JPH0518913A - 熱起電力の測定方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 試料にスポット光を照射して局部加熱し、温
度勾配が生じた試料の任意の２点間の熱起電力を測定す
ることを特徴とする熱起電力の測定方法、並びにその測
定装置を提供する。 【構成】 スポット光源１から発せられた光を試料２に
照射することによって、任意の１点を加熱中心として試
料の一部あるいは全部を加熱する。試料２の温度は、試
料２に接した熱電対端子３，４によって測定する。試料
２の任意の１点を温度Ｔ_２に加熱したとき、加熱中心よ
り少し離れた端部は自然冷却あるいは必要ならば強制冷
却することで、Ｔ_２より低い温度Ｔ_１になる。このとき
熱電対端子３，４が接した２点間の温度差（△Ｔ＝Ｔ_２
−Ｔ_１）に応じて、熱起電力Ｅが発生する。この熱起電
力Ｅを、熱電対端子３を構成する１対の金属線のうち一
方の金属線と熱電対端子４を構成する同じく一方の金属
線、計２本の金属線間の電位差を測定することによって
測る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、熱電変換素子として有
望と考えられる材料の熱起電力の測定方法及び測定装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】エネルギー源の大半を他の諸外国に依存
しているわが国にとって、新エネルギー開発の問題、あ
るいは地球の温暖化、環境汚染の原因となる化石燃料の
使用低減の問題、さらには年間約２億Ｋｌにもなるわが
国の膨大な廃熱エネルギー（松原、エネルギー資源、Ｖ
ｏｌ．１２、Ｎｏ．３、１９９１年参照）の有効利用の
問題は、対策を要する緊急の課題である。

【０００３】そのような状況の中で、新しいエネルギー
源として、熱電変換材料はクリーンなエネルギーが得ら
れる材料として実用化が期待されており、そのような材
料を開発することは重要であると考えられる。

【０００４】今まで、上記熱電変換材料の適否を判断す
るためににいくつかの熱起電力の測定方法が考えられて
いるが、一般的には、試料の一端を任意の温度に加熱し
高温部を設け、他端を自然冷却あるいは強制冷却するこ
とにより低温部を設け、材料中に温度勾配を発生させ、
その間に発生した熱起電力を測定するという方法をとっ
ている。

【０００５】しかしながら、熱起電力の測定装置は測定
者が自作している場合が多く、それらの構造は測定者に
より、かなり異なっている。従来の熱起電力の測定方法
及び測定装置は、試料の加熱方法に着目すれば、大きく
次の３種類に分類される。

【０００６】（１）材料の近傍に発熱体を設け、試料の
一端を冷却する。（例えば、Ｃ．Ｙ．Ｌｉｎら、Ｍａ
ｔ．Ｒｅｓ．Ｂｕｌｌ．Ｖｏｌ．１８，１９８３年参
照） （２）発熱体により加熱された２つの物体を試料の端部
２箇所に接触させる。（例えば、Ｊ．Ｆ．Ｎａｋａｈａ
ｒａら、Ｐｒｏｃ．Ｉｎｔ．Ｃｏｎ．Ｔｈｅｒｍｏｅｌ
ｅｃｔｒ．Ｅｎｅｒｇｙ．Ｃｏｎｖｅｒｓ，６ｔｈ，１
９８６年参照） （３）発散光を発生するハロゲンランプで試料と密着し
ている試料台を加熱する間接加熱を行う。（木村ら、文
部省重点領域研究、エネルギー変換技術、昭和６３年度
研究成果報告書参照） 図４〜６はこのような熱起電力測定装置の従来例を示す
ものである。

【０００７】図４はＣ．Ｙ．Ｌｉｎらによる方法を示し
たものである。試料（７２）は外部発熱体（７１）を持
つセル（７５）内のほぼ中心部に配置され、試料全体を
温度Ｔ₂に加熱し、試料（７２）の右端部方向からガス
（７６）を流し、右端部を温度Ｔ₁に冷却する。この試
料（７２）の左端部（温度Ｔ₂）と右端部（Ｔ₁）に形成
された温度勾配（△Ｔ＝Ｔ₂−Ｔ₁）によって発生した熱
起電力（Ｅ）を熱電対端子（７３）、（７４）で測定す
る。

【０００８】図５はＪ．Ｆ．Ｎａｋａｈａｒａらによる
方法を示したものである。ジャケット（５５）の外部発
熱体（５１）の他に、試料の上下両端部に２つの発熱体
（５６）、（５７）を配置し、試料（５２）の上部と下
部をＴ₁とＴ₂の温度にそれぞれ加熱する。試料（５２）
の上部と下部に発生した熱起電力（Ｅ）を熱電対端子
（５３）、（５４）で測定する。

【０００９】図６は木村らによる方法を示したものであ
る。真空チャンバー（６５）内に、中空状の試料台（６
８）上に置いた試料（６２）を配置し、試料台方向から
ハロゲンランプ（６１）によるランプ加熱を行う。この
とき、試料台（６８）は、試料（６２）と接する上部が
連続、下部が不連続である中空状のものを使用するこ
と、また試料台（６８）とハロゲンランプ（６１）の間
にシャッター（６６）を設け、試料台（６８）の左端部
に照射される光を制限することによって、試料台（６
８）の左端部の温度（Ｔ₁）は右端部の温度（Ｔ₂）より
低く設定することができる。したがって、試料台（６
８）に接触している試料（６２）は左端部と右端部の間
に温度勾配△Ｔができる。この温度勾配によって発生し
た熱起電力（Ｅ）を端子（６３）、（６４）によって測
定する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】熱電変換材料の実用化
を考えると、バルク状物質よりも、材料が少なくて済
み、小型化が容易で、大量生産可能な薄膜状物質の方が
より有利である。しかしながら、Ｃ．Ｙ．Ｌｉｎらと
Ｊ．Ｆ．Ｎａｋａｈａｒａらの方法では、バルク状物質
の測定は可能だが、薄膜状物質の測定はできないという
問題点があった。一方、木村らの方法ではバルク状物質
及び薄膜状物質の両方を測定できるが、試料を直接加熱
するのではなく、試料台を加熱する間接加熱の方式であ
るため、試料の正確な温度制御が困難となるので、得ら
れた熱起電力（Ｅ）の値は不正確となる上、複雑形状の
試料台が必要となるという問題点があった。

【００１１】また、従来の熱起電力測定装置では発熱体
と試料台が一箇所に固定されているため、真空中または
任意ガス雰囲気中で熱起電力の測定を行う場合に、系を
破らずに試料の異なる箇所および異なる温度条件での２
回以上の測定、あるいは試料を試料台にセットした後で
の任意箇所での測定は不可能であるという問題点があっ
た。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記問題
点を解決するため鋭意努力した結果、これらを解決する
方法およびその装置を完成するに至った。

【００１３】即ち、本発明は、試料にスポット光を照射
して局部加熱し、温度勾配が生じた試料の任意の２地点
間の熱起電力を測定することを特徴とする熱起電力の測
定方法に関する。

【００１４】他の発明は、局部加熱可能なスポット光源
（１）、該光源の照射による局部加熱により温度勾配を
生じた試料の２地点の温度および電位差を測定するため
の２本の着脱式熱電対端子（３）（４）、並びに該端子
に接続された熱起電力測定器（２７）および温度測定装
置（２８）を設けてなることを特徴とする熱起電力測定
装置に関する。

【００１５】以下、これらの発明を図面に基づいて詳細
に説明する。

【００１６】図１は、本発明の熱起電力測定部の基本概
念を示す図である。図１において、（１）はスポット光
源、（２）は試料、（８）は試料ホルダー（１０）を付
属した試料台である。スポット光源（１）から発せられ
た光を試料（２）に照射することによって、任意の１点
を加熱中心として試料の一部あるいは全部を加熱する。
試料（２）の温度は、試料（２）に接した熱電対端子
（３）、（４）によって測定する。試料（２）の任意の
１点を温度Ｔ₂に加熱したとき、加熱中心より少し離れ
た端部は自然冷却あるいは必要ならば強制冷却すること
で、 Ｔ₂より低い温度Ｔ₁になる。このとき熱電対端子
（３）、（４）が接した２点間の温度差（△Ｔ＝Ｔ₂−
Ｔ₁）に応じて、熱起電力（Ｅ）が発生する。この熱起
電力（Ｅ）の測定は、熱電対端子（３）を構成する１対
の金属線のうち一方の金属線と熱電対端子（４）を構成
する同じく一方の金属線、計２本の金属線間の電位差を
測定することによって行われる。

【００１７】本発明において、温度差及び電位差を測定
するための試料上の任意の２地点の内１点はスポット光
照射部とすることが、温度勾配を最大に出来るため好ま
しく採用される。尚、本発明において、スポット光照射
部とは試料の照射（表）面側の照射領域のみならず照射
面と反対（裏）面側の該表面照射領域に対応する領域も
意味する。

【００１８】試料（２）の冷却は自然冷却でもよいが、
強制冷却を行う場合には、試料台（８）に冷却用媒体導
入管（１１）を付属する、あるいは試料（２）の任意の
箇所にガスを吹き付けるなどの方法がとられる。

【００１９】試料（２）にはスポット光を照射すること
によって、試料の任意の地点を加熱することができ、任
意の２地点間あるいは微小領域内に温度勾配を発生させ
ることができる。又、２地点間の温度勾配幅や各地点の
温度をスポット光の照射径を変えることにより自由にコ
ントロ−ルすることができるという利点も有する。スポ
ット光径は、この理由により種々変化させるものであり
特に限定されないが、通常１〜３０ｍｍ程度の光径とす
る。

【００２０】該スポット光は、試料に照射された時点で
スポット光であればよく、光源から発せられた時点で発
散光であるかスポット光であるかについては限定されな
い。光源から発せられた時点で発散光である場合には、
点集光用ミラーあるいは鏡筒型集光装置などを設ける。
スポット光源（１）としては、具体的には、赤外線点集
光加熱炉、レーザー光発射装置などがあげられる。

【００２１】図２、３は、本発明の熱起電力測定装置の
一具体例の全体の概略図及び測定部近傍の図である。以
下、これらを基に説明するが何等これらに限定されるも
のではない。

【００２２】図２において示す装置は、真空及び任意の
ガス雰囲気中での測定が可能な端子部（３８）付きのチ
ャンバー（３７）、スポット光源部（１）、熱起電力測
定器（２７）、温度測定器（２８）、冷却用媒体循環器
（２９）、排気ポンプ部（３０）、温度制御器（３
１）、ガス導出入部（３９）｛ガス流量計（３５）及び
ガスボンベ（３６）からなる｝、真空計部（４２）｛真
空ゲージ（４０）及び真空計（４１）からなる｝、切り
換えスイッチボックス（４５）により基本構成される。

【００２３】端子部（３８）は着脱式熱電対端子
（３）、（４）、温度制御用熱電対（７）より構成され
る。熱電対端子（３）、（４）を構成する金属線のうち
（３−Ａ）及び（４−Ａ）は切り換えスイッチボックス
（４５）を経て、熱起電力測定器（２７）及び温度測定
器（２８）に接続されている。そして必要に応じて熱起
電力測定器（２７）あるいは温度測定器（２８）への切
り換えが行われる。一方、他方の金属線（３−Ｂ）、
（４−Ｂ）及び温度制御用熱電対（７）は温度測定器
（２８）へ直接接続されている。温度測定器（２８）は
温度制御器（３１）を通してスポット光源部（１）に接
続され、熱電対（７）によって測定された温度データを
もとに、設定した試料温度への制御を行う。

【００２４】熱起電力測定器（２７）としては、通常電
位差計が用いられる。但し、正確な熱起電力を計るため
には電位差計内で電圧降下が起こらないように、インピ
−ダンス（抵抗）が非常に高い電位差計を用いることが
好ましい。

【００２５】温度測定器（２８）としては、熱電対に生
じた起電力を温度に自動換算して表示する一般に用いら
れている温度測定器が採用される。

【００２６】温度制御器（３１）としては、一般に温度
コントロ−ラと称されて市販されているものが採用され
る。

【００２７】冷却用媒体循環器（２９）から、チャンバ
ー（３７）内に設けられた試料台（８）の支持台（１
２）へ冷却用媒体導入管（１１）で接続され、試料台
（８）の冷却を行うことができるようになっている。チ
ャンバー（３７）は、排気口（２６）から排気管を通じ
て排気ポンプ部（３０）へと接続されている。また、チ
ャンバー（３７）はガス導出入口（３４）を付属してお
り、ガス配管によりガス導出入部（３９）へ接続されて
いる。

【００２８】図３に示すように、中空円盤状の純銅製あ
るいは銅合金製の試料台（８）の上に試料（２）を置
き、スポット光源（１）より発せられたスポット光をチ
ャンバー（３７）の下部に設けた石英ガラス窓（２３）
を通して、試料（２）の一方の面の任意の１点に照射す
るような構造をとる。スポット光源（１）は三次元可動
ステージ（４６）の上に設置し、前後左右に可動させて
試料（２）の任意の地点を照射、加熱する。又、該三次
元可動ステ−ジは上下にも可動するので、試料に照射す
るスポット光の光径、即ち照射面積を自由に変化させる
ことが出来、先に述べたように温度勾配幅や温度が容易
にコントロ−ル可能となる。

【００２９】試料台（８）は中空円盤状の純銅製あるい
は銅合金製の支持台（１２）及び支持台（２２）により
支持される。支持台（１２）の内部には冷却用媒体循環
路（４７）を設け、これに冷却用媒体導入管（１１）を
接続し、支持台（１２）及び（２２）、試料台（８）を
冷却する。

【００３０】試料台（８）と支持台（１２）は共有面を
持つ。この共有面をよく研摩しておくことにより、試料
台（８）は支持台（１２）の上面及び側面と接触したま
ま、滑って回転できる構造となる。図３においては１つ
の例としてその断面形状がＬ字形の共有面を示したが、
くの字形などでもよい。また円盤状の試料台（８）の外
側の側面は歯車状に加工されており、先端部が歯車状に
加工されたストッパー付きのマイクロメーターヘッド
（２０）と回転棒（２１）とが接点部で接続された構造
を持つ。したがって試料台（８）はこのマイクロメータ
ーヘッド（２０）により、チャンバー（３７）の外側か
らの回転操作が可能となる。そして測定する点が定まっ
たら、ストッパーでマイクロメーターヘッド（２０）を
固定する。このストッパーは、測定中などにおいて、熱
電対端子（３）、（４）及び（７）が試料に接触したま
ま回転しないようにするためのものである。

【００３１】試料（２）の温度制御は、着脱式熱電対
（７）及び温度測定器（２８）によって測定した温度を
もとに、温度制御器（３１）を用い、スポット光源
（１）への出力を制御することで行う。

【００３２】試料（２）の２地点間の温度測定は着脱式
熱電対端子（３）、（４）と温度測定器（２８）を用い
て行う。

【００３３】熱電対端子（３）、（４）は２本とも同一
材質のものを用いるのが望ましい。また、電位差を測定
するときに用いる熱電対端子（３）、（４）の金属線
（３−Ａ）と（４−Ａ）は、２本とも同一種類の線を用
いることが好ましい。なぜならば、同一種類の金属線は
電気抵抗が同じであること、同一温度で該金属線に発生
する熱起電力が同じなので補正を行う必要がないことな
どのためである。

【００３４】２本の熱電対端子（３）、（４）の間隔は
試料の大きさにより変化させ得るものであり一概に規定
されるものではないが、充分な温度勾配を確保し、且つ
通常の試料の大きさを勘案して通常２〜１５ｍｍに設定
される。また、これら熱電対は、種々の箇所での熱起電
力が測定可能なようにその間隔を調整できるようにして
おくことは好ましい態様である。

【００３５】上記熱電対としては、ＪＩＳで規格されて
いるＢ（白金ロジウム合金−白金ロジウム合金）、Ｒ
（白金ロジウム合金−白金）、Ｓ（白金ロジウム合金−
白金）、Ｋ（ニッケルクロム合金−ニッケル合金）、Ｅ
（ニッケルクロム合金−銅ニッケル合金）、Ｊ（鉄−銅
ニッケル合金）、Ｔ（銅−銅ニッケル合金）などが用い
られる。

【００３６】熱起電力（Ｅ）の測定を真空中で行う場合
には、排気ポンプ部（３０）内のポンプでチャンバー
（３７）内を排気する。排気ポンプ部（３０）には、油
回転式ポンプ、油拡散ポンプ、ターボ分子ポンプ、クラ
イオポンプなどを組み合わせて用いる。真空度は、真空
ゲージ（４０）と真空計（４１）によってモニターす
る。一方、任意ガス雰囲気中で測定を行う場合には、排
気ポンプで真空にひいた後、ガス導出入部（３９）より
目的のガスを導入する。導入するガスとしては、アルゴ
ン、ヘリウム、窒素、水素、酸素など、あるいはこれら
の混合ガスが用いられる。

【００３７】熱電対端子（３）、（４）及び温度制御用
熱電対（７）は、円筒状の端子支持棒（１３）によって
支持される。この端子支持棒（１３）は端子との接続部
である底部を真空封入しており、マイクロメータヘッド
（１７）、ガイド（１５）、真空用ベロー（１４）を付
属することにより、真空下で上下可動構造をとる。そし
てマイクロメータヘッド（１７）にストッパー（１８）
を付けることによって端子支持棒（１３）を下げ過ぎる
ことがなく、試料（２）の破損を防止できる。該端子支
持棒は、中心軸を軸として回転可能な構造としておけ
ば、試料の異なった地点での熱起電力の測定が可能とな
る。しかしながら、チャンバ−の真空度を良くするため
には、この端子支持棒は回転しない構造とし、試料台の
ほうを回転させて異なった地点の測定を行うほうが好ま
しい。

【００３８】温度勾配（△Ｔ）によって試料（２）中に
発生した熱起電力（Ｅ）の測定は、熱電対端子（３）を
構成する２本の金属線のうち一方の金属線（３−Ａ）と
熱電対端子（４）を構成する同じく一方の金属線（４−
Ａ）との間の電位差を、熱起電力測定器（２７）によっ
て行う。このとき熱電対端子の金属線（３−Ａ）、（４
−Ａ）は切り換えスイッチボックス（４５）を通じて、
熱起電力測定器（２７）へ接続する。但し、手動操作あ
るいは自動操作によって、熱電対端子の金属線（３−
Ａ）、（４−Ａ）の接続を熱起電力測定器（２７）から
温度測定器（２８）へ瞬時に切り換えることができるよ
うにしておくことで、測定時の２地点の温度と温度差及
び熱起電力（Ｅ）の同時測定が可能になる。

【００３９】

【発明の効果】試料の加熱源としてスポット光を用いる
ことにより、試料の任意の箇所に照射、加熱して、温度
勾配を設けることが出来る。此の結果、測定地点の温度
および／または測定地点間の温度勾配を変えて、異なる
温度条件での熱起電力の測定が可能となった。又、スポ
ット光の照射径を変化させれば、温度および温度勾配の
幅も任意にコントロ−ルすることができる。特に、真空
中または任意のガス雰囲気下で測定を行う場合に、一旦
試料を設置した後は測定系を破らずに系の条件を完全に
同一にしたまま、異なる温度条件での２回以上の測定が
可能となり、測定値の信頼性、および測定時間の大幅な
短縮が可能となった。又、端子支持棒、叉は試料台を回
転可能な構造としておけば、異なった箇所の熱起電力も
同一系条件下に測定できる。

【００４０】更に、バルク状物質のみならず、薄膜状物
質の熱起電力も容易に測定可能である。

【００４１】更に又、直接試料を加熱できるので試料の
温度制御が正確、且つ容易となり、併せて、測定部の構
造も簡素化出来た。

【００４２】

【実施例】以下、実施例を示すが何等これらに限定され
ない。

【００４３】実施例１ 図２及び図４を基に製作した熱起電力測定装置を使い、
真空中で熱起電力（Ｅ）の測定を行った。熱起電力測定
装置のスポット光源（１）には真空理工製ポイントファ
ーネスＥＳ−５５を、温度制御にはデジタルマルチプロ
グラマブル温度コントローラ（真空理工製ＨＰＣ−７０
００−７０８２−２）、真空ポンプは油回転ポンプ及び
油拡散ポンプ（いずれも真空理工製）を用いた。熱電対
は全て白金−ロジウムを使用した。熱電対端子（３）、
（４）、（７）はこの順に一直線上に並べ、試料のほぼ
中心に（４）が設置されるようにした。各端子間すなわ
ち（３）−（４）間、（４）−（７）間はそれぞれ１０
ｍｍ、３ｍｍとした。

【００４４】試料はＲＦマグネトロンスパッタリング装
置（日電アネルバ製ＳＰＣ−３５０）にてガラス基板
（コーニング製＃７０５９ガラス）上に成膜したＣｒＳ
ｉ₂膜である。ターゲットは、万能試験器（島津製テン
シロン）及び圧縮成形用治具（ＳＵＳ３０４製）を用い
て、ＣｒＳｉ₂粉末（高純度化学製９９．９％）をφ７
６．２ｍｍ×５ｍｍに圧縮成形したものを使用した。成
膜時のスパッタリングガスはアルゴン、ガス圧は６×１
０^-3Ｔｏｒｒ、ＲＦ入力パワーは１００Ｗ、基板温度は
４００℃で行った。ＣｒＳｉ₂の膜厚は１μm、基板サイ
ズはφ３０ｍｍ×２ｍｍである。成膜後のＣｒＳｉ₂膜
は１０００℃で１時間、焼鈍した。その後、試料にセロ
テープでマスクをして白金を蒸着し、電極とした。電極
の大きさは２ｍｍ×１０ｍｍである。

【００４５】試料を試料台（８）にセットして、チャン
バー内を油回転ポンプで１５分間、油拡散ポンプで１時
間真空にひいた。このときの到達真空度は、２×１０^-6
Ｔｏｒｒであった。マイクロメーターヘッド（１７）を
回して端子部（３８）を試料（２）に押し付け、試料の
加熱箇所を三次元可動ステージ（４６）を用いて中心部
に合わせながら、加熱を開始した。このときのスポット
光の径は約φ１５ｍｍであった。試料温度は温度制御用
熱電対（７）を用い、５００℃に制御して行った。試料
の加熱開始後、約１分で５００℃に達したが、一定温度
になるまで１０分間待った。１０分後、熱電対（３）、
（４）と温度測定器（２８）によって測定された温度
は、それぞれ５０３℃及び４９０℃であった。このとき
の熱起電力（Ｅ）をエレクトロメーター（アドバンテス
ト製ＴＲ８４１１）で測定した結果、１．４３ｍＶであ
った。これよりゼーベック係数を算出すると、１１０ｍ
Ｖ／Ｋであった。

【００４６】実施例２ 実施例１の装置を用い、スポット光の径を約φ２０ｍｍ
にした以外は実施例１と同様にして測定した。各熱電対
の温度はそれぞれ４８０℃と４７６℃であり、熱起電力
は０．４２ｍＶ、ゼ−ベック係数は１０５ｍＶ／Ｋであ
った。

【００４７】実施例３ 実施例１の装置を用い、スポット光の径を約φ１０ｍｍ
に、スポット光の照射位置を試料中心より３本の熱電対
を結ぶ線に対して直角方向に約５ｍｍの地点に変更した
以外は実施例１と同様にして測定した。各熱電対の温度
はそれぞれ４４８℃と４３２℃であり、熱起電力は１．
５８ｍＶ、ゼ−ベック係数は９９ｍＶ／Ｋであった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の熱起電力測定部の基本概念を示す図

【図２】本発明の一態様を示す熱起電力測定装置の全体
概略図

【図３】本発明の一態様を示す熱起電力測定装置の測定
部の断面図

【図４】従来の熱起電力測定装置の概略図

【図５】従来の熱起電力測定装置の概略図

【図６】従来の熱起電力測定装置の概略図

【符号の説明】

１ スポット光源 ２ 試料 ３ 熱電対端子 ４ 熱電対端子 ７ 熱電対 ８ 試料台 １０ 試料ホルダ １１ 冷却用媒体導入管 １２ 支持台 １３ 端子支持棒 １４ 真空用ベロ− １５ ガイド １７ マイクロメ−タ−ヘッド １８ ストッパ− ２０ ストッパ−付きマイクロメ−タ−ヘッド ２１ 回転棒 ２２ 支持台 ２３ 石英ガラス窓 ２６ 排気口 ２７ 熱起電力測定器 ２８ 温度測定器 ２９ 冷却用媒体循環器 ３０ 排気ポンプ ３１ 温度制御器 ３４ ガス導出入口 ３５ ガス流量計 ３６ ガスボンベ ３７ チャンバ− ３８ 端子部 ３９ ガス導出入部 ４０ 真空ゲ−ジ ４１ 真空計 ４２ 真空部 ４５ 切り換えスイッチボックス ４６ 三次元可動ステ−ジ ４７ 冷却用媒体循環路

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料にスポット光を照射して局部加熱
   し、温度勾配が生じた試料の任意の２地点間の熱起電力
   を測定することを特徴とする熱起電力の測定方法。
2. 【請求項２】局部加熱可能なスポット光源（１）、該光
   源の照射による局部加熱により温度勾配を生じた試料の
   ２地点の温度および電位差を測定するための２本の着脱
   式熱電対端子（３）（４）、並びに該端子に接続された
   熱起電力測定器（２７）および温度測定器（２８）を設
   けてなる熱起電力測定装置。