JPH0489717A - 特殊環境下で用いられる搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明は、搬送装置に関し、特に、真空環境。

各種ガス環境等の特殊環境下で用いられる搬送装置に関
する。

［従来の技術］ 半導体プロセスでは、極めて清浄なりリーンルーム内で
ウェハなどを搬送するために搬送用ロボットと呼ばれる
搬送装置が用いられる。従来の搬送用ロボットには、コ
ンベヤを用いる方式と移動式台車を用いる方式とがあり
、後者の一例として専用軌道に沿ってステーション間を
バッテリや駆動装置を搭載した台車（可動部）が走行す
るものが・ある。

［発明が解決しようとする課題］ 上述した搬送装置は、可動部にバッテリなどを搭載して
いるために、可動部の重量が大きく、かつ構造が複雑で
あるという問題点があった。

また、可動部の重量が大きいため、所定位置で停止させ
るのが困難であり、高度の位置決め精度が要求されるも
のには適用できないという問題点があった。

さらに、従来、各種の環境下、たとえば、極めてクリー
ンな環境、高真空環境あるいは各種ガス環境下で汎用的
に用いることのできる搬送装置がなく、その出現が望ま
れていた。

それゆえに、この発明の主たる目的は、可動部が軽量か
つ簡略であり、種々の特殊環境下で用いることのできる
搬送装置を提供することである。

［課題を解決するための手段］ この発明は、非磁性体のパイプによって外側の特殊環境
と内側の大気とを隔離し、特殊環境下で可動子をパイプ
に沿って搬送する搬送装置であり、パイプ内で軸方向に
沿って移動する駆動手段と、パイプを介して駆動手段と
可動子とを磁気的にカップリングするためのカップリン
グ手段と、可動子を支持するために可動子に装着され、
パイプの外面に転がり接触する転がり軸受とを備えて構
成される。

［作用］ この発明では、非磁性体のパイプによって外側の特殊環
境と内側の大気とを隔離し、パイプ内側に設けた駆動手
段と、パイプ外側に設けられ、かつ転がり軸受により支
持された可動子とを磁気カップリングさせ、パイプ内で
駆動手段を軸方向に移動することにより、可動子を搬送
するようにしている。

［発明の実施例コ 第１図はこの発明の一実施例の搬送装置の構成を示す断
面図である。第１図において、搬送装置は搬送対象物体
を搬送するためのスライダ１と、スライダ１の走行を案
内する案内レールとして機能するパイプ２とを含む。こ
の搬送装置は高真空環境下で用いられるが、このような
環境下で用いられるとき、パイプ２の外側にあるものだ
けが真空環境にさらされ、パイプ２内の内部は真空環境
から隔離されるようになっている。パイプ２の内部は大
気環境と同様な環境となっている。パイプ２としては、
非磁性の金属たとえばステンレスが用いられる。パイプ
２の形状は、外部と内部の圧力差が大きい場合でも変形
しないように、中空円筒状となっているが、圧力差に耐
え得るものであれば、四角形状でもその他の形状でもか
まわない。

スライダーはパイプ２の断面よりも大きい断面を有し、
パイプ２を取囲むような形状をした円筒部材３を含み、
パイプ２の軸方向（第１図に示す矢印入方向）に移動自
在に設けられる。スライダ１はウェハなどの搬送対象物
体を載置するためのテーブル４を含む。スライダーを構
成する円筒部材３の内周面には、永久磁石５が装着され
ている。

また、円筒部材３′には、パイプ２に沿って走行するた
めの走行用ベアリング６が装着されている。

真空環境を汚染しないようにするために、走行用ベアリ
ング６およびベアリングが転走するパイプ２の外面には
、たとえば銀のイオンブレーティングがほどこされ、潤
滑油などを用いなくても、ベアリングが滑らかに転がる
ようになっている。

パイプ２の内部には、移動部材７が設けられる。

移動部材７の端部周囲には複数個の案内用ベアリング８
が取付けられていて、移動部材７がパイプ２内部を矢印
Ａ方向に円滑に移動できるようになっている。また、移
動部材７の外周面には、真空環境下に置かれたスライダ
ーと磁気的にカップリングするための永久磁石９が装着
されている。

第１図において、移動部材７の一端には、タイミングベ
ルト１０の一端が取付けられ、移動部材７の他端にはタ
イミングベルト１０の他端が取付けられる。タイミング
ベルト１０は、２つのプーリｌｌａ、ｌｌｂに掛けられ
ていてこのうち一端のプーリｌｌａはタイミングベルト
駆動用モータ１２から回転力が与えられるようになって
いる。

上述の説明かられかるように、スライダーを移動するた
めの駆動部がパイプ２内にパックされているので、駆動
部を有するパイプ２を所望の場所に設置し、パイプ２の
外周にスライ・グーを取付けるだけで搬送装置を設置す
ることができる。したかって、簡単な取付は工事で搬送
装置を取付けることができる。

スライダーはバッテリなどの重量物が設けられていない
ので、軽量であり、また、簡単な構造である。さらに、
タイミングベルト１０．プーリ１１ａ、ｌｌｂおよびタ
イミングベルト駆動用モータ１２などの機械的な駆動部
を真空環境から隔離されたパイプ２内部に設けたので、
駆動部の発生する物質等により真空環境が汚染されるこ
とがない。

上述のごとく搬送装置を構成し、タイミングベルト駆動
用モータ１２を駆動させると、プーリ１１ａが回転し、
それに伴なってタイミングベルト１０が移動し、移動部
材７がパイプ２内部を矢印Ａ方向に移動する。スライダ
１は移動部材７に装着された永久磁石９とスライダ１に
装着された永久磁石５との磁気カップリングにより移動
部材７の移動に応じて、パイプ２に沿って走行する。

なお、上述の実施例では、スライダ１．移動部材７の双
方に永久磁石を装着したが、これに限らず、そのうちの
一方は磁性部材であってもよい。

上述の実施例では、特殊環境として真空環境の場合につ
いて説明したが、これに限らず、上述の搬送装置は種々
のガス環境下でも用いることができる。この場合には、
特殊環境下におかれるパイプおよびスライダはその環境
に適した材料から構成される。

［発明の効果コ 以上のように、この発明によれば、パイプ内に可動子を
駆動するための駆動手段を設け、パイプの外面に沿って
移動する可動子には能動的な部品あるいは部材を設けな
いようにしたので、可動子は軽量となり、位置決め精度
が極めて向上する。

また、可動子の構造が簡略になる。さらに、環境を汚染
する恐れのある駆動手段をパイプによって特殊環境下か
ら隔離するようにしたので、特殊環境の汚染は防止され
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の搬送装置の構成を示す断
面図である。 図において、１はスライダ、２はパイプ、３は円筒部材
、５および９は永久磁石、６は走行用ベアリング、７は
移動部材、１０はタイミングベルト、ｌｌａ、ｌｌｂは
プーリ、１２はタイミングベルト駆動用モータを示す。 １ニスライク゛′ ２：　へ〇イア ３：円筒ｖｐχＮ テーブル 永久７３仇石 ６：メト１丁甲べ′γリンフ ７：＋？勉害Ｙχキ ８：　１１　内呼「べ゛Ｙリレフ ９：辰７−７６広石 １０：　タイミレヂべ゛）シト １＋ａ、＋＋ｂ：　７”−リ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 非磁性体のパイプによって外側の特殊環境と内側の大気
   を隔離し、特殊環境下で可動子を前記パイプに沿って搬
   送する搬送装置であって、 前記パイプ内で軸方向に沿って移動する駆動手段と、 前記パイプを介して前記駆動手段と前記可動子とを磁気
   的にカップリングするためのカップリング手段と、 前記可動子を支持するために前記可動子に装着され、前
   記パイプの外面に転がり接触する転がり軸受とを備え、 前記パイプ内の大気中で前記駆動手段を軸方向に駆動す
   ることにより、前記特殊環境において前記転がり軸受に
   より支持された前記可動子を軸方向に搬送することを特
   徴とする、特殊環境下で用いられる搬送装置。