd | 磁気検出装置及びそのバイアス磁界設定方法 |
| JPH0266479A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-06 | Nec Corp | 磁気抵抗効果素子 |
| JPH0275087A (ja) * | 1988-09-12 | 1990-03-14 | Fujitsu Ltd | 磁気ラインセンサ |
-
1991
- 1991-07-25 JP JP3186290A patent/JP2666613B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
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| CN106133543A (zh) * | 2014-03-27 | 2016-11-16 | 三菱电机株式会社 | 信息读取装置和信息读取方法 |
| JPWO2015147045A1 (ja) * | 2014-03-27 | 2017-04-13 | 三菱電機株式会社 | 情報読取装置及び情報読取方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2666613B2 (ja) | 1997-10-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |