JPS63202204A

JPS63202204A - 磁気浮上型搬送装置

Info

Publication number: JPS63202204A
Application number: JP3268287A
Authority: JP
Inventors: Kiyoshi Uchiyama; 潔内山; Jinichiro Oshima; 大島　仁一郎; Ikuo Minamino; 郁夫南野
Original assignee: Seiko Seiki KK
Current assignee: Seiko Seiki KK
Priority date: 1987-02-16
Filing date: 1987-02-16
Publication date: 1988-08-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、半導体製造工場など清浄環境下での使用に適
する磁気浮上型搬送装置に関する。

〈従来の技術）二層＄＄４１ノシーフ〒バー竺ズ一「豐引ＩＬＡ〒侶ｉ
ハ制カ環境下で作業が行われるものがある。このため、
半導体ウェハーやその他の物を搬送する装置にあっても
、その搬送中に細かい塵が出ないようなものが求められ
る。

このような真空環境下で用いられる搬送装置としては従
来、たとえば、第６．７図に示すようなものがある。

第６図に示す従来の搬送装置は、真空容器１内に滑り軸
受２．３を介して、その一端部に支持台５が設けられた
搬送台部材６をその軸線方向に摺動自在に収納し、搬送
台部材６の他端部に設けられた磁石１０．１１と外部の
ハンドル８に設けられた磁石１２．１３との吸引力を介
して、ハンドル８を操作することにより搬送台部材６を
その軸線方向に移動させて支持台５の上の被搬送物を所
定位置まで搬送するようになっている。

また、第７図に示す従来の搬送装置は、真空容器１５内
にその一端部に支持台１６が設けられた搬送台部材１８
を収納し、搬送台部材１８の他端部に設けられた蛇腹２
０およびハンドル２２を介して、ハンドル２２を操作す
ることにより搬送台部材１８をその軸線方向あるいは上
下左右方向に移動させて支持台１６の上の被搬送物を所
定位置まで搬送するようになっている。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら、前記第６図に示すような従来の搬送装置
にあっては、真空容器１内で搬送台部材６が軸受２．３
と接触しな状態でその軸線方向に移動するようになって
いるため、その接触部から細かい塵が出て被搬送物に付
着するおそれがある。

また、前記第７図に示すような従来の搬送装置にあって
は、蛇腹２０を介して搬送台部材１８をその軸線方向あ
るいは上下左右方向に移動させるようになっていたため
、その蛇腹２０が伸縮あるいは折り曲げ変形を受けて長
い間の使用により疲労劣化し、古くなるとそのような変
形の度にその疲労劣化部から細かい塵が出たりあるいは
破損したりして、被搬送物に塵が付着するおそれがあ（
問題点を解決するための手段）そこで本発明は前記問題点を解決するため、被搬送物を
支持し所定長さを有する搬送台部材と、この搬送台部材
が挿通し搬送台部材を軸方向に移動可能に支持する支持
構造と、前記搬送台部材の周面に対向するよう前記支持
構造に設けられ搬送台部材の周面との間に所定の隙間を
形成するよう搬送台部材を磁力により浮上させる磁気浮
上手段と、前記搬送台部材を軸方向に移動させる駆動手
段と、を備えた構成としたものである。

（作用）このような構成の磁気浮上型搬送装置によれば、被搬送
物を支持した搬送台部材が磁気浮上手段の磁力により支
持構造内で浮上し、搬送台部材が支持構造と非接触の状
態で駆動手段により軸方向に移動して被搬送物を搬送す
ることにより、細かい塵が出るのを防止してクリーンル
ームあるいは真空室を清浄に維持し、被搬送物に塵が付
着するのを防止することができる。

（実施例）以下、本発明の実施例について図面に基づいて説明する
。第１．２図は本発明による磁気浮上型搬送装置の第１
実施例を示す図である。

まず構成について説明すると、第１図において、２５は
真空容器であり、この真空容器２５内には磁気浮上型搬
送装置３０が収納されている。

磁気浮上型搬送装置３０は真空容器２５内に固定された
支持構造３２．３３を有しており、この支持構造３２．
３３の内側には所定長さを有する搬送台部材３５が挿通
して、搬送台部材３５をその軸方向に移動可能に支持し
ている。搬送台部材３５の一端部には、半導体ウェハー
やその他何かの試料のような塵を嫌う物（被搬送物）を
支持する支持台３６が設けられており、搬送台部材３５
の下側には全長にわたって脚板３７が設けられている。

第２図に示すように、支持構造３２．３３の内側にはそ
れぞれ搬送台部材３５の周面に対向すス雷譜石Ａｎ　　
ＪＩ　　　Ａ’）　　　Ａ＊（庸ケ浬ト千鉛）が設けら
れている。また、脚板３７の近傍の支持構造３２には電
磁石４４．４５が脚板３７に対向して設けられている。

これらの電磁石４０．４１．４２．４３．４４．４５は
それぞれ、支持構造３２と３３との間の構造体４７の内
部に格納されたコントローラ（制御回路）にその通電を
制御されるようになっている。

電磁石４０．４１．４２．４３．４４．４５のそれぞれ
の近傍の支持構造３２．３３には第２図に示すように、
これら電磁石の先端面と搬送台部材３５の周面あるいは
脚板３７どの間の隙間を検知して、前記コントローラに
信号を出力する隙間センサ５０．５１．５２．５３．５
４．５５が設けられている。

第１図に示すように構造体４７と脚板３７との間には、
搬送台部材３５をその軸方向に往復移動させるリニアモ
ータ３８（駆動手段）が設けられている。

次に作用について説明する。前記コントローラから電磁
石４０．４１．４２．４３に通電すると、これらの磁力
によりこれらの先端面が搬送台部材３５の周面との間に
等しく所定の隙間を形成するよう搬送台部材３５を支持
構造３２．３３の内側に浮上させる。また、前記コント
ローラから電磁石４４．４５に通電すると、これらの磁
力によりこれらの先端面が脚板３７との間に等しく所定
の隙間を形成することにより、搬送台部材３５が支持構
造３２．３３の内側で軸回りに回転しないよう規制する
。このように各電磁石がコントローラにより制御されて
いる間、前記隙間センサ５０．５１．５２．５３．５４
．５５のそれぞれはたえずコントローラに信号を出力し
て前記制御を可能にし、円滑に行わせている。

そして、上述のように搬送台部材３５を磁気浮上させた
状態でリニアモータ３８を作動させることにより、その
上に半導体ウェハーやその他車を嫌う被搬送物を載置（
支持）した搬送台部材３５をその軸方向に移動させる。

このように、搬送台部材３５は非接触の状態でその軸方
向に移動可能に支持構造３２．３３に支持されることに
より細かい塵が出るのを防止することができ、このこと
により磁気浮上型搬送装置３０が置かれている真空容器
２５内の真空室を清浄に維持して、被搬送物に塵が付着
するのを防止することができる。

また、搬送台部材３５は支持構造３２．３３と非接触の
状態でその軸方向に移動可能になっているため、搬送台
部材３５は非常にスムーズに移動することができる。

また、前記第６図に示す従来の搬送装置のように磁石の
方をハンドル８を介して操作する煩わしさはなく、電磁
石は支持構造３２．３３側にしっかりと固定することが
できる。

さらに、前記第６．７図に示す従来の搬送装置のように
真空容器の外側からハンドル介して操作する必要がない
ため、磁気浮上型搬送装Ｗ　３０全体を真空容器２５内
に収納することができる。

第３．４図には、本発明の第２実施例について示す。前
記第１実施例においては搬送台部材３５が円筒状部材に
より形成されていたのに対し、この第２実施例では搬送
台部材５７が長円断面を有する筒状部材で形成されてい
て、この搬送台部材５７の両側部は第４図に示すように
半円形の断面を有している。そして、搬送台部材５７の
半円形断面の両側部の周面に対向する電磁石６１．６２
．６３．６４（磁気浮上手段）が、支持構造５９．６０
の内側にそれぞれ設けられている。を磁石６１．６２．
６３．６４のそれぞれの近傍の支持構造５９．６０には
、第４図に示すように、これら電磁石の先端面と搬送台
部材５７の半円形断面の両側部の周面との間の隙間を検
知して国外のコントローラに信号を出力する、隙間セン
サ７０．７１．７２．７３が設けられている。

第３図に示すように、搬送台部材５７の一端部には、半
導体ウェハーやその他何かの試料のような塵を嫌う物（
被搬送物）を支持する支持台５８が設けられている。ま
た、支持構造５９と６０との間の構造体６７と搬送台部
材５７との間には、搬送台部材５７をその軸方向に往復
移動させるリニアモータ６８（駆動手段）が設けられて
いる。

このような第２実施例によれば、搬送台部材５７は長円
断面を有する筒状部材で形成されていて、その半円形断
面の両側部の周面にそれぞれ対向する電磁石６１．６２
．６３．６４により磁気浮上するようになっているため
、搬送台部材５７にその軸線回りに回転力が生ずること
はない、このため、前記第１実施例のような搬送台部材
３５の回転を規制するための電磁石４４．４５は必要な
く、したがってそれらを省略することによりそれだけ全
体のコストを低減することができる。

なお、上記搬送台部材５７は筒状部材で形成されていた
が、後述する第３実施例の搬送台部材７５．７６のよう
に中実部材で形成したものでもよい。

第５図には、本発明の第３実施例を示す。前記実施例に
おいては搬送台部材３５あるいは５７が一本のものであ
ったのに対し、この第３実施例では、前記第２実施例の
ような長円断面を有する部材で形成された二本の搬送台
部材７５．７６を互いに直角に交差させてＸＹテーブル
を構成したものである。

すなわち、二本の搬送台部材７５．７６の上に塵を嫌う
被搬送物７８を載置く支持）し、リニアモータのような
ＸＹ方向駆動装置８０（駆動手段）により二本の搬送台
部材７５．７６を別々に駆動して、被搬送物７８のＸＹ
方向送りをするようになっている。搬送台部材７５．７
６の磁気浮上は、前記実施例と同様に電磁石（特に図示
せず）により行う。

このような第３実施例によれば、真空室内であっても塵
を嫌う物のＸＹ方向送りによる位置出しを容易に行うこ
とができる。

なお、前記第１実施例においては、脚板３７を搬送台部
材３５の下側に設けたが、脚板３７は搬送台部材３５の
上側に設けてもよい。

また前記第１実施例においては、搬送台部材３５の一端
部に被搬送物を支持する支持台３６が設けられていたが
、その他端部のほうにも支持台を設けてもよい。

また前記実施例においては、磁気浮上型搬送装置を真空
容器内に置いたものであったが、磁気浮上型搬送装置は
クリーンルーム内に置いてもよい。

また前記実施例においては、真空容器内に置かれるため
に駆動手段としてリニアモータを用いていたが、クリー
ンルーム内に置がれる場合にはこれら以外の駆動手段、
たとえば牽引ケーブル等を用いてもよい、クリーンルー
ム内では上から下に向かう空気の流れがあり、この空気
の流れの下流に牽引ケーブル等を用いれば牽引ケーブル
等の接触部から細かい塵が出ても、塵はさらに下流に流
されて被搬送物に付着することを防止することができる
からである。

（発明の効果）以上説明したように本発明によれば、搬送台部材が支持
構造と非接触の状態で駆動手段によりその軸方向に移動
して被搬送物を搬送することにより、細かい塵が出るの
を防止して真空室あるいはクリーンルームを清浄に維持
し、被搬送物に塵が付着するのを防止することができる
。

また、搬送台部材３５は支持構造３２．３３と非接触の
状態でその軸方向に移動可能になっているなめ、搬送台
部材３５は非常にスムーズに移動することができる。

また、前記第６．７図に示す従来の搬送装置のように真
空容器の外側からハンドル介して操作する必要がないな
め、磁気浮上型搬送装置ｆｆ　３０全体を真空容器２５
内に収納することができる。

また前記第２実施例によれば、前記第１実施例のような
搬送台部材の回転を規制するための電磁石は必要なく、
したがってそれらを省略することによりそれだけ全体の
コストを低減することができる。

さらに前記第３実施例によれば、真空室あるいはクリー
ンルーム内でも塵を嫌う物のＸＹ方向送りによる位置出
しを容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１．２図は本発明による磁気浮上型搬送装置の第１実
施例を示す図であり、第１図はその側面図、第２図は第
１図における■矢視止血図、第３．４図は本発明の第２
実施例を示す図であり、第３図は磁気浮上型搬送装置の
側面図、第４図は第３図におけるＩＶ矢視正面図、第５
図は本発明の第３実施例を示す磁気浮上型搬送装置の斜
視図、第６．７図は従来の搬送装置を示す側面図である
。２５・・・真空容器３０・・・磁気浮上型搬送装置３２．３３．５９．６０・・・支持構造３５．５７．７
５．７６・・・搬送台部材３６．５８・・・支持台３７・・・脚板３８．６８・・・リニアモータ４０〜４５．６１〜６４・・・電磁石（磁気浮上手段）４７．６７・・・椙遺体５０、５１、５２、５３、５４、５５・・・隙間センサ７８・・・被搬送物８０・・・ＸＹ方向駆動装置（駆動手段）特許出願人　
　セイコー精機株式会社第４図；４さ４５だコｌｑの第２亥え七１イ列セテテ＼１ｊ″
■２コ第６図＃：粂伶１茗示１便１面図第７図

Claims

【特許請求の範囲】

被搬送物を支持し所定長さを有する搬送台部材と、この
搬送台部材が挿通し搬送台部材を軸方向に移動可能に支
持する支持構造と、前記搬送台部材の周面に対向するよ
う前記支持構造に設けられ搬送台部材の周面との間に所
定の隙間を形成するよう搬送台部材を磁力により浮上さ
せる磁気浮上手段と、前記搬送台部材を軸方向に移動さ
せる駆動手段と、を備えたことを特徴とする磁気浮上型
搬送装置。