JP4237307B2

JP4237307B2 - Output device

Info

Publication number: JP4237307B2
Application number: JP30228698A
Authority: JP
Inventors: 方志遠藤; 吉夫平野; 晃田村
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 1998-10-23
Filing date: 1998-10-23
Publication date: 2009-03-11
Anticipated expiration: 2018-10-23
Also published as: JP2000130539A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、雄磁気ネジと雌磁気ネジとからなる磁気ネジを利用して出力ロッドを操作する出力装置に関し、特に駆動源を一つにして出力ロッドに直進運動と旋回運動とを出力させることが可能な出力装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置には、例えばウェハにレジスト液を塗布するためには、そのレジスト液を塗布するためのノズルを所定位置に搬送するための搬送手段として出力装置が用いられている。この出力装置は、ノズルを保持し、そのノズルを上下方向に直線移動させるための直動アクチュエータと、所定の高さでノズルを旋回させるための回転アクチュエータとが組み合わされた複合アクチュエータである。
具体的には、ノズルが上下エアシリンダのピストンロッドに取り付けられ、上下エアシリンダのシリンダチューブがエアシリンダ形ラックアンドピニオンに固設されている。そのため、上下エアシリンダが駆動すればピストンロッドが上下動して直線運動が出力され、ノズルの位置が上下に移動して高さが調節される。そして、ノズルが所定の高さに位置したところで、エアシリンダ形ラックアンドピニオンを駆動させ、シリンダチューブごと回転を与えてノズルを旋回させる。これによって、ピストンロッドに取り付けられたノズルは、上下方向の直線運動と旋回運動との組み合わせによって障害となるものを超えてウェハ上に配置される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したものを含む従来の出力装置は、直動アクチュエータと回転アクチュエータとが組み合わされた構成をなすもので、２方向の運動が別駆動となっていた。そのため、出力装置の構造が複雑になるとともに装置自体の大型化を招くことになった。また、それが出力装置のコストを上げる原因にもなっていた。
更に、直線運動と旋回運動とを連続させる一連の動作では、各方向の運動が別駆動であるから、一方向の運動が確実に停止してから他方向の運動を出力することが要求される。そのために、直動アクチュエータと回転アクチュエータとの駆動を所定のタイミングで切り替えるための制御装置が必要になる。よって、従来の出力装置は、この点からも構造が複雑し、コストを上げるといった問題点を有していた。
【０００４】
そこで本発明は、かかる課題を解決すべく、一つの駆動手段によって直線運動と旋回運動とを出力する出力装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の出力装置は、駆動モータに連結した回転軸に円筒磁石が嵌合され、その円筒磁石の外周面に螺旋状の着磁帯を着磁してなる雄磁気ネジと、前記回転軸が挿入されて回転可能に支持される円筒形状の外筒と、前記外筒内にて前記雄磁気ネジの周りを軸方向に移動自在なスライダと、前記スライダの内面に保持され、さらにその内部に前記雄磁気ネジを嵌合した円筒磁石の内周面に螺旋状の着磁帯を着磁してなる雌磁気ネジとを有し、前記外筒に、軸方向と平行なガイド溝と軸方向と交差するガイド溝とが連続するように形成し、前記ガイド溝を貫くよう前記スライダに出力ロッドを突設し、前記駆動モータの回転運動が前記雄磁気ネジと雌磁気ネジとの磁力によって前記スライダに伝達され、前記出力ロッドからガイド溝に従った移動方向の運動が出力されることを特徴とする。
【０００６】
よって、本発明の出力装置では、駆動モータによって回転軸に回転が与えられると、それに設けられた雄磁気ネジが回転し、磁力によって雌磁気ネジにも運動が伝達されるが、その雌磁気ネジが保持されたスライダは、突設された出力ロッドがガイド溝によって移動方向が規制されているため、スライダには出力ロッドがガイド溝に沿って移動可能な方向の運動が生じ、その結果駆動モータの回転運動から出力ロッドの直線運動と旋回運動との出力が可能となる。
【０００７】
本発明の出力装置は、前記ガイド溝が、前記外筒の軸線と平行に切り欠かれた直線部と、円周方向に切り欠かれた旋回部とが連続して形成されたものであることを特徴とする。
よって、本発明の出力装置では、駆動モータの回転運動が雄磁気ネジ及び雌磁気ネジを介して伝達されたスライダには、出力ロッドがガイド溝の直線部及び旋回部とを移動する方向の運動が生じ、その結果駆動モータの回転運動から出力ロッドの直線運動と旋回運動とが出力される。
【０００８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明にかかる出力装置の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態の出力装置を示した側面図であり、図２は、その出力装置における図１のＡ−Ａ断面を示した図である。
出力装置１は、両端が開口した円筒形状の外筒２内に回転軸３が挿入され、その回転軸３は外筒２の両端で回転自在に支持されている。外筒２には、その上下開口端をそれぞれ塞ぐ上端金具４及び下端金具５が、それぞれネジ止めして固定されている。そして、回転軸３は、上端金具４及び下端金具５に設けられたベアリング６，７によって回転自在に支持され、上端金具４側にはＣリング８が取り付けられ、下端金具５側には固定ナット９が固定されて回転軸３の軸方向の位置決めがなされている。
ところで、下端金具５は外筒２の半径方向に広がったフランジ部を有し、駆動モータ１１が固定されたモータ取付板１２との間に４本の支柱１３，１３…で連結されている。そして、駆動モータ１１のモータ軸１４と回転軸３とが、下端金具５とモータ取付板１２との間で、カップリング１５によって連結されている。
【０００９】
一方、外筒２内に回転支持された回転軸３には円筒磁石が嵌合固定され、その円筒磁石の表面には、Ｎ極着磁帯２１ＮとＳ極着磁帯２１Ｓとが螺旋状に着磁された雄磁気ネジ２１が形成されている。
また、外筒２内には、雄磁気ネジ２１の周りを軸方向に上下移動し、回転可能なスライダ２２が挿入されている。スライダ２２は、雄磁気ネジ２１より大径の円筒形状をなし、その両端には外筒２の内周面に摺接されたガイドリンク２３，２３がはめ込まれている。
そして、スライダ２２内に円筒磁石２４が挿入固定され、その円筒磁石２４の内周面には、雄磁気ネジ２１と同様にＮ極着磁帯とＳ極着磁帯とが螺旋状に着磁された雌磁気ネジ（以下、雌磁気ネジ２４として説明する）が形成されている。
【００１０】
また、この出力装置１から出力される運動の出力方向は、外筒２に形成されたガイド溝３１によって決定される。本実施の形態では、図１に示すように、外筒２には軸方向に沿った直線部３２と、その上端部で垂直に折れた旋回部３３との二方向に切り欠かれたガイド溝３１が形成されている。
一方スライダ２２には、このガイド溝３１を貫いた出力ロッド２５が半径方向に突設されている。そして、出力ロッド２５のガイド溝３１と摺接箇所には、樹脂からなる摺動リング２６がはめ込まれている。
【００１１】
以上のような構成からなる本実施の形態の出力装置１では、次のようにして出力ロッド２５から直線運動と旋回運動とが出力される。
先ず、駆動モータ１１の起動によってモータ軸１４に左回転（矢印Ｂ方向）の回転運動が与えられると、カップリング１５を介して回転軸３に左回転が与えられて雄磁気ネジ２１も左回転することになる。雄磁気ネジ２１が回転すれば、これと磁力が作用し合っている雌磁気ネジ２４に運動が伝達される。一方、雌磁気ネジ２４を保持したスライダ２２は、突設された出力ロッド２５がガイド溝３１を貫いているため、そのガイド溝３１の切り欠かれた方向に移動が制限されている。
【００１２】
そのため、出力ロッド２５が例えば図１の破線で示すようにガイド溝３１の直線部３２下端に位置する場合、雄磁気ネジ２１に左回転が与えられると、スライダ２２には上方への推進力が作用し、出力ロッド２５がガイド溝３１の直線部３２を上昇して直線運動が出力される。
即ち、雄磁気ネジ２１の着磁帯２１Ｎ，２１Ｓを円周上の各位置で軸方向に見た場合、右ネジである雄磁気ネジ２１が左回転すると、螺旋状に着磁された着磁帯２１Ｎ，２１Ｓの位置が図面上方へと移動するように変化する。従って、回転の制限された雌磁気ネジ２４が、雄磁気ネジ２１を形成する着磁帯２１Ｎ，２１Ｓの軸方向の変化に追随し、これによってスライダ２２が外筒２内を上方へ摺動し、その結果、出力ロッド２５がガイド溝３１の直線部３２を上昇して直線運動が出力される。
【００１３】
そして、出力ロッド２５がガイド溝３１の直線部３２を上昇して旋回部３３の切り欠かれた高さに達すると、出力ロッド２５は直線部３２の直線運動に連続して旋回部３３を旋回する。直線部３２を移動する出力ロッド２５には、回転する雄磁気ネジ２１とそれに吸引し合う雌磁気ネジ２４とによって回転する左方向に力が作用している。そのため、出力ロッド２５が旋回部３３の位置に達すると、回転の制限が外されたスライダ２２が外筒２内を回転方向に摺動し、出力ロッド２５が旋回部３３を旋回する。
従って、駆動モータ１１の一方向（矢印Ｂ方向）の回転運動によって、出力ロッド２５がガイド溝３１の直線部３２を上昇して直線運動を出力し、直線部３２の上端では、その直線運動に連続して旋回部３３にて旋回運動が出力される。
【００１４】
続いて、出力ロッド２５がガイド溝３１の旋回部３３を旋回し終わった後、駆動モータ１１に逆回転（右回転）が与えられると、雌磁気ネジ２４が雄磁気ネジ２１の回転に追随し、出力ロッド２５が旋回部３３を逆方向に旋回する。
そして、出力ロッド２５が直線部３２にまで旋回すると、スライダ２２の回転が制限され、スライダ２２には下方への推進力が作用し、出力ロッド２５がガイド溝３１の直線部３２を下降して直線運動を出力する。
即ち、雄磁気ネジ２１の着磁帯２１Ｎ，２１Ｓを円周上の各位置で軸方向に見た場合、右ネジである雄磁気ネジ２１が右回転すると、左回転の場合とは逆に螺旋状に着磁された着磁帯２１Ｎ，２１Ｓの位置が図面下方へと移動するように変化する。従って、回転の制限された雌磁気ネジ２４が、雄磁気ネジ２１を形成する着磁帯２１Ｎ，２１Ｓの軸方向の変化に追随し、これによってスライダ２２が外筒２内を下方へ摺動し、その結果、出力ロッド２５がガイド溝３１の直線部３２を下降して直線運動が出力される。
【００１５】
よって、本実施の形態の出力装置１では、一つの駆動モータ１１によって出力ロッド２５から、上下方向の直線運動と旋回運動との２方向の運動を出力することができるようになった。
また、駆動モータ１個で出力するため、構造が簡素化され、装置自信をコンパクト化することができた。
また、１個の駆動モータから直線運動と旋回運動とを連続して出力するよう構成したので、従来のように２方向の運動を連続させるための制御をする必要がなくなった。
【００１６】
なお、本発明は、前記実施の形態のものに限定されるわけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
前記実施の形態では、ガイド溝３１を一つの直線部３２と一つの旋回部３３とから構成したが、例えば図３に示すように、外筒３４に形成するガイド溝を三つの直線部３５ａ，３５ｂ，３５ｃと二つの旋回部３６ａ，３６ｂとしてもよいし、更に多くの段差を設けるようにするようにしてもよい。
また、ガイド溝の旋回部は、直線部に垂直である必要はなく、例えば磁気ネジを形成する着磁帯の傾斜角度に合わせて傾斜させてもよい。
また、図４に示すように出力ロッド２５を別経路で上下させるようなガイド溝３７としてもよい。但し、例えば出力ロッド２５がガイド溝３７のＥ，Ｆ，Ｇ，Ｈの各部を順に通って行く場合、Ｇ点で下降する際に駆動モータの回転を逆転させるが、そのままでは下降せずに逆に旋回して戻ってしまうので、Ｇ点にシャッタを付けるなどして下降の際にＧＦ間の旋回を防止する必要がある。
【００１７】
【発明の効果】
本発明は、駆動モータに連結した回転軸に円筒磁石が嵌合され、その円筒磁石の外周面に螺旋状の着磁帯を着磁してなる雄磁気ネジと、前記回転軸が挿入されて回転可能に支持される円筒形状の外筒と、前記外筒内にて前記雄磁気ネジの周りを軸方向に移動自在なスライダと、前記スライダの内面に保持され、さらにその内部に前記雄磁気ネジを嵌合した円筒磁石の内周面に螺旋状の着磁帯を着磁してなる雌磁気ネジとを有し、前記外筒に、軸方向と平行なガイド溝と軸方向と交差するガイド溝とが連続するように形成し、前記ガイド溝を貫くよう前記スライダに出力ロッドを突設し、前記駆動モータの回転運動が前記雄磁気ネジと雌磁気ネジとの磁力によって前記スライダに伝達され、前記出力ロッドからガイド溝に従った移動方向の運動が出力されるよう構成したので、一つの駆動手段によって直線運動と旋回運動とを出力する出力装置を提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施の形態の出力装置を示した側面図である。
【図２】出力装置における図１のＡ−Ａ断面を示した図である。
【図３】ガイド溝の変形例をした出力装置の一実施の形態を示した側面図である。
【図４】ガイド溝の変形例をした出力装置の一実施の形態を示した側面図である。
【符号の説明】
１出力装置
２外筒
３回転軸
４上端金具
５下端金具
１１駆動モータ
２１雄磁気ネジ
２２スライダ
２４円筒磁石
３１ガイド溝
３２直線部
３３旋回部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an output device that operates an output rod using a magnetic screw composed of a male magnetic screw and a female magnetic screw, and in particular, outputs a linear motion and a turning motion to the output rod with a single drive source. The present invention relates to an output device capable of.
[0002]
[Prior art]
In a semiconductor manufacturing apparatus, for example, in order to apply a resist solution to a wafer, an output device is used as a transfer means for transferring a nozzle for applying the resist solution to a predetermined position. This output device is a composite actuator in which a linear actuator for holding a nozzle and linearly moving the nozzle in a vertical direction and a rotary actuator for rotating the nozzle at a predetermined height are combined.
Specifically, the nozzle is attached to the piston rod of the upper and lower air cylinders, and the cylinder tube of the upper and lower air cylinders is fixed to the air cylinder rack and pinion. Therefore, when the upper and lower air cylinders are driven, the piston rod moves up and down to output a linear motion, and the position of the nozzle moves up and down to adjust the height. Then, when the nozzle is positioned at a predetermined height, the air cylinder rack and pinion is driven to rotate the entire cylinder tube to rotate the nozzle. Thereby, the nozzle attached to the piston rod is arranged on the wafer beyond what becomes an obstacle by the combination of the linear motion and the swivel motion in the vertical direction.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, conventional output devices including those described above have a configuration in which a linear actuator and a rotary actuator are combined, and movement in two directions is driven separately. This complicates the structure of the output device and increases the size of the device itself. In addition, this has been a cause of increasing the cost of the output device.
Furthermore, in a series of motions in which linear motion and swivel motion are continued, motion in each direction is driven separately, so it is required to output motion in the other direction after the motion in one direction has stopped reliably. . For this purpose, a control device for switching the drive of the linear actuator and the rotary actuator at a predetermined timing is required. Therefore, the conventional output device has a problem that the structure is complicated from this point and the cost is increased.
[0004]
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an output device that outputs a linear motion and a turning motion by a single drive means in order to solve such a problem.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The output device of the present invention includes a male magnetic screw in which a cylindrical magnet is fitted to a rotating shaft connected to a drive motor, and a helical magnetized band is magnetized on the outer peripheral surface of the cylindrical magnet, and the rotating shaft includes A cylindrical outer cylinder that is inserted and supported rotatably, a slider that is axially movable around the male magnetic screw in the outer cylinder, and an inner surface of the slider , and further, A female magnetic screw formed by magnetizing a spiral magnetized band on the inner peripheral surface of the cylindrical magnet fitted with the male magnetic screw, and a guide groove and a shaft parallel to the axial direction are formed in the outer cylinder. A guide groove intersecting the direction is formed continuously, and an output rod is protruded from the slider so as to penetrate the guide groove. The rotational movement of the drive motor is caused by the magnetic force of the male magnetic screw and the female magnetic screw. Moved along the guide groove from the output rod, transmitted to the slider Wherein the movement of direction is output.
[0006]
Therefore, in the output device of the present invention, when rotation is applied to the rotating shaft by the drive motor, the male magnetic screw provided on the rotating shaft rotates and the motion is transmitted to the female magnetic screw by the magnetic force. In the slider in which the output rod is held, the movement direction of the output rod can be moved along the guide groove on the slider because the movement direction of the projecting output rod is regulated by the guide groove. As a result, the drive motor It is possible to output the linear motion and the swivel motion of the output rod from the rotational motion.
[0007]
The output device of the present invention, the guide groove, and the outer cylinder axis and the straight line portion is cut out in parallel, in which a turning portion which is cut out in the circumferential direction are formed continuously It is characterized by that.
Therefore, in the output device of the present invention, the slider in which the rotational motion of the drive motor is transmitted via the male magnetic screw and the female magnetic screw is a motion in the direction in which the output rod moves between the linear portion and the turning portion of the guide groove. As a result, the linear motion and the turning motion of the output rod are output from the rotational motion of the drive motor.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, an embodiment of an output device according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view showing an output device of the present embodiment, and FIG. 2 is a view showing a cross section AA of FIG. 1 in the output device.
In the output device 1, a rotating shaft 3 is inserted into a cylindrical outer cylinder 2 having both ends opened, and the rotating shaft 3 is rotatably supported at both ends of the outer cylinder 2. An upper end metal fitting 4 and a lower end metal fitting 5 that respectively close the upper and lower opening ends of the outer cylinder 2 are fixed with screws. The rotating shaft 3 is rotatably supported by bearings 6 and 7 provided on the upper end metal fitting 4 and the lower end metal fitting 5, and a C ring 8 is attached to the upper end metal fitting 4 side, and a fixing nut is provided on the lower end metal fitting 5 side. 9 is fixed and the rotary shaft 3 is positioned in the axial direction.
By the way, the lower end metal fitting 5 has a flange portion that expands in the radial direction of the outer cylinder 2, and is connected to the motor mounting plate 12 to which the drive motor 11 is fixed by four support columns 13, 13,. The motor shaft 14 and the rotary shaft 3 of the drive motor 11 are connected by a coupling 15 between the lower end metal fitting 5 and the motor mounting plate 12.
[0009]
On the other hand, a cylindrical magnet is fitted and fixed to the rotating shaft 3 rotatably supported in the outer cylinder 2, and an N-pole magnetic band 21N and an S-pole magnetic band 21S are spirally formed on the surface of the cylindrical magnet. A magnetized male magnetic screw 21 is formed.
In addition, a slider 22 is inserted into the outer cylinder 2 so as to move up and down in the axial direction around the male magnetic screw 21. The slider 22 has a cylindrical shape with a diameter larger than that of the male magnetic screw 21, and guide links 23, 23 that are slidably contacted with the inner peripheral surface of the outer cylinder 2 are fitted at both ends thereof.
A cylindrical magnet 24 is inserted and fixed in the slider 22, and an N-pole magnetic band and an S-pole magnetic band are spirally magnetized on the inner peripheral surface of the cylindrical magnet 24 in the same manner as the male magnetic screw 21. A female magnetic screw (hereinafter described as a female magnetic screw 24) is formed.
[0010]
The output direction of the movement output from the output device 1 is determined by the guide groove 31 formed in the outer cylinder 2. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the outer cylinder 2 has a guide groove cut out in two directions: a linear portion 32 along the axial direction and a turning portion 33 bent vertically at the upper end portion thereof. 31 is formed.
On the other hand, the slider 22 is provided with an output rod 25 that protrudes through the guide groove 31 in the radial direction. A sliding ring 26 made of resin is fitted into the guide groove 31 and the sliding contact portion of the output rod 25.
[0011]
In the output device 1 of the present embodiment configured as described above, linear motion and turning motion are output from the output rod 25 as follows.
First, when the rotation of the motor shaft 14 is rotated to the left (in the direction of arrow B) by the activation of the drive motor 11, the rotation is applied to the rotation shaft 3 via the coupling 15 and the male magnetic screw 21 is also rotated to the left. Will do. When the male magnetic screw 21 rotates, the movement is transmitted to the female magnetic screw 24 in which a magnetic force acts with this. On the other hand, the slider 22 holding the female magnetic screw 24 is restricted in movement in the direction in which the guide groove 31 is cut out because the projecting output rod 25 passes through the guide groove 31.
[0012]
Therefore, when the output rod 25 is positioned at the lower end of the linear portion 32 of the guide groove 31 as indicated by a broken line in FIG. 1, for example, when the left rotation is applied to the male magnetic screw 21, the slider 22 has an upward propulsive force. As a result, the output rod 25 moves up the straight portion 32 of the guide groove 31 and a linear motion is output.
That is, when the magnetization bands 21N and 21S of the male magnetic screw 21 are viewed in the axial direction at each position on the circumference, when the male magnetic screw 21 that is the right screw rotates counterclockwise, the magnetization magnetized in a spiral shape is performed. The positions of the bands 21N and 21S change so as to move upward in the drawing. Accordingly, the rotation-restricted female magnetic screw 24 follows the change in the axial direction of the magnetized bands 21N and 21S forming the male magnetic screw 21, thereby causing the slider 22 to slide upward in the outer cylinder 2. As a result, the output rod 25 ascends the straight portion 32 of the guide groove 31 and a linear motion is output.
[0013]
When the output rod 25 ascends the straight portion 32 of the guide groove 31 and reaches the notched height of the turning portion 33, the output rod 25 turns the turning portion 33 continuously with the linear motion of the straight portion 32. To do. A force is applied to the output rod 25 that moves along the straight portion 32 in the left direction that is rotated by the rotating male magnetic screw 21 and the female magnetic screw 24 that attracts the rotating male magnetic screw 21. Therefore, when the output rod 25 reaches the position of the turning portion 33, the slider 22 from which the rotation restriction is removed slides in the outer cylinder 2 in the rotation direction, and the output rod 25 turns the turning portion 33.
Accordingly, the output rod 25 moves up the linear portion 32 of the guide groove 31 and outputs a linear motion by a rotational motion in one direction (arrow B direction) of the drive motor 11, and the linear motion is generated at the upper end of the linear portion 32. The turning motion is continuously output from the turning portion 33.
[0014]
Subsequently, after the output rod 25 has finished turning the turning portion 33 of the guide groove 31, when the drive motor 11 is reversely rotated (right rotation), the female magnetic screw 24 follows the rotation of the male magnetic screw 21. The output rod 25 turns the turning part 33 in the reverse direction.
When the output rod 25 turns to the straight portion 32, the rotation of the slider 22 is restricted, a downward driving force acts on the slider 22, and the output rod 25 moves down the straight portion 32 of the guide groove 31. Outputs linear motion.
That is, when the magnetized bands 21N and 21S of the male magnetic screw 21 are viewed in the axial direction at each position on the circumference, when the male magnetic screw 21 that is a right screw is rotated to the right, the spiral is reversed to the case of the left rotation. The positions of the magnetized bands 21N and 21S magnetized in the shape change so as to move downward in the drawing. Accordingly, the rotation-restricted female magnetic screw 24 follows the change in the axial direction of the magnetized bands 21N and 21S forming the male magnetic screw 21, thereby causing the slider 22 to slide downward in the outer cylinder 2. As a result, the output rod 25 descends the straight portion 32 of the guide groove 31 and a linear motion is output.
[0015]
Therefore, in the output device 1 of the present embodiment, the single drive motor 11 can output the two-way motions of the vertical motion and the swivel motion from the output rod 25.
In addition, since the output is performed by one drive motor, the structure is simplified and the device confidence can be reduced.
Further, since the linear motion and the turning motion are continuously output from one drive motor, it is not necessary to perform the control for continuing the motion in the two directions as in the prior art.
[0016]
In addition, this invention is not necessarily limited to the thing of the said embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the meaning.
In the above embodiment, the guide groove 31 is composed of one linear portion 32 and one swivel portion 33. For example, as shown in FIG. 3, the guide groove formed in the outer cylinder 34 has three linear portions 35a, 35b and 35c and two swivel portions 36a and 36b may be provided, or more steps may be provided.
Further, the turning portion of the guide groove does not need to be perpendicular to the straight portion, and may be inclined according to the inclination angle of the magnetic band forming the magnetic screw, for example.
Moreover, as shown in FIG. 4, it is good also as the guide groove 37 which raises / lowers the output rod 25 by another path | route. However, for example, when the output rod 25 passes through the E, F, G, and H portions of the guide groove 37 in order, the rotation of the drive motor is reversed when descending at the point G. Therefore, it is necessary to prevent the turning between the GFs when descending by attaching a shutter to the G point.
[0017]
【The invention's effect】
In the present invention, a cylindrical magnet is fitted to a rotating shaft connected to a drive motor, and a male magnetic screw formed by magnetizing a helical magnetized band on the outer peripheral surface of the cylindrical magnet, and the rotating shaft is inserted. A cylindrical outer cylinder that is rotatably supported, a slider that is axially movable around the male magnetic screw in the outer cylinder, and an inner surface of the slider , and further, the male magnetic A female magnetic screw formed by magnetizing a helical magnetized band on the inner peripheral surface of a cylindrical magnet fitted with a screw, and the outer cylinder has a guide groove parallel to the axial direction and intersects the axial direction. And an output rod projecting from the slider so as to penetrate the guide groove, and the rotational movement of the drive motor is applied to the slider by the magnetic force of the male magnetic screw and the female magnetic screw. Movement in the moving direction transmitted from the output rod according to the guide groove Since it is configured to be outputted, it becomes possible to provide an output device for outputting a turning motion and a linear motion by a single drive means.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view showing an output device according to an embodiment;
2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 1 in the output device.
FIG. 3 is a side view showing an embodiment of an output device in which a guide groove is modified.
FIG. 4 is a side view showing an embodiment of an output device in which a guide groove is modified.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Output device 2 Outer cylinder 3 Rotating shaft 4 Upper-end metal fitting 5 Lower-end metal fitting 11 Drive motor 21 Male magnetic screw 22 Slider 24 Cylindrical magnet 31 Guide groove 32 Linear part 33 Turning part

Claims

駆動モータに連結した回転軸に円筒磁石が嵌合され、その円筒磁石の外周面に螺旋状の着磁帯を着磁してなる雄磁気ネジと、
前記回転軸が挿入されて回転可能に支持される円筒形状の外筒と、
前記外筒内にて前記雄磁気ネジの周りを軸方向に移動自在なスライダと、
前記スライダの内面に保持され、さらにその内部に前記雄磁気ネジを嵌合した円筒磁石の内周面に螺旋状の着磁帯を着磁してなる雌磁気ネジとを有し、
前記外筒に、軸方向と平行なガイド溝と軸方向と交差するガイド溝とが連続するように形成し、前記ガイド溝を貫くよう前記スライダに出力ロッドを突設し、
前記駆動モータの回転運動が前記雄磁気ネジと雌磁気ネジとの磁力によって前記スライダに伝達され、前記出力ロッドからガイド溝に従った移動方向の運動が出力されることを特徴とする出力装置。A male magnetic screw in which a cylindrical magnet is fitted to a rotating shaft connected to a drive motor, and a helical magnetization band is magnetized on the outer peripheral surface of the cylindrical magnet;
A cylindrical outer cylinder in which the rotating shaft is inserted and rotatably supported ;
A slider that is axially movable around the male magnetic screw in the outer cylinder;
A female magnetic screw that is held on the inner surface of the slider and has a helical magnetized band magnetized on the inner peripheral surface of a cylindrical magnet in which the male magnetic screw is fitted ;
In the outer cylinder, a guide groove parallel to the axial direction and a guide groove intersecting with the axial direction are formed continuously, and an output rod is projected from the slider so as to penetrate the guide groove,
The output device characterized in that the rotational movement of the drive motor is transmitted to the slider by the magnetic force of the male magnetic screw and the female magnetic screw, and the movement in the moving direction according to the guide groove is output from the output rod.

請求項１に記載の出力装置において、
前記ガイド溝は、前記外筒の軸線と平行に切り欠かれた直線部と、円周方向に切り欠かれた旋回部とが連続して形成されたものであることを特徴とする出力装置。The output device according to claim 1,
The guide groove has an output and wherein the said outer cylinder axis and the straight line portion is cut out in parallel, in which a turning portion which is cut out in the circumferential direction are formed continuously .