JPH05187832A - 計測装置 - Google Patents
計測装置Info
- Publication number
- JPH05187832A JPH05187832A JP266792A JP266792A JPH05187832A JP H05187832 A JPH05187832 A JP H05187832A JP 266792 A JP266792 A JP 266792A JP 266792 A JP266792 A JP 266792A JP H05187832 A JPH05187832 A JP H05187832A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- optical system
- light
- measuring
- light receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 表裏両面に反射面が形成された平行平面反射
鏡を用いた計測装置において、平行平面反射鏡の厚さに
起因する誤差を低減する。 【構成】 光源３からの測定光線束を被測定物２に向け
て照射する測定用光学系４と、前記測定光線束のうち前
記被測定物２表面から反射した散乱光線束を受光部６に
導く受光用光学系５とを備えて、前記測定用光学系４
に、光源３からの測定光線束を被測定物２に向けて反射
する第一ミラー４Ａを設けるとともに、前記受光用光学
系５に、前記被測定物２表面から反射した散乱光線束を
前記受光部６に向けて反射する第二ミラー５Ａを設け
て、前記第一ミラー４Ａ及び前記第二ミラー５Ａを、両
面反射鏡Ｍの表裏の反射面を各別に用いて構成してある
計測装置であって、前記両面反射鏡Ｍを、透明基板Ｍ１
の一方の面にのみ反射面を形成して構成する。
鏡を用いた計測装置において、平行平面反射鏡の厚さに
起因する誤差を低減する。 【構成】 光源３からの測定光線束を被測定物２に向け
て照射する測定用光学系４と、前記測定光線束のうち前
記被測定物２表面から反射した散乱光線束を受光部６に
導く受光用光学系５とを備えて、前記測定用光学系４
に、光源３からの測定光線束を被測定物２に向けて反射
する第一ミラー４Ａを設けるとともに、前記受光用光学
系５に、前記被測定物２表面から反射した散乱光線束を
前記受光部６に向けて反射する第二ミラー５Ａを設け
て、前記第一ミラー４Ａ及び前記第二ミラー５Ａを、両
面反射鏡Ｍの表裏の反射面を各別に用いて構成してある
計測装置であって、前記両面反射鏡Ｍを、透明基板Ｍ１
の一方の面にのみ反射面を形成して構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光源からの測定光線束
を被測定物に向けて照射する測定用光学系と、前記測定
光線束のうち前記被測定物表面から反射した散乱光線束
を受光部に導く受光用光学系とを備えて、前記測定用光
学系に、光源からの測定光線束を被測定物に向けて反射
する第一ミラーを設けるとともに、前記受光用光学系
に、前記被測定物表面から反射した散乱光線束を前記受
光部に向けて反射する第二ミラーを設けて、前記第一ミ
ラー及び前記第二ミラーを、両面反射鏡の表裏の反射面
を各別に用いて構成してある計測装置に関する。
を被測定物に向けて照射する測定用光学系と、前記測定
光線束のうち前記被測定物表面から反射した散乱光線束
を受光部に導く受光用光学系とを備えて、前記測定用光
学系に、光源からの測定光線束を被測定物に向けて反射
する第一ミラーを設けるとともに、前記受光用光学系
に、前記被測定物表面から反射した散乱光線束を前記受
光部に向けて反射する第二ミラーを設けて、前記第一ミ
ラー及び前記第二ミラーを、両面反射鏡の表裏の反射面
を各別に用いて構成してある計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の計測装置としては、前記第一ミ
ラー及び前記第二ミラーを、表裏両面に反射面が形成さ
れた平行平面基板の両面を各別に用いて構成してあっ
た。例えば、成形用型やデザインされた各種製品の模型
から外観形状を入力して最終設計図面に仕上げるＣＡＤ
用データの入力装置や、教育用や販売用に用いられる三
次元映像資料の入力装置、医療用診断装置、或いはロボ
ットの視覚センサとして用いられる三次形状計測装置で
は、光源からの測定光線束を参照面上の被測定物に向け
て走査する測定用光学系と、前記測定光線束のうち前記
被測定物表面から反射した散乱光線束を受光部に導く受
光用光学系と、前記受光部による前記散乱光線束の検出
出力に基づき前記参照面からの前記被測定物表面の距離
を演算導出する信号処理部とから構成してあり、前記測
定用光学系を、前記光源からの投影光線束を走査する第
一可動ミラーと、その第一可動ミラーにより走査された
投影光線束を前記被測定物に向けて反射する第一固定ミ
ラーとから構成するとともに、前記受光用光学系を、前
記被測定物表面からの散乱光線束を反射する第二固定ミ
ラーと、その第二固定ミラーにより反射された散乱光線
束を前記受光部に導く第二可動ミラーとを備えて構成し
て、前記第一可動ミラー及び前記第二可動ミラーを、表
裏両面に反射面が形成された平行平面基板の両面を各別
に用いて構成してあった。
ラー及び前記第二ミラーを、表裏両面に反射面が形成さ
れた平行平面基板の両面を各別に用いて構成してあっ
た。例えば、成形用型やデザインされた各種製品の模型
から外観形状を入力して最終設計図面に仕上げるＣＡＤ
用データの入力装置や、教育用や販売用に用いられる三
次元映像資料の入力装置、医療用診断装置、或いはロボ
ットの視覚センサとして用いられる三次形状計測装置で
は、光源からの測定光線束を参照面上の被測定物に向け
て走査する測定用光学系と、前記測定光線束のうち前記
被測定物表面から反射した散乱光線束を受光部に導く受
光用光学系と、前記受光部による前記散乱光線束の検出
出力に基づき前記参照面からの前記被測定物表面の距離
を演算導出する信号処理部とから構成してあり、前記測
定用光学系を、前記光源からの投影光線束を走査する第
一可動ミラーと、その第一可動ミラーにより走査された
投影光線束を前記被測定物に向けて反射する第一固定ミ
ラーとから構成するとともに、前記受光用光学系を、前
記被測定物表面からの散乱光線束を反射する第二固定ミ
ラーと、その第二固定ミラーにより反射された散乱光線
束を前記受光部に導く第二可動ミラーとを備えて構成し
て、前記第一可動ミラー及び前記第二可動ミラーを、表
裏両面に反射面が形成された平行平面基板の両面を各別
に用いて構成してあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
技術によれば、図６に示すように、第一（可動）ミラー
４Ａ及び前記第二（可動）ミラー４Ｂを、表裏両面に反
射面が形成された平行平面基板Ｍ１の両面に形成された
反射面Ｓ１，Ｓ２を各別に用いて構成していたので、受
光部で検出された散乱光線束Ｈ２は、光源から照射され
た測定光線束Ｈ１に対して平行平面基板の厚さｄ0に起
因してΔＬずれることになり、このずれが検出誤差とな
って表れるという欠点があった。特に、このずれΔＬは
ミラーが回転して入射角が異なるにつれて異なる。この
欠点を解消するために、平行平面基板の厚さを小にして
ずれを小さくすることが考えられるが、この場合には、
基板の平面度が保証されなくなる虞があるので限界があ
る。本発明の目的は上述した従来欠点を解消する点にあ
る。
技術によれば、図６に示すように、第一（可動）ミラー
４Ａ及び前記第二（可動）ミラー４Ｂを、表裏両面に反
射面が形成された平行平面基板Ｍ１の両面に形成された
反射面Ｓ１，Ｓ２を各別に用いて構成していたので、受
光部で検出された散乱光線束Ｈ２は、光源から照射され
た測定光線束Ｈ１に対して平行平面基板の厚さｄ0に起
因してΔＬずれることになり、このずれが検出誤差とな
って表れるという欠点があった。特に、このずれΔＬは
ミラーが回転して入射角が異なるにつれて異なる。この
欠点を解消するために、平行平面基板の厚さを小にして
ずれを小さくすることが考えられるが、この場合には、
基板の平面度が保証されなくなる虞があるので限界があ
る。本発明の目的は上述した従来欠点を解消する点にあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明による計測装置の特徴構成は、両面反射鏡
を、透明基板の一方の面にのみ反射面を形成して構成し
てあることにある。
め、本発明による計測装置の特徴構成は、両面反射鏡
を、透明基板の一方の面にのみ反射面を形成して構成し
てあることにある。
【０００５】
【作用】第一（可動）ミラー及び前記第二（可動）ミラ
ーを、透明基板の一方の面にのみ形成された反射面の両
面を各別に用いて構成すれば、測定光線束或いは散乱光
線束の一方が、前記反射面で反射する際に透明基板（例
えば光学ガラス等）を透過することになる。この場合、
図１に示すように、厚さｄ0の透明基板を透過して反射
面で反射され、再度その透明基板を透過してくる光線束
は、空気と透明基板との屈折率の相違から、実質的に
は、厚さｄ0より小なる厚さｄ1の基板の両面に反射面を
形成した反射ミラーから反射したと同様の差が生じる。
即ち、充分な平面度を確保するうえで必要な厚さｄ0の
基板で構成しながらも、より小なる厚さｄ1の基板にミ
ラーを形成したと同様の効果がえられるのである。
ーを、透明基板の一方の面にのみ形成された反射面の両
面を各別に用いて構成すれば、測定光線束或いは散乱光
線束の一方が、前記反射面で反射する際に透明基板（例
えば光学ガラス等）を透過することになる。この場合、
図１に示すように、厚さｄ0の透明基板を透過して反射
面で反射され、再度その透明基板を透過してくる光線束
は、空気と透明基板との屈折率の相違から、実質的に
は、厚さｄ0より小なる厚さｄ1の基板の両面に反射面を
形成した反射ミラーから反射したと同様の差が生じる。
即ち、充分な平面度を確保するうえで必要な厚さｄ0の
基板で構成しながらも、より小なる厚さｄ1の基板にミ
ラーを形成したと同様の効果がえられるのである。
【０００６】
【発明の効果】従って、本発明によれば、基板の平面度
が保証される厚さを確保しながらも、平行平面基板の厚
さに起因する測定光線束と散乱光線束のずれを小さくす
ることのできる計測装置を提供できるようになった。
が保証される厚さを確保しながらも、平行平面基板の厚
さに起因する測定光線束と散乱光線束のずれを小さくす
ることのできる計測装置を提供できるようになった。
【０００７】
【実施例】以下実施例を説明する。計測装置の一例であ
る三次元形状計測装置は、図３に示すように、レーザー
発振器を設けてスポット光を出力する光源３と、その光
源３からの測定光線束をＸ−Ｙ参照面１上の被測定物２
に向けてＸ方向に走査する測定用光学系４と、前記測定
光線束のうち前記被測定物２表面から反射した散乱光線
束を検出する受光部６と、受光部６に前記散乱光線束を
導く受光用光学系５とからなる光学系ユニットＵと、前
記受光部６による前記散乱光線束の検出出力に基づき前
記参照面１からの前記被測定物２表面の距離を演算導出
する信号処理部７と、前記光学系ユニットＵを制御する
計測制御部８と、信号処理部７及び計測制御部８から得
られたＸ，Ｙ，Ｚ三次元データから被測定物２の形状モ
デルを生成するモデル生成部９とで構成してある。
る三次元形状計測装置は、図３に示すように、レーザー
発振器を設けてスポット光を出力する光源３と、その光
源３からの測定光線束をＸ−Ｙ参照面１上の被測定物２
に向けてＸ方向に走査する測定用光学系４と、前記測定
光線束のうち前記被測定物２表面から反射した散乱光線
束を検出する受光部６と、受光部６に前記散乱光線束を
導く受光用光学系５とからなる光学系ユニットＵと、前
記受光部６による前記散乱光線束の検出出力に基づき前
記参照面１からの前記被測定物２表面の距離を演算導出
する信号処理部７と、前記光学系ユニットＵを制御する
計測制御部８と、信号処理部７及び計測制御部８から得
られたＸ，Ｙ，Ｚ三次元データから被測定物２の形状モ
デルを生成するモデル生成部９とで構成してある。
【０００８】測定用光学系４は、光源３からの測定光線
束を走査する第一可動ミラー４Ａと、その第一可動ミラ
ー４Ａにより走査された測定光線束を被測定物２に向け
て反射する第一固定ミラー４Ｂとから構成するととも
に、受光用光学系５を、被測定物２表面からの散乱光線
束を反射する第二固定ミラー５Ｂと、その第二固定ミラ
ー５Ｂにより反射された散乱光線束を受光部６に導く第
二可動ミラー５Ａと、第二可動ミラー５Ａで反射された
散乱光線束を受光部６で収束させる結像レンズ５Ｃとか
ら構成してある。
束を走査する第一可動ミラー４Ａと、その第一可動ミラ
ー４Ａにより走査された測定光線束を被測定物２に向け
て反射する第一固定ミラー４Ｂとから構成するととも
に、受光用光学系５を、被測定物２表面からの散乱光線
束を反射する第二固定ミラー５Ｂと、その第二固定ミラ
ー５Ｂにより反射された散乱光線束を受光部６に導く第
二可動ミラー５Ａと、第二可動ミラー５Ａで反射された
散乱光線束を受光部６で収束させる結像レンズ５Ｃとか
ら構成してある。
【０００９】第一可動ミラー４Ａ及び第二可動ミラー５
Ａは、図１に示すように、透明基板Ｍ１の一方の面にの
みアルミコーティングにより反射面Ｓが形成された両面
反射鏡Ｍと、その両面反射鏡Ｍを回動させるモータＭＯ
Ｔとで構成してある。即ち、反射面Ｓの両面を各別のミ
ラー４Ａ，５Ａの反射面としてある。
Ａは、図１に示すように、透明基板Ｍ１の一方の面にの
みアルミコーティングにより反射面Ｓが形成された両面
反射鏡Ｍと、その両面反射鏡Ｍを回動させるモータＭＯ
Ｔとで構成してある。即ち、反射面Ｓの両面を各別のミ
ラー４Ａ，５Ａの反射面としてある。
【００１０】計測制御部８は、モータＭＯＴを回動させ
て測定光線束をＸ方向に走査するとともに、光学系ユニ
ットＵをＹ方向に移動させてＺ−Ｙ平面上を走査する。
信号処理部７は、図２に示すように、一次元イメージセ
ンサＣＣＤを備えた受光部６で検出される距離Ｘ0Ｘ
1が、ΔＸ0に比例すること、及び、参照平面１からの測
定対象物２の表面位置Ｚ0が、Ｚ0・θ＝ΔＸ0なる関係
を有することからＺ0を求める。即ち、理論上、参照平
面１で反射される検出光線束は必ず図中のポイントＸ0
に集光することになる。モデル生成部９は、計測制御部
８による第一可動ミラー４Ａ及び第二可動ミラー５Ａの
回転角（モータＭＯＴの回転角）からＸ−Ｙ平面上の計
測ポイントを把握し、信号処理部７により導出されたそ
のポイントにおけるＺ座標とから被測定物２の形状モデ
ルを生成する。
て測定光線束をＸ方向に走査するとともに、光学系ユニ
ットＵをＹ方向に移動させてＺ−Ｙ平面上を走査する。
信号処理部７は、図２に示すように、一次元イメージセ
ンサＣＣＤを備えた受光部６で検出される距離Ｘ0Ｘ
1が、ΔＸ0に比例すること、及び、参照平面１からの測
定対象物２の表面位置Ｚ0が、Ｚ0・θ＝ΔＸ0なる関係
を有することからＺ0を求める。即ち、理論上、参照平
面１で反射される検出光線束は必ず図中のポイントＸ0
に集光することになる。モデル生成部９は、計測制御部
８による第一可動ミラー４Ａ及び第二可動ミラー５Ａの
回転角（モータＭＯＴの回転角）からＸ−Ｙ平面上の計
測ポイントを把握し、信号処理部７により導出されたそ
のポイントにおけるＺ座標とから被測定物２の形状モデ
ルを生成する。
【００１１】以下、本発明の別実施例を説明する。先の
実施例では光学系ユニットＵのＹ軸方向への走査機構に
ついて詳述していないが、これは既存の技術、例えばモ
ータとプーリー等の駆動機構を用いて構成すればよい。
両面反射ミラーＭは、その表裏何れの面を測定光線束、
或いは散乱光線束に用いてもよい。光学系ユニットＵの
構成はこの構成に限定するものではなく，先の実施例で
説明した原理に基づき三次元座標を導出するものであれ
ば任意に構成してよく、例えば図４に示すように、先の
実施例における可動ミラー４Ａ，５Ａを固定して、第一
固定ミラー４Ｂを回動させることで測定光線束を走査す
るように構成してもよく、図５に示すように、測定光線
束と散乱光線束で形成される平面をＹ軸方向に走査する
べく、Ｘ軸と平行な軸心周りに回動自在の反射ミラーを
設けて構成してもよい。先の実施例では、計測装置とし
て三次元形状計測装置を用いて説明したが、計測装置は
これに限定するものではなく、測距装置等、他の計測装
置に用いることができる。
実施例では光学系ユニットＵのＹ軸方向への走査機構に
ついて詳述していないが、これは既存の技術、例えばモ
ータとプーリー等の駆動機構を用いて構成すればよい。
両面反射ミラーＭは、その表裏何れの面を測定光線束、
或いは散乱光線束に用いてもよい。光学系ユニットＵの
構成はこの構成に限定するものではなく，先の実施例で
説明した原理に基づき三次元座標を導出するものであれ
ば任意に構成してよく、例えば図４に示すように、先の
実施例における可動ミラー４Ａ，５Ａを固定して、第一
固定ミラー４Ｂを回動させることで測定光線束を走査す
るように構成してもよく、図５に示すように、測定光線
束と散乱光線束で形成される平面をＹ軸方向に走査する
べく、Ｘ軸と平行な軸心周りに回動自在の反射ミラーを
設けて構成してもよい。先の実施例では、計測装置とし
て三次元形状計測装置を用いて説明したが、計測装置は
これに限定するものではなく、測距装置等、他の計測装
置に用いることができる。
【００１２】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にする為に符号を記すが、該記入により本発明は添
付図面の構成に限定されるものではない。
便利にする為に符号を記すが、該記入により本発明は添
付図面の構成に限定されるものではない。
【図１】原理を示す要部の説明図
【図２】原理を示す要部の説明図
【図３】三次元形状計測装置の全体構成図
【図４】別実施例を示す三次元形状計測装置の全体構成
図
図
【図５】別実施例を示す三次元形状計測装置の全体構成
図
図
【図６】従来例を示す要部の原理を示す説明図
１ 参照面 ２ 対象物 ３ 光源 ４ 投影用光学系 ４Ａ 第一可動ミラー ４Ｂ 第一固定ミラー ５ 受光用光学系 ５Ａ 第二可動ミラー ５Ｂ 第二固定ミラー ６ 受光部 ７ 信号処理部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若井 秀樹 東京都板橋区蓮沼町75番１号 株式会社ト プコン内 (72)発明者 榎本 和彦 東京都板橋区蓮沼町75番１号 株式会社ト プコン内
Claims (2)
- 【請求項１】 光源（３）からの測定光線束を参照面
（１）上の被測定物（２）に向けて走査する測定用光学
系（４）と、前記測定光線束のうち前記被測定物（２）
表面から反射した散乱光線束を受光部（６）に導く受光
用光学系（５）と、前記受光部（６）による前記散乱光
線束の検出出力に基づき前記参照面（１）からの前記被
測定物（２）表面の距離を演算導出する信号処理部
（７）とから構成してあり、 前記測定用光学系（４）を、前記光源（３）からの測定
光線束を走査する第一可動ミラー（４Ａ）と、その第一
可動ミラー（４Ａ）により走査された測定光線束を前記
被測定物（２）に向けて反射する第一固定ミラー（４
Ｂ）とから構成するとともに、前記受光用光学系（５）
を、前記被測定物（２）表面からの散乱光線束を反射す
る第二固定ミラー（５Ｂ）と、その第二固定ミラー（５
Ｂ）により反射された散乱光線束を前記受光部（６）に
導く第二可動ミラー（５Ａ）とを備えて構成して、前記
第一可動ミラー（４Ａ）及び前記第二可動ミラー（５
Ａ）を、両面反射鏡（Ｍ）の表裏の反射面を各別に用い
て構成してある計測装置であって、 前記両面反射鏡（Ｍ）を、透明基板（Ｍ１）の一方の面
にのみ反射面を形成して構成してある計測装置。 - 【請求項２】 光源（３）からの測定光線束を被測定物
（２）に向けて照射する測定用光学系（４）と、前記測
定光線束のうち前記被測定物（２）表面から反射した散
乱光線束を受光部（６）に導く受光用光学系（５）とを
備えて、前記測定用光学系（４）に、光源（３）からの
測定光線束を被測定物（２）に向けて反射する第一ミラ
ー（４Ａ）を設けるとともに、前記受光用光学系（５）
に、前記被測定物（２）表面から反射した散乱光線束を
前記受光部（６）に向けて反射する第二ミラー（５Ａ）
を設けて、前記第一ミラー（４Ａ）及び前記第二ミラー
（５Ａ）を、両面反射鏡（Ｍ）の表裏の反射面を各別に
用いて構成してある計測装置であって、 前記両面反射鏡（Ｍ）を、透明基板（Ｍ１）の一方の面
にのみ反射面を形成して構成してある計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP266792A JPH05187832A (ja) | 1992-01-10 | 1992-01-10 | 計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP266792A JPH05187832A (ja) | 1992-01-10 | 1992-01-10 | 計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05187832A true JPH05187832A (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=11535669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP266792A Pending JPH05187832A (ja) | 1992-01-10 | 1992-01-10 | 計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05187832A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6441977B1 (en) | 1998-08-10 | 2002-08-27 | Minolta Co., Ltd. | Optical apparatus with optical system having long optical path |
| US8004559B2 (en) | 2006-03-23 | 2011-08-23 | Koh Young Technology Inc. | Apparatus for measuring three dimensional shape |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62168007A (ja) * | 1986-01-20 | 1987-07-24 | Nachi Fujikoshi Corp | 形状認識装置 |
| JPS637143B2 (ja) * | 1984-02-29 | 1988-02-15 | Daiwa Shoji Jugen |
-
1992
- 1992-01-10 JP JP266792A patent/JPH05187832A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS637143B2 (ja) * | 1984-02-29 | 1988-02-15 | Daiwa Shoji Jugen | |
| JPS62168007A (ja) * | 1986-01-20 | 1987-07-24 | Nachi Fujikoshi Corp | 形状認識装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6441977B1 (en) | 1998-08-10 | 2002-08-27 | Minolta Co., Ltd. | Optical apparatus with optical system having long optical path |
| US8004559B2 (en) | 2006-03-23 | 2011-08-23 | Koh Young Technology Inc. | Apparatus for measuring three dimensional shape |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0366112B1 (en) | Optical coordinate input apparatus and position indicator therefor | |
| JPH0374763B2 (ja) | ||
| US20140376064A1 (en) | Scanning apparatus with patterned probe light | |
| US8890848B2 (en) | Optical touch device | |
| US5432330A (en) | Two-stage detection noncontact positioning apparatus having a first light detector with a central slit | |
| WO1994015173A1 (en) | Scanning sensor | |
| JP2002090681A (ja) | 光学走査装置および３次元測定装置 | |
| JPH0758172B2 (ja) | 形状測定方法およびその装置 | |
| JPH05187832A (ja) | 計測装置 | |
| JPH0914935A (ja) | ３次元物体の測定装置 | |
| JPH0791930A (ja) | 三次元スキャナー | |
| JP5487920B2 (ja) | 光学式３次元形状計測装置及び光学式３次元形状計測方法 | |
| JPH0829134A (ja) | 三次元形状計測装置 | |
| JP3176734B2 (ja) | 光学式位置測定装置 | |
| JP2509776B2 (ja) | 三次元形状計測装置 | |
| JP2731062B2 (ja) | 三次元形状計測装置 | |
| JP2000258144A (ja) | ウェーハの平坦度および厚み測定装置 | |
| JPS63108208A (ja) | 物体等の形状計測方法 | |
| WO2024004166A1 (ja) | 距離測定装置 | |
| JP2582007Y2 (ja) | 干渉計 | |
| JPH0566114A (ja) | 透明物体の厚み測定装置 | |
| JPH07332954A (ja) | 変位傾斜測定方法および装置 | |
| JPH08261734A (ja) | 形状測定装置 | |
| JP2544789B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JP2591143B2 (ja) | 三次元形状測定装置 |