JPH10256349A

JPH10256349A - ピックアップ装置

Info

Publication number: JPH10256349A
Application number: JP7656797A
Authority: JP
Inventors: Yuji Ohashi; ▲祐▼二大橋; Junpei Konno; 順平紺野
Original assignee: Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Priority date: 1997-03-12
Filing date: 1997-03-12
Publication date: 1998-09-25

Abstract

(57)【要約】【課題】粘着シートをペレットから突上コマで充分に
剥離する。【解決手段】突上コマ２１の上端面の中央部に水平面
を構成する突上面２２を形成し、突上コマ２１の上端面
の周辺部に突上面２２に対して外側下がりに傾斜する傾
斜面２３を形成する。傾斜面２３は突上面２２の平面視
の形状が左右対称形で横長の六角形になるように形成す
る。【効果】粘着シートにおけるペレットの周辺部に粘着
した部分をペレットの四つ角の位置から剥離でき、剥離
面積を増大できるため、粘着シートのペレットに対する
粘着力を小さくできる。ニードルによるペレットの粘着
シートからの剥離力を小さく設定できるため、突き上げ
に際しニードルがペレットに突上痕やクラックを発生さ
せるのを防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ピックアップ技
術、特に、粘着シートに粘着されている小物品をその粘
着シートからピックアップする技術に関し、例えば、半
導体装置の製造工程において、ダイシングされた半導体
ペレット（以下、単にペレットという。）を粘着シート
からピックアップするのに利用して有効な技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程において、ペレッ
トを粘着テープ（粘着シートという。）からピックアッ
プするピックアップ装置として、特開平２−７８２４４
号公報に記載されている半導体ペレット取出装置があ
る。この半導体ペレット取出装置は、ペレットを突き上
げる突上面およびこのペレットに隣接する他のペレット
を所定の傾斜角に保持する傾斜面を有する突上コマを備
えており、この突上コマの突上面および傾斜面に粘着シ
ートを吸着する粘着シート吸着手段が設けられている。

【０００３】この半導体ペレット取出装置によれば、突
上コマの突上面および傾斜面によって突き上げられるペ
レットの上側と、それに隣接する他のペレットの上側と
の間隔が広げられるので、隣接する他のペレットに損傷
を与えずに所定のペレットを取り出すことができる。ま
た、粘着シートを突上コマの突上面および傾斜面に吸着
させることより、粘着シートに張力を与えないで済むた
め、粘着シート上における各ペレットの固着位置の精度
を向上することができ、その結果、取り出し不良を低減
することができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
たピックアップ装置においては、構造が複雑であるばか
りでなく、突上コマの突上面および傾斜面の形状とペレ
ットの形状との関係についての配慮が不充分であるた
め、突上コマによって突き上げられたペレットにおいて
粘着シートの剥離面積が不足し、ペレットが突上針によ
って粘着シートから強制的に剥離される際の突上力が大
きくなり、ペレットに突上痕やクラックが発生される場
合がある。特に、メモリーに使用される長方形のペレッ
トについて、突上痕やクラックの発生率が高いことが本
発明者によって究明された。

【０００５】本発明の目的は、粘着シートをペレットか
ら突上コマによって充分に剥離することができる構造簡
単なピックアップ装置を提供することにある。

【０００６】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【０００８】すなわち、突上コマの上端面の中央部には
突き上げ方向に直交する平面を構成する突上面が形成さ
れており、前記突上コマの上端面の周辺部には前記突上
面に対して外側下がりに傾斜する傾斜面が形成されてお
り、前記傾斜面は前記突上面の平面視の形状が左右対称
形であって半導体ペレットの四角形の四つ角に対応する
位置が斜辺または彎曲辺になった形状になるように形成
されていることを特徴とする。

【０００９】前記した手段によれば、半導体ペレットを
粘着シートを挟んで突上コマによって突き上げることに
より、粘着シートを半導体ペレットの四つ角から大きく
剥離させることができるため、粘着シートの半導体ペレ
ットに対する粘着力を小さくさせることができ、小さい
力で半導体ペレットを粘着シートからピックアップする
ことができる。

【００１０】粘着シートの半導体ペレットに対するピッ
クアップ力を小さくすることにより、ニードルによって
ピックアップする際の突上痕やクラックの発生を未然に
防止することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態である
ピックアップ装置を示しており、（ａ）は正面断面図、
（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う平面図、（ｃ）は
（ｂ）のｃ−ｃ矢視図である。図２および図３はその作
用を説明するための各拡大部分断面図である。

【００１２】本実施形態において、本発明に係るピック
アップ装置は、半導体装置の製造工程において、ダイシ
ングされたペレットを粘着シートから１個宛、ピックア
ップするように構成されている。このピックアップ装置
１０におけるワークとしてのペレット群付粘着シート
（以下、ワークということがある。）１は、次のように
製造されてピックアップ装置１０に供給されて来る。

【００１３】半導体装置の製造工程における所謂前工程
において、各ペレット２毎にトランジスタやダイオー
ド、半導体集積回路装置、光半導体装置等が作り込まれ
たウエハ（図示せず）は、ウエハ検査工程において電気
的特性試験や外観検査等により、良品のペレット、不良
品のペレットに選別される。このとき、不良品のペレッ
トにはマークが付される。

【００１４】シート粘着工程において、検査済のウエハ
の裏側の主面には粘着シート３が粘着される。粘着シー
ト３は伸縮性を有する樹脂が用いられてウエハよりも大
径の薄膜形状に形成されているシート基材４を備えてお
り、シート基材４の片側主面に適当な粘着材が塗布され
て粘着材層５が形成されている。

【００１５】ダイシング工程において、ウエハは小物品
としての各ペレット２に分断される。このとき、ウエハ
の裏面に粘着されている粘着シート３はダイシングによ
って切断されないため、ペレット２群はばらばらになら
ずに一群にまとまった状態になっている。本実施形態に
おいて、各ペレット２はメモリー等に対応して長方形の
薄板形状に形成されている。

【００１６】治具装着工程において、粘着シート３の外
周部にリング６が装着される。リング６はステンレス鋼
等の剛性材料が用いられて、ウエハよりも大径の円形リ
ング形状に形成されている。粘着シート３はリング６の
枠内に対向するように配された後に、径方向外向きに引
き伸ばされ、その外周辺部がリング６に固定される。こ
のとき、粘着シート３の伸びに伴って隣合うペレット
２、２間が離れることになる。

【００１７】ピックアップ装置１０は機台１１を備えて
おり、機台１１の上にはワーク１を保持するテーブル１
２が設備されている。テーブル１２は保持したワーク１
を駆動装置によってＸＹＺおよびθ方向に移動し得るよ
うに構成されている。また、機台１１の上には突上コマ
およびニードル昇降装置（以下、昇降装置という。）１
３がテーブル１２に保持されたワーク１に対向するよう
に設備されている。昇降装置１３は略チャンネル型鋼形
状のフレーム１４を備えており、フレーム１４は機台１
１の上面に据え付けられている。フレーム１４の片側
（以下、左側とする。）の側壁内面にはガイドレール１
５が垂直方向に敷設されており、ガイドレール１５には
昇降台１６が垂直方向に摺動自在に設けられている。昇
降台１６には支持枠１７が固定されている。

【００１８】他方、フレーム１４の右側の側壁内面には
ステッピングモータ１８が水平方向左向きに据え付けら
れており、ステッピングモータ１８の回転軸にはカム１
９が直交するように固定されている。カム１９の外周面
であるカム面には支持枠１７に形成されたカムフォロー
部２０が上側から当接されている。したがって、支持枠
１７はカム１９によって支持されているとともに、カム
１９の回転に追従して昇降されるようになっている。

【００１９】支持枠１７の上端部にはピックアップすべ
きペレット２を突き上げる突上コマ２１が一体移動する
ようにボルトによって着脱自在に装着されている。突上
コマ２１は上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成
されている。突上コマ２１の上端閉塞壁における上端面
には筒芯に直交する突上面２２と、筒芯に対して傾斜す
る傾斜面２３とが形成されている。突上面２２は上端面
の中央部に配置されており、筒芯に直交する面すなわち
水平面を構成するように形成されている。傾斜面２３は
上端面の周辺部に８面が配置されており、各傾斜面２３
の突上面２２となす傾斜角θは２５度に設定されてい
る。８面の傾斜面２３によって突上面２２は平面視が図
１（ｂ）に示されているように左右対称形の横長の六角
形に形成されており、当該横長の六角形はピックアップ
しようとするペレット２の長方形に対応されている。す
なわち、横長の六角形の鋭角をなす一対の斜辺を形成す
る計４面の各傾斜面２３は、ペレット２の四つ角にそれ
ぞれ対向するようになっている（図１（ｂ）の想像線参
照）。

【００２０】突上コマ２１にはガイド孔２４が４本、ペ
レット２の外径よりも小さい長方形の四つ角であって横
長の鋭角をなす一対の斜辺を構成する４面の各傾斜面２
３内にそれぞれ配置されて、垂直方向に延在するように
開設されている。各ガイド孔２４にはニードル２５がそ
れぞれ垂直方向に摺動自在に挿通されている。各ガイド
孔２４に摺動自在に挿通された４本のニードル２５は、
突上台２６に支持されており、垂直方向下側からペレッ
ト２を均等に突き上げて水平に持ち上げることができる
ようになっている。

【００２１】支持枠１７の内部には突上台２６が垂直方
向に摺動自在に嵌入されており、突上台２６は支持枠１
７に上端が係止された引っ張りコイルスプリング（以
下、スプリングという。）２７によって懸架されてい
る。つまり、突上台２６はスプリング２７によってフロ
ーティング支持された状態になっている。支持枠１７の
底壁の上にはリニアＤＣモータであるボイスコイルモー
タ（以下、ＶＣＭという。）２８が設備されている。こ
のＶＣＭ（以下、ニードル用ＶＣＭという。）２８は突
上台２６を支持枠１７に対して上下動させることによ
り、ニードル２５を昇降させるようになっている。すな
わち、ニードル用ＶＣＭ２８のマグネットから構成され
たステータ２９は支持枠１７の底壁の上に垂直方向上向
きに据え付けられており、移動体（スライダ）を構成す
るボイスコイル３０は突上台２６の下面に固定されてい
る。ボイスコイル３０にはニードル用ＶＣＭ制御回路
（図示せず）が電気的に接続されている。

【００２２】機台１１上の右側端部にはＸＹテーブル３
１が設備されており、ＸＹテーブル３１の上にはコレッ
ト昇降装置３３を保持するスタンド３２が垂直に立設さ
れている。コレット昇降装置３３は支持梁３４を備えて
おり、支持梁３４はスタンド３２の上端に水平方向左向
きに張り出されて据え付けられている。スタンド３２の
左側の側壁面にはガイドレール３５が垂直方向に敷設さ
れており、ガイドレール３５には昇降台３６が垂直方向
に摺動自在に設けられている。昇降台３６には支持腕３
７が水平方向左向きに張り出されて固定されており、支
持腕３７の左端にはコレット３８が垂直方向下向きに支
持されている。コレット３８には負圧供給路３９の一端
が流体的に接続されており、負圧供給路３９の他端は負
圧供給ユニット４０に接続されている。

【００２３】支持腕３７は支持梁３４に上端が係止され
た引っ張りコイルスプリング（以下、スプリングとい
う。）４１によって懸架されている。すなわち、コレッ
ト３８はスプリング４１によってフローティング支持さ
れた状態になっている。支持梁３４の左端部にはコレッ
ト用ＶＣＭ４２が垂直方向に設備されており、コレット
用ＶＣＭ４２は支持腕３７を支持梁３４に対して上下動
させることにより、コレット３８を昇降させるようにな
っている。すなわち、コレット用ＶＣＭ４２のマグネッ
トから構成されたステータ４３は支持梁３４の下面に垂
直方向下向きに据え付けられており、移動体を構成する
ボイスコイル４４は支持腕３７の上面に固定されてい
る。図示しないが、ボイスコイル４４にはニードル用Ｖ
ＣＭ制御回路と同様のコレット用ＶＣＭ制御回路（図示
せず）が電気的に接続されている。

【００２４】次に作用を説明する。ワーク１がペレット
２を上側にした状態でテーブル１２に保持されてアライ
メントされると、ステッピングモータ１８の駆動によっ
てカム１９が回転され、図２に示されているように、支
持枠１７が全体的に上昇される。この上昇により、突上
コマ２１の上端面がワーク１の粘着シート３を持ち上げ
る。この際、突上コマ２１の中心線はワーク１のこれか
らピックアップしようとするペレット２の中心に芯合わ
せされた状態になっているため、突上コマ２１は芯合わ
せされたペレット２だけを粘着シート３を挟んで持ち上
げた状態になる。

【００２５】突上コマ２１の中央部には水平面を構成し
た突上面２２が形成されているため、ペレット２は突上
面２２によって水平に持ち上げられた状態になる。他
方、突上コマ２１の周辺部には傾斜面２３が形成されて
いるため、ペレット２が突上面２２によって水平に持ち
上げられた状態において、ペレット２の周辺部に粘着さ
れた粘着シート３は突上コマ２１によって下から支持さ
れない状態になる。そして、粘着シート３には引っ張り
力が付勢された状態になっているため、突上コマ２１に
よって下から支持されないペレット２の周辺部に粘着し
た粘着シート３の部分はペレット２の下面から剥離され
た状態になる。

【００２６】ここで、粘着シート３を高く持ち上げれ
ば、粘着シート３の引っ張り力を増加させることができ
るため、突上コマ２１が粘着シート３を挟んでペレット
２を高く持ち上げると、ペレット２の周辺部に粘着した
粘着シート３を大きな力で確実に剥離させることができ
る。ところが、突上コマ２１が粘着シート３を挟んでペ
レット２を高く持ち上げると、粘着シート３の引っ張り
力が不均一であるため、ペレット２が水平に持ち上がら
ず傾いてしまう。しかし、本実施形態においては、突上
コマ２１の突上面２２が広く水平面に形成されているた
め、ペレット２を粘着シート３を挟んで高く持ち上げて
も確実に水平に持ち上げることができる。つまり、本実
施形態においては、突上コマ２１を水平に高く持ち上げ
ることにより、粘着シート３におけるペレット２の周辺
部に粘着した部分を強力かつ確実に剥離することができ
る。

【００２７】さらに、突上面２２の平面視の形状がペレ
ット２の長方形に対応した横長の六角形になるように傾
斜面２３が形成されているため、粘着シート３における
ペレット２の周辺部に粘着した部分は安定して剥離され
る。すなわち、横長の六角形における４本の斜辺に対応
する各傾斜面２３はペレット２の長方形における対角線
に交差するように形成されているため、粘着シート３に
おけるペレット２の周辺部に粘着した部分はペレット２
の四つ角の位置から剥離され始める状態になる。粘着シ
ート３は角から剥離し始めると、剥離が夾角に沿って漸
増するように進行するため、途切れることなく安定して
剥離する状態になる。

【００２８】しかも、突上面２２の平面視の形状がペレ
ット２の長方形に対応した横長の六角形になるように傾
斜面２３が形成されていると、粘着シート３におけるペ
レット２の周辺部から剥離される面積は、ペレット２の
周辺部を一定幅に剥離させる場合に比べて大きくなる。
つまり、傾斜面２３によって粘着シート３はペレット２
の対角線に沿って剥離されるため、剥離の全長が長くな
り、長くなった分だけ剥離面積が増大する。そして、粘
着シート３によるペレット２に対する粘着力は粘着面積
の大小に反比例するため、粘着シート３のペレット２か
らの剥離面積が大きいと、粘着シート３のペレット２に
対する粘着力は小さいことになる。

【００２９】以上のようにして突上コマ２１によってペ
レット２が粘着シート３を挟んで水平に持ち上げられ
て、粘着シート３におけるペレット２の周辺部が剥離さ
れると、ニードル用ＶＣＭ制御回路の制御によってニー
ドル用ＶＣＭ２８が上昇作動され、図３に示されている
ように、支持枠１７内で突上台２６が上昇される。突上
台２６の上昇によって突上コマ２１に対して４本のニー
ドル２５が均等に上昇され、各ニードル２５の上端部が
突上コマ２１から上方に均等に突き出される。このニー
ドル２５の先端部の突出により、粘着シート３のニード
ル２５により突かれた部分はニードル２５により突き破
られ、この突き破られた粘着シート３の上面に粘着され
ているペレット２は、４本のニードル２５によって水平
に持ち上げられて粘着シート３から剥離される。

【００３０】この際、突上コマ２１に持ち上げられたペ
レット２は突上面２２によって下から水平に支持された
状態になっているため、４本のニードル２５はペレット
２を傾けることなく水平に持ち上げて剥離させる。ま
た、突上コマ２１の周辺部に傾斜面２３が形成されてい
ることにより、ニードル２５に突き上げられるペレット
２は四方のペレット２よりも上に位置するため、周りの
ペレット２群が連れ上がりすることがない。

【００３１】しかも、前述した突上コマ２１の傾斜面２
３による剥離作用によって、ペレット２に粘着した粘着
シート３の剥離面積が大きくなった状態になっているた
め、４本のニードル２５はペレット２を粘着シート３か
ら小さな突上力をもって容易に剥離させることができ
る。したがって、突き上げに際して４本のニードル２５
がペレット２に突上痕やクラックを発生させたりするこ
とはない。

【００３２】ペレット２を粘着シート３から剥離させる
のに必要な力を小さく設定することができるため、ペレ
ット２を粘着シート３から剥離させるためのニードル２
５の上昇作動をニードル用ＶＣＭ２８によって実行する
ことにより、ペレット２を粘着シート３からニードル２
５によって剥離させる際に、ペレット２やニードル２５
が損傷されるのをより一層確実に防止することができ
る。すなわち、ペレット２を粘着シート３からニードル
２５によって剥離させる際に、ニードル２５を上昇させ
るためのボイスコイル３０は磁力によって上方に付勢さ
れた状態になっているが、機械的には空中に浮いた状態
になっているため、ニードル２５がペレット２に突き当
たった時の衝撃を空間的に吸収することができる。しか
も、ボイスコイル３０のイナーシャ（質量×加速度）は
ステッピングモータに比べて遙に小さいので、ニードル
２５がペレット２に突き当たった時の衝撃自体もきわめ
て小さく抑制されることになる。

【００３３】他方、コレット昇降装置３３においては、
ワーク１がペレット２を上側にした状態でテーブル１２
に保持されてアライメントされると、ＸＹテーブル３１
によってコレット３８が所定のペレット２の真上に位置
される。続いて、コレット用ＶＣＭ制御回路の制御によ
ってコレット用ＶＣＭ４２が下降作動され、コレット３
８がワーク１に接近される。この際、ニードル２５によ
ってペレット２が水平に持ち上げられて来ると、コレッ
ト３８はペレット２を真空吸着保持する。

【００３４】ペレット２を受け渡されたコレット３８は
ＸＹテーブル３１の移動によってニードル２５の真上位
置からトレーやリードフレームのタブ等の所定位置（図
示せず）に移送され、そこで、ペレット２をトレーやタ
ブに受け渡す。ペレット２を受け渡したコレット３８は
ニードル２５の真上位置に戻され、次回のピックアップ
作動に待機する。

【００３５】一方、ニードル２５がペレット２をコレッ
ト３８に受け渡すと、ニードル用ＶＣＭ制御回路によっ
てニードル用ＶＣＭ２８が下降作動されて、突上台２６
が支持枠１７内で下降される。突上台２６の下降によっ
てニードル２５が下降されて支持枠１７内に引き込めら
れ、かつ、支持枠１７がステッピングモータ１８によっ
て全体的に下降されると、テーブル１２がＸＹＺ方向に
適宜移動され、次回にピックアップすべきペレット２が
ニードル２５の真上に対向配置される。

【００３６】以降、前記作動が繰り返されることによっ
て、ワーク１の粘着シート３からペレット２が１個宛、
ピックアップされて行く。

【００３７】前記実施形態によれば、次の効果が得られ
る。突上コマ２１の上端面の中央部に水平面を構成する
突上面２２を形成し、突上コマ２１の上端面の周辺部に
突上面２２に対して外側下がりに傾斜する傾斜面２３を
形成するとともに、傾斜面２３は突上面の平面視の形状
が左右対称形であって横長の六角形になるように形成す
ることにより、ペレット２が突上面２２によって水平に
持ち上げられた状態において、ペレット２の周辺部に粘
着された粘着シート３は突上コマ２１によって下から支
持されない状態になるため、引っ張り力が付勢された粘
着シート３における突上コマ２１によって下から支持さ
れないペレット２の周辺部をペレット２の下面から剥離
させることができる。

【００３８】突上コマ２１の突上面２２を水平面に
形成することにより、ペレット２を粘着シート３を挟ん
で高く持ち上げても確実に水平に持ち上げることができ
るため、突上コマ２１を水平に高く持ち上げることがで
き、その結果、粘着シート３におけるペレット２の周辺
部に粘着した部分を強力かつ確実に剥離することができ
る。

【００３９】突上面２２の平面視の形状がペレット
２の長方形に対応した横長の六角形になるように傾斜面
２３を形成することにより、粘着シート３におけるペレ
ット２の周辺部に粘着した部分をペレット２の四つ角の
位置から剥離させ始めることができるため、途切れるこ
となく安定して剥離させることができる。

【００４０】突上面２２の平面視の形状がペレット
２の長方形に対応した横長の六角形になるように傾斜面
２３を形成することにより、粘着シート３におけるペレ
ット２の周辺部から剥離される面積を増大させることが
できるため、粘着シート３のペレット２に対する粘着力
を小さくさせることができる。

【００４１】粘着シート３のペレット２に対する粘
着力を小さくさせることにより、４本のニードル２５に
よるペレット２の粘着シート３からの剥離力を小さく設
定することができるため、突き上げに際して４本のニー
ドル２５がペレット２に突上痕やクラックを発生させた
りする現象を未然に防止することができる。

【００４２】前記実施形態に係る突上コマと、突上
面が凸球面である突上コマとを同一条件で使用して、マ
イクロクラックおよび傷の発生率を比較したところ、後
者の場合の発生率が４５％であるのに対して、前者の場
合の発生率は０．８％に低減された。

【００４３】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４４】例えば、突上コマの上端面の周辺部に突上
面に対して外側下がりに傾斜するように形成される傾斜
面は、突上面の平面視の形状が左右対称形であって横長
の六角形になるように形成するに限らず、図４に示され
ているように、突上面の平面視の形状が左右対称形であ
ってペレットの四角形の四つ角に対応する位置が斜辺ま
たは彎曲辺になった形状になるように形成すればよい。

【００４５】図４（ａ）に示されている傾斜面２３Ａ
は、突上面２２Ａの平面視の形状が左右対称形の楕円形
になるように形成されている。

【００４６】図４（ｂ）に示されている傾斜面２３Ｂ
は、突上面２２Ｂの平面視の形状が左右対称形の横長の
偶数の多角形の一例である菱形になるように形成されて
いる。

【００４７】図４（ｃ）に示されている傾斜面２３Ｃ
は、突上面２２Ｃの平面視の形状が左右対称形の正六角
形になるように形成されている。

【００４８】図４（ｄ）に示されている傾斜面２３Ｄ
は、突上面２２Ｄの平面視の形状が真円形になるように
形成されている。

【００４９】図４（ｅ）に示されている傾斜面２３Ｅ
は、突上面２２Ｅの平面視の形状が左右対称形の偶数の
正多角形の一例である正方形になるように形成されてい
る。

【００５０】突上コマによって突き上げられたペレット
を粘着シートから剥離させるためのニードルは、突上面
の面積が小さい場合や、粘着シートの粘着力が紫外線照
射等で小さくされる場合等においては省略することがで
きる。

【００５１】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるメモリ
ー等の長方形の半導体ペレットのピックアップ技術に適
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、ＭＰＵやＣＰＵ、ＣＣＤ等の正方形の半導体
ペレット等のピックアップ技術全般に適用することがで
きる。

【００５２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００５３】半導体ペレットを粘着シートを挟んで突上
コマによって突き上げることにより、粘着シートを半導
体ペレットの四つ角から大きく剥離させることができる
ため、粘着シートの半導体ペレットに対する粘着力を小
さくさせることができ、小さい力で半導体ペレットを粘
着シートからピックアップすることができる。

【００５４】粘着シートの半導体ペレットに対するピッ
クアップ力を小さくすることにより、ニードルによって
ピックアップする際の突上痕やクラックの発生を未然に
防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の一実施形態であるピックアップ
装置を示しており、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は
（ａ）のｂ−ｂ線に沿う平面図、（ｃ）は（ｂ）のｃ−
ｃ矢視図である。

【図２】突上コマの作動を示す拡大部分断面図である。

【図３】ニードルの作動を示す拡大部分断面図である。

【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）は突
上面および傾斜面の実施形態の変形例をそれぞれ示す各
平面図である。

【符号の説明】

１…ワーク（ペレット付粘着シート）、２…ペレット、
３…粘着シート、４…シート基材、５…粘着材層、６…
リング、１０…ピックアップ装置、１１…機台、１２…
テーブル、１３…突上コマおよびニードル昇降装置、１
４…フレーム、１５…ガイドレール、１６…昇降台、１
７…支持枠、１８…ステッピングモータ、１９…カム、
２０…カムフォロー部、２１…突上コマ、２２、２２Ａ
〜２２Ｅ…突上面、２３、２３Ａ〜２３Ｅ…傾斜面、２
４…ガイド孔、２５…ニードル、２６…突上台、２７…
引っ張りコイルスプリング、２８…ボイスコイルモータ
（ニードル用ＶＣＭ）、２９…ステータ、３０…ボイス
コイル、３１…ＸＹテーブル、３２…スタンド、３３…
コレット昇降装置、３４…支持梁、３５…ガイドレー
ル、３６…昇降台、３７…支持腕、３８…コレット、３
９…負圧供給路、４０…負圧供給ユニット、４１…引っ
張りコイルスプリング、４２…コレット用ＶＣＭ、４３
…ステータ、４４…ボイスコイル。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】片面に四角形の半導体ペレットが複数個
隣り合わせに並べられて粘着された粘着シートが突上コ
マによって所定の半導体ペレットの下方から上方に突き
上げられ、前記粘着シートと共に突き上げられた半導体
ペレットがコレットによって保持されることにより粘着
シートからピックアップされるピックアップ装置におい
て、前記突上コマの上端面の中央部には前記突き上げ方向に
直交する平面を構成する突上面が形成されており、前記
突上コマの上端面の周辺部には前記突上面に対して外側
下がりに傾斜する傾斜面が形成されていることを特徴と
するピックアップ装置。
【請求項２】前記傾斜面は、前記突上面の平面視の形
状が左右対称形であって前記半導体ペレットの四角形の
四つ角に対応する位置が斜辺または彎曲辺になった形状
になるように形成されていることを特徴とする請求項１
に記載のピックアップ装置。
【請求項３】前記傾斜面は、前記突上面の平面視の形
状が左右対称形の横長の六角形になるように形成されて
いることを特徴とする請求項２に記載のピックアップ装
置。
【請求項４】前記傾斜面は、前記突上面の平面視の形
状が左右対称形の楕円形になるように形成されているこ
とを特徴とする請求項２に記載のピックアップ装置。
【請求項５】前記傾斜面は、前記突上面の平面視の形
状が左右対称形の横長の偶数の多角形になるように形成
されていることを特徴とする請求項２に記載のピックア
ップ装置。
【請求項６】前記傾斜面は、前記突上面の平面視の形
状が左右対称形の正六角形になるように形成されている
ことを特徴とする請求項２に記載のピックアップ装置。
【請求項７】前記傾斜面は、前記突上面の平面視の形
状が真円形になるように形成されていることを特徴とす
る請求項２に記載のピックアップ装置。
【請求項８】前記傾斜面は、前記突上面の平面視の形
状が左右対称形の偶数の正多角形になるように形成され
ていることを特徴とする請求項２に記載のピックアップ
装置。