JPH0566114A - 透明物体の厚み測定装置 - Google Patents
透明物体の厚み測定装置Info
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- JPH0566114A JPH0566114A JP22688591A JP22688591A JPH0566114A JP H0566114 A JPH0566114 A JP H0566114A JP 22688591 A JP22688591 A JP 22688591A JP 22688591 A JP22688591 A JP 22688591A JP H0566114 A JPH0566114 A JP H0566114A
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- JP
- Japan
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- rotating
- measured
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転鏡及び光学系によって光ビームが被測定
物の表面を移動するように走査し、この走査によって得
られた表面反射光及び底面反射光の各々を前記回転鏡を
介してイメージセンサ上に結像させることで、透明シー
トの一次元的な厚み分布の測定を高速に行うことができ
るようにする。 【構成】 半導体レーザ７と、この半導体レーザ７から
のレーザビームを入射し、これを回転に応じて出射する
回転平面鏡９と、この回転平面鏡９からの光ビームを透
明シートの被測定物６へ照射する投光レンズ１０及び反
射鏡１１と、この反射鏡１１からのレーザビームに対す
る被測定物６の表面反射光１５及び底面反射光１６を再
び回転平面鏡９へ導く反射鏡１２及び集光レンズ１３
と、この集光レンズ１３からの光ビームに対する回転平
面鏡９からの２つの反射光の各々を受光するイメージセ
ンサ１４とを設けて透明物体の厚み測定装置を構成す
る。
物の表面を移動するように走査し、この走査によって得
られた表面反射光及び底面反射光の各々を前記回転鏡を
介してイメージセンサ上に結像させることで、透明シー
トの一次元的な厚み分布の測定を高速に行うことができ
るようにする。 【構成】 半導体レーザ７と、この半導体レーザ７から
のレーザビームを入射し、これを回転に応じて出射する
回転平面鏡９と、この回転平面鏡９からの光ビームを透
明シートの被測定物６へ照射する投光レンズ１０及び反
射鏡１１と、この反射鏡１１からのレーザビームに対す
る被測定物６の表面反射光１５及び底面反射光１６を再
び回転平面鏡９へ導く反射鏡１２及び集光レンズ１３
と、この集光レンズ１３からの光ビームに対する回転平
面鏡９からの２つの反射光の各々を受光するイメージセ
ンサ１４とを設けて透明物体の厚み測定装置を構成す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は透明シートなどの透明な
物の厚みを測定する技術、特に、レーザビームを被測定
物の表面に照射して得られる反射レーザ光のスポットの
移動から厚みを測定するために用いて効果のある技術に
関するものである。
物の厚みを測定する技術、特に、レーザビームを被測定
物の表面に照射して得られる反射レーザ光のスポットの
移動から厚みを測定するために用いて効果のある技術に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、スペーサとして用いる透明シー
ト、光学系に用いる透明ガラスなどは、その厚みが厳重
に管理されなければならない。この種の製品の厚みを測
定するための装置は、現在市販されているもののすべて
がスポット測定を行っている。
ト、光学系に用いる透明ガラスなどは、その厚みが厳重
に管理されなければならない。この種の製品の厚みを測
定するための装置は、現在市販されているもののすべて
がスポット測定を行っている。
【０００３】そのために、一次元または二次元的な表面
状態すなわち厚み分布を測定するためには、機械的なス
ライド機構を必要としている。
状態すなわち厚み分布を測定するためには、機械的なス
ライド機構を必要としている。
【０００４】図３は従来の厚み測定装置の概略構成を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【０００５】厚み測定装置１はＬ字型をなしたアーム２
の一端に取り付けられ、その他端はＸ−Ｙステージ３に
固定されている。このＸ−Ｙステージ３は、モータ４，
５によって駆動され、直交する２方向に厚み測定装置１
を移動させることができる。
の一端に取り付けられ、その他端はＸ−Ｙステージ３に
固定されている。このＸ−Ｙステージ３は、モータ４，
５によって駆動され、直交する２方向に厚み測定装置１
を移動させることができる。
【０００６】厚み測定装置１の直下には、被測定物であ
る被測定物６（透明シート）が配設されている。
る被測定物６（透明シート）が配設されている。
【０００７】測定に際しては、被測定物６を固定してお
き、モータ４，５によってＸ−Ｙステージ３を駆動し、
被測定物６の測定開始点上に厚み測定装置１を位置決め
する。ここで厚み測定装置１から光ビームを発して被測
定物６の表面に照射し、その反射レーザ光を厚み測定装
置１の光検出器（例えば、ＣＣＤセンサ）に入射させ
る。光検出器には、透明シートの表面で反射した光と透
明シートの底面で反射した光とが同時に検出され、その
２つの結像点のセンサ上の距離から透明シートの厚みを
測定することができる。
き、モータ４，５によってＸ−Ｙステージ３を駆動し、
被測定物６の測定開始点上に厚み測定装置１を位置決め
する。ここで厚み測定装置１から光ビームを発して被測
定物６の表面に照射し、その反射レーザ光を厚み測定装
置１の光検出器（例えば、ＣＣＤセンサ）に入射させ
る。光検出器には、透明シートの表面で反射した光と透
明シートの底面で反射した光とが同時に検出され、その
２つの結像点のセンサ上の距離から透明シートの厚みを
測定することができる。
【０００８】この状態で厚み測定装置１をＸ−Ｙステー
ジ３によって一方向（例えば、Ｘ方向）へ連続的に移動
させることにより、一次元の走査が行われる。被測定物
６の一端から他端への走査が終了したら、厚み測定装置
１を所定ピッチだけＹ方向へ移動し、再び厚み測定装置
１をＸ方向へ移動させる。以下、同様にして被測定物６
の全面を走査することにより、一次元的な厚み分布が測
定できる。
ジ３によって一方向（例えば、Ｘ方向）へ連続的に移動
させることにより、一次元の走査が行われる。被測定物
６の一端から他端への走査が終了したら、厚み測定装置
１を所定ピッチだけＹ方向へ移動し、再び厚み測定装置
１をＸ方向へ移動させる。以下、同様にして被測定物６
の全面を走査することにより、一次元的な厚み分布が測
定できる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明者の検討によれ
ば、厚み測定装置を機械的に移動して変位測定を行う表
面変位測定技術は、スライド機構を必要とするために、
測定に時間を要し（すなわち、高速化が図れない）、イ
ンラインでは使えず、また、装置が大型化ならびに大重
量化するという問題がある。
ば、厚み測定装置を機械的に移動して変位測定を行う表
面変位測定技術は、スライド機構を必要とするために、
測定に時間を要し（すなわち、高速化が図れない）、イ
ンラインでは使えず、また、装置が大型化ならびに大重
量化するという問題がある。
【００１０】そこで、本発明の目的は、透明シートの一
次元的な厚み分布の測定を高速に行うことのできる技術
を提供することにある。
次元的な厚み分布の測定を高速に行うことのできる技術
を提供することにある。
【００１１】本発明の前記ならびに他の目的と新規な特
徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【００１３】すなわち、回転可能に設置されると共にそ
の回転に応じて入射された光ビームを出射する回転鏡
と、該回転鏡からの光ビームをシート状の被測定物へ照
射する第１の光学系と、前記被測定物からの表面反射光
及び底面反射光を前記回転鏡へ導く第２の光学系と、該
第２の光学系からの光ビームに対する前記回転鏡からの
２つの反射光の各々を受光するイメージセンサとを設け
るようにしている。
の回転に応じて入射された光ビームを出射する回転鏡
と、該回転鏡からの光ビームをシート状の被測定物へ照
射する第１の光学系と、前記被測定物からの表面反射光
及び底面反射光を前記回転鏡へ導く第２の光学系と、該
第２の光学系からの光ビームに対する前記回転鏡からの
２つの反射光の各々を受光するイメージセンサとを設け
るようにしている。
【００１４】
【作用】上記した手段によれば、回転鏡を介して光ビー
ムが被測定物へ回転鏡の回転速度に応じて走査するよう
に照射され、この走査に伴う被測定物表面からの表面反
射光及び底面反射光が同一の回転鏡の鏡面に入射し、こ
れがイメージセンサ上に２点のスポットとして各々が結
像される。したがって、一次元的な厚み分布測定を高速
に行うことができる。しかも、装置の小型化及びローコ
スト化も図ることができる。
ムが被測定物へ回転鏡の回転速度に応じて走査するよう
に照射され、この走査に伴う被測定物表面からの表面反
射光及び底面反射光が同一の回転鏡の鏡面に入射し、こ
れがイメージセンサ上に２点のスポットとして各々が結
像される。したがって、一次元的な厚み分布測定を高速
に行うことができる。しかも、装置の小型化及びローコ
スト化も図ることができる。
【００１５】
【実施例】図１は本発明による透明物体の厚み測定装置
の一実施例の概略構成を示す斜視図である。
の一実施例の概略構成を示す斜視図である。
【００１６】測定用光源である半導体レーザ７のレーザ
ビームの出射光路上には、コリメートレンズ８及び回転
平面鏡９（回転鏡）が順次配設されている。回転平面鏡
９は、横長の平面鏡の中心に回転軸９ａが平行に固定さ
れ、回転できるように構成されている。この回転平面鏡
９の反射光路上には、被測定物６（例えば、透明シー
ト）にレーザビームを結像させる投光レンズ１０が配設
されている。この出射光路上には、投光レンズ１０から
のレーザビームを被測定物６上に斜め方向（その角度
は、被測定物６に対して臨界角以上にする）から照射す
るための反射鏡１１（平面鏡）が配設されている。この
反射鏡１１と投光レンズ１０とにより第１の光学系を形
成している。
ビームの出射光路上には、コリメートレンズ８及び回転
平面鏡９（回転鏡）が順次配設されている。回転平面鏡
９は、横長の平面鏡の中心に回転軸９ａが平行に固定さ
れ、回転できるように構成されている。この回転平面鏡
９の反射光路上には、被測定物６（例えば、透明シー
ト）にレーザビームを結像させる投光レンズ１０が配設
されている。この出射光路上には、投光レンズ１０から
のレーザビームを被測定物６上に斜め方向（その角度
は、被測定物６に対して臨界角以上にする）から照射す
るための反射鏡１１（平面鏡）が配設されている。この
反射鏡１１と投光レンズ１０とにより第１の光学系を形
成している。
【００１７】反射鏡１１から照射されたレーザビーム
は、被測定物６上で反射するが、その反射レーザ光の光
路上には該反射レーザ光を垂直方向へ反射させるための
反射鏡１２（平面鏡）が配設されている。この出射光路
上には、検出位置上に結像させるための集光レンズ１３
が配設され（この集光レンズ１３と反射鏡１２により第
２の光学系を形成）、その出射光は回転平面鏡９上へ導
かれ、さらにイメージセンサ１４上に結像される。
は、被測定物６上で反射するが、その反射レーザ光の光
路上には該反射レーザ光を垂直方向へ反射させるための
反射鏡１２（平面鏡）が配設されている。この出射光路
上には、検出位置上に結像させるための集光レンズ１３
が配設され（この集光レンズ１３と反射鏡１２により第
２の光学系を形成）、その出射光は回転平面鏡９上へ導
かれ、さらにイメージセンサ１４上に結像される。
【００１８】以上の構成において、そのレーザビームの
経路の形成について、図２を参照して説明する。なお、
図２においては、説明の便宜上、回転平面鏡９の図示を
省いている。
経路の形成について、図２を参照して説明する。なお、
図２においては、説明の便宜上、回転平面鏡９の図示を
省いている。
【００１９】半導体レーザ７から発したレーザビーム
は、投光レンズ１０を介して反射鏡１１に垂直方向から
入射される。反射鏡１１の出射光は、被測定物６の表面
に対して臨界角以上の角度θ（例えば、被測定物６がガ
ラス材である場合は、４１．５°＞θ）で投光される。
この投光に対して生じる反射レーザ光は、被測定物６の
表面の表面反射レーザ光１５と底面の底面反射レーザ光
１６の２つであり、底面では全反射をする。表面反射レ
ーザ光１５及び底面反射レーザ光１６の各々の反射レー
ザ光は、反射鏡１２及び集光レンズ１３を介して独自の
光路を経てイメージセンサ１４の異なる位置へスポット
として結像される。したがって、２つのスポット間の距
離から被測定物６の厚みを測定することができる。
は、投光レンズ１０を介して反射鏡１１に垂直方向から
入射される。反射鏡１１の出射光は、被測定物６の表面
に対して臨界角以上の角度θ（例えば、被測定物６がガ
ラス材である場合は、４１．５°＞θ）で投光される。
この投光に対して生じる反射レーザ光は、被測定物６の
表面の表面反射レーザ光１５と底面の底面反射レーザ光
１６の２つであり、底面では全反射をする。表面反射レ
ーザ光１５及び底面反射レーザ光１６の各々の反射レー
ザ光は、反射鏡１２及び集光レンズ１３を介して独自の
光路を経てイメージセンサ１４の異なる位置へスポット
として結像される。したがって、２つのスポット間の距
離から被測定物６の厚みを測定することができる。
【００２０】以上の説明では、説明の便宜上、回転平面
鏡９が回転しないものとしたが、実際には矢印方向へ回
転しており、半導体レーザ７からのレーザビームに対す
る回転平面鏡９の出射角度は、この回転平面鏡９の回転
に応じて変化する。その出射光は反射鏡１１によって、
被測定物６に対してθの角度で入射するように反射す
る。したがって、反射鏡１１の出射光は、回転平面鏡９
の回転に応じて被測定物６の表面上を矢印方向へ連続に
移動、すなわち一元的な走査が行われる。これに伴っ
て、反射鏡１１の出射光の移動と共に反射レーザ光（表
面反射レーザ光１５及び底面反射レーザ光１６）も同一
方向へ移動し、その反射レーザ光は反射鏡１２及び集光
レンズ１３を介して回転平面鏡９へ入射し、さらに回転
平面鏡９の出射光が表面反射レーザ光１５及び底面反射
レーザ光１６のスポットとしてイメージセンサ１４上の
離間した位置へ結像する。この結像位置間隔は、厚みの
変化に応じて変化するものの、回転平面鏡９の回転状態
には無関係であり、回転平面鏡９が回転することによ
り、常にイメージセンサ１４へ向けて出射される。
鏡９が回転しないものとしたが、実際には矢印方向へ回
転しており、半導体レーザ７からのレーザビームに対す
る回転平面鏡９の出射角度は、この回転平面鏡９の回転
に応じて変化する。その出射光は反射鏡１１によって、
被測定物６に対してθの角度で入射するように反射す
る。したがって、反射鏡１１の出射光は、回転平面鏡９
の回転に応じて被測定物６の表面上を矢印方向へ連続に
移動、すなわち一元的な走査が行われる。これに伴っ
て、反射鏡１１の出射光の移動と共に反射レーザ光（表
面反射レーザ光１５及び底面反射レーザ光１６）も同一
方向へ移動し、その反射レーザ光は反射鏡１２及び集光
レンズ１３を介して回転平面鏡９へ入射し、さらに回転
平面鏡９の出射光が表面反射レーザ光１５及び底面反射
レーザ光１６のスポットとしてイメージセンサ１４上の
離間した位置へ結像する。この結像位置間隔は、厚みの
変化に応じて変化するものの、回転平面鏡９の回転状態
には無関係であり、回転平面鏡９が回転することによ
り、常にイメージセンサ１４へ向けて出射される。
【００２１】以上のように、上記実施例によれば、厚み
測定装置を機械的に移動させる必要がなく、走査速度は
回転平面鏡９の回転速度で決まるので、厚み測定を高速
に行うことが可能になる。また、駆動の対象になる部分
は回転平面鏡９のみであり、他は光学素子を固定できる
ので、装置の小型化を図ることができると共に移動テー
ブルなどのスライド機構が不要になるのでローコスト化
も可能になる。
測定装置を機械的に移動させる必要がなく、走査速度は
回転平面鏡９の回転速度で決まるので、厚み測定を高速
に行うことが可能になる。また、駆動の対象になる部分
は回転平面鏡９のみであり、他は光学素子を固定できる
ので、装置の小型化を図ることができると共に移動テー
ブルなどのスライド機構が不要になるのでローコスト化
も可能になる。
【００２２】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、
走査スピードを更に高速化するために、回転平面鏡９に
代えて回転多面鏡を用いることもできる。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、
走査スピードを更に高速化するために、回転平面鏡９に
代えて回転多面鏡を用いることもできる。
【００２３】また、図１の構成において、反射鏡１２を
除去した構成にすることもできる。
除去した構成にすることもできる。
【００２４】この場合、被測定物６からの反射レーザ光
の光路に対し一直線上に集光レンズ１３及びイメージセ
ンサ１４を配設することになる。
の光路に対し一直線上に集光レンズ１３及びイメージセ
ンサ１４を配設することになる。
【００２５】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその利用分野である半導体装置のシー
ト状部品に適用した場合について説明したが、これに限
定されるものではなく、透明な物体の全てに適用するこ
とができ、また、シート状の物体に限定されるものでも
ない。
てなされた発明をその利用分野である半導体装置のシー
ト状部品に適用した場合について説明したが、これに限
定されるものではなく、透明な物体の全てに適用するこ
とができ、また、シート状の物体に限定されるものでも
ない。
【００２６】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
【００２７】すなわち、回転可能に設置されると共にそ
の回転に応じて入射された光ビームを出射する回転鏡
と、該回転鏡からの光ビームをシート状の被測定物へ照
射する第１の光学系と、前記被測定物からの表面反射光
及び底面反射光を前記回転鏡へ導く第２の光学系と、該
第２の光学系からの光ビームに対する前記回転鏡からの
２つの反射光の各々を受光するイメージセンサとを設け
るようにしたので、一次元的な厚み分布測定を高速に行
うことができる。しかも、装置の小型化及びローコスト
化も図ることができる。
の回転に応じて入射された光ビームを出射する回転鏡
と、該回転鏡からの光ビームをシート状の被測定物へ照
射する第１の光学系と、前記被測定物からの表面反射光
及び底面反射光を前記回転鏡へ導く第２の光学系と、該
第２の光学系からの光ビームに対する前記回転鏡からの
２つの反射光の各々を受光するイメージセンサとを設け
るようにしたので、一次元的な厚み分布測定を高速に行
うことができる。しかも、装置の小型化及びローコスト
化も図ることができる。
【図１】本発明による透明物体の厚み測定装置の一実施
例の概略構成を示す斜視図である。
例の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明による透明物体の厚み測定装置の測定原
理を示す説明図である。
理を示す説明図である。
【図３】従来の厚み測定装置の概略構成を示す斜視図で
ある。
ある。
１ 厚み測定装置 ２ アーム ３ Ｘ−Ｙステージ ４ モータ ５ モータ ６ 被測定物（透明シート） ７ 半導体レーザ ８ コリメートレンズ ９ 回転平面鏡 ９ａ 回転軸 １０ 投光レンズ １１ 反射鏡（平面鏡） １２ 反射鏡（平面鏡） １３ 集光レンズ １４ イメージセンサ １５ 表面反射レーザ光 １６ 底面反射レーザ光
Claims (3)
- 【請求項１】 回転可能に設置されると共にその回転に
応じて入射された光ビームを出射する回転鏡と、該回転
鏡からの光ビームを透明な被測定物へ照射する第１の光
学系と、前記被測定物からの表面反射光及び底面反射光
を前記回転鏡へ導く第２の光学系と、該第２の光学系か
らの光ビームに対する前記回転鏡からの２つの反射光の
各々を受光するイメージセンサとを具備することを特徴
とする透明物体の厚み測定装置。 - 【請求項２】 前記回転鏡は、回転する平面鏡または多
面鏡であることを特徴とする請求項１記載の透明物体の
厚み測定装置。 - 【請求項３】 前記被測定物へ照射する光ビームの入射
角度は、前記被測定物の臨界角度以上にすることを特徴
とする透明物体の厚み測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22688591A JPH0566114A (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 透明物体の厚み測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22688591A JPH0566114A (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 透明物体の厚み測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0566114A true JPH0566114A (ja) | 1993-03-19 |
Family
ID=16852110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22688591A Pending JPH0566114A (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 透明物体の厚み測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0566114A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012083428A1 (en) * | 2010-12-20 | 2012-06-28 | Honeywell Acsa Lnc. | Single-sided infrared sensor for thickness or weight measurement of products containing a reflective layer |
| CN103528528A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-22 | 苏州精创光学仪器有限公司 | 紧凑型精密激光三角测距仪 |
| CN104316022A (zh) * | 2014-11-04 | 2015-01-28 | 苏州精创光学仪器有限公司 | 改进的紧凑型精密激光三角测距仪 |
| CN106643528A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-05-10 | 铜陵市铜创电子科技有限公司 | 一种金属化薄膜膜厚观察装置 |
| CN108398102A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-08-14 | 江苏珩图智能科技有限公司 | 一种曲面屏检测时图像采集装置及采集方法 |
-
1991
- 1991-09-06 JP JP22688591A patent/JPH0566114A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012083428A1 (en) * | 2010-12-20 | 2012-06-28 | Honeywell Acsa Lnc. | Single-sided infrared sensor for thickness or weight measurement of products containing a reflective layer |
| US8314388B2 (en) | 2010-12-20 | 2012-11-20 | Honeywell Asca Inc. | Single-sided infrared sensor for thickness or weight measurement of products containing a reflective layer |
| CN103415757A (zh) * | 2010-12-20 | 2013-11-27 | 霍尼韦尔阿斯卡公司 | 用于测量包含反射层的产品的厚度或重量的单侧红外传感器 |
| CN103415757B (zh) * | 2010-12-20 | 2016-01-20 | 霍尼韦尔阿斯卡公司 | 用于测量包含反射层的产品的厚度或重量的单侧红外传感器 |
| CN103528528A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-22 | 苏州精创光学仪器有限公司 | 紧凑型精密激光三角测距仪 |
| CN104316022A (zh) * | 2014-11-04 | 2015-01-28 | 苏州精创光学仪器有限公司 | 改进的紧凑型精密激光三角测距仪 |
| CN106643528A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-05-10 | 铜陵市铜创电子科技有限公司 | 一种金属化薄膜膜厚观察装置 |
| CN108398102A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-08-14 | 江苏珩图智能科技有限公司 | 一种曲面屏检测时图像采集装置及采集方法 |
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