JPS638121A - クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 - Google Patents
クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置Info
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- JPS638121A JPS638121A JP61147691A JP14769186A JPS638121A JP S638121 A JPS638121 A JP S638121A JP 61147691 A JP61147691 A JP 61147691A JP 14769186 A JP14769186 A JP 14769186A JP S638121 A JPS638121 A JP S638121A
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Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、クリーンルーム内において、例えば半導体製
造工程における中間製品を搬送するクリーンルーム内に
おけるリニアモータ搬送装置に関するものである。
造工程における中間製品を搬送するクリーンルーム内に
おけるリニアモータ搬送装置に関するものである。
「従来の技術」
近年、半導体製造ラインにおいては、塵埃の混入を極度
に嫌うため、クリーンルームの使用は欠かせない。また
、このクリーンルーム内での半導体製造ラインにおける
ウェハ搬送装置においては、非常に多くの工程間をウェ
ハが往復することになるため搬送装置の自動化が行なわ
れている。そして、前記クリーンルーム内における既存
の搬送装置ではギヤ、プーリ等の発塵源を多くもってい
るため、無人搬送台車にしても、またレール上走行式台
車にしても、いずれも発塵源部の吸気を行い発塵源から
発生した塵を吸い取りクリーンルーム内への塵の流出を
防いでいる。
に嫌うため、クリーンルームの使用は欠かせない。また
、このクリーンルーム内での半導体製造ラインにおける
ウェハ搬送装置においては、非常に多くの工程間をウェ
ハが往復することになるため搬送装置の自動化が行なわ
れている。そして、前記クリーンルーム内における既存
の搬送装置ではギヤ、プーリ等の発塵源を多くもってい
るため、無人搬送台車にしても、またレール上走行式台
車にしても、いずれも発塵源部の吸気を行い発塵源から
発生した塵を吸い取りクリーンルーム内への塵の流出を
防いでいる。
「発明が解決しようとする問題点」
ところが、このような従来のクリーンルーム内における
搬送装置においては、前述のようにギヤ。
搬送装置においては、前述のようにギヤ。
プーリ等の発塵源を多くもっているため、発塵源部の吸
気を行い発塵源から発生した塵を吸気と共に吸い取りク
リーンルーム内への塵の流出を防いでいるため、装置が
複雑となり搬送に要する設備コストが高くなる欠点を有
していた。
気を行い発塵源から発生した塵を吸気と共に吸い取りク
リーンルーム内への塵の流出を防いでいるため、装置が
複雑となり搬送に要する設備コストが高くなる欠点を有
していた。
本発明は従来のものがもつ以−１−のような問題点を解
決したクリーンルーム内におけるリニアモータ搬送装置
を提供することを目的とする。
決したクリーンルーム内におけるリニアモータ搬送装置
を提供することを目的とする。
１問題点を解決するための手段」
本発明は前記目的を達成させるために次のようす構成ト
している。即ち、ローラフレームに支持され、レールを
挾むように設けられたローラを介しリニアモータを駆動
源として前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬送
装置において、前記ローラのベアリング部に磁気シール
機構を設けてこのベアリング部を密閉し、前記キャリア
のカバー、前記ローラの外周部及び前記キャリアに設け
られたバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記レ
ールにアルマイト処理、フッ素コーティング処理等の摩
耗防止処理を施している。
している。即ち、ローラフレームに支持され、レールを
挾むように設けられたローラを介しリニアモータを駆動
源として前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬送
装置において、前記ローラのベアリング部に磁気シール
機構を設けてこのベアリング部を密閉し、前記キャリア
のカバー、前記ローラの外周部及び前記キャリアに設け
られたバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記レ
ールにアルマイト処理、フッ素コーティング処理等の摩
耗防止処理を施している。
１作用 」
発塵すると考えられたローラのベアリング部を磁気シー
ル機構により密閉したので、ローラのベアリング部から
のクリーンルーム内への塵の流出を防ぎ、また、カバー
、ローラの外周部及びバンパー等のゴム部に静電防止剤
を混入させたので、これらへの静電気による塵の付着を
防止し、またレールにアルマイト処理、フッ素コーティ
ング処理等の摩耗防止処理を施したので、レール部材の
摩耗を防ぎその結果レールとローラとの間からの塵の発
生を防止する。
ル機構により密閉したので、ローラのベアリング部から
のクリーンルーム内への塵の流出を防ぎ、また、カバー
、ローラの外周部及びバンパー等のゴム部に静電防止剤
を混入させたので、これらへの静電気による塵の付着を
防止し、またレールにアルマイト処理、フッ素コーティ
ング処理等の摩耗防止処理を施したので、レール部材の
摩耗を防ぎその結果レールとローラとの間からの塵の発
生を防止する。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づいて
説明する。第１図中１はクリーンルーム内の天井に上端
を取り付けられた多数のＬ字形の天井ザボートであり、
この天井サポート１は所定の間隔をおいて設けられてい
る。天井ザポートｌにはレール２が取り付けられている
。このレール２はアルミニウムからなり、アルマイト処
理あるいはフッ素コーティング処理が施されている。レ
ール２の幅方向の両端には山形部３，３が形成されてい
る。
説明する。第１図中１はクリーンルーム内の天井に上端
を取り付けられた多数のＬ字形の天井ザボートであり、
この天井サポート１は所定の間隔をおいて設けられてい
る。天井ザポートｌにはレール２が取り付けられている
。このレール２はアルミニウムからなり、アルマイト処
理あるいはフッ素コーティング処理が施されている。レ
ール２の幅方向の両端には山形部３，３が形成されてい
る。
一方、レール２の長さ方向に延びるメインフレーム（台
車フレーム）４の両端側にそれぞれローラフレーム５が
軸４ａを介して回転可能に設けられている。ローラフレ
ーム５．５にはそれぞれローラ６が回転自在に支持され
ている。ローラ６はレール２を挾むように山形部３．３
に接触してレール２の両側にそれぞれ２個ずつ計４個設
けられて１組となっており、これら４個１組のローラ６
がレール２の長さ方向に間隔をおいて一対設けられてい
る。即ち、ローラ６は合計８個設（）られている。
車フレーム）４の両端側にそれぞれローラフレーム５が
軸４ａを介して回転可能に設けられている。ローラフレ
ーム５．５にはそれぞれローラ６が回転自在に支持され
ている。ローラ６はレール２を挾むように山形部３．３
に接触してレール２の両側にそれぞれ２個ずつ計４個設
けられて１組となっており、これら４個１組のローラ６
がレール２の長さ方向に間隔をおいて一対設けられてい
る。即ち、ローラ６は合計８個設（）られている。
前に己メインフレーム４１こはこのメインフレーム４及
びローラフレーム５を覆ってカバー４ｂが取り付けられ
ている。
びローラフレーム５を覆ってカバー４ｂが取り付けられ
ている。
前記メインフレーム４には前記ローラフレーム５．５間
に位置して二次導体７が取り付けられている。またメイ
ンフレーム４の両端部にはゴムからなるバンパー８．８
が設けられている。
に位置して二次導体７が取り付けられている。またメイ
ンフレーム４の両端部にはゴムからなるバンパー８．８
が設けられている。
他方、レール２の二次導体７側面にはレール２の長さ方
向に所定の間隔をおき、かつ前記二次導４一 体７に対向し得る位置に位置して複数のリニアインダク
ションモータ９が取り付けられている。またレール２に
は、リニアインダクンヨンモータ９を覆うカバー４０が
取り付けられると共にカバー４０の反対側に位置してカ
バー４ｄが取り付けられている。
向に所定の間隔をおき、かつ前記二次導４一 体７に対向し得る位置に位置して複数のリニアインダク
ションモータ９が取り付けられている。またレール２に
は、リニアインダクンヨンモータ９を覆うカバー４０が
取り付けられると共にカバー４０の反対側に位置してカ
バー４ｄが取り付けられている。
また、メインフレーム４の上部にはウェハカセット１２
が取り付けられている。このウェハカセット１２内には
ウェハ１３が収納されている。
が取り付けられている。このウェハカセット１２内には
ウェハ１３が収納されている。
前記各ローラ６は、ローラフレーム５にそれぞれ設けら
れた複数のローラ軸１４にベアリング１５．１５を介し
て非磁性体（アルミニウム）からなるリング１６を回転
自在に取り付けられて設けられている。リング１６の外
周にはリング状のウレタンゴム１７が嵌合固着されてい
る。
れた複数のローラ軸１４にベアリング１５．１５を介し
て非磁性体（アルミニウム）からなるリング１６を回転
自在に取り付けられて設けられている。リング１６の外
周にはリング状のウレタンゴム１７が嵌合固着されてい
る。
また、リング１６とローラ軸１４との間にはベアリング
＋ ５．１５の外側に位置して非磁性体からなるスペー
サＩ８及び磁性体板１９．１９間に磁石板２０を挾んで
なる磁気シール部材２１が設けられている。スペーサ１
８及び磁気シール部材２Ｉとローラ軸１４との間には磁
性流体２２が設（Ｊられている。１４ａはローラ軸１４
が持つベアリング押さえである。従って、ローラ６のベ
アリングｌ ５，１５は磁気ノール部材２１及び磁性流
体２２により外部と遮断されている。なお、カバー ４
１）、４０．４ ｄ、バンパー８．ローラ６のウレタン
ゴム１７等のゴム部分には、静電気防止部材が混入され
ている。なお、メインフレーム４．ローラフレーム５．
ローラ６、ウェハカセット＋２．カバー４ｂ等によりリ
ニアインダクンヨンモータ９によって駆動されるキャリ
アが構成されている。
＋ ５．１５の外側に位置して非磁性体からなるスペー
サＩ８及び磁性体板１９．１９間に磁石板２０を挾んで
なる磁気シール部材２１が設けられている。スペーサ１
８及び磁気シール部材２Ｉとローラ軸１４との間には磁
性流体２２が設（Ｊられている。１４ａはローラ軸１４
が持つベアリング押さえである。従って、ローラ６のベ
アリングｌ ５，１５は磁気ノール部材２１及び磁性流
体２２により外部と遮断されている。なお、カバー ４
１）、４０．４ ｄ、バンパー８．ローラ６のウレタン
ゴム１７等のゴム部分には、静電気防止部材が混入され
ている。なお、メインフレーム４．ローラフレーム５．
ローラ６、ウェハカセット＋２．カバー４ｂ等によりリ
ニアインダクンヨンモータ９によって駆動されるキャリ
アが構成されている。
しかして、前記のように構成されたクリーンルーム内に
おけるリーアモータ搬送装置を作動させると、レール２
に沿い、ローラ６を介し、リニアインダクションモータ
９を駆動源としてメインフレーム４．ローラフレーム５
．ウェハカセット１２゜カバー４ｂ等が移動し、ウェハ
１３が搬送される。
おけるリーアモータ搬送装置を作動させると、レール２
に沿い、ローラ６を介し、リニアインダクションモータ
９を駆動源としてメインフレーム４．ローラフレーム５
．ウェハカセット１２゜カバー４ｂ等が移動し、ウェハ
１３が搬送される。
このとき、ローラ６のベアリング１５部を磁気ノール部
材２＋、磁性流体２２等からなる磁気シール機構により
密閉したので、発塵すると考えられたローラ６のベアリ
ング１５部からのクリーンルーム内への塵の流出を防ぎ
、また、カバー、ローラ６の外周部及びバンパー８等の
ゴム部に静電防止剤を混入させたので、静電気によるこ
れらへの塵の付着を防止し、またレール２にアルマイト
処理またはフッ素コーティング処理を施したので、レー
ル部材の摩耗を防ぎその結果レール２とローラ６のウレ
タンゴムＩ７との間からの塵の発生を防止する。
材２＋、磁性流体２２等からなる磁気シール機構により
密閉したので、発塵すると考えられたローラ６のベアリ
ング１５部からのクリーンルーム内への塵の流出を防ぎ
、また、カバー、ローラ６の外周部及びバンパー８等の
ゴム部に静電防止剤を混入させたので、静電気によるこ
れらへの塵の付着を防止し、またレール２にアルマイト
処理またはフッ素コーティング処理を施したので、レー
ル部材の摩耗を防ぎその結果レール２とローラ６のウレ
タンゴムＩ７との間からの塵の発生を防止する。
「発明の効果」
本発明によれば、ローラフレームに支持され、レールを
挾むように設けられたローラを介しリニアモータを駆動
源として前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬送
装置において、前記ローラのベアリング部に磁気シール
機構を設置ノてこのヘアリング部を密閉し、前記キャリ
アのカバー、前記ローラの外周部及び前記キャリアに設
けられたバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記
レールにアルマイト処理、フッ素コーティング処理等の
摩耗防止処理を施したので、発塵すると考えられたロー
ラのベアリング部からのクリーンルーム内への塵の流出
を防ぐことができ、また、カバー、ローラの外周部及び
バンパーに静電防止剤を混入させたことから、これらへ
の静電気による塵の付着を防止することができ、またレ
ールに前記摩耗防止処理を施したので、レール部材の摩
耗を防ぎその結果レールとローラとの間からの塵の発生
を防止することができ、しかも前述のベアリング密閉手
段、静電気発生防止手段及び摩耗防止手段はいずれも簡
単な手段であるので、本発明を安価に提供することがで
きる。
挾むように設けられたローラを介しリニアモータを駆動
源として前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬送
装置において、前記ローラのベアリング部に磁気シール
機構を設置ノてこのヘアリング部を密閉し、前記キャリ
アのカバー、前記ローラの外周部及び前記キャリアに設
けられたバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記
レールにアルマイト処理、フッ素コーティング処理等の
摩耗防止処理を施したので、発塵すると考えられたロー
ラのベアリング部からのクリーンルーム内への塵の流出
を防ぐことができ、また、カバー、ローラの外周部及び
バンパーに静電防止剤を混入させたことから、これらへ
の静電気による塵の付着を防止することができ、またレ
ールに前記摩耗防止処理を施したので、レール部材の摩
耗を防ぎその結果レールとローラとの間からの塵の発生
を防止することができ、しかも前述のベアリング密閉手
段、静電気発生防止手段及び摩耗防止手段はいずれも簡
単な手段であるので、本発明を安価に提供することがで
きる。
第１図は本発明の一実施例を示す一部省略縦断面図、第
２図はそのローラ軸とローラとの関係を示す断面図であ
る。 ２・・・・・レール、４・・・・・・メインフレーム（
台車フレーム）、４ ｂ、４ ｃ、４ ｄ・・・・・・
カバー、５・・・・・ローラフレーム、６・・・・・・
ローラ、８・・・・・バンパー、９・・・・ リニアイ
ンダクノヨンモータ、１２・・・・・・ウェハカセット
、１５・・・・・・ベアリング、Ｉ９・・・・・・磁性
体板、２０・・・・・磁石板、２１・・・磁気レール部
材、２２・・・・・・磁性流体。
２図はそのローラ軸とローラとの関係を示す断面図であ
る。 ２・・・・・レール、４・・・・・・メインフレーム（
台車フレーム）、４ ｂ、４ ｃ、４ ｄ・・・・・・
カバー、５・・・・・ローラフレーム、６・・・・・・
ローラ、８・・・・・バンパー、９・・・・ リニアイ
ンダクノヨンモータ、１２・・・・・・ウェハカセット
、１５・・・・・・ベアリング、Ｉ９・・・・・・磁性
体板、２０・・・・・磁石板、２１・・・磁気レール部
材、２２・・・・・・磁性流体。
Claims (1)
- ローラフレームに支持され、レールを挾むように設けら
れたローラを介しリニアモータを駆動源として前記レー
ルに沿ってキャリアを走行させる搬送装置において、前
記ローラのベアリング部に磁気シール機構を設けてこの
ベアリング部を密閉し、前記キャリアのカバー、前記ロ
ーラの外周部及び前記キャリアに設けられたバンパーの
ゴム部に静電防止剤を混入し、前記レールにアルマイト
処理、フッ素コーティング処理等の摩耗防止処理を施し
たことを特徴とするクリーンルーム内におけるリニアモ
ータ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61147691A JPH0829829B2 (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61147691A JPH0829829B2 (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS638121A true JPS638121A (ja) | 1988-01-13 |
| JPH0829829B2 JPH0829829B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=15436091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61147691A Expired - Lifetime JPH0829829B2 (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0829829B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0636561A1 (en) * | 1993-07-30 | 1995-02-01 | Shinko Electric Co. Ltd. | Transport system |
| US6471459B2 (en) * | 1998-05-20 | 2002-10-29 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Substrate transfer shuttle having a magnetic drive |
| JP2009078665A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toyoda Gosei Co Ltd | ドアウエザストリップ |
| CN105857489A (zh) * | 2016-05-25 | 2016-08-17 | 江苏帕维电动科技有限公司 | 一种减震防静电电动车把手 |
| WO2019230167A1 (ja) | 2018-06-01 | 2019-12-05 | 株式会社転造技術研究所 | 二重ねじ構成体とその締結体 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101656058B1 (ko) * | 2015-07-31 | 2016-09-08 | 이진우 | 모자 제조방법 |
-
1986
- 1986-06-24 JP JP61147691A patent/JPH0829829B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0636561A1 (en) * | 1993-07-30 | 1995-02-01 | Shinko Electric Co. Ltd. | Transport system |
| US6471459B2 (en) * | 1998-05-20 | 2002-10-29 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Substrate transfer shuttle having a magnetic drive |
| US6679671B2 (en) | 1998-05-20 | 2004-01-20 | Applied Materials, Inc. | Substrate transfer shuttle having a magnetic drive |
| JP2009078665A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toyoda Gosei Co Ltd | ドアウエザストリップ |
| CN105857489A (zh) * | 2016-05-25 | 2016-08-17 | 江苏帕维电动科技有限公司 | 一种减震防静电电动车把手 |
| WO2019230167A1 (ja) | 2018-06-01 | 2019-12-05 | 株式会社転造技術研究所 | 二重ねじ構成体とその締結体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0829829B2 (ja) | 1996-03-27 |
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