JP3262134B2 - インクジェット記録ヘッド、及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド、及びその製造方法Info
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Description
録を行うインクジェット記録ヘッド、より詳細には圧電
素子の固定構造に関する。
を変位させて圧力室内のインクを加圧し、圧力室に連通
するノズルからインク滴を吐出させるインクジェット記
録ヘッドは、特公平2−52625号公報(図7)に見られる
ようにインク吐出口101を有するノズルプレート10
2を接合した流路基板103に、圧力壁104を形成す
る圧力プレートを接合し、各圧力室に位置する部分に圧
電素子105の長手方向先端に配設された脚部106を
粘弾性部材107で連結させて構成されている(図
8)。そして圧電素子105は、1素子毎が固定板10
8によって位置決めされて接合され、回路基板109に
より電気的配線がなされている。
子づつ固定板108に固定する作業が必要となり、接合
にかかる手間が大きいといった問題がある。また、接合
時の接合圧力のばらつきにより圧力壁104にかかる与
圧も素子毎にばらつき、インク滴の吐出特性もばらつく
という問題がある。さらには、圧電素子105と圧力壁
104との間に脚部106を必要とするため、脚部10
6と圧電素子105との接合に手間がかかる。
題に鑑みなされたもので、その目的とするところは、複
数の圧電素子と圧力壁と圧電素子の結合構造の簡素で
き、かつ安定した吐出特性を備えたインクジェット記録
ヘッドを提供することにある。本発明の第2の目的は、
上記インクジェット記録ヘッドの製造方法を提案するこ
とである。
るために本発明においては、圧電素子の軸方向の変位に
より圧力室の圧力壁を変位させてインクを加圧し、ノズ
ルからインク滴を吐出させるインクジェット記録ヘッド
において、保持基板に複数の前記圧電素子が固定された
圧電素子ユニットと、前記圧力室を備えたインク流路ユ
ニットと、前記圧電素子ユニットとインク流路ユニット
とを固定する固定板とを備え、前記圧電素子が先端側を
前記流路ユニットに接着剤により固定され、また前記保
持基板の前記圧電素子の列設方向に平行な面を前記固定
板に接着剤により固定されている。
に基づいて説明する。図2は、本発明のインクジェット
記録ヘッドの一実施例を示すものであって、櫛状の積層
型圧電素子1は、保持基板2に固定され、また保持基板
2の表面には図3に示したように各圧電素子1に駆動信
号を供給するための信号電極パターン2aを形成してユ
ニットに構成されている。
はガラスエポキシ基板からなる保持基板2に電極パター
ンを形成し、板状の積層型圧電素子板を接着剤等で接合
し、圧電素子板側から保持基板2の所定深さまで、所定
の幅wでダイシング等により溝を形成して歯割すること
により圧電素子1と、表面側に駆動信号を供給するため
の共通電極11とが形成されている。
力室8からノズル10に連通する連通孔9、インク供給
溜13、これらを構成するための肉部6と、圧力プレー
ト5と、ノズル10が穿設されたノズルプレート7とか
ら構成されている。
ける厚肉に形成された突起状の圧力壁5aと、圧電素子
1の変位により撓む領域5bとを備え、接合部材4を介
して金属あるいは樹脂あるいはセラミック等で形成され
た固定板3に接合されている。この圧力プレート5は、
金属の電鋳や、金属エッチング、プラスチックフィルム
あるいは金属箔と感光性樹脂等の積層により製造するこ
とができる。
5、図6に示したように固定板3の後端から挿入して先
端を接合部材4により圧力プレートの圧力壁5aに、後
端側を保持基板2により固定板3に接着剤により固定さ
れる。より詳細には、図1に示したように保持基板2
は、圧電素子1を固定している面と反対の面を固定板3
に接着剤により固定されている。
たようにダミーの圧電素子14(インク吐出用としての
機能をもたせず、構造体の一部として配設したもの)が
設けられていて、ダミー圧電素子14と固定板3との隙
間22に接着剤を流し込むことによっても接合されてい
る。すなわち、図1に示したように適度な粘性の接着
剤、粘度が500mPas程度のエポキシ系一液接着剤
や、UV嫌気性接着剤をA部やB部に塗布すると、隙間
21、22が適当な大きさとなるように調整しておけ
ば、毛細管力により浸透して必要箇所全面にいきわた
る。また接着剤の塗布が不要な領域は、隙間21、22
よりも大きな間隙を形成しておくのが望ましい。
圧電素子の振動に寄与せず、かつ外部から塗布しやすい
領域に仮止め接着剤、つまり硬化時間が短い接着剤で仮
止めを行う。このような、仮止めには、アクリル系紫外
線硬化型接着剤が使用できる。
度めを行うことにより、接合作業に用いる接合用冶具を
早期、つまり仮止め接着剤の硬化に要する時間で開放す
ることができ、製造設備の効率化を図ることができ、ま
たエポキシ系接着剤を10゜C乃至40゜C範囲の常温
程度で24乃至48時間掛けて硬化させることができ
る。このような常温程度の加温で硬化させることができ
るから、硬化促進のために高温での加温による圧電素子
1や保持基板2や固定板3の材質、形状の相違等に基因
する熱膨張差による歪みを発生させることなく、圧力プ
レート5の平坦性を保持させた状態で記録ヘッドに組み
立てることができる。
発明によれば、複数の圧電素子の個々の接着工程を不要
とし、かつ広い面積を備えた保持基板により固定板に確
実に固定することができる。また、請求項2の発明によ
れば、保持基板と固定板とを本固定する接着剤を塗布し
た後、硬化時間が短い接着剤により仮止めするため、本
固定する接着剤を常温で硬化させて熱膨張差に基因する
インク流路ユニットの歪みを発生させることなく組み立
てることができる。
を示す図である。
を、1つの圧力室の断面構造で示す図である。
図である。
ある。
する図。
する部分断面図。
Claims (4)
- 【請求項1】 圧電素子の軸方向の変位により圧力室の
圧力壁を変位させてインクを加圧し、ノズルからインク
滴を吐出させるインクジェット記録ヘッドにおいて、 保持基板に複数の前記圧電素子が固定された圧電素子ユ
ニットと、前記圧力室を備えたインク流路ユニットと、
前記圧電素子ユニットとインク流路ユニットとを固定す
る固定板とを備え、 前記圧電素子が先端側を前記流路ユニットに接合され、
また前記保持基板の前記圧電素子を固定している面と反
対の面を前記固定板に接着剤により固定されたインクジ
ェット記録ヘッド。 - 【請求項2】 前記保持基板と前記固定板が仮止め用接
着剤によっても固定されている請求項1に記載のインク
ジェット記録ヘッド。 - 【請求項3】 前記圧電素子ユニットにダミー振動子が
設けられ、前記ダミー振動子が前記固定板に接着剤によ
り固定されている請求項1に記載のインクジェット記録
ヘッド。 - 【請求項4】 インク流路ユニットが固定された固定板
に、1枚の圧電振動板を保持基板に固定して歯割により
複数の圧電素子が形成された圧電素子ユニットを、前記
保持基板と固定板とに本固定用接着剤を塗布して治具に
より保持した状態で、前記接着剤よりも硬化時間が短い
接着剤で仮止めし、前記治具を外して温度10乃至40
°Cで前記本固定用接着剤を硬化させるインクジェット
記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (11)
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---|---|---|---|
JP2512692A JP3262134B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | インクジェット記録ヘッド、及びその製造方法 |
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EP97108517A EP0795404B1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head |
SG1996008561A SG49270A1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head and process for forming same |
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EP92121977A EP0550030B1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head and process for forming same |
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US08/471,230 US5630274A (en) | 1991-12-26 | 1995-06-06 | Method of making an ink jet recording head |
US08/469,504 US5764257A (en) | 1991-12-26 | 1995-06-06 | Ink jet recording head |
US09/070,766 US6286942B1 (en) | 1991-12-26 | 1998-05-01 | Ink jet recording head with mechanism for positioning head components |
HK98110817A HK1010045A1 (en) | 1991-12-26 | 1998-09-22 | Ink jet recording head and process for forming same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2512692A JP3262134B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | インクジェット記録ヘッド、及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH05220956A JPH05220956A (ja) | 1993-08-31 |
JP3262134B2 true JP3262134B2 (ja) | 2002-03-04 |
Family
ID=12157257
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2512692A Expired - Lifetime JP3262134B2 (ja) | 1991-12-26 | 1992-02-12 | インクジェット記録ヘッド、及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3262134B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
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US6139132A (en) | 1995-09-05 | 2000-10-31 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head with nozzle communicating hole having smaller width than pressurizing chambers in direction of array of pressurizing chambers |
US7175262B2 (en) | 2002-03-18 | 2007-02-13 | Seiko Epson Corporation | Liquid-jet head, method of manufacturing the same and liquid-jet apparatus |
JP5188158B2 (ja) | 2006-12-15 | 2013-04-24 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
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-
1992
- 1992-02-12 JP JP2512692A patent/JP3262134B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05220956A (ja) | 1993-08-31 |
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