JPH0522316B2 - - Google Patents

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JPH0522316B2
JPH0522316B2 JP60275566A JP27556685A JPH0522316B2 JP H0522316 B2 JPH0522316 B2 JP H0522316B2 JP 60275566 A JP60275566 A JP 60275566A JP 27556685 A JP27556685 A JP 27556685A JP H0522316 B2 JPH0522316 B2 JP H0522316B2
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JP
Japan
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bit line
potential
signal
sense amplifier
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JP60275566A
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Yasuhiro Konishi
Kazuyasu Fujishima
Masaki Kumanotani
Hideji Myatake
Hideto Hidaka
Katsumi Dosaka
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Priority to US06/938,065 priority patent/US4809230A/en
Publication of JPS62134894A publication Critical patent/JPS62134894A/ja
Priority to US07/662,663 priority patent/USRE34463E/en
Publication of JPH0522316B2 publication Critical patent/JPH0522316B2/ja
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    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は半導体記憶装置に関し、特にアクテ
イブプルアツプ回路を備えたMOSダイナミツク
RAMにおけるビツト線の電位のプルアツプを行
なうタイミングに関するものである。
[従来の技術] 通常のMOSダイナミツクRAMにおいては、各
ビツト線対ごとに1個のセンスアンプが設けられ
ており、読出し前にビツト線対の電位を電源電位
VCCレベルまでプリチヤージし、メモリセルが選
択されてビツト線対間に微小電位差が発生する
と、センスアンプは低レベル側のビツト線の電位
を接地電位VSSレベルまで引き下げる。このよう
にして、センスアンプは上記微小電位差を増幅す
るわけであるが、実際にはセンス動作開始直後の
放電や、動作完了後のリーク電流などによつて高
電位側のビツト線のレベルは少し低下し、メモリ
セルへの再書込レベルが低くなり好ましくない。
この対策としてアクテイブプルアツプ回路を用い
る場合がある。このアクテイブプルアツプ回路は
高電位側のビツト線の電位のみをVCCレベルまで
引き上げるものであるが、ここでは回路構成は特
に限定しない。また、ビツト線充放電時の電源電
流を低減するために、プリチヤージレベルをVCC
とVSSの中間に設定したものがあるが、この場合
もアクテイブプルアツプ回路によつて高電位側の
ビツト線の電位をVCCまで引き上げる必要があ
る。
第3図は従来の一般的なアクテイブプルアツプ
回路を備えたMOSダイナミツクRAMのセンスア
ンプまわりの概略回路図でである。なお、ここで
は1/2VCCプリチヤージの場合について説明する。
初めにこの回路の構成について説明する。図にお
いて、ビツト線対BL,にワード線WLおよび
ダミーワード線DWLが交差するように設けられ
ている。また、MOSトランジスタ4の一方側電
極はビツト線BLに接続され、その他方側電極は
容量CMのコンデンサ8を介してセルプレート電
極CPに接続され、そのゲート電極はワード線
WLに接続されている。MOSトランジスタ4と
コンデンサ8とはメモリセル10を構成する。ま
た、MOSトランジスタ5の一方側電極はビツト
線に接続され、その他方側電極は容量CDのコ
ンデンサ9を介してセルプレート電極CPに接続
され、そのゲート電極はダミーワード線DWLに
接続されている。MOSトランジスタ5とコンデ
ンサ9とはダミーセル11を構成する。また、
MOSトランジスタ6の一方側電極はビツト線BL
に接続され、MOSトランジスタ6の他方側電極
はMOSトランジスタ7の一方側電極に接続され、
MOSトランジスタ7の他方側電極はビツト線
に接続されている。MOSトランジスタ6の他方
側電極とMOSトランジスタ7の一方側電極との
接続点にビツト線対BL,の電位をプリチヤー
ジするためのプリチヤージ電位VP(=1/2VCC)が
与えられる。MOSトランジスタ6およびMOSト
ランジスタ7はそれらのゲート電極に与えられる
プリチヤージ信号ΦPによつてオン・オフが制御
される。また、ビツト線対BL,にセンスアン
プ12が接続されている。MOSトランジスタ1
の一方側電極はビツト線に接続され、MOSト
ランジスタ1の他方側電極はMOSトランジスタ
2の一方側電極に接続され、MOSトランジスタ
2の他方側電極はビツト線BLに接続されている。
MOSトランジスタ1のゲート電極はビツト線BL
に接続され、MOSトランジスタ2のゲート電極
はビツト線に接続されている。MOSトランジ
スタ1の他方側電極とMOSトランジスタ2の一
方側電極との接続点はMOSトランジスタ3を介
して接地されている。MOSトランジスタ3はそ
のゲート電極に与えられるセンスアンプ活性化信
号SOによりオン・オフが制御される。センスアン
プ12はセンスアンプ活性化信号SOによりその動
作が制御され、ビツト線対BL,の電位を検知
し、低電位側のビツト線の電位を接地電位VSS
する。また、ビツト線対BL,にアクテイブプ
ルアツプ回路13が接続されている。アクテイブ
プルアツプ回路13はアクテイブプルアツプ信号
ARによつて制御され、ビツト線対BL,の高
電位側のビツト線の電位を電源電位VCCにプルア
ツプする。
なお、この図では、説明の便宜上、1組のビツ
ト線対と、1本のワード線と、1本のダミーワー
ド線と、1個のメモリセルと、1個のダミーセル
と、1組のプリチヤージ用MOSトランジスタと、
1個のアクテイブプルアツプ回路を示している
が、実際のMOSダイナミツクRAMでは、複数組
のビツト線対に複数本のワード線および複数本の
ダミーワード線が交差するように設けられてい
る。また、各ビツト線対の一方または他方のビツ
ト線と各ワード線間に各メモリセルが接続されて
おり、各ビツト線に1個ずつダミーセルが接続さ
れ、これらダミーセルにダミーワード線が接続さ
れている。そして、各メモリセル、各ダミーセル
がマトリツクス状に配列されてメモリセルアレイ
を構成している。また、各ビツト線対に各1組の
プリチヤージ用MOSトランジスタ、各アクテイ
ブプルアツプ回路および各センスアンプ回路が接
続されている構成となつている。
第4図は第3図に示される回路の読出書込動作
のタイミングを示す図である。図において、ΦP
SO,ARはそれぞれ第3図に示される各信号に対
応し、WL,DWLはワード線WL、ダミーワード
線DWLの電位変化を、BL,はビツト線BL,
BLの電位変化を表わしている。また、EXT,
RASは外部ローアドレスストローブ信号を、
RAS、は内部ローアドレスストローブ信号
を表わしており、この内部ローアドレスストロー
ブRAS信号は、MOSダイナミツクRAMのノン
アクテイブサイクルとアクテイブサイクルとを規
定する。
次に、第3図の回路の動作を第4図のタイミン
グ図を参照しながら説明する。今、メモリセル1
0に“1”、ダミーセル11に“0”の情報が書
込まれていたとする。まず、外部信号が
“H”である期間、すなわちノンアクテイブサイ
クルではプリチヤージ信号ΦPが“H”となつて
おり、MOSトランジスタ6,7がオンしてビツ
ト線対BL,の電位はプリチヤージ電圧VP
(1/2VCC)レベルまでプリチヤージされている。
時刻t1で外部信号が立下がり、これに応じて
微小時間の後、内部RAS信号が立上がり、内部
RAS信号が立下がつてアクテイブサイクルに入
り、プリチヤージ信号ΦPが立下がつてビツト線
対BL,のプリチヤージ動作が終了する。続い
て、ローアドレス信号(図示せず)がラツチされ
た後ローデコーダ(図示せず)に与えられ、ロー
デコーダはこのアドレス信号をデコードし、時刻
t2でWL,DWLが立上がつてワード線WL、ダミ
ーワード線DWLが選択され、メモリセル10か
らメモリセル情報がビツト線BLに、ダミーセル
11からダミーセル情報がビツト線に読出さ
れ、ビツト線BLとビツト線間に電位差が生じ
る。ここでは、メモリセル情報をフルレベルで読
み書きできるように、ワード線WL、ダミーワー
ド線DWLの電位をVCC+VTH+α(VTHはMOSト
ランジスタ4,5のしきい値電圧)まで昇圧す
る。次に、時刻t3でセンスアンプ活性化信号SO
立上がつてセンス動作が始まり、センスアンプ1
2はビツト線対BL,の電位を検知し、低電位
側のビツト線の電位を接地電位VSSにする。こ
のとき、高電位側のビツト線BLの電位もややレ
ベルが下がる。次に、時刻t4でアクテイブプルア
ツプ信号ARが立上がり、アクテイブプルアツプ
回路13が動作して高電位側のビツト線BLの電
位を電源電位VCCレベルまでプルアツプする。次
に、時刻t5で外部信号が立上がり、これに応
じてただちに内部RAS信号が立下がり、内部
RAS信号が立上がる。続いて、ワード線WL、ダ
ミーワード線DWLの電位、センスアンプ活性化
信号SOが立下がり、アクテイブプルアツプ信号
ARが立下がつてプルアツプ動作が終了し、続い
て、プリチヤージ信号ΦPが立上がつてビツト線
対BL,の電位をプリチヤージ電位VP(=1/2
VCC)にプリチヤージし始め、ノンアクテイブサ
イクルに入る。
以上のように、アクテイブサイクル中メモリ動
作を行なうわけであるが、ここでアクテイブサイ
クルタイムtACとは外部信号が“L”である
期間、すなわちt5−t1のことをいう。
[発明が解決しようとする問題点] ところで、通常上記アクテイブプルアツプ動作
はセンス動作開始後から始まり、外部信号
の立上がり直後まで行なうが、高電位側のビツト
線の電位のプルアツプを完全に行なうためには、
上記アクテイブサイクルタイムtACを十分長くと
らなければならず、アクテイブプルアツプ回路を
用いた場合は、アクテイブプルアツプ回路を用い
ない場合に比べて、高電位側のビツト線の電位が
十分電源電位VCCまで引上げられる時間だけアク
テイブサイクルタイムtACを長くとらなければな
らないという問題点があつた。
この発明は上記のような問題点を解消するため
になされたもので、アクテイブサイクルタイムを
長くすることなしにビツト線の電位を完全に所定
電位にプルアツプすることができる半導体記憶装
置を得ることを目的とする。
[問題点を解決するための手段] この発明に係る半導体記憶装置は、遅延回路に
より外部信号を所定時間だけ遅延し、内部
RAS信号発生手段により、外部信号と遅延
回路出力信号とに応答して外部信号の終縁
を遅延させた内部RAS信号を発生し、この内部
RAS信号によつて半導体記憶装置のノンアクテ
イブサイクルとアクテイブサイクルとが規定され
るようにし、センスアンプの駆動開始後からアク
テイブサイクルの終了までビツト線の電位のプル
アツプ動作を実行するようにしたものである。
[作用] この発明においては、上記プルアツプ動作は内
部RAS信号が立下がつたアクテイブサイクルの
終了時に終了するので、外部信号の立上が
るタイミングを遅らせなくてもプルアツプ動作を
行なう時間を十分長く確保することができる。
[実施例] 以下、この発明の実施例を図について説明す
る。なお、この実施例の説明において、従来の技
術の説明と重複する部分については適宜その説明
を省略する。
第1図は、この発明の実施例である半導体記憶
装置の信号および内部RAS信号発生系の回
路図である。この実施例の半導体記憶装置の
RPW信号および内部RAS信号発生系以外の部分
の構成は従来の装置の構成と同じである。初めに
この信号発生系の構成について説明する。図にお
いて、27はNAND回路であり、MOSトランジ
スタ21の一方側電極は電源電位VCCの電源線2
6に接続され、MOSトランジスタ21の他方側
電極はMOSトランジスタ22の一方側電極に接
続されている。MOSトランジスタ22の他方側
電極はMOSトランジスタ23の一方側電極に接
続され、MOSトランジスタ23の他方側電極は
接地されている。また、MOSトランジスタ24
の一方側電極およびそのゲート電極は電源線26
に接続され、MOSトランジスタ24の他方側電
極はMOSトランジスタ21のゲート電極および
コンデンサ25の一方側電極に接続されている。
コンデンサ25の他方側電極はMOSトランジス
タ21の他方側電極とMOSトランジスタ22の
一方側電極との接続点に接続されている。入力端
子19に外部信号が入力される。入力端子
19は、複数個のインバータからなる遅延回路2
0を介してNAND回路27の一方側入力である
MOSトランジスタ22のゲート電極に接続され
ているとともに、NAND回路27の他方側入力
であるMOSトランジスタ23のゲート電極に接
続されている。遅延回路20は外部信号を
所定時間だけ遅延させ、信号を出力する。
NAND回路27は外部信号と信号とか
ら内部RAS信号を出力する。信号は内部
RAS信号の立下がるタイミングを制御するため
の信号であり、内部RAS信号はこの半導体記憶
装置のノンアクテイブサイクルとアクテイブサイ
クルとを規定する信号である。
第2図は、この発明の実施例である半導体記憶
装置の読出書込動作のタイミングを示す図であ
る。
次に、この半導体記憶装置の動作を第2図を参
照しながら説明する。時刻t4までは従来のMOS
ダイナミツクRAMの動作と全く同様であり、時
刻t1′でビツト線BLの電位のプルアツプの完了を
持たずに外部信号を立上げている。しかる
に、信号で内部RAS信号の立下がるタイミ
ングを制御しているので、外部信号を立上
げても直ちに内部RAS信号は立下がらずそのま
ま“H”の状態が保持され、外部信号の立
上がりから所定時間遅延して時刻t5で信号
が立上がるとき初めて内部RAS信号は立下がる。
プリチヤージ信号ΦP、ワード線WL、ダミーワー
ド線DWLの電位、センスアンプ活性化信号SO
アクテイブプルアツプ信号ARなどの内部信号
は、すべて内部RAS信号、内部信号によつ
て制御されるので、時刻t5′で外部信号が立
上がつても、内部ではビツト線BLの電位のプル
アツプ、メモリセル10への再書込動作が続けら
れ、これらの動作は時刻t5までに完了する。この
ように、外部信号の立上がるタイミングを
遅らせなくても、プルアツプを行なう時間を十分
長く確保でき、ビツト線BLの電位を完全に電源
電位VCCにプルアツプすることができる。したが
つて、従来のMOSダイナミツクRAMに比べて、
アクテイブサイクルタイムtACはt5−t5′だけ短く
することができる。
なお、上記実施例では、1/2VCCプリチヤージ
の場合について説明したが、この発明はVCCプリ
チヤージの場合にも同様に効果があることは言う
までもない。
[発明の効果] 以上のようにこの発明によれば、内部RAS信
号発生手段により、外部信号と、この外部
RAS信号を所定時間だけ遅延した信号とに応答
して、外部信号の終縁を遅延させた内部
RAS信号を発生し、この内部RAS信号によつて
半導体記憶装置のノンアクテイブサイクルとアク
テイブサイクルとが規定されるようにし、センス
アンプの駆動開始後からアクテイブサイクルの終
了まで高電位側のビツト線の電位のプルアツプ動
作を実行するようにしたので、アクテイブプルア
ツプ回路を備えながらも、アクテイブサイクルタ
イムtACを長くとる必要はなく、しかも高電位側
のビツト線の電位を完全に所定電位にプルアツプ
することができる半導体記憶装置を得ることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の実施例である半導体記憶
装置の信号および内部RAS信号発生系の回
路図である。第2図は、この発明の実施例である
半導体記憶装置の読出書込動作のタイミングを示
す図である。第3図は、従来の一般的なアクテイ
ブプルアツプ回路を備えたMOSダイナミツク
RAMのセンスアンプまわりの概略回路図であ
る。第4図は、従来の一般的なアクテイブプルア
ツプ回路を備えたMOSダイナミツクRAMの読出
書込動作のタイミングを示す図である。 図において、1〜7,21〜24はMOSトラ
ンジスタ、8,9,25はコンデンサ、10はメ
モリセル、11はダミーセル、12はセンスアン
プ、13はアクテイブプルアツプ回路、19は入
力端子、20は遅延回路、26は電源線、27は
NAND回路、BL,はビツト線、WLはワード
線、DWLはダミーワード線である。なお、各図
中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 行および列からなるマトリクス状に配設され
    た複数のメモリを有するメモリセルアレイと、 各々に前記メモリセルアレイの対応の列のメモ
    リセルが接続される複数のビツト線対と、 各々に前記メモリセルアレイの対応の行のメモ
    リセルが接続される複数のワード線と、 前記ビツト線対の各々に対応して設けられ、
    各々が対応のビツト線対における低電位とされる
    ビツト線の電位を低下させるためのセンスアンプ
    手段と、 第1のレベルから第2のレベルへ変化する前縁
    と前記第2のレベルから前記第1のレベルへ変化
    する後縁とを有するロウアドレスストローブ信号
    が入力されるRAS入力手段と、 前記RAS入力手段からの出力に応答して、第
    3のレベルから第4のレベルに変化する前縁と前
    記ロウアドレスストローブ信号の後縁から所定時
    間遅延された前記第4のレベルから前記第3のレ
    ベルへ変化する後縁とを有する制御信号を出力す
    る制御信号発生手段と、 前記ビツト線対の各々に対応して設けられ、か
    つ前記制御信号発生手段からの制御信号に応答し
    て前記制御信号が第4のレベルの期間の間活性状
    態を維持され、各々が対応のビツト線対における
    高電位とされるビツト線の電位を高電位に設定す
    るための複数のプルアツプ手段と、 前記ビツト線対の各々に対応して設けられ、前
    記制御信号が前記第4のレベルから前記第3のレ
    ベルへ変化した後で、かつ前記ロウアドレススト
    ローブ信号が前記第1のレベルにあるときに、対
    応のビツト線対を高電位と低電位との間の中間電
    位にさせるための複数の手段とを備える、半導体
    記憶装置。 2 前記制御信号発生手段は、前記RAS入力手
    段の出力を所定時間遅延させる遅延手段と、前記
    遅延手段の出力と前記RAS入力手段の出力とが
    入力され、その後縁が前記ロウアドレスストロー
    ブ信号の後縁から所定時間遅延された制御信号を
    出力する論理手段とを備える、特許請求の範囲第
    1項記載の半導体記憶装置。 3 前記論理手段は、前記遅延手段の出力と前記
    RAS入力手段の出力との否定の論理積をとるゲ
    ート手段を備える、特許請求の範囲第2項記載の
    半導体記憶装置。 4 前記ロウアドレスストローブ信号は、前記第
    1のレベルが前記半導体記憶装置の動作電源電位
    レベルであり、前記第2のレベルが接地電位レベ
    ルである、特許請求の範囲第1項ないし第3項の
    いずれかに記載の半導体記憶装置。 5 前記制御信号は、前記第3のレベルが接地電
    位レベルであり、かつ前記第4のレベルが前記半
    導体記憶装置の動作電源電位レベルである特許請
    求の範囲第1項ないし第4項のいずれかに記載の
    半導体記憶装置。 6 前記RAS入力手段の出力に応答して、前記
    制御信号からの制御信号の前記前縁よりも早いタ
    イミングで生じる、第5のレベルから第6のレベ
    ルへ変化する前縁と、前記第6のレベルから前記
    第5のレベルへ変化する後縁とを有し、前記セン
    スアンプ手段を活性化するとともに前記第6のレ
    ベルの期間前記センスアンプ手段の活性状態を維
    持させるセンスアンプ手段活性化信号を出力する
    センスアンプ活性化手段をさらに備える、特許請
    求の範囲第1項ないし第5項のいずれかに記載の
    半導体記憶装置。 7 前記センスアンプ活性化信号は、前記第5の
    レベルが動作電源電位レベルであり、かつ前記第
    6のレベルが接地電位レベルである、特許請求の
    範囲第6項記載の半導体記憶装置。 8 前記センスアンプ活性化信号の前記後縁と前
    記制御信号の前記後縁とは実質的に同じタイミン
    グで生じる、特許請求の範囲第6項または第7項
    記載の半導体記憶装置。
JP60275566A 1985-12-06 1985-12-06 半導体記憶装置 Granted JPS62134894A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60275566A JPS62134894A (ja) 1985-12-06 1985-12-06 半導体記憶装置
KR1019860008671A KR900002663B1 (ko) 1985-12-06 1986-10-16 반도체 기억장치
US06/938,065 US4809230A (en) 1985-12-06 1986-12-04 Semiconductor memory device with active pull up
US07/662,663 USRE34463E (en) 1985-12-06 1991-02-28 Semiconductor memory device with active pull up

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60275566A JPS62134894A (ja) 1985-12-06 1985-12-06 半導体記憶装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62134894A JPS62134894A (ja) 1987-06-17
JPH0522316B2 true JPH0522316B2 (ja) 1993-03-29

Family

ID=17557232

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