JPH0442016A - 変位センサ - Google Patents

変位センサ

Info

Publication number
JPH0442016A
JPH0442016A JP14860890A JP14860890A JPH0442016A JP H0442016 A JPH0442016 A JP H0442016A JP 14860890 A JP14860890 A JP 14860890A JP 14860890 A JP14860890 A JP 14860890A JP H0442016 A JPH0442016 A JP H0442016A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
core
magnetic
sleeve
conductor
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14860890A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuyoshi Kawasaki
川崎 勝義
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NSK Ltd filed Critical NSK Ltd
Priority to JP14860890A priority Critical patent/JPH0442016A/ja
Publication of JPH0442016A publication Critical patent/JPH0442016A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、部材間の相対変位を測定する変位センサに
関し、特に、部材間の相対変位に応じて発振コイル及び
受信コイルの内側でコアを進退させ、その時の受信コイ
ルの出力に基づいて部材間の相対変位を求める変位セン
サにおいて、検出能力の向上を図ったものである。
〔従来の技術〕
従来の変位センサとして、例えば第10図に示すような
ものがある。
これは、いわゆる差動トランス式の変位センサであって
、一つの発振コイル(1次コイル)L+を、二つの受信
コイル(2次コイル)Lz、Lsで挟み込むように同軸
に配置するとともに、それら発振コイルLI及び受信コ
イルLz、L、の内側に鉄等の磁性体からなるコアCを
進退自在に配置したものであり、コイルし、〜L、と、
コアCとを、相対変位が生じる別々の部材(図示せず)
に固定する。
そして、発振コイルL1に所定周波数の交流電流を供給
すると、受信コイルLx及びり、には、それらの相互イ
ンダクタンスに応じた起電力が発生するが、受信コイル
L2及びL3を同一規格とすれば、それらの相互インダ
クタンスは、発振コイルL+ との電磁結合度、即ち、
コアCの進退位置によって決まる。
つまり、コアCが第1O図に示すような中立位置にあれ
ば、発振コイルL1及び受信コイルL2の相互インダク
タンスと、発振コイルし1及び受信コイルL3の相互イ
ンダクタンスとは等しいから、受信コイルL2及びL3
に発生する起電力には差が住しない。
しかし、コアCが第10図の状態から例えば図中右方に
移動すると、空気は鉄等の磁性体に比べて透磁率が小さ
いので、発振コイルLI及び受信コイルL2の相互イン
ダクタンスは減少し、発振コイルL+及び受信コイルし
3の相互インダクタンスは増大するため、受信コイルL
2及びり、に発生する起電力に差が生じ、その起電力の
差は、コアCの変位の方向及び量に応じて決まる。
従って、受信コイルL2及びL3の出力の差に基づいて
、コアCの変位の方向及び量、即ち、コイルし1〜L、
が固定された部材と、コアCが固定された部材との間の
相対変位が求められる。
〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、コアCを支持する部材も鉄等の磁性体で
あることが多いし、また、磁性体でない場合は空気を利
用することになるため、上記のような従来の変位センサ
では、コアCの変位に対する相互インダクタンスの変化
は小さく、従って、変位センサの検出能力が低い(測定
できる範囲が狭い、出力の精度が低い等)という問題点
がある。
この発明は、このような従来の技術が有する未解決の課
題に着目してなされたものであり、大幅なコスト上昇を
招くことなく、簡易な構成で、検出能力が向上する変位
センサを提供することを目的としている。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、本発明は、発振コイル及び
受信コイルの内側に進退自在にコアを配置し、前記受信
コイルの出力に基づいて、前記発振コイル及び受信コイ
ルを支持する部材と、前記コアを支持する部材との間の
相対変位を測定する変位センサにおいて、導電体で且つ
非磁性体の部材と、磁性体の部材とを、前記進退方向に
並べて前記コアを構成した。
〔作用〕
非磁性体の透磁率は、空気と同程度であり、磁性体の透
磁率に比べて小さい。
一方、導電体に磁束が鎖交すると、その磁束の変化を妨
げるようにうず電流が流れる。
従って、導電体で且つ非磁性体の部材は、空気よりも更
に磁束を通し難い性質を有していることになる。
よって、本発明のように、導電体で且つ非磁性体の部材
と磁性体の部材とを進退方向に並べてコアを構成すると
、コアの進退に伴う発振コイル及び受信コイルの相互イ
ンダクタンスの変化、即ち、コアの進退に伴う受信コイ
ルの出力の変化幅は、磁性体のみからコアを構成した場
合に比べて大きなものとなる。
〔実施例〕
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図乃至第9図は、本発明の一実施例を示す図であり
、これは、本発明に係る変位センサを、車両用の電動パ
ワーステアリング装置に適用した例である。
先ず、構成を説明すると、第1図において、ハウジング
l内には、トーションバー4を介して連結された入力軸
2及び出力軸3が、軸受5a、5b及び5cによって回
動自在に支持されている。
但し、入力軸2.出力軸3及びトーションバー4は、同
軸に配置されている。
人力軸2の図示しない第1図右端側には、ステアリング
ホイールが回動方向に一体に取り付けられており、また
、出力軸3の第1図左端側には、例えば公知のラックピ
ニオン式ステアリング装置を構成するピニオン軸が連結
されている。
従って、操縦者がステアリングホイールを操舵すること
によって発生した操舵力は、入力軸2゜トーシゴ”Jバ
ー4. 出力111B3及びランクピニオン式ステアリ
ング装置を介して、図示しない転舵輪に伝達する。
また、入力軸2の左端部の外周面には軸方向に連続した
突条部2aが形成され、この突条部2aは、出力軸3の
右端部に形成され且っ突条部2aよりも幅広の縦溝3a
に挿入されていて、これにより、入力軸2及び出力軸3
間の所定範囲(±5度程度)以上の相対回動を防止して
いる。
そして、出力軸3には、出力軸3と同軸且つ一体に回動
する歯車6が外嵌し、この歯車6は、図示しない歯車列
等を介して、ハウジング1の周囲に配設された図示しな
い電動モータの出力軸に連結されている。
さらに、入力軸2には、入力軸2に対して軸方向及び回
動方向への相対変位が自在な円筒形のスリーブ7が外嵌
していて、このスリーブ7の左端部に形成された縦溝7
aには、出力軸3の右端部に圧入され且つ径方向外側に
突出したピン3bの外端が挿入されている。
従って、出力軸3及びスリーブ7は、回動方向には一体
であるが、軸方向には縦溝7aの長さの範囲において相
対変位が可能である。
スリーブ7は、スプリング8によって第1図右方に常時
付勢されていて、その内周面には、ボール9を転勤可能
に収納した孔7bが形成され、ボール9の一部分は、入
力軸2の外周面に形成された断面V字状の螺旋溝2bに
収まっている。
マタ、スリーブ7は、周方向に連続したフランジ部7c
を有していて、このフランジ部7cは、導電体で且つ非
磁性体(例えば、アルミニウム)からなるリング10の
スリーブ7の進退方向を向く両面を、磁性体(例えば、
鉄)からなるリング11及び12で挟み込んで構成され
ている。
そして、ハウジング1の内周面には、フランジ部7cの
外周面を取り囲むように、一つの発振コイルL1及び二
つの受信コイルLt、Lxが、スリーブ7と同軸に設け
られていて、その発振コイルL、は、それら受信コイル
Lx及びり、に挟み込まれている。
さらに、ハウジングlには、スリーブ7の軸方向位置を
測定し、その測定結果を図示しないコントローラに供給
するための電子回路が構成されたセンサ本体15が固定
されている。
センサ本体15の測定結果が供給されたコントローラは
、その測定結果に基づいて、操舵系の操舵トルクを演算
し、その演算された操舵トルクに応じて上述した図示し
ない電動モータを駆動制御することにより、歯車6を介
して出力軸3に操舵補助トルクを発生させる。
第2図は、センサ本体15内に構成される電子回路の一
例を示す回路図である。
即ち、所定周波数の矩形波を発振する発振器16と、発
振コイルL1の両端部に印加される電圧を発振器16の
出力に同期して変化させて発振コイルし、に所定周波数
の交流電流を供給するドライバ17と、受信コイルL2
及びL3のそれぞれに発生した電圧の差を検出する差動
アンプ18と、この差動アンプ18の出力の絶対値を求
める絶対値回路19と、この絶対値回路19の出力を積
分する積分回路20と、この積分回路20の出力を増幅
して出力端子22に供給するオフセット・ゲイン調整回
路21と、を備えている。
ここで、リング10の厚さを、発振コイルL。
及び受信コイルL、、L、の合計の軸方向距離と略等し
くするとともに、スリーブ7のフランジ部7cと、コイ
ルし1〜L、との位置関係を、スリーブ7が最も出力軸
3側に移動したときに、発振コイルL、の軸方向中心が
リング10の軸方向中心に対向(第3図(a)参照)し
、スリーブ7が進退可能な範囲の中点にあるときに、受
信コイルL2の軸方向中心がリング10及び11の境目
に対向(第3図(b)参照)し、スリーブ7が最も軸受
5a側に移動したときに、発振コイルL1及び受信コイ
ルLxの境目がリング10及び11の境目に対向(第3
図(C)参照)するように設定する。
次に、上記実施例の動作を説明する。
今、操舵系が直進状態にあり、操舵トルクが零であるも
のとすると、入力軸2及び出力軸3間には相対回転は生
じないから、出力軸3と一体に回転するスリーブ7と、
入力軸2との間にも相対回転は生じない。従って、ボー
ル9は、螺旋溝2b内の所定の位置に収まった状態を維
持するから、スリーブ7に進退力は発生しない。
一方、ステアリングホイールを操舵して入力軸2に回転
力が生じると、その回転力は、トーションバー4を介し
て出力軸3に伝達する。
このとき、出力軸3には、転舵輪及び路面間の摩擦力や
出力軸3の図示しない左端側に構成されたラックピニオ
ン式ステアリング装置の摩擦力等に応じた抵抗力が生じ
るため、入力軸2及び出力軸3間には、トーションバー
4が捩じれることによって出力軸3が遅れる相対回動が
発生する。
すると、出力軸3と回動方向に一体となったスリーブ7
にも入力軸2に対する相対回動が生じるが、スリーブ7
の内面の孔7bに収容されたボール9が、入力軸2の外
周面の螺旋溝2bに収まっているので、螺旋溝2bの傾
斜角度に従って、スリーブ7は軸方向に進退する。
なお、ボール9と、螺旋溝2b、孔7bの内面との間に
は、ボール9が転勤できるように若干の隙間を持たせる
必要があるが、スプリング8がスリーブ7を一方向に付
勢しているので、その隙間によるスリーブ7のがたつき
は防止される。
ここで、例えば、左回転方向操舵時に発生する操舵トル
クが最大であるときに、第3図(a)に示したようにス
リーブ7が最も出力軸3側に変位し、右回転方向操舵時
に発生する揉舵トルクが最大であるときに、第3図(C
)に示したようにスリーブ7が最も軸受5a側に変位し
、そして、操舵トルクが零であるときに、第3図(b)
に示したようにスリーブ7が中立位置に変位するように
する。
そして、発振器16及びドライバ17によって発振コイ
ルL1に第4図に示すような交流電流を供給すると、受
信コイルL2及びり、には、発振コイルL、に対するそ
れぞれの相互インダクタンスに応じた電圧が発生するが
、受信コイルL2及びL3を同一規格にすれば、それら
相互インダクタンスは、周囲の状況、つまり、フランジ
部7cの軸方向位置によって決まる。
即ち、第3図(a)の状態では、発振コイルL、及び受
信コイルL2の相互インダクタンスと、発振コイルL1
及び受信コイルし、の相互インダクタンスとは等しいた
め、第5図(a)に示す受信コイルLtの出力波形と第
6図(a)に示す受信コイルし。
の出力波形とは等しく、よって、差動アンプ18の出力
は、第7図(a)に示すように零である。
従って、第8図(a)に示す絶対値回路19の出力も零
となり、出力端子22に表れる出力も、第9図(a)に
示すように零である。
また、第3回出)の状態では、透磁率が大きい磁性体か
らなるリング11が受信コイルL2の内側に入り込むと
ともに、透磁率が小さい非磁性体からなるリング】0の
右端部が受信コイルし、の開口側から張り出しているか
ら、発振コイルし、及び受信コイルLtの!磁結合度は
大きくなり、それらの相互インダクタンスは増大し、発
振コイルLl及び受信コイルし、の電磁結合度は小さく
なり、それらの相互インダクタンスは減少する。
すると、第5図(ハ)に示すように受信コイルL2の出
力波形は大きくなり、第6図(b)に示すように受信コ
イルし、の出力波形は小さくなり、第7図Φ)に示すよ
うにそれら出力波形に差が生じる。
よって、その出力波形の差の絶対値が絶対値回路19で
求められ、それが積分回路20で積分された後にオフセ
ット・ゲイン調整回路21で増幅され、出力端子22に
は、第9図(ハ)に示すように、中程度の出力が表れる
そして、第3図(C)の状態であれば、発振コイルL、
及び受信コイルL2の相互インダクタンスは更に増大し
、発振コイルし、及び受信コイルし。
の相互インダクタンスは更に減少するから、第5図(C
)に示すように受信コイルし!の出力波形は更に大きく
、第6図(C)に示すように受信コイルし3の出力波形
は更に小さくなり、それら出力波形の差は、第7図(C
)に示すように更に大きくなる。
従って、出力端子22には、第9図(C)に示すように
、大きな出力が表れる。
そして、コントローラは、出力端子22に表れる出力が
第9図(b)に示すように中程度の大きさであれば、操
舵トルクは発生していないと判断して電動モータを非駆
動状態とするから、操舵系に操舵補助トルクは発生せず
、操舵系は直進状態を維持するし、その中程度よりも小
さい若しくは大きな出力であれば、それに応じて電動モ
ータを回転駆動させるから、出力軸3に操舵補助トルク
が付与されたことになり、操舵トルクが減少し、操縦者
の負担が軽減される。
さらに、非磁性体の透磁率は、空気と同程度であり、磁
性体の透磁率に比べて小さいし、導電体に磁束が鎖交す
ると、その磁束の変化を妨げるようにうず電流が流れる
から、導電体で且つ非磁性体の素材から形成されたリン
グ10は、空気よりも更に磁束を通し難く、従って、フ
ランジ部7Cの進退に伴うコイルL+−Lsの相互イン
ダクタンスの変化は、フランジ部7cを同一素材から形
成した場合に比べて大きくなる。
よって、出力端子22に表れる出力は、スリーブ7の変
位に対して急峻な変化を示すから、スリーブ7の微小な
変位であっても高い精度で測定でき、従って、木目細か
な操舵補助トルク制御が可能となるし、出力を大幅に増
幅する必要がないから、ノイズの影響を受は難くなる。
ここで、本実施例では、フランジ部7Cがコアに対応す
る。
なお、上記実施例では、本発明の変位センサを車両用の
電動パワーステアリング装置に適用した場合について説
明したが、本発明の適用対象はこれに限定されるもので
はない。
また、上記実施例では、直線方向の変位を測定する変位
センサに本発明を適用した場合について説明したが、こ
れに限定されるものではなく、リング状のコアを用いれ
ば、回転方向の変位を測定する変位センサとすることも
可能である。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、発振コイル及び
受信コイルの内側で進退するコアを、導電体で且つ非磁
性体の部材と、磁性体の部材とを、コアの進退方向に並
べて構成したため、相対変位に伴う相互インダクタンス
の変化を大きくすることができるから、相対変位に対し
て急峻に変化する出力が得られ、測定精度が向上すると
いう効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の全体構成を示す断面図、第
2図はセンサ本体に構成される回路の一例を示す回路図
、第3図(a)乃至(C)は発振コイル及び受信コイル
とフランジ部との相対位置関係を示す説明図、第4図は
発振コイルに供給する交流電流の波形図、第5図(a)
乃至(C)は一方の受信コイルの出力波形図、第6図(
a)乃至(C)は他方の受信コイルの出力波形図、第7
図(a)乃至(C)は差動アンプの出力波形図、第8図
(a)乃至(C)は絶対値回路の出力波形図、第9図(
a)乃至(C)は出力端子の出力波形図、第10図は従
来の変位センサの一例を示す構成図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)発振コイル及び受信コイルの内側に進退自在にコ
    アを配置し、前記受信コイルの出力に基づいて、前記発
    振コイル及び受信コイルを支持する部材と、前記コアを
    支持する部材との間の相対変位を測定する変位センサに
    おいて、 導電体で且つ非磁性体の部材と、磁性体の部材とを、前
    記進退方向に並べて前記コアを構成したことを特徴とす
    る変位センサ。
JP14860890A 1990-06-08 1990-06-08 変位センサ Pending JPH0442016A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14860890A JPH0442016A (ja) 1990-06-08 1990-06-08 変位センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14860890A JPH0442016A (ja) 1990-06-08 1990-06-08 変位センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0442016A true JPH0442016A (ja) 1992-02-12

Family

ID=15456582

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14860890A Pending JPH0442016A (ja) 1990-06-08 1990-06-08 変位センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0442016A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5696444A (en) * 1994-03-04 1997-12-09 Crane Co. Monitoring system for detecting axial and radial movement of a rotating body independent of rotational position
US5955880A (en) * 1996-12-05 1999-09-21 Beam; Palmer H. Sealless pump rotor position and bearing monitor
JP2009192517A (ja) * 2007-10-03 2009-08-27 Denso Corp 変位検出装置
US7893689B2 (en) 2007-10-03 2011-02-22 Denso Corporation Displacement measuring device
JP2014163778A (ja) * 2013-02-25 2014-09-08 Ihi Compressor & Machinery Co Ltd 回転体の軸方向の移動量を計測する軸方向移動量計測システム

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5696444A (en) * 1994-03-04 1997-12-09 Crane Co. Monitoring system for detecting axial and radial movement of a rotating body independent of rotational position
US6107794A (en) * 1994-03-04 2000-08-22 Crane Co. Monitoring system for detecting axial and radial movement of a rotating body independent of rotational position
US5955880A (en) * 1996-12-05 1999-09-21 Beam; Palmer H. Sealless pump rotor position and bearing monitor
JP2009192517A (ja) * 2007-10-03 2009-08-27 Denso Corp 変位検出装置
US7893689B2 (en) 2007-10-03 2011-02-22 Denso Corporation Displacement measuring device
JP2014163778A (ja) * 2013-02-25 2014-09-08 Ihi Compressor & Machinery Co Ltd 回転体の軸方向の移動量を計測する軸方向移動量計測システム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5796014A (en) Torque sensor
US5578767A (en) Torque sensor
US5046372A (en) Torque sensor
JP5513838B2 (ja) パワーステアリング装置
JP2001133337A (ja) 磁歪式トルクセンサ及び磁歪式トルクセンサを搭載した電動パワーステアリング装置
JPH08136366A (ja) トルクセンサ
JPH09101212A (ja) コイルヨークの固定構造
JPH0442016A (ja) 変位センサ
JP2010190674A (ja) トルク検出装置及び電動パワーステアリング装置
JPH08114518A (ja) トルクセンサ
JP3346085B2 (ja) トルクセンサ
EP1130373B1 (en) Torque sensor for a power assist steering system
JP2008203176A (ja) トルクセンサ及びこれを使用した電動パワーステアリング装置
JPH021711B2 (ja)
JP2000186903A (ja) 無接触式ポジションセンサ
JP2010190704A (ja) トルクセンサ及び電動パワーステアリング装置
JPH0344529A (ja) トルク検出器
JP3346152B2 (ja) トルクセンサ
JP2729319B2 (ja) トルク検出器
JP3066892B2 (ja) 角度検出装置
JPH08114402A (ja) 変位センサ
JP3645782B2 (ja) トルクセンサ
JPH03137530A (ja) 変位センサ及びトルクセンサ
JPS63292029A (ja) トルクセンサ
JPH0731149Y2 (ja) トルクセンサ