JPH05119307A - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 特定のポリシラザンの１種または２種以上を
含む塗布液から形成されたシリカ系被膜を液晶表示セル
の透明電極上に有する液晶表示装置、電極板の画素電極
上および／または対向電極板のカラーフィルターと透明
電極の間に前記シリカ系被膜が形成された液晶表示セル
を備えたカラー液晶表示装置、および前記塗布液を塗布
して得られた塗膜に酸化雰囲気中で加熱および／または
紫外線照射を施してシリカ系被膜を形成する工程を含む
液晶表示装置の製造方法。 【効果】 前記塗布液を用いて形成したシリカ系被膜
は、膜形成時の収縮ストレスに基づくクラックの発生が
なく、しかも塗布液組成物の分解により被膜中に発生す
るボイドがなく、緻密で表面が平坦化されており、この
ため、上記構成の液晶表示装置は、液晶表示セル中に封
入された液晶の配向乱れ、および色むらなどの画像むら
がほとんどなく、長期間にわたって優れた画像を表示す
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の技術分野】本発明は、液晶表示装置およびその
製造方法に関し、さらに詳しくは、膜形成時の収縮スト
レスに基づくクラックの発生がなく、しかも塗布液組成
物の分解により被膜中に発生するボイドがなく、緻密で
表面が平坦化された絶縁性のシリカ系被膜が、液晶表示
セルの電極上に形成された液晶表示装置、特に液晶表示
装置がカラー液晶表示装置である場合には、さらにこの
ような優れた性質を有する被膜が液晶表示セルのカラー
フィルター上に形成された液晶表示装置、および上記の
ようなシリカ系被膜が液晶表示セル中に形成されている
液晶表示装置の製造方法に関する。

【０００２】

【発明の技術的背景】従来より、ガラス基板の表面にＩ
ＴＯなどの透明電極、ポリイミドなどの高分子薄膜から
なる配向膜が順次積層されている一対の透明電極付基板
を、それぞれの透明電極同士が向かいあうようにスペー
サを介して対向させ、一対の透明電極間に設けられた隙
間に液晶を封入した液晶表示セルが知られている。

【０００３】この種のタイプの液晶表示セルは、液晶内
に含まれている異物やスペーサによって配向膜が傷つけ
られたりして、上下の電極間に導通が生じ、この導通に
起因する表示不良が発生することがあった。

【０００４】また、配向膜のラビング時に配向膜の表面
に発生する静電気が透明電極に放電されると、その発熱
によって配向膜が部分的に破壊され、配向不良が生じる
こともある。

【０００５】このため、従来、前記透明電極の透明導電
膜と配向膜の間に、透明絶縁膜を形成することが提案さ
れている（特開平１−１５０１１５号公報、特開平２−
２２１９２３号公報など）。

【０００６】しかしながら、これらの透明絶縁膜は、緻
密性が不充分で、また焼成過程で膜収縮が生じて収縮ス
トレスが大きくなるため、膜にクラックが生じ易いとい
う問題点がある。

【０００７】ところで、カラー液晶表示装置として、ガ
ラス基板上にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）などからなる
画素電極が積層された電極板の画素電極と、ガラス基板
上にカラーフィルターおよび透明電極が順次積層された
対向電極板の透明電極との間に液晶層を有する液晶表示
セルと該液晶表示セルの両側に一対の偏光板を備えたマ
トリックス形カラー液晶表示装置が知られている（電子
材料、２７巻、ＮＯ．２、３２〜３６頁（１９８８）参
照）。

【０００８】この種のカラー液晶表示装置の液晶表示セ
ルは、電極板から画素電極が突出し、対向電極板からカ
ラーフィルターが突出しており、電極表面に段差があ
る。このため、セルギャップが不均一になり、セルギャ
ップに均一である場合に比較して、液晶表示セル中に封
入された液晶の配向乱れ、および色むらなどの画像むら
が生じ易いといった傾向がある。

【０００９】このため、従来、電極板の画素電極上、お
よび対向電極板のカラーフィルター上に、ポリイミド、
アクリル系樹脂およびアルコキシシラン系の塗布液を用
いて被膜を形成して電極表面の段差を平坦化することが
行なわれている（特開平２−２４２２２６号公報）。

【００１０】しかしながら、上記のような塗布液から形
成された被膜は、緻密性が不充分で、また焼成過程で膜
収縮が生じて収縮ストレスが大きくなるため、膜にクラ
ックが生じ易いという問題点がある。

【００１１】

【発明の目的】本発明は、上記のような従来技術におけ
る問題点を解決しようとするものであって、膜形成時の
収縮ストレスに基づくクラックの発生がなく、しかも塗
布液組成物の分解により被膜中に発生するボイドがな
く、緻密で表面が平坦化されたシリカ系被膜が、液晶表
示セルの電極上に形成された液晶表示装置、特に液晶表
示装置がカラー液晶表示装置である場合には、さらにこ
のような優れた性質を有する被膜が液晶表示セルのカラ
ーフィルター上に形成された液晶表示装置、および上記
のようなシリカ系被膜が液晶表示セル中に形成されてい
る液晶表示装置の製造方法を提供することを目的として
いる。

【００１２】

【発明の概要】本発明に係る液晶表示装置は、下記一般
式（Ｉ）

【００１３】

【化２】

【００１４】（ただし、Ｒ₁、Ｒ₂およびＲ₃は、それぞ
れ独立して水素原子または炭素原子数１〜８のアルキル
基である。）で表わされる繰り返し単位を有するポリシ
ラザンの１種または２種以上を含む塗布液から形成され
たシリカ系被膜を、電極の保護膜として、あるいは電極
表面の平坦化膜として液晶表示セルの電極上に有するこ
とを特徴としている。

【００１５】特にこの液晶表示装置が、上述したような
カラー液晶表示装置の場合には、電極板の画素電極上お
よび／または対向電極板のカラーフィルターと透明電極
の間に、前記一般式（Ｉ）で表わされる繰り返し単位を
有するポリシラザンの１種または２種以上を含む塗布液
から形成されたシリカ系被膜を有し、前記画素電極およ
び透明電極の表面が平坦化されている。

【００１６】また上記のような液晶表示装置は、前記一
般式（Ｉ）で表わされる繰り返し単位を有するポリシラ
ザンの１種または２種以上を含む塗布液を、液晶表示セ
ルの電極上に塗布した後、得られた塗膜に酸化雰囲気中
で加熱および／または紫外線照射を施して該塗膜を硬化
させる工程を含んで製造される。

【００１７】特にこの液晶表示装置が、上述したような
カラー液晶表示装置の場合には、さらに対向電極板のカ
ラーフィルター上に、前記と同様にしてシリカ系被膜を
形成する工程を含んで製造される。

【００１８】

【発明の具体的説明】以下本発明に係る液晶表示装置お
よびその製造方法について具体的に説明する。

【００１９】本発明に係る液晶表示装置は、液晶表示セ
ルの電極の保護膜として、あるいは電極表面の平坦化膜
として、この電極上に前記一般式（Ｉ）で表わされる繰
り返し単位を有するポリシラザンの１種または２種以上
を含む塗布液から形成されたシリカ系被膜が設けられて
いる。

【００２０】前記式（Ｉ）において、Ｒ₁、Ｒ₂およびＲ
₃がアルキル基の場合、メチル基、エチル基およびプロ
ピル基から選ばれる１種が好ましい。特にＲ₁、Ｒ₂およ
びＲ ₃は、いずれも水素原子である場合が好ましく、こ
の場合には、加熱時に分解するアルキル基がなく、加熱
時に膜の収縮が少なく、このため収縮ストレス時にクラ
ックが生じることが少なくなり、クラックのほとんどな
いシリカ系被膜が得られる。

【００２１】また、上記式（Ｉ）で表わされる繰り返し
単位を有するポリシラザンは、直鎖状であっても、環状
であってもよく、直鎖状のポリシラザンと環状のポリシ
ラザンとが混合して含まれていてもよい。

【００２２】さらに、このようなポリシラザンの分子量
は、５００〜１０，０００、好ましくは１，０００〜
４，０００の範囲にあることが望ましい。分子量が５０
０未満では、加熱硬化時に低分子量のポリシラザンが揮
発し、得られたシリカ系被膜が多孔質になりやすく、ま
た、分子量が１０，０００を越えると、塗布液の流動性
が低下し、いずれにしても得られたシリカ系被膜の表面
が充分に平坦にならないという傾向がある。

【００２３】本発明において用いられる被膜形成用塗布
液は、通常、有機溶媒中に上記ポリシラザンを溶解して
形成される。このような有機溶媒としては、ポリシラザ
ンを溶解し、塗布液に流動性を付与するものであれば特
に制限はなく、具体的には、シクロヘキサン、トルエ
ン、キシレン、ヘキシレン等の炭化水素、塩化メチレ
ン、塩化エチレン、トリクロロエタン等のハロゲン化炭
化水素、エチルブチルエーテル、ジブチルエーテル、ジ
オキサン、テトラヒドロフラン等のエーテル類が挙げら
れる。これらの有機溶媒は単独でもしくは２種以上を混
合して用いられる。

【００２４】また、このような溶液中のポリシラザンの
固形分濃度は、３〜３５重量％であることが望ましい。
特にこの液晶表示装置が、カラー液晶表示装置の場合に
は、さらに対向電極板のカラーフィルター表面を平坦化
するために、このカラーフィルターと透明電極の間に、
上述したようなシリカ系被膜が形成されている。

【００２５】以下、図面を用いて、本発明に係るカラー
液晶表示装置の具体的な実施態様を説明する。図１に
は、本発明に係るカラー液晶表示装置の１例につき、そ
の特徴的な部分が概略的に示されている。

【００２６】この図１にその特徴的な部分が示されてい
るカラー液晶表示装置１は、ガラス基板２１ａ上にアル
カリパッシベーション膜２１ｂ、複数の画素電極２１
ｃ、シリカ系被膜２１ｄおよび配向膜２１ｅが順次積層
された電極板２１とガラス基板２２ａ上にアルカリパッ
シベーション膜２２ｂ、カラーフィルター２２ｃ、シリ
カ系被膜２２ｄ、透明電極２２ｅおよび配向膜２２ｆが
順次積層された対向電極板２２を有する液晶表示セル２
と、この液晶表示セルの両側に一対の偏光板３、４とを
備えている。このうち、シリカ系被膜２１ｄおよび２２
ｄは、前記一般式（Ｉ）で表わされる繰り返し単位を有
するポリシラザンの１種または２種以上を含む塗布液か
ら形成されている。

【００２７】前記液晶表示セル２の電極板２１と対向電
極板２２とは、それぞれのガラス基板２１ａおよび２２
ａを外側にして、複数の画素電極２１ｃのそれぞれと複
数のカラーフィルターＲ、Ｇ、Ｂのそれぞれが対向する
ように配置されている。また、この電極板２１と対向電
極板２２との間の隙間には液晶２３が封入されている。

【００２８】さらに複数の画素電極２１ｃのそれぞれと
透明電極２２ｅとの間には不図示の回路が形成され、こ
の回路はカラー液晶表示装置１本体に接続されている。
また、対向電極板２２のパッシベーション膜２２ｂ上に
形成されたカラーフィルター２２ｃは、Ｒ（レッドフィ
ルター）、Ｇ（グリーンフィルター）、Ｂ（ブルーフィ
ルター）の複数のカラー要素からなり、各カラー要素が
互いに隣接するように規則正しく配列され、これにより
カラー液晶表示装置１本体から送られてくる表示信号に
より特定の画素電極２１ｃと透明電極２２ｅとの間に形
成された回路が作動し、表示信号に対応したカラー画像
が対向電極板２２の外側に配置された偏光板４を通して
観察できるようになっている。

【００２９】以上に説明したカラー液晶表示装置１にお
いて、カラー液晶表示装置１の内部に光源を具備し、偏
光板３の裏側から液晶表示セル２に向けてバックライト
を照射するようにしてもよい。また電極板２１のガラス
基板２１ａ上に必ずしもアルカリパッシベーション膜２
１ｂおよび配向膜２１ｅを形成する必要はなく、また対
向電極板２２のガラス基板２２ａ上にアルカリパッシベ
ーション膜２２ｂおよび配向膜２２ｆを形成する必要は
ない。さらに電極板２１のシリカ系被膜２１ｄ上に必要
に応じてこのシリカ系被膜２１ｄおよび配向膜２１ｅと
は異なる被膜を形成することも可能である。

【００３０】このように本発明に係るカラー液晶表示装
置は、上記カラー液晶表示装置１に限定されることはな
く、様々な態様が可能である。以上に説明したような本
発明に係る液晶表示装置は、前記一般式（Ｉ）で表わさ
れる繰り返し単位を有するポリシラザンの１種または２
種以上を含む塗布液を、液晶表示セルの電極上に塗布し
た後、得られた塗膜に酸化雰囲気中で加熱および／また
は紫外線照射を施して該塗膜を硬化させる工程を含んで
製造され、この工程で上述したようなシリカ系被膜が電
極上に形成される。

【００３１】またこの液晶表示装置が、上述したような
カラー液晶表示装置の場合には、さらに対向電極板のカ
ラーフィルター上に、前記と同様にしてシリカ系被膜を
形成する工程を含んで製造される。

【００３２】なお上記製造方法において、「塗膜に加熱
および紫外線照射を施す」とは、１）塗膜を加熱しなが
ら紫外線照射すること、２）塗膜を加熱した後、該塗膜
に紫外線照射すること、３）塗膜に紫外線照射した後、
該塗膜を加熱することなどを意味する。

【００３３】ここで液晶表示セルの電極上あるいはカラ
ー液晶表示装置の液晶表示セルに用いられる対向電極板
のカラーフィルター上に塗布液を塗布して塗膜を形成す
る際には、スプレー法、スピンコート法、ディップコー
ト法、ロールコート法、スクリーン印刷法、転写印刷法
などの塗布方法が採用される。

【００３４】上記のようなシリカ系被膜を形成する際の
酸化雰囲気としては、たとえば酸素含有ガス、オゾン含
有ガス、水蒸気含有ガスなどが挙げられ、このガスに
は、通常、空気またはＮ₂ガスが用いられる。

【００３５】本発明に係る液晶表示装置の製造方法で
は、前記塗膜の加熱は、通常、３００〜９００℃、好ま
しくは４００〜８００℃の温度で行われる。酸化雰囲気
中で塗膜に加熱および紫外線照射を施す場合には、前記
塗膜の加熱温度を１５０〜４００℃に低下させても、酸
化雰囲気中で塗膜に前記温度の加熱を施す場合と同程度
に塗膜を硬化させることができ、また酸化雰囲気中で塗
膜に前記温度の加熱を施す場合に比較して加熱時間を短
縮することができる。

【００３６】上述したようなポリシラザン溶液からなる
塗布液から得られた塗膜に加熱および／または紫外線照
射を施すと、ポリシラザン中のＳｉ−Ｎ結合がＳｉ−Ｏ
結合に変化するだけで両者の結合間距離はほとんど変化
せず、加熱および／または紫外線照射の前後において塗
膜の収縮が起こらない。

【００３７】したがって、本発明に係る液晶表示装置の
製造方法では、従来のアルコキシシラン系塗布液から形
成したシリカ系被膜に比較して、アルコキシシランのＳ
ｉＯＨ基同士が脱水縮合を行なう過程で生じる収縮が生
じることはなく、このため膜形成時の収縮ストレスに基
づくクラックの発生がなく、しかも塗布液組成物の分解
により被膜中に発生するボイドがなく、緻密でしかも凹
凸表面の平坦化能に優れたシリカ絶縁膜を形成すること
が可能である。特に上述したようなカラー液晶表示装置
の液晶表示セルに用いられている画素電極およびカラー
フィルターのような凹凸がある表面に、その凹凸を平坦
化する程度に厚くシリカ系被膜を形成しても、シリカ系
被膜にクラックなどが発生するなく、凹凸表面を平坦化
することができる。

【００３８】なお、アルカリパッシベーション膜２１ｂ
および２２ｂを形成する際に、本発明に係る前記一般式
（Ｉ）で表わされる繰り返し単位を有するポリシラザン
の１種または２種以上を含む塗布液を用いると、アルカ
リパッシベーション機能を有する被膜が形成され、同時
にガラス基板の表面が平坦化されるという効果が得られ
る。

【００３９】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、膜形成時の収縮ストレスに基づくクラックの発生が
なく、しかも塗布液組成物の分解により被膜中に発生す
るボイドがなく、緻密で表面が平坦化された絶縁性のシ
リカ系被膜が、液晶表示セルの電極上に形成された液晶
表示装置、特に液晶表示装置がカラー液晶表示装置であ
る場合にはさらにこのようなシリカ系被膜が液晶表示セ
ルのカラーフィルター上に形成された液晶表示装置、お
よびこのような優れた性質を有するシリカ系被膜が液晶
表示セル中に形成されている液晶表示装置の製造方法が
提供される。

【００４０】前記シリカ被膜は、上述したような優れた
性質を有し、このため透明電極の保護膜として好適であ
り、また、カラー液晶表示装置の液晶表示セルに用いら
れているガラス基板上に画素電極を有する電極板の画素
電極、およびガラス基板上にカラーフィルターを有する
対向電極板のカラーフィルターの表面に前記シリカ系被
膜を形成すると、これらの表面が平坦化され、液晶表示
セルのセルギャップを均一にすることができる。

【００４１】したがって、このようなシリカ被膜が電極
板に形成された液晶表示セルを具備する本発明に係る液
晶表示装置によれば、液晶表示セル中に封入された液晶
の配向乱れ、および色むらなどの画像むらがほとんどな
く、長期間にわたって優れた画像を表示することができ
る。

【００４２】以下本発明を実施例により説明するが、本
発明はこれら実施例に限定されるものではない。

【００４３】

【実施例１】１リットルの四つ口フラスコ内に塩化メチ
レン３００ｍｌを入れ、−５℃に冷却した。次いでこの
フラスコ内にジクロロシラン３０．０ｇを加え、攪拌し
ながらさらにＮＨ₃ガスを２時間吹き込んでジクロロシ
ランとＮＨ₃との反応生成物を含む溶液を得た。得られ
た溶液から沈澱をろ過して除去した後、ろ液を減圧して
ろ液から溶媒を除去することにより、樹脂状のポリシラ
ザンＡ（分子量２，７００）を得た。

【００４４】得られたポリシラザンＡをキシレンに溶解
して固形分濃度２０重量％であるポリシラザンＡを含む
塗布液（Ａ）を調製した。この塗布液（Ａ）を、ガラス
基板にＩＴＯ透明導電膜が形成されたＩＴＯ基板（旭硝
子（株）製２０Ωタイプ）上にディッピング法により塗
布し、２００℃で乾燥した後、湿潤Ｎ₂（酸素濃度１
％）中にて４５０℃で１時間焼成して、ＩＴＯ基板上に
膜厚１，０００オングストロームのシリカ系被膜を形成
した。

【００４５】このシリカ系被膜につき、次のような評価
を行なった。 （１）耐擦傷性 プラスチック製消しゴムに２ｋｇの荷重をかけ、シリカ
系被膜上を２００回摺動させた後の状態を目視により観
察した。

【００４６】（２）密着性 セロハンテープ（日東（株）製ＮＯ．２９）の貼着層を
シリカ系被膜上に貼着してピーリングテストを行ない、
テスト後のシリカ系被膜の表面状態を目視により観察し
た。

【００４７】（３）緻密性 ５５％ＨＦ水溶液と濃硫酸との１：１混合水溶液にシリ
カ系被膜を形成したＩＴＯ基板を１分間浸漬させ、この
前後のシリカ系被膜の膜厚を測定し、この膜厚の変化の
大きさからシリカ系被膜の緻密性を評価した。

【００４８】以上の評価結果を表１に示す。また、上記
のようにして得られた２枚のシリカ系被膜付ＩＴＯ基板
を用いて液晶表示セルを形成し、得られた液晶表示セル
をそれぞれ液晶表示装置本体に装着し、液晶表示セル／
液晶表示装置本体間の回路を接続して液晶表示装置を製
造した。

【００４９】このようにして得られた液晶表示装置を作
動させ、液晶表示セルの表示画面に画像を形成したとこ
ろ、色むらなどの画像むらのない優れた画像が観察され
た。

【００５０】

【実施例２】実施例１と同様にＩＴＯ基板上に塗布液
（Ａ）を塗布し、１２０℃で乾燥した後、高圧水銀ラン
プとオゾナイザーを備えた紫外線照射装置で紫外線を５
分間照射した。

【００５１】得られた塗膜付ＩＴＯ基板を湿潤Ｎ₂（酸
素濃度１％）中にて２００℃で３０分間加熱してＩＴＯ
基板上に膜厚１，５００オングストロームのシリカ系被
膜を形成した。

【００５２】得られたシリカ系被膜につき、実施例１と
同様の評価を行なった。評価結果を表１に併記する。ま
た、上記のようにして得られた２枚のシリカ系被膜付Ｉ
ＴＯ基板を用いて、実施例１と同様にして液晶表示セル
および液晶表示装置を順次製造した。

【００５３】このようにして得られた液晶表示装置を作
動させ、液晶表示セルの表示画面に画像を形成したとこ
ろ、実施例１と同様に色むらなどの画像むらのない優れ
た画像が観察された。

【００５４】

【実施例３】ジクロロシラン３０．０ｇに代えてメチル
ジクロロシラン３４．２ｇを用いた以外は、実施例１と
同様にしてポリシラザンＢ（分子量１，２００）および
塗布液（Ｂ）を順次製造した。

【００５５】この塗布液（Ｂ）を用いて、実施例２と同
様にしてＩＴＯ基板上にシリカ系被膜を形成し、得られ
たシリカ系被膜につき、実施例１と同様の評価を行なっ
た。評価結果を表１に併記する。

【００５６】また、上記のようにして得られた２枚のシ
リカ系被膜付ＩＴＯ基板を用いて、実施例１と同様にし
て液晶表示セルおよび液晶表示装置を順次製造した。こ
のようにして得られた液晶表示装置を作動させ、液晶表
示セルの表示画面に画像を形成したところ、実施例１と
同様に色むらなどの画像むらのない優れた画像が観察さ
れた。

【００５７】

【比較例１】テトラメトキシシラン１００ｇにエチルセ
ロソルブ２００ｇを加えて希釈し、０．０１重量％ＨＣ
ｌ水溶液９６ｇを加えてテトラメトキシシランの加水分
解反応を行なった。室温で１時間反応させた後、テトラ
メトキシシラン（分子量２，５００）を含む塗布液を調
製した。

【００５８】この塗布液を用いて、実施例２と同様にし
てＩＴＯ基板上にシリカ系絶縁膜を形成し、得られたシ
リカ系絶縁膜につき、実施例１と同様の評価を行なっ
た。評価結果を表１に併記する。

【００５９】また、上記のようにして得られた２枚のシ
リカ系被膜付ＩＴＯ基板を用いて、実施例１と同様にし
て液晶表示セルおよび液晶表示装置を順次製造した。こ
のようにして得られた液晶表示装置を作動させ、液晶表
示セルの表示画面に画像を形成したところ、色むらなど
の画像むらが観察され、その画像品質は、実施例１〜３
の液晶表示装置で得られた画像に比較して劣っていた。

【００６０】

【表１】

【００６１】

【実施例４】実施例１で得られた塗布液（Ａ）を１．０
μ段差のライン アンドスペースでモデル的に段差を形
成したアルミニウム基板上にスピンコート法で塗布し
た。得られた塗膜を１５０℃で２分間乾燥した後、湿潤
Ｎ₂（酸素濃度１％）中で４５０℃で１時間焼成して前
記アルミニウム基板上に膜厚５，０００オングストロー
ムのシリカ系被膜を形成した。

【００６２】次いで得られたシリカ系被膜表面の段差を
測定した。またこのシリカ系被膜にクラックが生じてい
るか否かを同膜の断面を走査電子顕微鏡で観察した。

【００６３】さらにこのシリカ系被膜付アルミニウム基
板を０．５重量％ＨＦ溶液に５分間浸漬した前後の膜厚
からエッチングレートを算出した。結果を表２に示す。

【００６４】また、上記と同様にして図１に示されてい
るようなシリカ系被膜を有する電極板および対向電極板
を形成し、さらにこれらの電極板および対向電極板を用
いて液晶表示セルを組付け、得られた液晶表示セルをそ
れぞれ液晶表示装置本体に装着し、液晶表示セル／液晶
表示装置本体間の回路を接続してカラー液晶表示装置を
製造した。

【００６５】このようにして得られたカラー液晶表示装
置を作動させ、液晶表示セルの表示画面に画像を形成し
たところ、色むらなどの画像むらのない優れたカラー画
像が観察された。

【００６６】

【実施例５】実施例４と同様のアルミニウム基板上に塗
布液（Ａ）を塗布した後、得られた塗膜を１２０℃で２
分間加熱し、次いでこの塗膜に高圧水銀ランプとオゾナ
イザーを備えた紫外線照射装置で紫外線を５分間照射し
た。

【００６７】得られた塗膜付アルミニウム基板を湿潤Ｎ
₂（酸素濃度１％）中にて２００℃で３０分間加熱して
ＩＴＯ基板上に膜厚１，５００オングストロームのシリ
カ系被膜を形成し、得られたシリカ系被膜につき、実施
例４と同様の評価を行なった。

【００６８】評価結果を表２に併記する。また、実施例
４と同様にして電極板および対向電極板、これらの電極
板を有する液晶表示セルおよび該液晶表示セルを備えた
カラー液晶表示装置を順次製造した。

【００６９】このようにして得られたカラー液晶表示装
置を作動させ、液晶表示セルの表示画面に画像を形成し
たところ、実施例４と同様に色むらなどの画像むらのな
い優れたカラー画像が観察された。

【００７０】

【実施例６】ジクロロシラン３０．０ｇに代えてメチル
ジクロロシラン３４．２ｇを用いた以外は、実施例４と
同様にしてポリシラザンＢおよび塗布液（Ｂ）を順次製
造した。

【００７１】この塗布液（Ｂ）を用いて、実施例５と同
様にして実施例４と同様のアルミニウム基板上にシリカ
系被膜を形成し、得られたシリカ系被膜につき、実施例
４と同様の評価を行なった。

【００７２】評価結果を表２に併記する。また、実施例
４と同様にして電極板および対向電極板、これらの電極
板を有する液晶表示セルおよび該液晶表示セルを備えた
カラー液晶表示装置を順次製造した。

【００７３】このようにして得られたカラー液晶表示装
置を作動させ、液晶表示セルの表示画面に画像を形成し
たところ、実施例４と同様に色むらなどの画像むらのな
い優れたカラー画像が観察された。

【００７４】

【比較例２】テトラメトキシシラン１００ｇにメチルセ
ロソルブ２００ｇを加えて希釈し、次いで０．０１重量
％ＨＣｌ水溶液９６ｇを加えてテトラメトキシシランの
加水分解を行なった。室温で１時間反応させた後、アル
コキシシラン（分子量１，６００）を含む塗布液が得ら
れた。

【００７５】この塗布液を用いて実施例４と同様にして
シリカ系被膜付アルミニウム基板を製造し、得られたシ
リカ系被膜につき、実施例４と同様の評価を行なった。
評価結果を表２に併記する。

【００７６】また、実施例４と同様にして電極板および
対向電極板、これらの電極板を有する液晶表示セルおよ
び該液晶表示セルを備えたカラー液晶表示装置を順次製
造した。

【００７７】このようにして得られたカラー液晶表示装
置を作動させ、液晶表示セルの表示画面に画像を形成し
たところ、色むらなどの画像むらが観察され、その画像
品質は、実施例４〜６の液晶表示装置で得られた画像に
比較して劣っていた。

【００７８】

【表２】

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係るカラー液晶表示装置の１
例を説明するための図面である。

【符号の説明】

１ …カラー液晶表示装置 ２ …液晶表示セル ３、４ …偏光板 ２１ …電極板 ２２ …対向電極板 ２３ …液晶 ２１ａ、２２ａ…ガラス基板 ２１ｃ …画素電極 ２２ｃ …カラーフィルター ２１ｄ、２２ｄ…シリカ系絶縁膜 ２２ｅ …透明電極

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記一般式（Ｉ） 【化１】 （ただし、Ｒ₁、Ｒ₂およびＲ₃は、それぞれ独立して水
   素原子または炭素原子数１〜８のアルキル基である。）
   で表わされる繰り返し単位を有するポリシラザンの１種
   または２種以上を含む塗布液から形成されたシリカ系被
   膜を、液晶表示セルの透明電極上に有することを特徴と
   する液晶表示装置。
2. 【請求項２】 ガラス基板上に画素電極が積層された電
   極板の画素電極と、ガラス基板上にカラーフィルターお
   よび透明電極が順次積層された対向電極板の透明電極と
   の間に液晶層を有する液晶表示セルを備え、かつ前記電
   極板の画素電極上および／または前記対向電極板のカラ
   ーフィルターと透明電極の間に、前記一般式（Ｉ）で表
   わされる繰り返し単位を有するポリシラザンの１種また
   は２種以上を含む塗布液から形成されたシリカ系被膜を
   有することを特徴とする液晶表示装置。
3. 【請求項３】 前記一般式（Ｉ）で表わされる繰り返し
   単位を有するポリシラザンの１種または２種以上を含む
   塗布液を、液晶表示セルの電極上に塗布した後、得られ
   た塗膜に酸化雰囲気中で加熱および／または紫外線照射
   を施して該塗膜を硬化させる工程を含むことを特徴とす
   る液晶表示装置の製造方法。
4. 【請求項４】 液晶表示装置が、ガラス基板上に画素電
   極が積層された電極板の画素電極と、ガラス基板上にカ
   ラーフィルターおよび透明電極が順次積層された対向電
   極板の透明電極との間に液晶層を有する液晶表示セルを
   備えたカラー液晶表示装置であり、前記一般式（Ｉ）で
   表わされる繰り返し単位を有するポリシラザンの１種ま
   たは２種以上を含む塗布液を、前記電極板の画素電極上
   および／または前記カラーフィルター上に塗布した後、
   得られた塗膜に酸化雰囲気中で加熱および／または紫外
   線照射を施して該塗膜を硬化させる工程を含むことを特
   徴とする液晶表示装置の製造方法。