JPH0452514Y2 - - Google Patents
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- JPH0452514Y2 JPH0452514Y2 JP1988160567U JP16056788U JPH0452514Y2 JP H0452514 Y2 JPH0452514 Y2 JP H0452514Y2 JP 1988160567 U JP1988160567 U JP 1988160567U JP 16056788 U JP16056788 U JP 16056788U JP H0452514 Y2 JPH0452514 Y2 JP H0452514Y2
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- pulley
- wire
- slide
- slide pulley
- screw groove
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Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、半導体ウエーハ等を載置して移動さ
せられるステージや、Ｘ・Ｙプロツタ等の直線送
り機構などに利用されるワイヤを用いた送り装置
に関する。[Detailed explanation of the invention] (Field of industrial application) This invention uses wires used in stages on which semiconductor wafers are placed and moved, and in linear feed mechanisms such as X/Y plotters. Regarding a feeding device.
（従来の技術）
回転運動を直線運動に変換して前記ステージや
Ｘ・Ｙプロツタ等移動させる機構として、直線案
内されねじに結合させられているものをねじを回
転させて駆動するいわゆるボールスクリユー形式
の機構や、ワイヤを用いた送り装置が知られてい
る。(Prior Art) As a mechanism for converting rotational motion into linear motion and moving the stage, X/Y plotter, etc., there is a so-called ball screw that drives a linearly guided device connected to a screw by rotating the screw. Type mechanisms and feeding devices using wires are known.
従来のワイヤを用いた送り装置とその問題点を
簡単に説明する。 A conventional feeding device using a wire and its problems will be briefly explained.
第２図は従来のワイヤを用いた送り装置動作原
理を示す略図である。 FIG. 2 is a schematic diagram showing the operating principle of a conventional wire-based feeding device.
送りプーリ１１とアイドルプーリ４間にワイヤ
１が掛け渡されている。 A wire 1 is stretched between a feed pulley 11 and an idle pulley 4.
その間で、ワイヤ１は駆動対象物９に結合させ
られており、送りプーリ１１をモータ８で回転さ
せるとワイヤ１が移動させられて、駆動対象物８
がワイヤ１に沿つて移動させられる。 In between, the wire 1 is connected to the driven object 9, and when the feed pulley 11 is rotated by the motor 8, the wire 1 is moved and the driven object 8 is moved.
is moved along wire 1.
なお送りプーリ１１とワイヤ１の間に滑りが発
生しないために、ある程度のワイヤ１にある程度
の張力を保つてしかも複数回巻きつけられてい
る。 Note that in order to prevent slipping between the feed pulley 11 and the wire 1, the wire 1 is wound around a certain amount of wire 1 multiple times while maintaining a certain amount of tension.
（考案が解決しようとする課題）
良く知られているように、送りプーリ１１の回
転にしたがつて、ワイヤ１は巻き取られる方向に
ワイヤ１の太さ程度のピツチで移動する。(Problems to be Solved by the Invention) As is well known, as the feed pulley 11 rotates, the wire 1 moves in the winding direction at a pitch approximately equal to the thickness of the wire 1.
そのために、送りプーリ１１はその分を見込ん
だ長さに設けられている。 For this purpose, the feed pulley 11 is provided with a length that allows for this.
そのため、端から端までは例えば角度θの位置
ずれが発生する。そして前記送りにつれてワイヤ
１の軸方向の移動は、送り対象の送りのずれや、
ワイヤ１の伸縮の原因となり、正確な送りができ
ないという問題があつた。 Therefore, a positional shift of, for example, an angle θ occurs from end to end. The movement of the wire 1 in the axial direction along with the feeding may cause a deviation in the feeding of the feeding object,
There was a problem that this caused the wire 1 to expand and contract, making it impossible to feed it accurately.
そのために従来の装置ではモータの回転量と送
りについては、場所によりある程度の誤差の発生
することを前提とし、それが許容される範囲内で
使用している。 For this reason, conventional devices assume that a certain amount of error will occur depending on location in the amount of rotation and feed of the motor, and use the motor within an allowable range.
本考案の目的は前述したほどけ側から巻き取り
側への移動のための誤差発生を防止することがで
きるワイヤを用いた送り装置を提供することにあ
る。 An object of the present invention is to provide a feeding device using a wire that can prevent the occurrence of errors due to the movement from the unwinding side to the winding side.
（課題を解決するための手段）
前記目的を達成するために、本考案によるワイ
ヤを用いた送り装置は、
表面にスクリユー溝が設けられている円筒部を
もつスライドプーリと、
前記スライドプーリを軸方向に移動可能に支持
する軸受部と、
アイドルプーリと、
前記スライドプーリに複数回巻き付けられて前
記アイドルプーリ間に掛け渡たされているワイヤ
と、
固定位置に設けられた前記スライドプーリのス
クリユー溝に結合させられ前記スライドプーリを
回転進退可能に案内するスライドプーリ回転進退
案内部と、
前記ワイヤに連結されている駆動対象物と、
前記スライドプーリに回転力を伝達するスライ
ドプーリ駆動機構から構成されている。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, a feeding device using a wire according to the present invention includes: a slide pulley having a cylindrical portion having a screw groove on its surface; a bearing part that supports the slide pulley so as to be movable in the direction; an idle pulley; a wire wound around the slide pulley multiple times and stretched between the idle pulleys; and a screw groove of the slide pulley provided at a fixed position. A slide pulley rotation guide unit that is coupled to and guides the slide pulley so that it can rotate forward and backward; a driven object that is connected to the wire; and a slide pulley drive mechanism that transmits rotational force to the slide pulley. ing.
（実施例）
本考案を図面等を参照して、さらに詳しく説明
する。(Example) The present invention will be explained in more detail with reference to the drawings and the like.
第１図は本考案によるワイヤを用いた送り装置
の実施を示す略図である。 FIG. 1 is a schematic diagram illustrating the implementation of a wire-based feeding device according to the present invention.
表面にスクリユー溝が設けられている円筒部を
もつスライドプーリと、スライドプーリ３は円筒
状の胴部とストロークベアリング５に結合する軸
部３ｂとスプラインカツプリングを形成するスプ
ライン軸部３ｃから構成されている。 The slide pulley 3 has a cylindrical part with a screw groove provided on its surface, and the slide pulley 3 is composed of a cylindrical body part, a shaft part 3b connected to the stroke bearing 5, and a spline shaft part 3c forming a spline coupling ring. ing.
そして前記スライドプーリ３の円筒状の胴部に
はスクリユー溝３ａが設けられている。 A screw groove 3a is provided in the cylindrical body of the slide pulley 3.
このスクリユー溝３ａのピツチは後述する、ず
れまたは送りの１ピツチに相当する。 The pitch of this screw groove 3a corresponds to one pitch of shift or feed, which will be described later.
そして、ストロークベアリング５はスライドプ
ーリ３を軸方向に移動可能に支持する軸受部を形
成している。 The stroke bearing 5 forms a bearing portion that supports the slide pulley 3 so as to be movable in the axial direction.
ワイヤ１は、スライドプーリ３のスクリユー溝
３ａに沿つて複数回巻きつけられて固定位置に回
転可能に支持されているアイドルプーリ４間に掛
け渡されている。 The wire 1 is wound a plurality of times along the screw groove 3a of the slide pulley 3 and is stretched between the idler pulleys 4 which are rotatably supported at a fixed position.
スプライン軸部３ｃはスプラインカツプリング
７でモータ８に結合されており、モータ８からの
回転力が伝達される。 The spline shaft portion 3c is connected to a motor 8 through a spline coupling ring 7, and rotational force from the motor 8 is transmitted thereto.
スライドプーリ回転進退案内部を形成するボー
ル６は固定位置に設けられたボール受けに支持さ
れて前記スライドプーリ３のスクリユー溝３ａに
押しあてられており、ライドプーリ３の回転と進
退の案内をしている。 Balls 6 forming the slide pulley rotation forward/backward guide portion are supported by ball receivers provided at fixed positions and pressed against the screw grooves 3a of the slide pulley 3, and guide the rotation and forward/backward movement of the ride pulley 3. There is.
駆動対象物９は図示しない他の直進案内機構な
どに、案内されており前記ワイヤ１に連結されて
いる。 The driven object 9 is guided by another linear guide mechanism (not shown) and connected to the wire 1.
本考案による装置は以上のように構成されてい
るから、モータ８を正逆に回転させることにより
ワイヤ１を移動させて、駆動対象物９を移動させ
ることができる。 Since the device according to the present invention is configured as described above, the wire 1 can be moved by rotating the motor 8 in forward and reverse directions, and the driven object 9 can be moved.
モータ８の回転によりスライドプーリ３が回転
させられると、その回転に対応する量、つまりワ
イヤ１の巻き取りによるずれ分だけスライドプー
リ３が移動させられるからワイヤ１の左端の結合
部は、固定位置に対して変わらないことになる。 When the slide pulley 3 is rotated by the rotation of the motor 8, the slide pulley 3 is moved by an amount corresponding to the rotation, that is, by the deviation due to winding of the wire 1. Therefore, the connecting portion at the left end of the wire 1 is in a fixed position. There will be no change in .
その結果ワイヤの張力は変化しない。 As a result, the tension in the wire does not change.
（考案の効果）
以上詳しく説明したように、本考案によるワイ
ヤを用いた送り装置は、スライドプーリと、前記
スライドプーリを軸方向に移動可能に支持する軸
受部と、アイドルプーリと、前記アイドルプーリ
間に掛け渡たされているワイヤと、スライドプー
リ回転進退案内部と、スライドプーリ駆動機構か
ら構成されている。(Effects of the Invention) As explained in detail above, the feeding device using a wire according to the present invention includes a slide pulley, a bearing portion that supports the slide pulley so as to be movable in the axial direction, an idle pulley, and a It consists of a wire that is stretched between them, a slide pulley rotating advance/retreat guide, and a slide pulley drive mechanism.
したがつて、構造は極めて簡単で、従来のボール
およびスクリユー機構よりも安価であ る。Therefore, the construction is extremely simple and cheaper than traditional ball and screw mechanisms.
またワイヤを介して駆動対象を移動させるから
駆動源等からの振動は前記駆動対象に到達するま
でに減衰させられる。従来のボールおよびスクリ
ユー機構の装置では駆動対象に振動が伝えられ易
いと言う問題があつた。 Furthermore, since the driven object is moved via the wire, vibrations from a driving source etc. are attenuated before reaching the driven object. Conventional ball and screw mechanism devices have a problem in that vibrations are easily transmitted to the driven object.
また前述したようにスライドプーリは回転と同
時に移動するのでワイヤの移動、ワイヤの張力の
変化がなくなり、正確な移動が可能になる。 Furthermore, as described above, since the slide pulley moves simultaneously with rotation, there is no movement of the wire or change in the tension of the wire, and accurate movement is possible.
第１図は、本考案によるワイヤを用いた送り装
置の実施例を示す略図である。第２図は、従来の
ワイヤを用いた送り装置の動作原理を示す略図で
ある。
１……ワイヤ、３……スライドプーリ、３ａ…
…スクリユー溝、４……アイドルプーリ、５……
ストロークベアリング、６……ボール、７……ス
プラインカツプリング、８……モータ、９……駆
動対象物、１１……送りプーリ。
FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of a feeding device using a wire according to the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram showing the operating principle of a conventional wire-based feeding device. 1...Wire, 3...Slide pulley, 3a...
...Screw groove, 4...Idle pulley, 5...
Stroke bearing, 6...Ball, 7...Spline coupling spring, 8...Motor, 9...Driving object, 11...Feed pulley.
Claims (1)
もつスライドプーリと、 前記スライドプーリを軸方向に移動可能に支持
する軸受部と、 アイドルプーリと、 前記スライドプーリに複数回巻き付けられて前
記アイドルプーリ間に掛け渡たされているワイヤ
と、 固定位置に設けられた前記スライドプーリのス
クリユー溝に結合させられ前記スライドプーリを
回転進退可能に案内するスライドプーリ回転進退
案内部と、 前記ワイヤに連結されている駆動対象物と、 前記スライドプーリに回転力を伝達するスライ
ドプーリ駆動機構から構成されているワイヤを用
いた送り装置。[Claims for Utility Model Registration] A slide pulley having a cylindrical portion with a screw groove provided on its surface; a bearing portion that supports the slide pulley so as to be movable in the axial direction; an idle pulley; and a plurality of slide pulleys on the slide pulley. A wire wound around the idler pulley and a slide pulley rotational advance/retreat guide unit which is coupled to a screw groove of the slide pulley provided at a fixed position and guides the slide pulley so as to rotate back and forth. A feeding device using a wire, which includes: a driven object connected to the wire; and a slide pulley drive mechanism that transmits rotational force to the slide pulley.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988160567U JPH0452514Y2 (en) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | |
| US07/431,171 US5022619A (en) | 1988-12-09 | 1989-10-26 | Positioning device of table for semiconductor wafers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988160567U JPH0452514Y2 (en) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0280245U JPH0280245U (en) | 1990-06-20 |
| JPH0452514Y2 true JPH0452514Y2 (en) | 1992-12-10 |
Family
ID=31442743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988160567U Expired JPH0452514Y2 (en) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0452514Y2 (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6347947U (en) * | 1986-09-17 | 1988-03-31 |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP1988160567U patent/JPH0452514Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6347947U (en) * | 1986-09-17 | 1988-03-31 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0280245U (en) | 1990-06-20 |
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