JPH04359462A - 混成集積回路装置 - Google Patents
混成集積回路装置Info
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- JPH04359462A JPH04359462A JP3161120A JP16112091A JPH04359462A JP H04359462 A JPH04359462 A JP H04359462A JP 3161120 A JP3161120 A JP 3161120A JP 16112091 A JP16112091 A JP 16112091A JP H04359462 A JPH04359462 A JP H04359462A
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
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- H05K1/0298—Multilayer circuits
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- H05K1/181—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components
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- H—ELECTRICITY
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、多層基板上に集積回路
等の半導体チップおよびセラミックコンデンサ等のディ
スクリートチップ部品を搭載した混成集積回路装置に関
する。
等の半導体チップおよびセラミックコンデンサ等のディ
スクリートチップ部品を搭載した混成集積回路装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、上記した混成集積回路装置は、一
例として図4に示すように、多層基板1の表面に半導体
チップ2をダイボンディングおよびワイヤボンディング
により接着し樹脂3により封止した後、同一平面上にデ
ィスクリートチップ部品4をハンダペースト,ハンダボ
ール等を用いて組み付け、各部品の搭載部分を封止部材
5によって封止することにより形成されている。
例として図4に示すように、多層基板1の表面に半導体
チップ2をダイボンディングおよびワイヤボンディング
により接着し樹脂3により封止した後、同一平面上にデ
ィスクリートチップ部品4をハンダペースト,ハンダボ
ール等を用いて組み付け、各部品の搭載部分を封止部材
5によって封止することにより形成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記した混成集積回路
装置においては、ディスクリートチップ部品の組み付け
の際のハンダフラックス等の拡散による半導体チップの
汚れあるいはハンダフラックス等から発生する反応性ガ
スによる半導体チップの特性の劣化等を防ぐため、半導
体チップ組み付け後半導体チップの樹脂封止を行わなけ
ればならないため組立工程が複雑になるという問題があ
った。さらに、上記混成集積回路装置においては、同一
基板面の互いに近接した位置に半導体チップとディスク
リートチップ部品を配設しているため、ディスクリート
チップ部品からの放熱により半導体チップが加熱され、
半導体チップの動作温度範囲の上限を越える場合が生じ
た。また、半導体チップの抵抗とチップ抵抗部品の温度
係数が各々負および正と異なるため、両者が同程度の高
温雰囲気におかれると何れかが許容特性範囲を越えると
いう問題も生じた。
装置においては、ディスクリートチップ部品の組み付け
の際のハンダフラックス等の拡散による半導体チップの
汚れあるいはハンダフラックス等から発生する反応性ガ
スによる半導体チップの特性の劣化等を防ぐため、半導
体チップ組み付け後半導体チップの樹脂封止を行わなけ
ればならないため組立工程が複雑になるという問題があ
った。さらに、上記混成集積回路装置においては、同一
基板面の互いに近接した位置に半導体チップとディスク
リートチップ部品を配設しているため、ディスクリート
チップ部品からの放熱により半導体チップが加熱され、
半導体チップの動作温度範囲の上限を越える場合が生じ
た。また、半導体チップの抵抗とチップ抵抗部品の温度
係数が各々負および正と異なるため、両者が同程度の高
温雰囲気におかれると何れかが許容特性範囲を越えると
いう問題も生じた。
【0004】上記問題を回避するため、実開昭62ー1
12160号公報に開示された半導体装置においては、
ディスクリートチップ部品の基板への接着を金合金を用
いて行うことにより、接着の際にフラックスによる汚れ
やガスの発生を伴わないようにしている。しかし、接着
用の金合金がハンダペースト等に比べ非常に高価なため
特別な用途を除き安価な民生用チップ部品の電極用に用
いることは難しい。さらに、この半導体装置においては
、ディスクリートチップ部品の放熱による半導体チップ
の加熱の問題については考慮されていない。また、特開
昭60ー10647号公報に開示された混成集積回路装
置においては、多層基板に凹状の部品搭載部を形成し半
導体チップおよびディスクリートチップ部品等を搭載し
た後、部品搭載部の上部を平板状のセラミック蓋で被覆
し各部品を封止している。しかし、この混成集積回路装
置においては、ディスクリートチップ部品の接着時にお
けるハンダフラックス等の拡散による半導体チップの汚
れは回避することができるものの、ハンダフラックス等
から発生する反応性ガスによる半導体チップの劣化等を
防ぐのに十分ではない。さらに、ディスクリートチップ
部品が多層基板の凹状の部品搭載部内に組み付けられて
いるため、ディスクリートチップ部品から発生する熱が
基板外部へ十分に放熱されず、この熱が基板を介して半
導体チップに及ぶため、半導体チップの加熱が避けられ
ない。また、特開昭60ー171754号公報に開示さ
れた半導体チップキャリアにおいては、半導体チップの
組み付けられたチップキャリアの封止用リッドの外面に
ディスクリートチップ部品等を組み付けている。この場
合、半導体チップがディスクリートチップ部品の組み付
けにより汚染等されることはないが、半導体チップの放
熱部分であるリッド上に発熱源であるディスクリートチ
ップ部品が組み付けられていることにより、半導体チッ
プが加熱されることは避けられない。本発明は、上記課
題を解消しようとするもので、ディスクリートチップ部
品の多層基板への接着時におけるハンダフラックス等に
よる半導体チップの汚染や特性の劣化を防止すると共に
、半導体チップの温度特性がディスクリートチップ部品
の放熱により影響されないような混成集積回路装置を提
供することにある。
12160号公報に開示された半導体装置においては、
ディスクリートチップ部品の基板への接着を金合金を用
いて行うことにより、接着の際にフラックスによる汚れ
やガスの発生を伴わないようにしている。しかし、接着
用の金合金がハンダペースト等に比べ非常に高価なため
特別な用途を除き安価な民生用チップ部品の電極用に用
いることは難しい。さらに、この半導体装置においては
、ディスクリートチップ部品の放熱による半導体チップ
の加熱の問題については考慮されていない。また、特開
昭60ー10647号公報に開示された混成集積回路装
置においては、多層基板に凹状の部品搭載部を形成し半
導体チップおよびディスクリートチップ部品等を搭載し
た後、部品搭載部の上部を平板状のセラミック蓋で被覆
し各部品を封止している。しかし、この混成集積回路装
置においては、ディスクリートチップ部品の接着時にお
けるハンダフラックス等の拡散による半導体チップの汚
れは回避することができるものの、ハンダフラックス等
から発生する反応性ガスによる半導体チップの劣化等を
防ぐのに十分ではない。さらに、ディスクリートチップ
部品が多層基板の凹状の部品搭載部内に組み付けられて
いるため、ディスクリートチップ部品から発生する熱が
基板外部へ十分に放熱されず、この熱が基板を介して半
導体チップに及ぶため、半導体チップの加熱が避けられ
ない。また、特開昭60ー171754号公報に開示さ
れた半導体チップキャリアにおいては、半導体チップの
組み付けられたチップキャリアの封止用リッドの外面に
ディスクリートチップ部品等を組み付けている。この場
合、半導体チップがディスクリートチップ部品の組み付
けにより汚染等されることはないが、半導体チップの放
熱部分であるリッド上に発熱源であるディスクリートチ
ップ部品が組み付けられていることにより、半導体チッ
プが加熱されることは避けられない。本発明は、上記課
題を解消しようとするもので、ディスクリートチップ部
品の多層基板への接着時におけるハンダフラックス等に
よる半導体チップの汚染や特性の劣化を防止すると共に
、半導体チップの温度特性がディスクリートチップ部品
の放熱により影響されないような混成集積回路装置を提
供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の混成集積回路装
置の特徴は、導体配線を所定のパターンにてその表面に
それぞれ形成した複数枚の基板を積層してなり、所要の
半導体チップを搭載すべき部分に位置する前記基板の一
部を打ち抜いて凹所を形成しかつ同基板の前記各導体配
線をその厚さ方向に貫通して設けた貫通孔に充填した導
体材料により接続した多層基板と、前記凹所の底部に組
み付けられて前記多層基板の表面に固着した封止部材に
より封止された半導体チップと、前記凹所から所定間隔
離れた位置にて前記多層基板表面の前記導体配線上に組
み付けられたディスクリートチップ部品とを備えたこと
にある。
置の特徴は、導体配線を所定のパターンにてその表面に
それぞれ形成した複数枚の基板を積層してなり、所要の
半導体チップを搭載すべき部分に位置する前記基板の一
部を打ち抜いて凹所を形成しかつ同基板の前記各導体配
線をその厚さ方向に貫通して設けた貫通孔に充填した導
体材料により接続した多層基板と、前記凹所の底部に組
み付けられて前記多層基板の表面に固着した封止部材に
より封止された半導体チップと、前記凹所から所定間隔
離れた位置にて前記多層基板表面の前記導体配線上に組
み付けられたディスクリートチップ部品とを備えたこと
にある。
【0006】
【発明の作用・効果】上記したように本発明の混成集積
回路装置を構成したことにより、半導体チップは多層基
板の凹所の底部に組み付けられ、この多層基板の表面に
凹所を被覆して封止部材を固着させることにより半導体
チップは凹所内に封止される。このため、半導体チップ
は外部から完全に遮断されるので、その後、ディスクリ
ートチップ部品が凹所から所定間隔離れた位置にて多層
基板表面の導体配線上に組み付けられる際に生じるハン
ダフラックス等の拡散による汚れやハンダフラックス等
から発生する反応性ガスにより半導体チップが影響を受
けることはない。また、ディスクリートチップ部品が多
層基板の表面の導体配線上に露出して組み付けられてい
ることにより、ディスクリートチップ部品からの多層基
板外部への放熱が円滑に行われ多層基板内への蓄熱が抑
制されるので、ディスクリートチップ部品の放熱による
半導体チップの温度上昇が抑制され半導体チップの温度
特性に悪影響を与えない。
回路装置を構成したことにより、半導体チップは多層基
板の凹所の底部に組み付けられ、この多層基板の表面に
凹所を被覆して封止部材を固着させることにより半導体
チップは凹所内に封止される。このため、半導体チップ
は外部から完全に遮断されるので、その後、ディスクリ
ートチップ部品が凹所から所定間隔離れた位置にて多層
基板表面の導体配線上に組み付けられる際に生じるハン
ダフラックス等の拡散による汚れやハンダフラックス等
から発生する反応性ガスにより半導体チップが影響を受
けることはない。また、ディスクリートチップ部品が多
層基板の表面の導体配線上に露出して組み付けられてい
ることにより、ディスクリートチップ部品からの多層基
板外部への放熱が円滑に行われ多層基板内への蓄熱が抑
制されるので、ディスクリートチップ部品の放熱による
半導体チップの温度上昇が抑制され半導体チップの温度
特性に悪影響を与えない。
【0007】
【実施例】本発明の一実施例を図面により説明する。図
1は、第1実施例にかかる混成集積回路装置H の製造
工程の一部の概略断面を示すもので、混成集積回路装置
H は多層基板10と、多層基板10の上面に設けた凹
所12,13に収容された集積回路等の半導体チップ2
0a,20bと、多層基板10の底面に組み付けられた
チップ抵抗,チップコンデンサ等のディスクリートチッ
プ部品30a〜30eとを備えている。多層基板10は
、第1〜第4のアルミナのグリーンシート11a〜11
dを積層させたもので、第1及び第2層のグリーンシー
ト11a,11bには半導体チップ搭載用の部分が打ち
抜かれて凹所12,13が形成されており、また各グリ
ーンシート11a〜11dの表面には回路形成用の導体
配線(図示しない)がモリブデンあるいはタングステン
等を含む導体ペーストを印刷することにより形成される
。 さらに、各グリーンシート11a〜11dには厚さ方向
に貫通したスルーホールTHが形成されており、各グリ
ーンシートを積層する際にスルーホールTH内に導体ペ
ーストを埋め込むことにより各層の所定の導体配線間の
接続が形成される。このグリーンシート積層体を所定条
件にて焼成することにより多層基板10が形成される(
図1(a)参照)。なお、グリーンシートの材質として
はアルミナに限るものではなくステアタイト等でもよい
。
1は、第1実施例にかかる混成集積回路装置H の製造
工程の一部の概略断面を示すもので、混成集積回路装置
H は多層基板10と、多層基板10の上面に設けた凹
所12,13に収容された集積回路等の半導体チップ2
0a,20bと、多層基板10の底面に組み付けられた
チップ抵抗,チップコンデンサ等のディスクリートチッ
プ部品30a〜30eとを備えている。多層基板10は
、第1〜第4のアルミナのグリーンシート11a〜11
dを積層させたもので、第1及び第2層のグリーンシー
ト11a,11bには半導体チップ搭載用の部分が打ち
抜かれて凹所12,13が形成されており、また各グリ
ーンシート11a〜11dの表面には回路形成用の導体
配線(図示しない)がモリブデンあるいはタングステン
等を含む導体ペーストを印刷することにより形成される
。 さらに、各グリーンシート11a〜11dには厚さ方向
に貫通したスルーホールTHが形成されており、各グリ
ーンシートを積層する際にスルーホールTH内に導体ペ
ーストを埋め込むことにより各層の所定の導体配線間の
接続が形成される。このグリーンシート積層体を所定条
件にて焼成することにより多層基板10が形成される(
図1(a)参照)。なお、グリーンシートの材質として
はアルミナに限るものではなくステアタイト等でもよい
。
【0008】つぎに、混成集積回路装置H の組立工程
について説明すると、図1(b) に示すように多層基
板10の凹所12,13の導体配線上に半導体チップ2
0a,20bをダイボンディングにより接着させ、接着
された半導体チップ20a,20bの電極パッドと多層
基板10の第2層目の導体配線間をワイヤボンディング
により接続する。半導体チップ20a,20bの組み付
けられた多層基板10の上面にセラミック基板,樹脂板
あるいは金属板等の封止部材14を樹脂あるいは導電性
ペースト等の接着剤により接着し、凹所12,13を被
覆して凹所内の半導体チップ20a,20bを外部から
完全に遮断する(図1(c) 参照)。
について説明すると、図1(b) に示すように多層基
板10の凹所12,13の導体配線上に半導体チップ2
0a,20bをダイボンディングにより接着させ、接着
された半導体チップ20a,20bの電極パッドと多層
基板10の第2層目の導体配線間をワイヤボンディング
により接続する。半導体チップ20a,20bの組み付
けられた多層基板10の上面にセラミック基板,樹脂板
あるいは金属板等の封止部材14を樹脂あるいは導電性
ペースト等の接着剤により接着し、凹所12,13を被
覆して凹所内の半導体チップ20a,20bを外部から
完全に遮断する(図1(c) 参照)。
【0009】つぎに、多層基板10の第4層11dの下
面に形成されハンダペーストの塗布された導体配線上に
チップコンデンサ,チップ抵抗等のディスクリートチッ
プ部品30a〜30eを配設する。なお、ハンダバンプ
付きディスクリートチップ部品30の場合は、導体配線
上にフェースダウンにより配設する。この多層基板10
を所定温度に設定されたリフロー炉を通過させてハンダ
を溶融させることにより、ディスクリートチップ部品3
0を導体配線に接続させる(図1(d) 参照)。この
とき、半導体チップ20a,20bは封止部材14によ
り外部から完全に遮断されているので、リフロー炉内に
おけるハンダフラックス等の拡散による汚れやハンダフ
ラックス等から発生する反応性ガスにより影響されるこ
とはない。
面に形成されハンダペーストの塗布された導体配線上に
チップコンデンサ,チップ抵抗等のディスクリートチッ
プ部品30a〜30eを配設する。なお、ハンダバンプ
付きディスクリートチップ部品30の場合は、導体配線
上にフェースダウンにより配設する。この多層基板10
を所定温度に設定されたリフロー炉を通過させてハンダ
を溶融させることにより、ディスクリートチップ部品3
0を導体配線に接続させる(図1(d) 参照)。この
とき、半導体チップ20a,20bは封止部材14によ
り外部から完全に遮断されているので、リフロー炉内に
おけるハンダフラックス等の拡散による汚れやハンダフ
ラックス等から発生する反応性ガスにより影響されるこ
とはない。
【0010】このようにして形成された混成集積回路装
置H においては、その使用中に、ディスクリートチッ
プ部品30a〜30eから大量の熱が放出されるが、デ
ィスクリートチップ部品が多層基板10の表面に露出し
て組み付けられていることにより、ディスクリートチッ
プ部品からの多層基板10の外部への放熱が円滑に行わ
れ多層基板10内への蓄熱が抑制される。このため、半
導体チップ20a,20bはディスクリートチップ部品
30a〜30eからの放熱により影響されることはなく
、半導体チップは所定の動作温度範囲を保証されるとと
もに半導体チップ内の抵抗あるいはチップ抵抗が許容特
性範囲を越えることもない。なお、上記実施例において
は、ディスクリートチップ部品を多層基板10の底面に
組み付けた場合について説明しているが、ディスクリー
トチップ部品を基板上面の凹所から所定間隔離れた位置
に組み付けることも可能である。
置H においては、その使用中に、ディスクリートチッ
プ部品30a〜30eから大量の熱が放出されるが、デ
ィスクリートチップ部品が多層基板10の表面に露出し
て組み付けられていることにより、ディスクリートチッ
プ部品からの多層基板10の外部への放熱が円滑に行わ
れ多層基板10内への蓄熱が抑制される。このため、半
導体チップ20a,20bはディスクリートチップ部品
30a〜30eからの放熱により影響されることはなく
、半導体チップは所定の動作温度範囲を保証されるとと
もに半導体チップ内の抵抗あるいはチップ抵抗が許容特
性範囲を越えることもない。なお、上記実施例において
は、ディスクリートチップ部品を多層基板10の底面に
組み付けた場合について説明しているが、ディスクリー
トチップ部品を基板上面の凹所から所定間隔離れた位置
に組み付けることも可能である。
【0011】つぎに、本発明の第2実施例について図2
により説明する。第2実施例は、半導体チップ21a,
21bがフリップチップタイプの場合に適用されるもの
で、多層基板10のチップ搭載用の凹所15,16をチ
ップサイズと略同一形状でかつ深さが各々異なるように
形成したものである(図2(a) 参照)。半導体チッ
プ21a,21bは、その表面に形成されたバンプBに
より凹所15,16底面の導体配線上に接着される(図
2(b) 参照)。ディスクリートチップ部品30a〜
30eの搭載に関しては第1実施例と同様であるので説
明を省略する。以上のように第2実施例を構成したこと
により、上記第1実施例と同様の効果が得られると共に
半導体チップの実装をセルフアライメントにより容易に
行うことができる。さらに本実施例においては、図2(
c) に示すように、半導体チップ21aに接続される
導体配線と半導体チップ21a,21b相互間を接続す
る導体配線とが交差するような場合、前者として第3層
の基板面に形成された導体配線(2点鎖線)L1を用い
、後者として第4層に形成された導体配線(破線)L2
を用いることによりかかる複雑な導体配線を容易に処理
することができる。すなわち、従来のように深さが同一
の凹所15,16に組み込まれた半導体チップ21a,
21bについて上記のような交差する配線を配設する場
合には、1層下の基板面に形成された導体配線を介して
接続する必要があるために両半導体チップ21a,21
bの配設部分にスルーホールTHを形成する必要がある
のに対し、本実施例においては半導体チップ21a側に
ついてのみスルーホールTHを形成すれば良いので、多
層配線形成工程が簡略化され歩留の向上と製品のコスト
ダウンを図ることができる。なお、導体配線の配設の態
様は上記の場合に限るものではなく、半導体チップ間に
類似の交差した配線が形成された場合に本実施例を適用
することが可能である。
により説明する。第2実施例は、半導体チップ21a,
21bがフリップチップタイプの場合に適用されるもの
で、多層基板10のチップ搭載用の凹所15,16をチ
ップサイズと略同一形状でかつ深さが各々異なるように
形成したものである(図2(a) 参照)。半導体チッ
プ21a,21bは、その表面に形成されたバンプBに
より凹所15,16底面の導体配線上に接着される(図
2(b) 参照)。ディスクリートチップ部品30a〜
30eの搭載に関しては第1実施例と同様であるので説
明を省略する。以上のように第2実施例を構成したこと
により、上記第1実施例と同様の効果が得られると共に
半導体チップの実装をセルフアライメントにより容易に
行うことができる。さらに本実施例においては、図2(
c) に示すように、半導体チップ21aに接続される
導体配線と半導体チップ21a,21b相互間を接続す
る導体配線とが交差するような場合、前者として第3層
の基板面に形成された導体配線(2点鎖線)L1を用い
、後者として第4層に形成された導体配線(破線)L2
を用いることによりかかる複雑な導体配線を容易に処理
することができる。すなわち、従来のように深さが同一
の凹所15,16に組み込まれた半導体チップ21a,
21bについて上記のような交差する配線を配設する場
合には、1層下の基板面に形成された導体配線を介して
接続する必要があるために両半導体チップ21a,21
bの配設部分にスルーホールTHを形成する必要がある
のに対し、本実施例においては半導体チップ21a側に
ついてのみスルーホールTHを形成すれば良いので、多
層配線形成工程が簡略化され歩留の向上と製品のコスト
ダウンを図ることができる。なお、導体配線の配設の態
様は上記の場合に限るものではなく、半導体チップ間に
類似の交差した配線が形成された場合に本実施例を適用
することが可能である。
【0012】つぎに、本発明の第3実施例について図3
により説明する。第3実施例は、半導体チップ22a,
22bがフリップチップタイプの場合に適用されるもの
で、多層基板10のチップ搭載用の凹所17,18をチ
ップサイズと略同一形状でかつその上端部分に所定の傾
斜部17a,18aを設けて形成したものである(図3
(a) 参照)。半導体チップ22a,22bは、その
表面に形成されたバンプBにより凹所17,18底面の
導体配線上に接着される(図3(b) 参照)。ディス
クリートチップ部品30a〜30eの搭載に関しては第
1実施例と同様であるので説明を省略する。以上のよう
に第3実施例を構成したことにより、第1実施例と同様
の効果が得られると共に半導体チップの実装をセルフア
ライメントにより容易に行うことができる。また本実施
例においては、半導体チップ22a,22bの凹所17
,18への挿入を上端の傾斜部分17a,18aを利用
して容易に行うことができるので、半導体チップの基板
との位置決め精度に余裕をもたせることが可能となる。 このため、本実施例においては、複雑な位置合わせ機構
を備えた高価なボンディング装置を要することなく、簡
易な位置合わせ機能を備えた安価なボンディング装置で
半導体チップのボンデイングが可能になる。
により説明する。第3実施例は、半導体チップ22a,
22bがフリップチップタイプの場合に適用されるもの
で、多層基板10のチップ搭載用の凹所17,18をチ
ップサイズと略同一形状でかつその上端部分に所定の傾
斜部17a,18aを設けて形成したものである(図3
(a) 参照)。半導体チップ22a,22bは、その
表面に形成されたバンプBにより凹所17,18底面の
導体配線上に接着される(図3(b) 参照)。ディス
クリートチップ部品30a〜30eの搭載に関しては第
1実施例と同様であるので説明を省略する。以上のよう
に第3実施例を構成したことにより、第1実施例と同様
の効果が得られると共に半導体チップの実装をセルフア
ライメントにより容易に行うことができる。また本実施
例においては、半導体チップ22a,22bの凹所17
,18への挿入を上端の傾斜部分17a,18aを利用
して容易に行うことができるので、半導体チップの基板
との位置決め精度に余裕をもたせることが可能となる。 このため、本実施例においては、複雑な位置合わせ機構
を備えた高価なボンディング装置を要することなく、簡
易な位置合わせ機能を備えた安価なボンディング装置で
半導体チップのボンデイングが可能になる。
【0013】また、上記第2及び第3実施例のように混
成集積回路装置H 用の半導体チップとしてフリップチ
ップタイプを用いる場合、上記したように半導体チップ
をチップ搭載用の凹所内に接着した後に封止部材14を
別途接着させる代わりに、半導体チップをチップ搭載用
の凹所内に位置決めした後、封止部材14を多層基板1
0の上面に配設し、この多層基板を熱処理することによ
り半導体チップを接着させると同時に封止部材14の接
着を行うようにしてもよい。これにより、熱処理回数が
削減され、半導体チップの組立時間を低減させることが
できる。
成集積回路装置H 用の半導体チップとしてフリップチ
ップタイプを用いる場合、上記したように半導体チップ
をチップ搭載用の凹所内に接着した後に封止部材14を
別途接着させる代わりに、半導体チップをチップ搭載用
の凹所内に位置決めした後、封止部材14を多層基板1
0の上面に配設し、この多層基板を熱処理することによ
り半導体チップを接着させると同時に封止部材14の接
着を行うようにしてもよい。これにより、熱処理回数が
削減され、半導体チップの組立時間を低減させることが
できる。
【0014】なお、上記各実施例においては多層基板と
してグリーンシート積層体を焼成したものを用いている
が、導体配線の形成されたセラミック基板あるいはプラ
スチック基板等を積層したものを用いてもよい。
してグリーンシート積層体を焼成したものを用いている
が、導体配線の形成されたセラミック基板あるいはプラ
スチック基板等を積層したものを用いてもよい。
【図1】本発明の第1実施例に係る混成集積回路装置の
組立工程の一部を示す概略断面図である。
組立工程の一部を示す概略断面図である。
【図2】第2実施例に係る混成集積回路装置の要部断面
図及び要部の拡大平面図である。
図及び要部の拡大平面図である。
【図3】第3実施例に係る混成集積回路装置の要部断面
図である。
図である。
【図4】従来例に係る混成集積回路装置の概略断面図で
ある。
ある。
10…多層基板、11a〜11d…グリーンシート、1
2,13,15,16,17,18…チップ搭載部位、
14…封止部材、20a,20b,21a,21b22
a,22b…半導体チップ、30a〜30e…ディスク
リートチップ部品、H…混成集積回路装置、TH…スル
ーホール。
2,13,15,16,17,18…チップ搭載部位、
14…封止部材、20a,20b,21a,21b22
a,22b…半導体チップ、30a〜30e…ディスク
リートチップ部品、H…混成集積回路装置、TH…スル
ーホール。
Claims (1)
- 【請求項1】 導体配線を所定のパターンにてその表
面にそれぞれ形成した複数枚の基板を積層してなり、所
要の半導体チップを搭載すべき部分に位置する前記基板
の一部を打ち抜いて凹所を形成しかつ同基板の前記各導
体配線をその厚さ方向に貫通して設けた貫通孔に充填し
た導体材料により接続した多層基板と、前記凹所の底部
に組み付けられて前記多層基板の表面に固着した封止部
材により封止された半導体チップと、前記凹所から所定
間隔離れた位置にて前記多層基板表面の前記導体配線上
に組み付けられたディスクリートチップ部品とを備えた
ことを特徴とする混成集積回路装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3161120A JPH04359462A (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | 混成集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3161120A JPH04359462A (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | 混成集積回路装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04359462A true JPH04359462A (ja) | 1992-12-11 |
Family
ID=15728984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3161120A Pending JPH04359462A (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | 混成集積回路装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04359462A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08139267A (ja) * | 1994-11-07 | 1996-05-31 | Nec Corp | マルチチップモジュール |
US5801438A (en) * | 1995-06-16 | 1998-09-01 | Nec Corporation | Semiconductor device mounting and multi-chip module |
US5831833A (en) * | 1995-07-17 | 1998-11-03 | Nec Corporation | Bear chip mounting printed circuit board and a method of manufacturing thereof by photoetching |
GB2339337A (en) * | 1995-06-16 | 2000-01-19 | Nec Corp | Semiconductor device mounting in recesses in a circuit board |
JP2017092380A (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-25 | 京セラ株式会社 | 電子部品搭載用基板、電子装置および電子モジュール |
-
1991
- 1991-06-05 JP JP3161120A patent/JPH04359462A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08139267A (ja) * | 1994-11-07 | 1996-05-31 | Nec Corp | マルチチップモジュール |
US5801438A (en) * | 1995-06-16 | 1998-09-01 | Nec Corporation | Semiconductor device mounting and multi-chip module |
GB2339337A (en) * | 1995-06-16 | 2000-01-19 | Nec Corp | Semiconductor device mounting in recesses in a circuit board |
GB2302451B (en) * | 1995-06-16 | 2000-01-26 | Nec Corp | Semiconductor device mounting method and multi-chip module produced by the same |
GB2339337B (en) * | 1995-06-16 | 2000-03-01 | Nec Corp | Semiconductor device mounting method and multi-chip module produced by the same |
US5831833A (en) * | 1995-07-17 | 1998-11-03 | Nec Corporation | Bear chip mounting printed circuit board and a method of manufacturing thereof by photoetching |
JP2017092380A (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-25 | 京セラ株式会社 | 電子部品搭載用基板、電子装置および電子モジュール |
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