JPH04372832A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH04372832A JPH04372832A JP17722991A JP17722991A JPH04372832A JP H04372832 A JPH04372832 A JP H04372832A JP 17722991 A JP17722991 A JP 17722991A JP 17722991 A JP17722991 A JP 17722991A JP H04372832 A JPH04372832 A JP H04372832A
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】本発明は内燃機関のシリンダー内圧の変化
を圧電素子によって検出する圧力センサに関するもので
ある。
を圧電素子によって検出する圧力センサに関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】内燃機関のシリンダーブロックに設けら
れたセンサ取付け用螺子孔に装着される主体金具の内部
に圧電素子、圧力伝達棒等よりなる検出要素を収納する
とともにシリンダー内に位置する下端面に金属製ダイア
フラムを封着し、シリンダー内圧を前記ダイアフラムと
圧力伝達棒とを介して圧電素子に伝播し、該素子よりシ
リンダー内圧力の大きさに比例した電気信号を取り出す
ようにした圧力センサは公知である。この圧電素子とし
ては一般に、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸鉛等のセ
ラミック材料よりなる圧電素子が用いられている。
れたセンサ取付け用螺子孔に装着される主体金具の内部
に圧電素子、圧力伝達棒等よりなる検出要素を収納する
とともにシリンダー内に位置する下端面に金属製ダイア
フラムを封着し、シリンダー内圧を前記ダイアフラムと
圧力伝達棒とを介して圧電素子に伝播し、該素子よりシ
リンダー内圧力の大きさに比例した電気信号を取り出す
ようにした圧力センサは公知である。この圧電素子とし
ては一般に、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸鉛等のセ
ラミック材料よりなる圧電素子が用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
圧力センサは、点火プラグと同様にシリンダ内圧ととも
に高い燃焼温度( 500℃)中に曝されるため、金属
製ダイアフラムに破損を生じ易い。本発明は、かかる金
属製ダイアフラムの破損を可及的に防止し得る最適条件
を付与することを目的とするものである。
圧力センサは、点火プラグと同様にシリンダ内圧ととも
に高い燃焼温度( 500℃)中に曝されるため、金属
製ダイアフラムに破損を生じ易い。本発明は、かかる金
属製ダイアフラムの破損を可及的に防止し得る最適条件
を付与することを目的とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は内燃機関のシリ
ンダーに装着される主体金具に、検出開口がシリンダ内
に位置する軸孔を備え、その軸孔の内部に圧電素子、圧
力伝達棒等の検出要素を収納し、更に前記軸孔の開口端
を、金属製ダイアフラムで密封してなるものにおいて、
前記金属製ダイアフラムが、中央近傍に厚肉部を、その
外周に薄肉部を夫々形成され、該薄肉部の厚みtが0.
1mm 〜0.2mm の範囲であるものにあって、前
記主体金具との接合部と前記厚肉部との間に生ずる環状
可撓部の間隔s(mm) が、次の関係となるようにし
たことを特徴とする圧力センサ。 s=5(t+0.1 )±0.35
ンダーに装着される主体金具に、検出開口がシリンダ内
に位置する軸孔を備え、その軸孔の内部に圧電素子、圧
力伝達棒等の検出要素を収納し、更に前記軸孔の開口端
を、金属製ダイアフラムで密封してなるものにおいて、
前記金属製ダイアフラムが、中央近傍に厚肉部を、その
外周に薄肉部を夫々形成され、該薄肉部の厚みtが0.
1mm 〜0.2mm の範囲であるものにあって、前
記主体金具との接合部と前記厚肉部との間に生ずる環状
可撓部の間隔s(mm) が、次の関係となるようにし
たことを特徴とする圧力センサ。 s=5(t+0.1 )±0.35
【0005】
【作用】高温中で前記金属製ダイアフラムの厚肉部周囲
の環状可撓部では、主体金具や圧力伝達棒と非接触状態
のため、熱放散性が悪く、熱応力が集中する。このため
前記環状可撓部の間隔sが大きいと、金属製ダイアフラ
ムの劣化及び破損を生じ易い。一方、シリンダー内圧は
ダイアフラムが撓んで圧力伝達棒に作用するのであるか
ら、該環状可撓部が小さすぎるとダイアフラムが充分に
撓まず、シリンダ内圧が圧力伝達棒に適正に作用しない
。そこで、金属製ダイアフラムの厚みtが0.1mm
〜0.2mm である範囲において、最適な条件を検討
したところ、その厚みとの関係において、上述の式が導
き出された。
の環状可撓部では、主体金具や圧力伝達棒と非接触状態
のため、熱放散性が悪く、熱応力が集中する。このため
前記環状可撓部の間隔sが大きいと、金属製ダイアフラ
ムの劣化及び破損を生じ易い。一方、シリンダー内圧は
ダイアフラムが撓んで圧力伝達棒に作用するのであるか
ら、該環状可撓部が小さすぎるとダイアフラムが充分に
撓まず、シリンダ内圧が圧力伝達棒に適正に作用しない
。そこで、金属製ダイアフラムの厚みtが0.1mm
〜0.2mm である範囲において、最適な条件を検討
したところ、その厚みとの関係において、上述の式が導
き出された。
【0006】
【実施例】図1は本発明の一実施例を示し、1は下端部
1a外周にシリンダブロックに螺合する雄螺子2と、上
端部1b外周にスパナ等の締付け工具と適合する六角部
3とを形成したボルト構造をなす主体金具で、その内部
には、軸孔4が形成されている。この軸孔4は下端部1
a側を貫通する異径孔4a,4bと、上端部1b側を貫
通する径大孔4cとの連接孔よりなる。前記異径孔4a
,4bのうち、径大側の孔4aには,その径小側の孔4
bに近いほうから電気絶縁環5、第1の端子部材6、表
裏面に電極(図示せず)が付与された圧電素子7,第2
の端子部材8が順次層状に配設され、これら積層物の周
囲に被覆した絶縁材9により主体金具1と絶縁している
。また前記第1の端子部材6の上面からは後記する信号
搬送用ケーブル12と接続する接続手6aが、絶縁環5
を挿通して突設している。
1a外周にシリンダブロックに螺合する雄螺子2と、上
端部1b外周にスパナ等の締付け工具と適合する六角部
3とを形成したボルト構造をなす主体金具で、その内部
には、軸孔4が形成されている。この軸孔4は下端部1
a側を貫通する異径孔4a,4bと、上端部1b側を貫
通する径大孔4cとの連接孔よりなる。前記異径孔4a
,4bのうち、径大側の孔4aには,その径小側の孔4
bに近いほうから電気絶縁環5、第1の端子部材6、表
裏面に電極(図示せず)が付与された圧電素子7,第2
の端子部材8が順次層状に配設され、これら積層物の周
囲に被覆した絶縁材9により主体金具1と絶縁している
。また前記第1の端子部材6の上面からは後記する信号
搬送用ケーブル12と接続する接続手6aが、絶縁環5
を挿通して突設している。
【0007】更に前記径大側の孔4aには圧力伝達棒1
0が挿入され、その上端の径大部を第2の端子部材8に
圧接し、径小部の下端は主体金具1の下端部1aを機密
に封口するように接合された金属製ダイアフラム11に
接着している。この金属ダイヤフラム11は耐熱性が必
要で、例えばインコネル又はSUS630相当の耐熱性
金属材料のようなものが良い。また該金属ダイヤフラム
11は、図1及び図2aで示すようにその中央近傍に厚
肉部11aを備え、その外周を前記主体金具1に接続す
る接合部11bとし、該厚肉部11aと、接合部11b
との間の、接合部11bの内径xと厚肉部11aの外径
y間の間隔sで規定される薄肉部を環状可撓部11cと
している。そして前記圧力伝達棒10の下端部を、厚肉
部11aに接続するようにしている。
0が挿入され、その上端の径大部を第2の端子部材8に
圧接し、径小部の下端は主体金具1の下端部1aを機密
に封口するように接合された金属製ダイアフラム11に
接着している。この金属ダイヤフラム11は耐熱性が必
要で、例えばインコネル又はSUS630相当の耐熱性
金属材料のようなものが良い。また該金属ダイヤフラム
11は、図1及び図2aで示すようにその中央近傍に厚
肉部11aを備え、その外周を前記主体金具1に接続す
る接合部11bとし、該厚肉部11aと、接合部11b
との間の、接合部11bの内径xと厚肉部11aの外径
y間の間隔sで規定される薄肉部を環状可撓部11cと
している。そして前記圧力伝達棒10の下端部を、厚肉
部11aに接続するようにしている。
【0008】尚、図2bに示すように、該金属ダイヤフ
ラム11を周囲に接合壁を有する蓋状構造とした場合に
は、この接合壁が接合部11bとなり、厚肉部11a周
囲の間隔sで規定される薄肉状底部全体が環状可撓部1
1cとなる。
ラム11を周囲に接合壁を有する蓋状構造とした場合に
は、この接合壁が接合部11bとなり、厚肉部11a周
囲の間隔sで規定される薄肉状底部全体が環状可撓部1
1cとなる。
【0009】前記六角部3側の径大孔4cの内面には、
段座4c’が形成され、これに座定する鍔13aを備え
た金属スリーブ13が嵌合されるとともに六角部3の上
端から突出する環状薄肉片3aを内側に屈曲することに
よって加締め付けられている。
段座4c’が形成され、これに座定する鍔13aを備え
た金属スリーブ13が嵌合されるとともに六角部3の上
端から突出する環状薄肉片3aを内側に屈曲することに
よって加締め付けられている。
【0010】前記金属スリーブ9の内部には信号搬送用
ケーブル12の一端が挿通固定され、該ケーブル12よ
り裸出した芯線12aが絶縁被覆した中継用導線13を
介して第1の端子部材6に接続されている。しかるに圧
電素子7の一方の電極は前記第1の端子部材6と中継用
導線14を通してケーブル12の芯線12aに接続され
、他方の電極は第2の端子部材8、伝達棒10及び金属
製ダイアフラム11を通して主体金具1に接地接続され
ている。
ケーブル12の一端が挿通固定され、該ケーブル12よ
り裸出した芯線12aが絶縁被覆した中継用導線13を
介して第1の端子部材6に接続されている。しかるに圧
電素子7の一方の電極は前記第1の端子部材6と中継用
導線14を通してケーブル12の芯線12aに接続され
、他方の電極は第2の端子部材8、伝達棒10及び金属
製ダイアフラム11を通して主体金具1に接地接続され
ている。
【0011】また第1の端子部材6と第2の端子部材8
との間には表裏面に電極が被着される圧電素子7が配設
される。この圧電素子7は、ニオブ酸リチウム(LiN
bO3 )やタンタル酸リチウム(LiTaO3 )も
しくはこれら単結晶材料と同効の単結晶圧電材料よりな
り、厚みが0.3mm〜 1.5mmの外形寸法を有す
る円形または角形の板状圧電素子を用いることができる
。
との間には表裏面に電極が被着される圧電素子7が配設
される。この圧電素子7は、ニオブ酸リチウム(LiN
bO3 )やタンタル酸リチウム(LiTaO3 )も
しくはこれら単結晶材料と同効の単結晶圧電材料よりな
り、厚みが0.3mm〜 1.5mmの外形寸法を有す
る円形または角形の板状圧電素子を用いることができる
。
【0012】尚、このような単結晶構造からなる圧電素
子7は、耐圧強度に乏しいため、圧電素子7の受圧面積
は、ダイアフラム11がシリンダ圧力より受圧する面積
の 1/4以上、好ましくは 1/3以上である。これ
はダイアフラムの受圧面にシリンダ内圧の最大 100
気圧が加わったときに、その力に耐え得るための寸法で
あり、 1/4未満では破損することとなる。またダイ
アフラム11が高温となりヤング率が小さくなったとき
に、該ダイアフラム11が大きく変形できると、圧力伝
達棒10への伝達が大きくなるため、高温を考慮すると
1/3 以上が望ましい。
子7は、耐圧強度に乏しいため、圧電素子7の受圧面積
は、ダイアフラム11がシリンダ圧力より受圧する面積
の 1/4以上、好ましくは 1/3以上である。これ
はダイアフラムの受圧面にシリンダ内圧の最大 100
気圧が加わったときに、その力に耐え得るための寸法で
あり、 1/4未満では破損することとなる。またダイ
アフラム11が高温となりヤング率が小さくなったとき
に、該ダイアフラム11が大きく変形できると、圧力伝
達棒10への伝達が大きくなるため、高温を考慮すると
1/3 以上が望ましい。
【0013】次に本発明の要部について説明する。金属
製ダイアフラム11の厚肉部11aと、接合部11bと
の間の環状可撓部11c(図2a,図2b参照)で、該
ダイアフラム11が撓んで圧力伝達棒10下面にシリン
ダの内圧が作用する。この金属製ダイアフラム11の環
状可撓部11cの間隔sは過大であっても過小であって
もいけない。すなわち、高温中で環状可撓部11cは、
主体金具1や圧力伝達棒10と非接触状態のため、熱放
散性が悪く、熱応力が集中する。このため前記環状可撓
部11cの間隔sが大きいと、金属製ダイアフラム11
の劣化及び破損を生じ易い。一方、シリンダー内圧はダ
イアフラム11が撓んで圧力伝達棒に作用するのである
から、該環状可撓部11cが小さすぎると、ダイアフラ
ム11が充分に撓まず、シリンダ内圧が圧力伝達棒に適
正に作用しない。
製ダイアフラム11の厚肉部11aと、接合部11bと
の間の環状可撓部11c(図2a,図2b参照)で、該
ダイアフラム11が撓んで圧力伝達棒10下面にシリン
ダの内圧が作用する。この金属製ダイアフラム11の環
状可撓部11cの間隔sは過大であっても過小であって
もいけない。すなわち、高温中で環状可撓部11cは、
主体金具1や圧力伝達棒10と非接触状態のため、熱放
散性が悪く、熱応力が集中する。このため前記環状可撓
部11cの間隔sが大きいと、金属製ダイアフラム11
の劣化及び破損を生じ易い。一方、シリンダー内圧はダ
イアフラム11が撓んで圧力伝達棒に作用するのである
から、該環状可撓部11cが小さすぎると、ダイアフラ
ム11が充分に撓まず、シリンダ内圧が圧力伝達棒に適
正に作用しない。
【0014】そこで、金属製ダイアフラム11の薄肉部
の厚みtが0.1mm〜0.2mm である範囲におい
て、圧力センサをシリンダ内圧 100気圧、金属製ダ
イアフラム11の温度が400 ℃となる条件のもとに
、金属製ダイアフラム11の破損状態と、圧電素子7か
らの出力電圧を検査した。その結果、図3a,図3bの
ようになった。
の厚みtが0.1mm〜0.2mm である範囲におい
て、圧力センサをシリンダ内圧 100気圧、金属製ダ
イアフラム11の温度が400 ℃となる条件のもとに
、金属製ダイアフラム11の破損状態と、圧電素子7か
らの出力電圧を検査した。その結果、図3a,図3bの
ようになった。
【0015】ここで、図3aは金属製ダイアフラム11
の薄肉部の厚みtが0.1mm のものにつき、図3a
は同薄肉部の厚みtが0.2mm のものにつき夫々接
合部11bの内径xと厚肉部11aの外径yを変えて、
調査したものであって、ここで、〇印は破損がなく出力
が適正なものを示し、△印は1/3 が破損したかまた
は出力が圧電素子の圧電定数に対して半分以下であった
ものを示し、×印は2/3 以上が破損したかまたは出
力が圧電素子の圧電定数に対して1/3 以下であった
ものを示す。尚、x,yとの関係は図2a,2bで示す
。
の薄肉部の厚みtが0.1mm のものにつき、図3a
は同薄肉部の厚みtが0.2mm のものにつき夫々接
合部11bの内径xと厚肉部11aの外径yを変えて、
調査したものであって、ここで、〇印は破損がなく出力
が適正なものを示し、△印は1/3 が破損したかまた
は出力が圧電素子の圧電定数に対して半分以下であった
ものを示し、×印は2/3 以上が破損したかまたは出
力が圧電素子の圧電定数に対して1/3 以下であった
ものを示す。尚、x,yとの関係は図2a,2bで示す
。
【0016】そして、金属製ダイアフラム11の破損と
環状可撓部11cの間隔sとの関係を検討するために、
s=(x−y)/2の関係から、金属製ダイアフラム1
1の破損は間隔sの大きさとの関係において定まるもの
と仮定し、y=x−cの一次関数線分により境界領域を
決定するようにした。この関係によれば、間隔s=c/
2となり、x軸との接点の値を観ることにより、間隔s
の境界領域を判定することができる。この結果、上部の
境界領域線αと、下部の境界領域線βが決定され得た。 従って、この領域線α,β内にあるものが適正なcの範
囲にあるといえる。
環状可撓部11cの間隔sとの関係を検討するために、
s=(x−y)/2の関係から、金属製ダイアフラム1
1の破損は間隔sの大きさとの関係において定まるもの
と仮定し、y=x−cの一次関数線分により境界領域を
決定するようにした。この関係によれば、間隔s=c/
2となり、x軸との接点の値を観ることにより、間隔s
の境界領域を判定することができる。この結果、上部の
境界領域線αと、下部の境界領域線βが決定され得た。 従って、この領域線α,β内にあるものが適正なcの範
囲にあるといえる。
【0017】そしてこの適正領域内にあって、中心値と
してc=2.0mm を採用でき、この値を中心とする
とc= 2.0mm±0.7 mmの範囲が適正範囲と
言える。すなわち、s=1.5mm±0.35 mmで
ある。
してc=2.0mm を採用でき、この値を中心とする
とc= 2.0mm±0.7 mmの範囲が適正範囲と
言える。すなわち、s=1.5mm±0.35 mmで
ある。
【0018】同様に金属製ダイアフラム11の薄肉部の
厚みt=0.2mm の図3bにつき検討すると、上部
の境界領域線αと、下部の境界領域線βを図のように決
定し、ここから好適な数値としてc=3.0mm を採
用でき、この値を中心とするとc= 3.0mm±0.
7 mmの範囲が適正範囲と言える。すなわち、s=
1.5mm±0.35 mm である。
厚みt=0.2mm の図3bにつき検討すると、上部
の境界領域線αと、下部の境界領域線βを図のように決
定し、ここから好適な数値としてc=3.0mm を採
用でき、この値を中心とするとc= 3.0mm±0.
7 mmの範囲が適正範囲と言える。すなわち、s=
1.5mm±0.35 mm である。
【0019】このように金属製ダイアフラム11の薄肉
部の厚みt=0.1mm のときには、s= 1.0m
m±0.35 mm であり、金属製ダイアフラム11
の薄肉部の厚みt=0.2mmのときにはs= 1.5
mm±0.35 mm であり、両者の間隔sの差は0
.5 mmである。このことから、金属製ダイアフラム
11の薄肉部の厚みtが厚くなるに従って強度が増して
破損が低減され、一方、その可撓性の低下により、シリ
ンダ圧力を伝えにくくなるため、環状可撓部11cの間
隔sの適正値は大きくなることが解る。そして、この差
は間隔sの差と一次関数的な関係にあると想定でき、例
えば、金属製ダイアフラム11の薄肉部の厚みt=0.
15mmのときには、s=1.25mm±0.35mm
の適正領域が設定されると考えることができる。そし
て、このことを一次関数として表わすと、 s=5(t+0.1 )±0.35 となる。
部の厚みt=0.1mm のときには、s= 1.0m
m±0.35 mm であり、金属製ダイアフラム11
の薄肉部の厚みt=0.2mmのときにはs= 1.5
mm±0.35 mm であり、両者の間隔sの差は0
.5 mmである。このことから、金属製ダイアフラム
11の薄肉部の厚みtが厚くなるに従って強度が増して
破損が低減され、一方、その可撓性の低下により、シリ
ンダ圧力を伝えにくくなるため、環状可撓部11cの間
隔sの適正値は大きくなることが解る。そして、この差
は間隔sの差と一次関数的な関係にあると想定でき、例
えば、金属製ダイアフラム11の薄肉部の厚みt=0.
15mmのときには、s=1.25mm±0.35mm
の適正領域が設定されると考えることができる。そし
て、このことを一次関数として表わすと、 s=5(t+0.1 )±0.35 となる。
【0020】すなわち、金属製ダイアフラム11の薄肉
部の厚みtが0.1mm 〜0.2mm である範囲に
おいて、上述の関係により環状可撓部11cの間隔sを
設定することにより、金属製ダイアフラム11の破損が
少なく、かつ圧電素子7に適正な圧力を付与し得る圧力
センサを提供し得ることとなる。
部の厚みtが0.1mm 〜0.2mm である範囲に
おいて、上述の関係により環状可撓部11cの間隔sを
設定することにより、金属製ダイアフラム11の破損が
少なく、かつ圧電素子7に適正な圧力を付与し得る圧力
センサを提供し得ることとなる。
【0021】
【発明の効果】本発明の圧力センサは、金属製ダイアフ
ラム11の薄肉部の厚みtが0.1mm 〜0.2mm
である範囲において、上述の関係により環状可撓部1
1cの間隔sを設定することにより、金属製ダイアフラ
ム11の破損を可及的に防止でき、かつ適正な出力を生
じ得るものであり、このため耐久性及び信頼性の高い最
適な圧力センサを市場に供し得る優れた効果がある。
ラム11の薄肉部の厚みtが0.1mm 〜0.2mm
である範囲において、上述の関係により環状可撓部1
1cの間隔sを設定することにより、金属製ダイアフラ
ム11の破損を可及的に防止でき、かつ適正な出力を生
じ得るものであり、このため耐久性及び信頼性の高い最
適な圧力センサを市場に供し得る優れた効果がある。
【図1】本発明の一実施例を示す圧力センサの縦断側面
図である。
図である。
【図2a】x,yの関係を示す一部の拡大縦断側面図で
ある。
ある。
【図2b】他の構成におけるx,yの関係を示す拡大縦
断側面図である。
断側面図である。
【図3a】金属製ダイアフラム11の薄肉部の厚みtが
0.1mm のときのx,yと、試験結果との関係を示
すグラフである。
0.1mm のときのx,yと、試験結果との関係を示
すグラフである。
【図3b】金属製ダイアフラム11の薄肉部の厚みtが
0.2mm のときのx,yと、試験結果との関係を示
すグラフである。
0.2mm のときのx,yと、試験結果との関係を示
すグラフである。
1 主体金具
4 軸孔
7 圧電素子
10 圧力伝達棒
11 金属製ダイアフラム
11a 厚肉部
11b 接合部
11c 環状可撓部
s 環状可撓部11cの間隔
t 金属製ダイアフラム11の厚み
Claims (1)
- 【請求項1】 内燃機関のシリンダーに装着される主
体金具に、検出開口がシリンダ内に位置する軸孔を備え
、その軸孔の内部に圧電素子、圧力伝達棒等の検出要素
を収納し、更に前記軸孔の開口端を、金属製ダイアフラ
ムで密封してなるものにおいて、前記金属製ダイアフラ
ムが、中央近傍に厚肉部を、その外周に薄肉部を夫々形
成され、該薄肉部の厚みtが0.1mm 〜0.2mm
の範囲であるものにあって、前記主体金具との接合部
と前記厚肉部との間に生ずる環状可撓部の間隔s(mm
) が、次の関係となるようにしたことを特徴とする圧
力センサ。 s=5(t+0.1 )±0.35
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17722991A JPH04372832A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17722991A JPH04372832A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04372832A true JPH04372832A (ja) | 1992-12-25 |
Family
ID=16027412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17722991A Pending JPH04372832A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04372832A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010019827A (ja) * | 2008-06-11 | 2010-01-28 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサー |
JP2010096656A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Denso Corp | 圧力センサ |
-
1991
- 1991-06-21 JP JP17722991A patent/JPH04372832A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010019827A (ja) * | 2008-06-11 | 2010-01-28 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサー |
JP2010096656A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Denso Corp | 圧力センサ |
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