JPH05246030A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents

インクジェット記録ヘッド

Info

Publication number
JPH05246030A
JPH05246030A JP4518892A JP4518892A JPH05246030A JP H05246030 A JPH05246030 A JP H05246030A JP 4518892 A JP4518892 A JP 4518892A JP 4518892 A JP4518892 A JP 4518892A JP H05246030 A JPH05246030 A JP H05246030A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
recording head
ink jet
jet recording
buffing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4518892A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3245927B2 (ja
Inventor
Hiroshi Hosokawa
比呂志 細川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP4518892A priority Critical patent/JP3245927B2/ja
Publication of JPH05246030A publication Critical patent/JPH05246030A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3245927B2 publication Critical patent/JP3245927B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 インクジェット記録ヘッドのノズルとその周
囲を、印字紙が接触して起こる破損や摩耗から保護する
ための、ノズル面の凹形状を、バフ研磨によりノズル面
の面精度を向上させながら、簡単にしかも安く加工す
る。 【構成】 2種類以上の材料1〜5を積層して圧力室と
ノズルを形成するインクジェット記録ヘッド19におい
て、内側のノズル13を形成するノズル面12に他の材
料よりも研磨されやすい材質を用いて、全層1〜5同時
にバフ研磨部16によりバフ研磨加工し凹形状を形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッドにおいて、インク粒を吐出させるノズル面の形状と
製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】インクジェット記録ヘッドを利用したプ
リンタ装置において、紙ジャム時に用紙を無理に取り除
こうとしたり、紙浮きが発生した場合、インクジェット
記録ヘッドのノズル周辺に用紙が接触すると、ノズル周
囲にキズが付きインク粒吐出時にインクや紙粉等がたま
ったり、また、撥水処理等の表面処理が破壊されたりし
て、インク粒の吐出精度が低下する。これらを防ぐため
に、従来のインクジェット記録ヘッドにおいては特開平
3ー164256に記載されてあるように、あらかじめ
積層される材料に凹形状を成すべくパターンニングし、
それらを積層することによって、ノズルを配列する面に
対してノズルを凹となる面に形成し、印字用紙がノズル
面に接触することを防ぐものがあった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、材料に凹形状
を形成すべくパターニングした場合、パターン上がりの
素地の状態では面状態が粗く、ノズル面形成には適さな
いため2次加工を要する。また、それらの材料を複数積
層させ、層の重ね合わせでノズル配列面に対してノズル
を凹面にする方法では、積層時の加工誤差によって、ノ
ズル面に段差ができる事はさけられず、その段差によっ
てインクや紙粉がたまり、インク粒の飛行に悪影響を及
ぼことがある。本発明は、前記課題を解決するものであ
って、その目的は、加工面の面精度を向上させながら、
ノズルの形成された層を凹形状に、しかも、簡便で低コ
ストで形成することを提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
記録ヘッドは、ノズルを形成する層またはプラスチック
部材に、他部品よりも摩耗しやすい材質を用いて、該イ
ンクジェット記録ヘッドのノズルの配列された面を、バ
フ研磨で一度に加工することで、ノズルを形成する面の
みを、面精度を向上させながら、他層または部品に対し
て凹にするものである。
【0005】
【作用】本発明によれば、簡便にしかも低コストでノズ
ルを形成する層またはプラスチック部材のノズル面の面
精度を向上させながら凹に加工することが可能である。
そして、該凹形状によって、印字紙がノズル面に接触
し、ノズルとノズル周辺部を損傷させたり、摩耗させる
ことを避けることができる。
【0006】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面に基づいて説
明する。
【0007】図1は、本発明のバフ研磨加工を施したイ
ンクジェット記録ヘッドの実施例を示す。図において、
ガラス基板1には、紫外線硬化樹脂であるドライフィル
ム2、3、4とガラス振動板5が積層されており、さら
に、ガラス振動板の上面には圧電素子6、7、8が貼付
されている。ドライフィルム2、3、4によって形成さ
れたノズル9、10、11のある面をバフ研磨によって
加工すると、ガラス基板1とガラス振動板5よりドライ
フィルム2、3、4が研磨され易いためにノズル9、1
0、11は、ガラス基板1とガラス振動板5に対して凹
となるように加工される。
【0008】図2は、図1に示したインクジェット記録
ヘッドの断面を示す。
【0009】ガラス基板1には、ドライフィルム2がエ
ッチングによりインク圧力室14を形成すべく形状に加
工され積層されている。次に、ドライフィルム3がノズ
ル空間13とインク圧力室14を形成すべく形状に加工
されている。さらに、ドライフィルム4が、ドライフィ
ルム2と同様に、インク圧力室14を形成すべく加工さ
れ、ドライフィルム4の上部に圧電素子6、7、8と連
動して変形、振動するガラス振動板5が積層されてい
る。
【0010】ガラス基板1とドライフィルム2、3、4
とガラス振動板5とによって囲まれたインク圧力室14
は、圧電素子7とガラス基板5の変形により体積が変化
する。該体積が減少する方へ変化した場合、インク圧力
室14に充填されているインクは、ノズル空間13を通
りインク粒となって吐出される。
【0011】ノズル面12は、バフ研磨加工により凹形
状に加工されている。
【0012】図3は、プラスチック部材を用いたインク
ジェット記録ヘッドにおける本発明の実施例を示す。図
1でのドライフィルム2、3、4の代わりに成形で圧力
室を形成した後に、エキシマレーザーによってノズルを
加工したプラスチック部材15が用いられている。
【0013】ノズルは、金型を用いて圧力室と同時に成
形で形造ることも可能である。
【0014】図4は、図3に示したインクジェット記録
ヘッドの断面を示す。
【0015】プラスチック部材15は、ガラス基板1と
ガラス振動板5より研磨されやすい材質を用いており、
バフ研磨により凹形状に加工されている。
【0016】図5と図6は、バフ研磨加工の方法を示し
たもので、図5は加工前、図6は加工後を示す。
【0017】ガラス基板1とドライフィルム2、3、4
とガラス振動板5と圧電素子6とで構成されたインクジ
ェット記録ヘッド19は、ノズル面18をバフ研磨部1
6に圧着されている。バフ研磨部16は、バフ台17に
取り付けられており、バフ台17が矢印の方向に回転す
ることによりインクジェット記録ヘッド19のノズル面
を摩耗させることが可能である。バフ研磨部は、布でで
きており、加工時にダイヤモンドの砥粒を含む砥粒液を
研磨部16を塗布し、加工を行う。
【0018】図4のように、ドライフィルム2、3、4
は、ガラス基板1とガラス振動板5よりも摩耗しやすい
ために、ドライフィルム2、3、4の層のみ凹となる形
状になる。
【0019】以上の実施例は、一例であって、バフ研磨
部の材質として皮、ゴム、金属など、また、砥粒液とし
て砂、土、金属などの様に、一般のバフ研磨と同様の加
工が可能である。
【0020】図7と図8は、従来の方法の実施例を示し
たものである。
【0021】ドライフィルム22,23,24は、ノズ
ル配列面29に対して凹となるノズル面26、28を形
成すべくパターニングされてあり、ノズル面26、28
にそれぞれノズル25、27が形成されてある。
【0022】
【発明の効果】本発明のインクジェット記録ヘッドは、
上述のように、簡便な方法でノズル配列面を凹形状にす
ることができ、印字紙がノズル面に接触して、ノズルと
ノズル周辺部を破損させたり、摩耗させることを防ぐこ
とができる。結果として、ノズル面精度を保ったまま
で、インク粒の吐出精度を向上させることが可能であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のバフ研磨加工を施したインクジェット
記録ヘッドの斜視図である。
【図2】本発明のバフ研磨加工を施したインクジェット
記録ヘッドの断面図である。
【図3】プラスチック部材を用いたインクジェット記録
ヘッドに、本発明のバフ研磨加工を施したヘッドの斜視
図である。
【図4】プラスチック部材を用いたインクジェット記録
ヘッドに、本発明のバフ研磨加工を施したヘッドの斜視
図である。
【図5】バフ研磨加工におけるインクジェット記録ヘッ
ドのセット状態を示す図である。
【図6】バフ研磨加工後のインクジェット記録ヘッドの
状態を示す図である。
【図7】従来のインクジェット記録ヘッドの斜視図であ
る。
【図8】従来のインクジェット記録ヘッドの最終組立前
の部品斜視図である。
【符号の説明】
1 ガラス基板 2 ドライフィルム 3 ドライフィルム 4 ドライフィルム 5 ガラス振動板 6 圧電素子 7 圧電素子 8 圧電素子 9 ノズル 10 ノズル 11 ノズル 12 ノズル面(凹形状) 13 ノズル空間 14 インク圧力室 15 プラスチック部材 16 バフ研磨部 17 バフ台 18 ノズル面(加工前) 19 インクジェット記録ヘッド 20 振動板 21 インクジェットヘッド基板 22 ドライフィルム 23 ドライフィルム 24 ドライフィルム 25 ノズル 26 ノズル面 27 ノズル 28 ノズル面 29 ノズル配列面

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 インクジェットヘッド基板上に、異なる
    2種類以上の材料を積層して圧力室とノズルを複数個形
    成し、該ノズルよりインク粒を吐出させて印字文字のド
    ットを形成するインクジェット記録ヘッドにおいて、前
    記ノズルを形成する層の材料に、他層よりも研磨されや
    すい材質を用いてインクジェット記録ヘッドを形成し、
    さらに、ノズルの配列された面を全層同時にバフ研磨で
    加工することで、ノズルを形成する層を他層に対して凹
    にしたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
  2. 【請求項2】 プラスチック材料を成形してノズルと圧
    力室を形成するための溝を複数個形成した部材を、イン
    クジェットヘッド基板上に取り付け、前記部材に前記溝
    を覆い、圧力室を形成する振動板を貼付してなるインク
    ジェット記録ヘッドにおいて、前記部材の材質に前記イ
    ンクジェットヘッド基板と前記振動板より研磨されやす
    いプラスチック材料を用いて、請求項1のバフ研磨によ
    り、前記部材のノズルが形成された面を他部品に対して
    凹にしたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
JP4518892A 1992-03-03 1992-03-03 インクジェット記録ヘッド Expired - Fee Related JP3245927B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4518892A JP3245927B2 (ja) 1992-03-03 1992-03-03 インクジェット記録ヘッド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4518892A JP3245927B2 (ja) 1992-03-03 1992-03-03 インクジェット記録ヘッド

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05246030A true JPH05246030A (ja) 1993-09-24
JP3245927B2 JP3245927B2 (ja) 2002-01-15

Family

ID=12712297

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4518892A Expired - Fee Related JP3245927B2 (ja) 1992-03-03 1992-03-03 インクジェット記録ヘッド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3245927B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07195686A (ja) * 1993-12-28 1995-08-01 Nec Corp インクジェットプリントヘッド

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07195686A (ja) * 1993-12-28 1995-08-01 Nec Corp インクジェットプリントヘッド

Also Published As

Publication number Publication date
JP3245927B2 (ja) 2002-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100816568B1 (ko) 액체 토출 헤드 제조 방법
US6931702B2 (en) Inkjet recording head and method for manufacturing the same
JP3144115B2 (ja) インク噴射装置
JP4277810B2 (ja) ノズルプレートの製造方法及びノズルプレート
JP2014043029A (ja) 液体吐出ヘッド及び画像形成装置
US8413328B2 (en) Method of manufacturing flow channel substrate for liquid ejection head
US20080307829A1 (en) Glass disk processing method
JP3108771B2 (ja) インクジェット記録ヘッド
JP3245927B2 (ja) インクジェット記録ヘッド
JP3230017B2 (ja) インクジェットヘッドの製造方法
JP3115639B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの製作方法
US20030081079A1 (en) Ink jet recording head, method for manufacturing the same and ink jet recording apparatus
JP3170805B2 (ja) インクジェット記録ヘッド
JP3617529B2 (ja) インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置
JP3985329B2 (ja) インクジェットヘッドの製造方法
JP2006076194A (ja) インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法
KR20050084752A (ko) 잉크젯헤드의 제조방법 및 잉크젯식 기록장치
JP4281387B2 (ja) インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置
JP2000117976A (ja) プリントヘッド及びその製造方法
JP2001353866A (ja) インクジェットヘッドとインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェット記録装置
JPH08108540A (ja) インクジェットヘッドの製造方法
JP2002127414A (ja) インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
JP2022071410A (ja) 液体吐出ヘッド、及び、その製造方法
EP0975465A1 (en) Nozzle plate for an ink jet print head
JPH06183012A (ja) インクジェット記録ヘッドの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 6

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071102

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081102

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 8

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091102

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees