JPH05109791A - ペレツトボンダおよびペレツト吸着部交換装置 - Google Patents
ペレツトボンダおよびペレツト吸着部交換装置Info
- Publication number
- JPH05109791A JPH05109791A JP27160191A JP27160191A JPH05109791A JP H05109791 A JPH05109791 A JP H05109791A JP 27160191 A JP27160191 A JP 27160191A JP 27160191 A JP27160191 A JP 27160191A JP H05109791 A JPH05109791 A JP H05109791A
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- JP
- Japan
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- pellet
- flange
- bonder
- prism
- square hole
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ペレットボンダにおいて、位置決めおよびそ
の調整に要する時間を減少させ、交換に熟練を要せず、
位置決め精度のばらつきをなくし、再現性およびスルー
プットを向上させる。 【構成】 ペレットボンダ1において、真空路10を有
するボンディングホルダ3と、このボンディングホルダ
3の下端に形成されるフランジ6と、このフランジ6に
ペレット吸着部12を着脱自在に装着する装着機構20
と備え、この装着機構20は、前記フランジ6またはペ
レット吸着部12の一方に角柱8を形成し、他方に角孔
13を形成し、角孔13と角柱8との嵌着により位置決
めを行い、この位置決め状態をマグネット9の磁気的吸
着により保持する構造とした。
の調整に要する時間を減少させ、交換に熟練を要せず、
位置決め精度のばらつきをなくし、再現性およびスルー
プットを向上させる。 【構成】 ペレットボンダ1において、真空路10を有
するボンディングホルダ3と、このボンディングホルダ
3の下端に形成されるフランジ6と、このフランジ6に
ペレット吸着部12を着脱自在に装着する装着機構20
と備え、この装着機構20は、前記フランジ6またはペ
レット吸着部12の一方に角柱8を形成し、他方に角孔
13を形成し、角孔13と角柱8との嵌着により位置決
めを行い、この位置決め状態をマグネット9の磁気的吸
着により保持する構造とした。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ペレットボンダおよび
ペレット吸着部交換装置に関し、特に、ペレット吸着部
の着脱および交換構造に適用して有効な技術に関する。
ペレット吸着部交換装置に関し、特に、ペレット吸着部
の着脱および交換構造に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】この種のペレットボンダでは、ペレット
のサイズが異なるごとにペレット吸着部を交換しなけれ
ばならない。
のサイズが異なるごとにペレット吸着部を交換しなけれ
ばならない。
【0003】このペレット吸着部はボンディングホルダ
と一体構造で、板ばね方式あるいはテーパシャンク方式
を用いた装着機構によりボンディングホルダとともに交
換する構造となっている。
と一体構造で、板ばね方式あるいはテーパシャンク方式
を用いた装着機構によりボンディングホルダとともに交
換する構造となっている。
【0004】なお、他のペレットボンダとしては、たと
えば特開平2−144929号公報に開示されたものが
ある。
えば特開平2−144929号公報に開示されたものが
ある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した従来
のペレット吸着部の構造では、ペレット吸着部はボンデ
ィングホルダと一体構造で、板ばね方式あるいはテーパ
シャンク方式を用いた装着機構によりボンディングホル
ダとともに交換する構造となっているので、交換のたび
に位置決めおよびその調整に多くの時間を要し、交換に
熟練を要するという問題があった。
のペレット吸着部の構造では、ペレット吸着部はボンデ
ィングホルダと一体構造で、板ばね方式あるいはテーパ
シャンク方式を用いた装着機構によりボンディングホル
ダとともに交換する構造となっているので、交換のたび
に位置決めおよびその調整に多くの時間を要し、交換に
熟練を要するという問題があった。
【0006】このため、位置決め精度にばらつきが生
じ、再現性およびスループットが低下するという問題が
あった。
じ、再現性およびスループットが低下するという問題が
あった。
【0007】本発明の目的は、位置決めおよびその調整
に要する時間を減少させ、交換に熟練を要しないペレッ
トボンダを提供することにある。
に要する時間を減少させ、交換に熟練を要しないペレッ
トボンダを提供することにある。
【0008】本発明の他の目的は、位置決め精度のばら
つきをなくし、再現性およびスループットを向上させる
ことのできるペレットボンダを提供することにある。
つきをなくし、再現性およびスループットを向上させる
ことのできるペレットボンダを提供することにある。
【0009】また、本発明の他の目的は、ペレット吸着
部の交換の自動化を図ることのできるペレットボンダを
提供することにある。
部の交換の自動化を図ることのできるペレットボンダを
提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【0011】すなわち、本発明のペレットボンダは、真
空路を有するボンディングホルダと、このボンディング
ホルダの下端部に形成されるフランジと、このフランジ
にペレット吸着部を着脱自在に装着する装着機構と備
え、この装着機構は、前記フランジまたはペレット吸着
部の一方に角柱を形成し、他方に角孔を形成した構造と
したものである。
空路を有するボンディングホルダと、このボンディング
ホルダの下端部に形成されるフランジと、このフランジ
にペレット吸着部を着脱自在に装着する装着機構と備
え、この装着機構は、前記フランジまたはペレット吸着
部の一方に角柱を形成し、他方に角孔を形成した構造と
したものである。
【0012】この場合、前記角柱および角孔は断面長方
形の形状を有する構造とすることができる。
形の形状を有する構造とすることができる。
【0013】また、本発明のペレット吸着部交換装置
は、使用前のペレット吸着部を各種収納する収納皿を有
するローダと、使用後のペレット吸着部を各種収納する
収納皿を有するアンローダとを備えた構造としたもので
ある。
は、使用前のペレット吸着部を各種収納する収納皿を有
するローダと、使用後のペレット吸着部を各種収納する
収納皿を有するアンローダとを備えた構造としたもので
ある。
【0014】
【作用】本発明のペレットボンダによれば、真空路を有
するボンディングホルダと、このボンディングホルダの
下端部に形成されるフランジと、このフランジにペレッ
ト吸着部を着脱自在に装着する装着機構と備え、この装
着機構は、前記フランジまたはペレット吸着部の一方に
角柱を形成し、他方に角孔を形成した構造としたので、
角孔と角柱との嵌着により位置決めを行い、この位置決
め状態をマグネットの磁気的吸着により保持することが
できる。
するボンディングホルダと、このボンディングホルダの
下端部に形成されるフランジと、このフランジにペレッ
ト吸着部を着脱自在に装着する装着機構と備え、この装
着機構は、前記フランジまたはペレット吸着部の一方に
角柱を形成し、他方に角孔を形成した構造としたので、
角孔と角柱との嵌着により位置決めを行い、この位置決
め状態をマグネットの磁気的吸着により保持することが
できる。
【0015】したがって、位置決めおよびその調整に要
する時間を減少させ、交換に熟練を要しない。
する時間を減少させ、交換に熟練を要しない。
【0016】その結果、位置決め精度のばらつきをなく
し、再現性およびスループットを向上させることができ
る。
し、再現性およびスループットを向上させることができ
る。
【0017】この場合、前記角柱および角孔は断面長方
形の形状を有する構造としたので、逆チャージを防止
し、方向性を向上させることができる。
形の形状を有する構造としたので、逆チャージを防止
し、方向性を向上させることができる。
【0018】また、本発明のペレット吸着部交換装置
は、使用前のペレット吸着部を各種収納する収納皿を有
するローダと、使用後のペレット吸着部を各種収納する
収納皿を有するアンローダとを備えた構造としたので、
多種にわたってペレット吸着部を自動的に交換すること
ができる。
は、使用前のペレット吸着部を各種収納する収納皿を有
するローダと、使用後のペレット吸着部を各種収納する
収納皿を有するアンローダとを備えた構造としたので、
多種にわたってペレット吸着部を自動的に交換すること
ができる。
【0019】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0020】
【実施例1】図1は本発明の実施例1であるペレットボ
ンダを示す断面図である。
ンダを示す断面図である。
【0021】本実施例1におけるペレットボンダ1は、
ペレット2をトレーあるいは粘着シート上の半導体ウエ
ハから一個ずつボンディングステージ5上に移載し、T
AB(Tape Automated Bonding) テープあるいはリード
フレーム7に取付けるためのもので、ボンディングアー
ム4を有している。
ペレット2をトレーあるいは粘着シート上の半導体ウエ
ハから一個ずつボンディングステージ5上に移載し、T
AB(Tape Automated Bonding) テープあるいはリード
フレーム7に取付けるためのもので、ボンディングアー
ム4を有している。
【0022】このボンディングアーム4はアクチュエー
タによりXYZ方向に移動できるもので、水平方向に延
在し、先端部にボンディングホルダ3が止めねじ3aを
介して垂設され、下端部にフランジ6が形成され、この
フランジ6にペレット吸着部12を着脱自在に装着する
装着機構20が設けられ、この装着機構20はボンディ
ングホルダ3側の角孔13とペレット吸着部12側の角
柱8との嵌着により位置決めを行い、この位置決め状態
をマグネット9の磁気的吸着により保持する構造となっ
ている。
タによりXYZ方向に移動できるもので、水平方向に延
在し、先端部にボンディングホルダ3が止めねじ3aを
介して垂設され、下端部にフランジ6が形成され、この
フランジ6にペレット吸着部12を着脱自在に装着する
装着機構20が設けられ、この装着機構20はボンディ
ングホルダ3側の角孔13とペレット吸着部12側の角
柱8との嵌着により位置決めを行い、この位置決め状態
をマグネット9の磁気的吸着により保持する構造となっ
ている。
【0023】詳しくは、前記フランジ6の下端面から角
柱8が軸方向に一体に突起し、この角柱8は断面長方形
の形状を有し、フランジ6の周縁部には、マグネット9
が周方向に等間隔で装着されている。
柱8が軸方向に一体に突起し、この角柱8は断面長方形
の形状を有し、フランジ6の周縁部には、マグネット9
が周方向に等間隔で装着されている。
【0024】また、ボンディングホルダ3の内部には、
真空路10が軸方向に沿って形成され、上端部にポート
11が形成され、角柱8の下端面に開口され、前記ポー
ト11に継手を介して真空チューブが接続される構造と
なっている。
真空路10が軸方向に沿って形成され、上端部にポート
11が形成され、角柱8の下端面に開口され、前記ポー
ト11に継手を介して真空チューブが接続される構造と
なっている。
【0025】前記ペレット吸着部12は、磁性材料であ
る超鋼で形成され、逆四角錐台の形状をなし、中心に前
記角柱8を嵌合させる角孔13が形成され、この角孔1
3にペレット吸着穴14が連通して形成され、このペレ
ット吸着穴14は各種ペレット2に対応した形状を有す
る。
る超鋼で形成され、逆四角錐台の形状をなし、中心に前
記角柱8を嵌合させる角孔13が形成され、この角孔1
3にペレット吸着穴14が連通して形成され、このペレ
ット吸着穴14は各種ペレット2に対応した形状を有す
る。
【0026】前記角柱8および角孔13は断面長方形の
形状を有し、逆チャージを防止し、方向性を向上させる
構造となっている。
形状を有し、逆チャージを防止し、方向性を向上させる
構造となっている。
【0027】次に、本実施例1の作用について説明す
る。
る。
【0028】ボンディングホルダ3にペレット吸着部1
2を装着する場合、ボンディングホルダ3の角孔13に
ペレット吸着部12の角柱8を嵌合させ、XY方向の位
置決めを行う。
2を装着する場合、ボンディングホルダ3の角孔13に
ペレット吸着部12の角柱8を嵌合させ、XY方向の位
置決めを行う。
【0029】次いで、ペレット吸着部12の上端面をボ
ンディングホルダ3のフランジ6の下端面に当接させ、
Z方向の位置決めを行う。
ンディングホルダ3のフランジ6の下端面に当接させ、
Z方向の位置決めを行う。
【0030】前記したXYZ方向の位置決め状態をマグ
ネット9の磁気的吸着により保持する。
ネット9の磁気的吸着により保持する。
【0031】また、ボンディングホルダ3からペレット
吸着部12を取り外す場合、マグネット9の磁気的吸着
力に抗してペレット吸着部12を取り外す。
吸着部12を取り外す場合、マグネット9の磁気的吸着
力に抗してペレット吸着部12を取り外す。
【0032】このように、ボンディングホルダ3へのペ
レット吸着部12の着脱をワンタッチで行い、位置決め
およびその調整に要する時間を減少させ、交換に熟練を
要しない。
レット吸着部12の着脱をワンタッチで行い、位置決め
およびその調整に要する時間を減少させ、交換に熟練を
要しない。
【0033】したがって、位置決め精度のばらつきをな
くし、再現性およびスループットを向上させることがで
きる。
くし、再現性およびスループットを向上させることがで
きる。
【0034】
【実施例2】図2は本発明の実施例2であるペレット吸
着部交換装置を示す断面図である。
着部交換装置を示す断面図である。
【0035】本実施例2におけるペレット吸着部交換装
置15は、前記実施例1のペレットボンダ1に適用した
もので、XY座標上を移動するローダ16およびアンロ
ーダ17を有している。前記ローダ16に収納板18a
が搭載され、この収納板18aには収納皿19aが形成
され、この収納皿19aは使用前のペレット吸着部12
を各種収納する機能を有する。
置15は、前記実施例1のペレットボンダ1に適用した
もので、XY座標上を移動するローダ16およびアンロ
ーダ17を有している。前記ローダ16に収納板18a
が搭載され、この収納板18aには収納皿19aが形成
され、この収納皿19aは使用前のペレット吸着部12
を各種収納する機能を有する。
【0036】また、前記アンローダ17に収納板18b
が搭載され、この収納板18bには収納皿19bが形成
され、この収納皿19bは使用後のペレット吸着部12
を各種収納する機能を有する。アンローダ17にはペレ
ット吸着部12の離脱を行うストッパを設けた構造とし
たものである。
が搭載され、この収納板18bには収納皿19bが形成
され、この収納皿19bは使用後のペレット吸着部12
を各種収納する機能を有する。アンローダ17にはペレ
ット吸着部12の離脱を行うストッパを設けた構造とし
たものである。
【0037】次に、本実施例2の作用について説明す
る。
る。
【0038】使用前のペレット吸着部12を装着する場
合、ローダ16をXY座標上を移動させ、特定の収納皿
19aをボンディングホルダ3の真下の位置に設定す
る。この特定の収納皿19a内のペレット吸着部12に
向かってボンディングホルダ3を下降させ、その角柱8
をペレット吸着部12の角孔13に嵌合させ、フランジ
6の下端面をペレット吸着部12の上端面に当接させ、
この位置決め状態をマグネット9の磁気的吸着力で保持
し、ボンディングホルダ3とともにペレット吸着部12
を上昇させる。
合、ローダ16をXY座標上を移動させ、特定の収納皿
19aをボンディングホルダ3の真下の位置に設定す
る。この特定の収納皿19a内のペレット吸着部12に
向かってボンディングホルダ3を下降させ、その角柱8
をペレット吸着部12の角孔13に嵌合させ、フランジ
6の下端面をペレット吸着部12の上端面に当接させ、
この位置決め状態をマグネット9の磁気的吸着力で保持
し、ボンディングホルダ3とともにペレット吸着部12
を上昇させる。
【0039】また、使用後のペレット吸着部12を収納
する場合、アンローダ17をXY方向に移動させ、前記
ペレット吸着部12に対応した収納皿19bをボンディ
ングホルダ3の真下の位置に設定する。ボンディングホ
ルダ3を下降させ、収納皿19bにペレット吸着部12
を収納する。この収納したペレット吸着部12をストッ
パで抑え、ボンディングホルダ3のみ上昇させ、使用後
のペレット吸着部12を対応した収納皿19bにセット
する。
する場合、アンローダ17をXY方向に移動させ、前記
ペレット吸着部12に対応した収納皿19bをボンディ
ングホルダ3の真下の位置に設定する。ボンディングホ
ルダ3を下降させ、収納皿19bにペレット吸着部12
を収納する。この収納したペレット吸着部12をストッ
パで抑え、ボンディングホルダ3のみ上昇させ、使用後
のペレット吸着部12を対応した収納皿19bにセット
する。
【0040】したがって、多種にわたってペレット吸着
部12の交換を自動的に行うことができる。
部12の交換を自動的に行うことができる。
【0041】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施
例に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施
例に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0042】たとえば、前記実施例では、角柱と角孔と
の嵌合により位置決めを行う場合について説明したが、
これに限らず、角柱の両外側面にV状の突起を形成し、
角孔の両内側面にV状の溝を形成し、前記突起と溝との
嵌合により位置決め精度をより一層向上させることがで
きる。
の嵌合により位置決めを行う場合について説明したが、
これに限らず、角柱の両外側面にV状の突起を形成し、
角孔の両内側面にV状の溝を形成し、前記突起と溝との
嵌合により位置決め精度をより一層向上させることがで
きる。
【0043】また、前記実施例では、フランジに角柱を
形成し、ペレット吸着部に角孔を形成した場合について
説明したが、これに限らず、フランジに角孔を形成し、
ペレット吸着部に角柱を形成することができる。
形成し、ペレット吸着部に角孔を形成した場合について
説明したが、これに限らず、フランジに角孔を形成し、
ペレット吸着部に角柱を形成することができる。
【0044】また、前記実施例では、フランジにマグネ
ットを装着した場合について説明したが、これに限ら
ず、ペレット吸着部にマグネットを装着することができ
る。
ットを装着した場合について説明したが、これに限ら
ず、ペレット吸着部にマグネットを装着することができ
る。
【0045】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0046】(1).真空路を有するボンディングホルダ
と、このボンディングホルダの下端部に形成されるフラ
ンジと、このフランジにペレット吸着部を着脱自在に装
着する装着機構と備え、この装着機構は、前記フランジ
またはペレット吸着部の一方に角柱を形成し、他方に角
孔を形成した構造としたので、前記角孔と角柱との嵌着
により位置決めを行い、この位置決め状態をマグネット
の磁気的吸着により保持することができる。
と、このボンディングホルダの下端部に形成されるフラ
ンジと、このフランジにペレット吸着部を着脱自在に装
着する装着機構と備え、この装着機構は、前記フランジ
またはペレット吸着部の一方に角柱を形成し、他方に角
孔を形成した構造としたので、前記角孔と角柱との嵌着
により位置決めを行い、この位置決め状態をマグネット
の磁気的吸着により保持することができる。
【0047】(2).前記(1) の効果により、位置決めおよ
びその調整に要する時間を減少させ、交換に熟練を要し
ない。
びその調整に要する時間を減少させ、交換に熟練を要し
ない。
【0048】(3).前記(2) の効果により、位置決め精度
のばらつきをなくし、再現性およびスループットを向上
させることができる。
のばらつきをなくし、再現性およびスループットを向上
させることができる。
【0049】(4).前記(1) 場合、前記角柱および角孔は
断面長方形の形状を有する構造としたので、逆チャージ
を防止し、方向性を向上させることができる。
断面長方形の形状を有する構造としたので、逆チャージ
を防止し、方向性を向上させることができる。
【0050】(5).使用前のペレット吸着部を各種収納す
る収納皿を有するローダと、使用後のペレット吸着部を
各種収納する収納皿を有するアンローダとを備えた構造
としたので、多種にわたってペレット吸着部を自動的に
交換することができる。
る収納皿を有するローダと、使用後のペレット吸着部を
各種収納する収納皿を有するアンローダとを備えた構造
としたので、多種にわたってペレット吸着部を自動的に
交換することができる。
【図1】本発明の実施例1であるペレットボンダを示す
断面図である。
断面図である。
【図2】本発明の実施例2であるペレット吸着部交換装
置を示す断面図である。
置を示す断面図である。
1 ペレットボンダ 2 ペレット 3 ボンディングホルダ 3a 止めねじ 4 ボンディングアーム 5 ボンディングステージ 6 フランジ 7 リードフレーム 8 角柱 9 マグネット 10 真空路 11 ポート 12 ペレット吸着部 13 角孔 14 ペレット吸着穴 15 ペレット吸着部交換装置 16 ローダ 17 アンローダ 18a 収納板 18b 収納板 19a 収納皿 19b 収納皿 20 装着機構
Claims (3)
- 【請求項1】 真空路を有するボンディングホルダと、
このボンディングホルダの下端部に形成されるフランジ
と、このフランジにペレット吸着部を着脱自在に装着す
る装着機構と備え、この装着機構は、前記フランジまた
はペレット吸着部の一方に角柱を形成し、他方に角孔を
形成し、角孔と角柱との嵌着により位置決めを行い、こ
の位置決め状態をマグネットの磁気的吸着により保持し
た構造としたことを特徴とするペレットボンダ。 - 【請求項2】 前記角柱および角孔は断面長方形の形状
を有する構造としたことを特徴とする請求項1記載のペ
レットボンダ。 - 【請求項3】 使用前のペレット吸着部を各種収納する
収納皿を有するローダと、使用後のペレット吸着部を各
種収納する収納皿を有するアンローダとを備え、ペレッ
ト吸着部を自動的に交換することを特徴とするペレット
吸着部交換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27160191A JPH05109791A (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | ペレツトボンダおよびペレツト吸着部交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27160191A JPH05109791A (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | ペレツトボンダおよびペレツト吸着部交換装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05109791A true JPH05109791A (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=17502354
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27160191A Pending JPH05109791A (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | ペレツトボンダおよびペレツト吸着部交換装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05109791A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100431185B1 (ko) * | 1997-07-03 | 2005-09-28 | 삼성전자주식회사 | 반도체 칩 패키지의 언로딩 장치 및 방법 |
JP2015200635A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-12 | 株式会社デンソー | 流量センサ及びその製造方法 |
CN108247661A (zh) * | 2016-12-28 | 2018-07-06 | 林彦全 | 连接吸嘴的组装结构 |
-
1991
- 1991-10-21 JP JP27160191A patent/JPH05109791A/ja active Pending
Cited By (6)
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