JPH0724775A - 吸着チャック - Google Patents
吸着チャックInfo
- Publication number
- JPH0724775A JPH0724775A JP17460093A JP17460093A JPH0724775A JP H0724775 A JPH0724775 A JP H0724775A JP 17460093 A JP17460093 A JP 17460093A JP 17460093 A JP17460093 A JP 17460093A JP H0724775 A JPH0724775 A JP H0724775A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- fixed
- opening
- work
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸着チャックに関し，吸着面とワークの面が
平行になるようにして,吸着ミスとワークの損傷を防止
する。 【構成】 ワーク10を真空吸引する吸着部 1と, 該吸着
部に接続する保持軸 2と，該保持軸をゆるい嵌合で貫通
する開口を有し且つハンドリング機構に固定される固定
プレート 3と，該保持軸に固定され且つ開口部を有する
可動プレート 4と，該固定プレートに固定され且つ該可
動プレートの開口部に底面が嵌合する円錐形の位置決め
ピン 5と，該保持軸の回りに設けられ且つ該固定プレー
トと該吸着部間に張力を与えるつるまきバネ 8とを有す
る。
平行になるようにして,吸着ミスとワークの損傷を防止
する。 【構成】 ワーク10を真空吸引する吸着部 1と, 該吸着
部に接続する保持軸 2と，該保持軸をゆるい嵌合で貫通
する開口を有し且つハンドリング機構に固定される固定
プレート 3と，該保持軸に固定され且つ開口部を有する
可動プレート 4と，該固定プレートに固定され且つ該可
動プレートの開口部に底面が嵌合する円錐形の位置決め
ピン 5と，該保持軸の回りに設けられ且つ該固定プレー
トと該吸着部間に張力を与えるつるまきバネ 8とを有す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワークのハンドリングに
用いる吸着チャックに関する。半導体装置の製造工程の
自動化が進み，半導体ウエハやその他のワークのハンド
リング機構に吸着チャックが多用されている。
用いる吸着チャックに関する。半導体装置の製造工程の
自動化が進み，半導体ウエハやその他のワークのハンド
リング機構に吸着チャックが多用されている。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来例による吸着チャックの説明
図である。図において，吸着部11は矢印の方向に上下動
ができ，吸着面がワーク10に接触するときに衝撃を緩和
するためのバネ12が設けられている。
図である。図において，吸着部11は矢印の方向に上下動
ができ，吸着面がワーク10に接触するときに衝撃を緩和
するためのバネ12が設けられている。
【０００３】なお, 図示されないが, 吸着部11の吸着面
には真空吸引の開口が設けられ，ワークを吸引して保持
する。
には真空吸引の開口が設けられ，ワークを吸引して保持
する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来例のような構造の
吸着チャックにおいては，図示のようにワークが不安定
に載置された場合に, 吸着部11の吸着面とワークの面が
平行にならずその間に隙間を生じてワークを吸着しなく
なる。また, 吸着時に吸着面の角がワークに当たり, そ
の衝撃によりワークを損傷することがあった。
吸着チャックにおいては，図示のようにワークが不安定
に載置された場合に, 吸着部11の吸着面とワークの面が
平行にならずその間に隙間を生じてワークを吸着しなく
なる。また, 吸着時に吸着面の角がワークに当たり, そ
の衝撃によりワークを損傷することがあった。
【０００５】本発明は吸着時に吸着面とワークの面が平
行になるようにして, 吸着ミスとワークの損傷を防止す
ることを目的とする。
行になるようにして, 吸着ミスとワークの損傷を防止す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題の解決は，ワー
ク10を真空吸引する吸着部 1と, 該吸着部に接続する保
持軸 2と，該保持軸をゆるい嵌合で貫通する開口を有し
且つハンドリング機構に固定される固定プレート 3と，
該保持軸に固定され且つ開口部を有する可動プレート 4
と，該固定プレートに固定され且つ該可動プレートの開
口部に底面が嵌合する円錐形の位置決めピン 5と，該保
持軸の回りに設けられ且つ該固定プレートと該吸着部間
に張力を与えるつるまきバネ 8とを有する吸着チャック
により達成される。
ク10を真空吸引する吸着部 1と, 該吸着部に接続する保
持軸 2と，該保持軸をゆるい嵌合で貫通する開口を有し
且つハンドリング機構に固定される固定プレート 3と，
該保持軸に固定され且つ開口部を有する可動プレート 4
と，該固定プレートに固定され且つ該可動プレートの開
口部に底面が嵌合する円錐形の位置決めピン 5と，該保
持軸の回りに設けられ且つ該固定プレートと該吸着部間
に張力を与えるつるまきバネ 8とを有する吸着チャック
により達成される。
【０００７】
【作用】本発明では，吸着面とワークの面が接触する際
に, この２つの面が平行になるような機構（図１参照）
を吸着チャックに取りつけることにより，吸着ミスを防
止している。
に, この２つの面が平行になるような機構（図１参照）
を吸着チャックに取りつけることにより，吸着ミスを防
止している。
【０００８】また本発明は，従来より吸着部の可動方向
の自由度が大きくなるため，ワークへの衝撃を低減し，
ワークの損傷を防止している。図１は本発明の原理説明
図である。
の自由度が大きくなるため，ワークへの衝撃を低減し，
ワークの損傷を防止している。図１は本発明の原理説明
図である。
【０００９】図において， 1は吸着部, 2 は吸着部に接
続する保持軸, 3は固定プレート,4は保持軸に固定さ
れ, 開口部を有する可動プレート, 5は固定プレートに
固定され，可動プレートの開口部に底面が嵌合する円錐
形の位置決めピン, 6は可動プレートと保持軸を固定す
るナット, 7は吸引用配管の継手, 8は保持軸の回りに
設けられ固定プレートと吸着部間に張力を与えるつるま
きバネ, 9は可動プレートの可動範囲を制限するガイド
板，10はワークである。
続する保持軸, 3は固定プレート,4は保持軸に固定さ
れ, 開口部を有する可動プレート, 5は固定プレートに
固定され，可動プレートの開口部に底面が嵌合する円錐
形の位置決めピン, 6は可動プレートと保持軸を固定す
るナット, 7は吸引用配管の継手, 8は保持軸の回りに
設けられ固定プレートと吸着部間に張力を与えるつるま
きバネ, 9は可動プレートの可動範囲を制限するガイド
板，10はワークである。
【００１０】この構造においては，吸着部 1の吸着面は
ワーク10の載置状態により, 吸着面がワークに接触する
と, 吸着面は保持軸の回りに僅かに回転して図示のよう
に傾いてワークの面に平行になりワークを吸着する。
ワーク10の載置状態により, 吸着面がワークに接触する
と, 吸着面は保持軸の回りに僅かに回転して図示のよう
に傾いてワークの面に平行になりワークを吸着する。
【００１１】この状態でワークを持ち上げると, 保持軸
のセンタは元通り垂直に復元されて正常なハンドリング
が行われる。
のセンタは元通り垂直に復元されて正常なハンドリング
が行われる。
【００１２】
【実施例】図２(A),(B) は本発明の実施例の説明図であ
る。図１(A) は正面図, 図１(B) は側面図である。
る。図１(A) は正面図, 図１(B) は側面図である。
【００１３】図において， 1は吸着部, 2 は保持軸, 3
はハンドリング機構に固定される固定プレート, 4は可
動プレート, 5は位置決めピン, 6はナット, 7は吸引
用配管の継手, 8はつるまきバネ, 9はガイド板であ
る。なお，矢印は吸着部 1の移動方向を示す。
はハンドリング機構に固定される固定プレート, 4は可
動プレート, 5は位置決めピン, 6はナット, 7は吸引
用配管の継手, 8はつるまきバネ, 9はガイド板であ
る。なお，矢印は吸着部 1の移動方向を示す。
【００１４】次に, 実施例のチャックの動作について説
明する。 (1) ハンドリングする際，吸着部 1が可動プレート 4の
ガタ分だけ, ガイド板 9で制限された範囲内で移動でき
るため，ワークの置かれた状況に対応して, 吸着部 1は
ワークに当たった所を支点として回転することにより吸
着部 1の吸着面はワークの面に平行になる。 (2) ワークを吸着後は, つるまきバネ 8の伸長にともな
い位置決めピン 5により保持軸のセンタを保持すること
ができる。 (3）従来の機構では吸着部は上下方向にしか移動できな
かったが，新たに回転方向が加わったため, 吸着時の衝
撃は従来例に比べて多く吸収することができる。
明する。 (1) ハンドリングする際，吸着部 1が可動プレート 4の
ガタ分だけ, ガイド板 9で制限された範囲内で移動でき
るため，ワークの置かれた状況に対応して, 吸着部 1は
ワークに当たった所を支点として回転することにより吸
着部 1の吸着面はワークの面に平行になる。 (2) ワークを吸着後は, つるまきバネ 8の伸長にともな
い位置決めピン 5により保持軸のセンタを保持すること
ができる。 (3）従来の機構では吸着部は上下方向にしか移動できな
かったが，新たに回転方向が加わったため, 吸着時の衝
撃は従来例に比べて多く吸収することができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば，吸着時に吸着面とワー
クの面が平行になり, 且つ衝撃を緩和して吸着ミスとワ
ークの損傷を防止することができた。この結果，ハンド
リングミスの低減により作業の稼働率が向上した。
クの面が平行になり, 且つ衝撃を緩和して吸着ミスとワ
ークの損傷を防止することができた。この結果，ハンド
リングミスの低減により作業の稼働率が向上した。
【図１】 本発明の原理説明図
【図２】 本発明の実施例の説明図
【図３】 従来例による吸着チャックの説明図
1 吸着部 2 吸着部に接続する保持軸 3 固定プレート 4 保持軸に固定され, 開口部を有する可動プレート 5 固定プレートに固定され，可動プレートの開口部に
底面が嵌合する円錐形の位置決めピン 6 可動プレートと保持軸を固定するナット 7 吸引用配管の継手 8 固定プレートと吸着部間に張力を与えるつるまきバ
ネ 9 可動プレートの可動範囲を制限するガイド板 10 ワーク
底面が嵌合する円錐形の位置決めピン 6 可動プレートと保持軸を固定するナット 7 吸引用配管の継手 8 固定プレートと吸着部間に張力を与えるつるまきバ
ネ 9 可動プレートの可動範囲を制限するガイド板 10 ワーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 秦 裕一 福島県会津若松市門田町工業団地４番地 株式会社富士通東北エレクトロニクス内 (72)発明者 春日部 貴之 福島県会津若松市門田町工業団地４番地 株式会社富士通東北エレクトロニクス内
Claims (1)
- 【請求項１】 ワーク(10)を真空吸引する吸着部(1)
と, 該吸着部に接続する保持軸(2) と，該保持軸をゆる
い嵌合で貫通する開口を有し且つハンドリング機構に固
定される固定プレート(3）と，該保持軸に固定され且つ
開口部を有する可動プレート(4）と，該固定プレートに
固定され且つ該可動プレートの開口部に底面が嵌合する
円錐形の位置決めピン(5) と，該保持軸の回りに設けら
れ且つ該固定プレートと該吸着部間に張力を与えるつる
まきバネ(8) とを有することを特徴とする吸着チャッ
ク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17460093A JPH0724775A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 吸着チャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17460093A JPH0724775A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 吸着チャック |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0724775A true JPH0724775A (ja) | 1995-01-27 |
Family
ID=15981414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17460093A Withdrawn JPH0724775A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 吸着チャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0724775A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001341090A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-11 | Shinano Electronics:Kk | 真空把持装置及びｉｃテストハンドラ |
| WO2007089032A1 (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-09 | Honda Motor Co., Ltd. | シーラ塗布装置 |
| US7988834B2 (en) | 2001-06-01 | 2011-08-02 | Sony Corporation | Conductive catalyst particles and process for production thereof, gas-diffusing catalytic electrode, and electrochemical device |
| JP2011148576A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-08-04 | Nissha Printing Co Ltd | 枚葉シート搬送装置およびフィルムインサート成形品製造装置 |
| CN107877483A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-04-06 | 倪立秧 | 一种全自动呼吸内科医疗玻璃器具吸取装置 |
-
1993
- 1993-07-15 JP JP17460093A patent/JPH0724775A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001341090A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-11 | Shinano Electronics:Kk | 真空把持装置及びｉｃテストハンドラ |
| US7988834B2 (en) | 2001-06-01 | 2011-08-02 | Sony Corporation | Conductive catalyst particles and process for production thereof, gas-diffusing catalytic electrode, and electrochemical device |
| WO2007089032A1 (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-09 | Honda Motor Co., Ltd. | シーラ塗布装置 |
| JP2007203245A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Honda Motor Co Ltd | シーラ塗布装置 |
| GB2448282A (en) * | 2006-02-03 | 2008-10-08 | Honda Motor Co Ltd | Sealer coater |
| GB2448282B (en) * | 2006-02-03 | 2011-06-01 | Honda Motor Co Ltd | Sealer coater |
| JP2011148576A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-08-04 | Nissha Printing Co Ltd | 枚葉シート搬送装置およびフィルムインサート成形品製造装置 |
| CN107877483A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-04-06 | 倪立秧 | 一种全自动呼吸内科医疗玻璃器具吸取装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001003 |