JPS63202204A - 磁気浮上型搬送装置 - Google Patents
磁気浮上型搬送装置Info
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- JPS63202204A JPS63202204A JP3268287A JP3268287A JPS63202204A JP S63202204 A JPS63202204 A JP S63202204A JP 3268287 A JP3268287 A JP 3268287A JP 3268287 A JP3268287 A JP 3268287A JP S63202204 A JPS63202204 A JP S63202204A
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Links
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Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体製造工場など清浄環境下での使用に適
する磁気浮上型搬送装置に関する。
する磁気浮上型搬送装置に関する。
〈従来の技術)
二層$$41ノシーフ〒バー竺ズ一「豐引ILA〒侶i
ハ制カ環境下で作業が行われるものがある。このため、
半導体ウェハーやその他の物を搬送する装置にあっても
、その搬送中に細かい塵が出ないようなものが求められ
る。
ハ制カ環境下で作業が行われるものがある。このため、
半導体ウェハーやその他の物を搬送する装置にあっても
、その搬送中に細かい塵が出ないようなものが求められ
る。
このような真空環境下で用いられる搬送装置としては従
来、たとえば、第6.7図に示すようなものがある。
来、たとえば、第6.7図に示すようなものがある。
第6図に示す従来の搬送装置は、真空容器1内に滑り軸
受2.3を介して、その一端部に支持台5が設けられた
搬送台部材6をその軸線方向に摺動自在に収納し、搬送
台部材6の他端部に設けられた磁石10.11と外部の
ハンドル8に設けられた磁石12.13との吸引力を介
して、ハンドル8を操作することにより搬送台部材6を
その軸線方向に移動させて支持台5の上の被搬送物を所
定位置まで搬送するようになっている。
受2.3を介して、その一端部に支持台5が設けられた
搬送台部材6をその軸線方向に摺動自在に収納し、搬送
台部材6の他端部に設けられた磁石10.11と外部の
ハンドル8に設けられた磁石12.13との吸引力を介
して、ハンドル8を操作することにより搬送台部材6を
その軸線方向に移動させて支持台5の上の被搬送物を所
定位置まで搬送するようになっている。
また、第7図に示す従来の搬送装置は、真空容器15内
にその一端部に支持台16が設けられた搬送台部材18
を収納し、搬送台部材18の他端部に設けられた蛇腹2
0およびハンドル22を介して、ハンドル22を操作す
ることにより搬送台部材18をその軸線方向あるいは上
下左右方向に移動させて支持台16の上の被搬送物を所
定位置まで搬送するようになっている。
にその一端部に支持台16が設けられた搬送台部材18
を収納し、搬送台部材18の他端部に設けられた蛇腹2
0およびハンドル22を介して、ハンドル22を操作す
ることにより搬送台部材18をその軸線方向あるいは上
下左右方向に移動させて支持台16の上の被搬送物を所
定位置まで搬送するようになっている。
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、前記第6図に示すような従来の搬送装置
にあっては、真空容器1内で搬送台部材6が軸受2.3
と接触しな状態でその軸線方向に移動するようになって
いるため、その接触部から細かい塵が出て被搬送物に付
着するおそれがある。
にあっては、真空容器1内で搬送台部材6が軸受2.3
と接触しな状態でその軸線方向に移動するようになって
いるため、その接触部から細かい塵が出て被搬送物に付
着するおそれがある。
また、前記第7図に示すような従来の搬送装置にあって
は、蛇腹20を介して搬送台部材18をその軸線方向あ
るいは上下左右方向に移動させるようになっていたため
、その蛇腹20が伸縮あるいは折り曲げ変形を受けて長
い間の使用により疲労劣化し、古くなるとそのような変
形の度にその疲労劣化部から細かい塵が出たりあるいは
破損したりして、被搬送物に塵が付着するおそれがあ(
問題点を解決するための手段) そこで本発明は前記問題点を解決するため、被搬送物を
支持し所定長さを有する搬送台部材と、この搬送台部材
が挿通し搬送台部材を軸方向に移動可能に支持する支持
構造と、前記搬送台部材の周面に対向するよう前記支持
構造に設けられ搬送台部材の周面との間に所定の隙間を
形成するよう搬送台部材を磁力により浮上させる磁気浮
上手段と、前記搬送台部材を軸方向に移動させる駆動手
段と、を備えた構成としたものである。
は、蛇腹20を介して搬送台部材18をその軸線方向あ
るいは上下左右方向に移動させるようになっていたため
、その蛇腹20が伸縮あるいは折り曲げ変形を受けて長
い間の使用により疲労劣化し、古くなるとそのような変
形の度にその疲労劣化部から細かい塵が出たりあるいは
破損したりして、被搬送物に塵が付着するおそれがあ(
問題点を解決するための手段) そこで本発明は前記問題点を解決するため、被搬送物を
支持し所定長さを有する搬送台部材と、この搬送台部材
が挿通し搬送台部材を軸方向に移動可能に支持する支持
構造と、前記搬送台部材の周面に対向するよう前記支持
構造に設けられ搬送台部材の周面との間に所定の隙間を
形成するよう搬送台部材を磁力により浮上させる磁気浮
上手段と、前記搬送台部材を軸方向に移動させる駆動手
段と、を備えた構成としたものである。
(作用)
このような構成の磁気浮上型搬送装置によれば、被搬送
物を支持した搬送台部材が磁気浮上手段の磁力により支
持構造内で浮上し、搬送台部材が支持構造と非接触の状
態で駆動手段により軸方向に移動して被搬送物を搬送す
ることにより、細かい塵が出るのを防止してクリーンル
ームあるいは真空室を清浄に維持し、被搬送物に塵が付
着するのを防止することができる。
物を支持した搬送台部材が磁気浮上手段の磁力により支
持構造内で浮上し、搬送台部材が支持構造と非接触の状
態で駆動手段により軸方向に移動して被搬送物を搬送す
ることにより、細かい塵が出るのを防止してクリーンル
ームあるいは真空室を清浄に維持し、被搬送物に塵が付
着するのを防止することができる。
(実施例)
以下、本発明の実施例について図面に基づいて説明する
。第1.2図は本発明による磁気浮上型搬送装置の第1
実施例を示す図である。
。第1.2図は本発明による磁気浮上型搬送装置の第1
実施例を示す図である。
まず構成について説明すると、第1図において、25は
真空容器であり、この真空容器25内には磁気浮上型搬
送装置30が収納されている。
真空容器であり、この真空容器25内には磁気浮上型搬
送装置30が収納されている。
磁気浮上型搬送装置30は真空容器25内に固定された
支持構造32.33を有しており、この支持構造32.
33の内側には所定長さを有する搬送台部材35が挿通
して、搬送台部材35をその軸方向に移動可能に支持し
ている。搬送台部材35の一端部には、半導体ウェハー
やその他何かの試料のような塵を嫌う物(被搬送物)を
支持する支持台36が設けられており、搬送台部材35
の下側には全長にわたって脚板37が設けられている。
支持構造32.33を有しており、この支持構造32.
33の内側には所定長さを有する搬送台部材35が挿通
して、搬送台部材35をその軸方向に移動可能に支持し
ている。搬送台部材35の一端部には、半導体ウェハー
やその他何かの試料のような塵を嫌う物(被搬送物)を
支持する支持台36が設けられており、搬送台部材35
の下側には全長にわたって脚板37が設けられている。
第2図に示すように、支持構造32.33の内側にはそ
れぞれ搬送台部材35の周面に対向すス雷譜石An
JI A’) A*(庸ケ浬ト千鉛)が設けら
れている。また、脚板37の近傍の支持構造32には電
磁石44.45が脚板37に対向して設けられている。
れぞれ搬送台部材35の周面に対向すス雷譜石An
JI A’) A*(庸ケ浬ト千鉛)が設けら
れている。また、脚板37の近傍の支持構造32には電
磁石44.45が脚板37に対向して設けられている。
これらの電磁石40.41.42.43.44.45は
それぞれ、支持構造32と33との間の構造体47の内
部に格納されたコントローラ(制御回路)にその通電を
制御されるようになっている。
それぞれ、支持構造32と33との間の構造体47の内
部に格納されたコントローラ(制御回路)にその通電を
制御されるようになっている。
電磁石40.41.42.43.44.45のそれぞれ
の近傍の支持構造32.33には第2図に示すように、
これら電磁石の先端面と搬送台部材35の周面あるいは
脚板37どの間の隙間を検知して、前記コントローラに
信号を出力する隙間センサ50.51.52.53.5
4.55が設けられている。
の近傍の支持構造32.33には第2図に示すように、
これら電磁石の先端面と搬送台部材35の周面あるいは
脚板37どの間の隙間を検知して、前記コントローラに
信号を出力する隙間センサ50.51.52.53.5
4.55が設けられている。
第1図に示すように構造体47と脚板37との間には、
搬送台部材35をその軸方向に往復移動させるリニアモ
ータ38(駆動手段)が設けられている。
搬送台部材35をその軸方向に往復移動させるリニアモ
ータ38(駆動手段)が設けられている。
次に作用について説明する。前記コントローラから電磁
石40.41.42.43に通電すると、これらの磁力
によりこれらの先端面が搬送台部材35の周面との間に
等しく所定の隙間を形成するよう搬送台部材35を支持
構造32.33の内側に浮上させる。また、前記コント
ローラから電磁石44.45に通電すると、これらの磁
力によりこれらの先端面が脚板37との間に等しく所定
の隙間を形成することにより、搬送台部材35が支持構
造32.33の内側で軸回りに回転しないよう規制する
。このように各電磁石がコントローラにより制御されて
いる間、前記隙間センサ50.51.52.53.54
.55のそれぞれはたえずコントローラに信号を出力し
て前記制御を可能にし、円滑に行わせている。
石40.41.42.43に通電すると、これらの磁力
によりこれらの先端面が搬送台部材35の周面との間に
等しく所定の隙間を形成するよう搬送台部材35を支持
構造32.33の内側に浮上させる。また、前記コント
ローラから電磁石44.45に通電すると、これらの磁
力によりこれらの先端面が脚板37との間に等しく所定
の隙間を形成することにより、搬送台部材35が支持構
造32.33の内側で軸回りに回転しないよう規制する
。このように各電磁石がコントローラにより制御されて
いる間、前記隙間センサ50.51.52.53.54
.55のそれぞれはたえずコントローラに信号を出力し
て前記制御を可能にし、円滑に行わせている。
そして、上述のように搬送台部材35を磁気浮上させた
状態でリニアモータ38を作動させることにより、その
上に半導体ウェハーやその他車を嫌う被搬送物を載置(
支持)した搬送台部材35をその軸方向に移動させる。
状態でリニアモータ38を作動させることにより、その
上に半導体ウェハーやその他車を嫌う被搬送物を載置(
支持)した搬送台部材35をその軸方向に移動させる。
このように、搬送台部材35は非接触の状態でその軸方
向に移動可能に支持構造32.33に支持されることに
より細かい塵が出るのを防止することができ、このこと
により磁気浮上型搬送装置30が置かれている真空容器
25内の真空室を清浄に維持して、被搬送物に塵が付着
するのを防止することができる。
向に移動可能に支持構造32.33に支持されることに
より細かい塵が出るのを防止することができ、このこと
により磁気浮上型搬送装置30が置かれている真空容器
25内の真空室を清浄に維持して、被搬送物に塵が付着
するのを防止することができる。
また、搬送台部材35は支持構造32.33と非接触の
状態でその軸方向に移動可能になっているため、搬送台
部材35は非常にスムーズに移動することができる。
状態でその軸方向に移動可能になっているため、搬送台
部材35は非常にスムーズに移動することができる。
また、前記第6図に示す従来の搬送装置のように磁石の
方をハンドル8を介して操作する煩わしさはなく、電磁
石は支持構造32.33側にしっかりと固定することが
できる。
方をハンドル8を介して操作する煩わしさはなく、電磁
石は支持構造32.33側にしっかりと固定することが
できる。
さらに、前記第6.7図に示す従来の搬送装置のように
真空容器の外側からハンドル介して操作する必要がない
ため、磁気浮上型搬送装W 30全体を真空容器25内
に収納することができる。
真空容器の外側からハンドル介して操作する必要がない
ため、磁気浮上型搬送装W 30全体を真空容器25内
に収納することができる。
第3.4図には、本発明の第2実施例について示す。前
記第1実施例においては搬送台部材35が円筒状部材に
より形成されていたのに対し、この第2実施例では搬送
台部材57が長円断面を有する筒状部材で形成されてい
て、この搬送台部材57の両側部は第4図に示すように
半円形の断面を有している。そして、搬送台部材57の
半円形断面の両側部の周面に対向する電磁石61.62
.63.64(磁気浮上手段)が、支持構造59.60
の内側にそれぞれ設けられている。を磁石61.62.
63.64のそれぞれの近傍の支持構造59.60には
、第4図に示すように、これら電磁石の先端面と搬送台
部材57の半円形断面の両側部の周面との間の隙間を検
知して国外のコントローラに信号を出力する、隙間セン
サ70.71.72.73が設けられている。
記第1実施例においては搬送台部材35が円筒状部材に
より形成されていたのに対し、この第2実施例では搬送
台部材57が長円断面を有する筒状部材で形成されてい
て、この搬送台部材57の両側部は第4図に示すように
半円形の断面を有している。そして、搬送台部材57の
半円形断面の両側部の周面に対向する電磁石61.62
.63.64(磁気浮上手段)が、支持構造59.60
の内側にそれぞれ設けられている。を磁石61.62.
63.64のそれぞれの近傍の支持構造59.60には
、第4図に示すように、これら電磁石の先端面と搬送台
部材57の半円形断面の両側部の周面との間の隙間を検
知して国外のコントローラに信号を出力する、隙間セン
サ70.71.72.73が設けられている。
第3図に示すように、搬送台部材57の一端部には、半
導体ウェハーやその他何かの試料のような塵を嫌う物(
被搬送物)を支持する支持台58が設けられている。ま
た、支持構造59と60との間の構造体67と搬送台部
材57との間には、搬送台部材57をその軸方向に往復
移動させるリニアモータ68(駆動手段)が設けられて
いる。
導体ウェハーやその他何かの試料のような塵を嫌う物(
被搬送物)を支持する支持台58が設けられている。ま
た、支持構造59と60との間の構造体67と搬送台部
材57との間には、搬送台部材57をその軸方向に往復
移動させるリニアモータ68(駆動手段)が設けられて
いる。
このような第2実施例によれば、搬送台部材57は長円
断面を有する筒状部材で形成されていて、その半円形断
面の両側部の周面にそれぞれ対向する電磁石61.62
.63.64により磁気浮上するようになっているため
、搬送台部材57にその軸線回りに回転力が生ずること
はない、このため、前記第1実施例のような搬送台部材
35の回転を規制するための電磁石44.45は必要な
く、したがってそれらを省略することによりそれだけ全
体のコストを低減することができる。
断面を有する筒状部材で形成されていて、その半円形断
面の両側部の周面にそれぞれ対向する電磁石61.62
.63.64により磁気浮上するようになっているため
、搬送台部材57にその軸線回りに回転力が生ずること
はない、このため、前記第1実施例のような搬送台部材
35の回転を規制するための電磁石44.45は必要な
く、したがってそれらを省略することによりそれだけ全
体のコストを低減することができる。
なお、上記搬送台部材57は筒状部材で形成されていた
が、後述する第3実施例の搬送台部材75.76のよう
に中実部材で形成したものでもよい。
が、後述する第3実施例の搬送台部材75.76のよう
に中実部材で形成したものでもよい。
第5図には、本発明の第3実施例を示す。前記実施例に
おいては搬送台部材35あるいは57が一本のものであ
ったのに対し、この第3実施例では、前記第2実施例の
ような長円断面を有する部材で形成された二本の搬送台
部材75.76を互いに直角に交差させてXYテーブル
を構成したものである。
おいては搬送台部材35あるいは57が一本のものであ
ったのに対し、この第3実施例では、前記第2実施例の
ような長円断面を有する部材で形成された二本の搬送台
部材75.76を互いに直角に交差させてXYテーブル
を構成したものである。
すなわち、二本の搬送台部材75.76の上に塵を嫌う
被搬送物78を載置く支持)し、リニアモータのような
XY方向駆動装置80(駆動手段)により二本の搬送台
部材75.76を別々に駆動して、被搬送物78のXY
方向送りをするようになっている。搬送台部材75.7
6の磁気浮上は、前記実施例と同様に電磁石(特に図示
せず)により行う。
被搬送物78を載置く支持)し、リニアモータのような
XY方向駆動装置80(駆動手段)により二本の搬送台
部材75.76を別々に駆動して、被搬送物78のXY
方向送りをするようになっている。搬送台部材75.7
6の磁気浮上は、前記実施例と同様に電磁石(特に図示
せず)により行う。
このような第3実施例によれば、真空室内であっても塵
を嫌う物のXY方向送りによる位置出しを容易に行うこ
とができる。
を嫌う物のXY方向送りによる位置出しを容易に行うこ
とができる。
なお、前記第1実施例においては、脚板37を搬送台部
材35の下側に設けたが、脚板37は搬送台部材35の
上側に設けてもよい。
材35の下側に設けたが、脚板37は搬送台部材35の
上側に設けてもよい。
また前記第1実施例においては、搬送台部材35の一端
部に被搬送物を支持する支持台36が設けられていたが
、その他端部のほうにも支持台を設けてもよい。
部に被搬送物を支持する支持台36が設けられていたが
、その他端部のほうにも支持台を設けてもよい。
また前記実施例においては、磁気浮上型搬送装置を真空
容器内に置いたものであったが、磁気浮上型搬送装置は
クリーンルーム内に置いてもよい。
容器内に置いたものであったが、磁気浮上型搬送装置は
クリーンルーム内に置いてもよい。
また前記実施例においては、真空容器内に置かれるため
に駆動手段としてリニアモータを用いていたが、クリー
ンルーム内に置がれる場合にはこれら以外の駆動手段、
たとえば牽引ケーブル等を用いてもよい、クリーンルー
ム内では上から下に向かう空気の流れがあり、この空気
の流れの下流に牽引ケーブル等を用いれば牽引ケーブル
等の接触部から細かい塵が出ても、塵はさらに下流に流
されて被搬送物に付着することを防止することができる
からである。
に駆動手段としてリニアモータを用いていたが、クリー
ンルーム内に置がれる場合にはこれら以外の駆動手段、
たとえば牽引ケーブル等を用いてもよい、クリーンルー
ム内では上から下に向かう空気の流れがあり、この空気
の流れの下流に牽引ケーブル等を用いれば牽引ケーブル
等の接触部から細かい塵が出ても、塵はさらに下流に流
されて被搬送物に付着することを防止することができる
からである。
(発明の効果)
以上説明したように本発明によれば、搬送台部材が支持
構造と非接触の状態で駆動手段によりその軸方向に移動
して被搬送物を搬送することにより、細かい塵が出るの
を防止して真空室あるいはクリーンルームを清浄に維持
し、被搬送物に塵が付着するのを防止することができる
。
構造と非接触の状態で駆動手段によりその軸方向に移動
して被搬送物を搬送することにより、細かい塵が出るの
を防止して真空室あるいはクリーンルームを清浄に維持
し、被搬送物に塵が付着するのを防止することができる
。
また、搬送台部材35は支持構造32.33と非接触の
状態でその軸方向に移動可能になっているなめ、搬送台
部材35は非常にスムーズに移動することができる。
状態でその軸方向に移動可能になっているなめ、搬送台
部材35は非常にスムーズに移動することができる。
また、前記第6図に示す従来の搬送装置のように磁石の
方をハンドル8を介して操作する煩わしさはなく、電磁
石は支持構造32.33側にしっかりと固定することが
できる。
方をハンドル8を介して操作する煩わしさはなく、電磁
石は支持構造32.33側にしっかりと固定することが
できる。
また、前記第6.7図に示す従来の搬送装置のように真
空容器の外側からハンドル介して操作する必要がないな
め、磁気浮上型搬送装置ff 30全体を真空容器25
内に収納することができる。
空容器の外側からハンドル介して操作する必要がないな
め、磁気浮上型搬送装置ff 30全体を真空容器25
内に収納することができる。
また前記第2実施例によれば、前記第1実施例のような
搬送台部材の回転を規制するための電磁石は必要なく、
したがってそれらを省略することによりそれだけ全体の
コストを低減することができる。
搬送台部材の回転を規制するための電磁石は必要なく、
したがってそれらを省略することによりそれだけ全体の
コストを低減することができる。
さらに前記第3実施例によれば、真空室あるいはクリー
ンルーム内でも塵を嫌う物のXY方向送りによる位置出
しを容易に行うことができる。
ンルーム内でも塵を嫌う物のXY方向送りによる位置出
しを容易に行うことができる。
第1.2図は本発明による磁気浮上型搬送装置の第1実
施例を示す図であり、第1図はその側面図、第2図は第
1図における■矢視止血図、第3.4図は本発明の第2
実施例を示す図であり、第3図は磁気浮上型搬送装置の
側面図、第4図は第3図におけるIV矢視正面図、第5
図は本発明の第3実施例を示す磁気浮上型搬送装置の斜
視図、第6.7図は従来の搬送装置を示す側面図である
。 25・・・真空容器 30・・・磁気浮上型搬送装置 32.33.59.60・・・支持構造35.57.7
5.76・・・搬送台部材36.58・・・支持台 37・・・脚板 38.68・・・リニアモータ 40〜45.61〜64 ・・・電磁石(磁気浮上手段) 47.67・・・椙遺体 50、51、52、53、54、55 ・・・隙間センサ 78・・・被搬送物 80・・・XY方向駆動装置(駆動手段)特許出願人
セイコー精機株式会社 第4図 ;4さ45だコlqの第2亥え七1イ列セテテ\1j″
■2コ第6図 #:粂伶1茗示1便1面図 第7図
施例を示す図であり、第1図はその側面図、第2図は第
1図における■矢視止血図、第3.4図は本発明の第2
実施例を示す図であり、第3図は磁気浮上型搬送装置の
側面図、第4図は第3図におけるIV矢視正面図、第5
図は本発明の第3実施例を示す磁気浮上型搬送装置の斜
視図、第6.7図は従来の搬送装置を示す側面図である
。 25・・・真空容器 30・・・磁気浮上型搬送装置 32.33.59.60・・・支持構造35.57.7
5.76・・・搬送台部材36.58・・・支持台 37・・・脚板 38.68・・・リニアモータ 40〜45.61〜64 ・・・電磁石(磁気浮上手段) 47.67・・・椙遺体 50、51、52、53、54、55 ・・・隙間センサ 78・・・被搬送物 80・・・XY方向駆動装置(駆動手段)特許出願人
セイコー精機株式会社 第4図 ;4さ45だコlqの第2亥え七1イ列セテテ\1j″
■2コ第6図 #:粂伶1茗示1便1面図 第7図
Claims (1)
- 被搬送物を支持し所定長さを有する搬送台部材と、この
搬送台部材が挿通し搬送台部材を軸方向に移動可能に支
持する支持構造と、前記搬送台部材の周面に対向するよ
う前記支持構造に設けられ搬送台部材の周面との間に所
定の隙間を形成するよう搬送台部材を磁力により浮上さ
せる磁気浮上手段と、前記搬送台部材を軸方向に移動さ
せる駆動手段と、を備えたことを特徴とする磁気浮上型
搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3268287A JPS63202204A (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 | 磁気浮上型搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3268287A JPS63202204A (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 | 磁気浮上型搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63202204A true JPS63202204A (ja) | 1988-08-22 |
Family
ID=12365644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3268287A Pending JPS63202204A (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 | 磁気浮上型搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63202204A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0253202U (ja) * | 1988-10-04 | 1990-04-17 | ||
JPH04286537A (ja) * | 1991-03-18 | 1992-10-12 | Seiko Seiki Co Ltd | 搬送装置 |
US5476046A (en) * | 1994-09-14 | 1995-12-19 | Northrop Grumman Corporation | Magnetic suspension and guidance system and method |
-
1987
- 1987-02-16 JP JP3268287A patent/JPS63202204A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0253202U (ja) * | 1988-10-04 | 1990-04-17 | ||
JPH04286537A (ja) * | 1991-03-18 | 1992-10-12 | Seiko Seiki Co Ltd | 搬送装置 |
US5476046A (en) * | 1994-09-14 | 1995-12-19 | Northrop Grumman Corporation | Magnetic suspension and guidance system and method |
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