JPH0432008A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は高周波信号を効率良く記録、再生するのに好適
な磁気ヘッドに関する。

（ロ）従来の技術 従来、ＶＴＲ等の高周波信号を記録再生する装置におい
ては、ビデオヘッド用磁性材料として高周波損失の少な
いフェライト材料が用いられている。しかし、近年にな
って高品位Ｖ　Ｔ　ＲやデジタルＶＴＲのように更に広
帯域の信号を取り扱うシステムの開発が盛んになってき
ており、記録媒体もこのような大量の情報を記録するた
めの高密度化の流れの中で酸化鉄系から合金粉末媒体や
金属蒸着媒体等の高抗磁力媒体へ移行しつつある。これ
に対してフェライトヘッドではその最大磁束密度が高々
５０００ガウス程度であり、又短波長信号を効率良く再
生する為には狭ギャップにする必要があり、上述のよう
な保磁力Ｈｃが１００００ｅ以上の高抗磁力媒体ではギ
ャップ先端部のフェライトコアが飽和し、十分な記録が
出来ない。そこで最大磁束密度の高いセンダストやアモ
ルファス磁性合金等の金属磁性材料を用いた磁気ヘッド
の開発が行われている。

従来、個のような欠点を解消するため、例えば特開昭６
２−３３３０９号公報（Ｇ１１Ｂ５．′１４７）等に開
示されているような高周波用積層型磁気へ／ドが提案さ
れている。

この磁気へンドは、第７図に示すように非磁性基板（１
）（］　’）間にセンダスト等の強磁性金属薄膜（２）
と５１０　ｒ等の絶縁薄膜（３）との積層薄膜（４）が
被着形成されている一対の第］、第２コア半体（５ａ）
（５ｂ）の前記積層薄膜（４）（４）の端面同士を磁気
ギャップｇとなる非磁性材料を介して衝き合わすことに
より形成されている。前記一対の第１、第２コア半体（
５ａ）（５ｂ）のうち一方の第１コア半体（５ａ）には
巻線溝（８）が形成されており、該巻線溝（８）には巻
線（９）が巻回されている。前記磁気ギャップｇのギャ
ップ長は前記非磁性材料の厚みにより決定し、トラック
幅は積層薄膜（４）（４）の厚みにより決定する。

しかし乍ら、上記従来の磁気へンドでは、第１、第２コ
ア半体（５ａ）（５ｂ）の積層薄膜（４）（４）の端面
同士を正確に衝き合わせることが困難であり、磁気ギャ
ップｇのトラック幅を高精度に規定することは困難であ
る。

（ハ）発明が解決しようとする課題 本発明は上記従来例の欠点に鑑み為されたものであり、
第１、第２コア半体の衝き合わせのズレにより磁気ギャ
ップのトラック幅の精度が低下するのを防止した磁気ヘ
ッドを提供することを目的とするものである。

（ニ）課題を解決するための手段 本発明の磁気ヘッドは、−肘の非磁性基板間に第１の強
磁性金属薄膜と絶縁薄膜とよりなる積層薄膜が形成され
た一対の第１、第２コア半体を有し、前記第１コア半体
のギャップ形成側の端面のうち、前記積層薄膜の端面に
は第２の強磁性金属薄膜、非磁性薄膜及び第３の強磁性
金属薄膜が順に被着形成されており、前記第１、第２コ
ア半体は前記第３の強磁性金属薄膜が前記第２コア半体
の積層薄膜の端面に衝き合わされた状態で前記第２、第
３の強磁性金属薄膜及び前記非磁性薄膜の両側に設けら
れた非磁性の接着材により接合固定され、前記非磁性薄
膜により磁気ギャップを形成したことを特徴とする。

（ホ）作　用 上記構成に依れば、磁気ギャップのトラック幅は第２、
第３の強磁性金属薄膜の間に形成された非磁性薄膜の幅
により正確に規定さｊする。

（へ）実施例 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を詳細に説明
する。

第１図は本実施例の磁気ヘッドの外観を示す斜視図であ
る。図中、（］０ａ）（］Ｏｂ）は第１、第２コア事体
であり、第２コア半体（１０ｂ）のギヤノブ形成側の端
面には巻線溝０１）が形成されている。前記第１コア半
体（１０ａ）は、結晶化ガラス、非磁性セラミック等よ
りなる非磁性基板（］）上にセンダスト等の第１の強磁
性金属薄膜（２）と５ｉ０２等の絶縁薄膜（３）との積
層薄膜（４）が被着形成されており、該積層薄膜（４）
上には第１のガラス層（］２）により非磁性基板（１゛
）が接合固定されている。前記第１コア半体（１０ａ）
のギャップ形成側の端面のうち前記積層薄膜（４）の端
面（１３）全域と前記非磁性基板（１）（１’）の端面
（１４）（１４’）のうち媒体摺接側と後方側とを除く
部分には、センダスト等よりなる第２の強磁性金属薄膜
（１５）が被着形成されており、該第２の強磁性金属薄
膜（１５）−ヒには、Ｓｉｎ、等よりなる非磁性薄膜（
１６）が被着形成されている。前記非磁性薄膜（１６）
上のうち前記第２コア半体（１０ｂ）の巻線溝（１１）
に対向する部分以外にはセンダスト等よりなる第３の強
磁性金属薄膜（１７）が被着形成されている。また、前
記第１コア半体（］Ｏａ）のギヤノブ形成側の端面のう
ち前記第２の強磁性金属薄膜（１５）が形成されていな
い部分、即ち前記非磁性基板（１）（１’）の端面（１
４）（１４’）のうち媒体摺接側と後方側には、前記第
１のガラス層（１２）よりも低融点の第２のガラス層（
１８）が被着形成されている。

前記第２コア半体（１０ｂ）は第１コア半体（１０ａ）
と同様に非磁性基板（１）上に第１の強磁性金属薄膜（
２）と絶縁薄膜（３）との積層薄膜（４）が被着形成さ
れており、該積層薄膜（４）上には第１のガラス（】２
）により非磁性基板（１′）が接合固定されている。

前記第１コア半体（１０ａ）と第２コア半体（１０ｂ）
とは、前記第３の強磁性金属薄膜（］７）の上面が前記
第２コア半体（１０ｂ）の積層薄膜（４）の端面（１９
）に衝き合わされ、前記第２のガラス層（１８）の上面
が前記第２コア半体（１（ｌｂ）の非磁性基板（１）（
］’）の端面（２０）（２０’）に衝き合わされた状態
で前記第２のガラス層（］８）を接着層として接合固定
されている。尚、（２１）は巻線である。この磁気へノ
ドでは、前記第２、第３の強磁性金属薄膜（１５）（Ｉ
Ｔ）の間に形成された非磁性薄膜（１６）により磁気ギ
ヤングｇが形成され、該磁気ギヤングｇのギ瀞ツブ長は
前記非磁性薄膜（］６）の膜厚に等しく、トラ・ツク幅
は前記非磁性薄膜（１６）の幅に等しい。

次に、本実施例の磁気ヘッドの製造方法について説明す
る。

先ず、第２図に示すように非磁性基板（］）の上面に第
１の強磁性金属薄膜（２）及び絶縁薄膜（３）よりなる
積層薄膜（４）をスパッタリング等により被着形成した
後、該積層薄膜（４）上に第１のガラス１（１２）をス
クリーン印刷等に塗布形成して積層基板（２２）を複数
形成し、次いで前記積層基板（２２）を積み重ねる。尚
、この時、最上部には積層薄膜（４）が形成されていな
い非磁性基板（１）を載置する。

次に、前記第１のガラス層（１２）を加熱により溶融固
化して前記複数の積層基板（２２）を接合固定した後、
この接合体を一点鎖線Ａ−Ａ’に沿って切断して第１、
第２のコア半体ブロックを形成した後、第３図に示すよ
うに第１のコア半体ブロック（虫）の切断面、即ち積層
薄膜（４）の端面（１３）が露出しているギャップ形成
側の端面（２４）上に第２の強磁性金属薄膜（１５）、
非磁性薄膜（１６）、第３の強磁性金属薄膜（］７）を
順にスパッタリング等により被着形成する。

次に、第４図に示すように前述の行程で形成された第２
、第３の強磁性金属薄膜（１５）（１７）、非磁性薄膜
（１６）のうち、後の工程で巻線溝（１１）に対向する
部分の第３の強磁性金属薄膜（１７）と、非磁性基板（
］）の端面（１４）上の媒体摺接側と後方側の部分の第
２、第３の強磁性金属薄膜（］５）（１７）及び非磁性
薄膜（１６）をエツチングにより除去する。

次に、第５図に示すように、前述の行程で第２、第３の
強磁性金属薄膜（１５）（１７）及び非磁性薄膜（１６
）を除去した部分に第２のガラス層（１８）をスパッタ
リング等により被着形成した後、前記第１のコア半体ブ
ロック（２３ａ）の第２の強磁性金属薄膜（１５）の上
面と、巻線溝（１１）が形成された第２のコア半体ブロ
ック（２３ｂ）の積層薄膜（４）の端面（１９）とが対
向するように前記第１のコア半体ブロック（２３ａ）と
前記第２のコア半体ブロック（２３ｂ）とを衝き合わせ
る。そして前記第２のガラス層（Ｊ８）を加熱により溶
融固化することにより第６図に示すように前記第１、第
２のコア半体ブロック（２３ａ）（２３ｂ）を接合固定
してコアブロック（２５）を形成する。

以後は、周知の如く前記コアブロック（２５）を非磁性
基板（１）の部分で一点鎖線Ｂ−Ｂ’に沿って切断して
ヘッドチップを形成し、該へ・ノドチップにＲ付加工等
の外形加工を行い、巻線（２１）を施すことにより第１
図に示す本実施例の磁気へノドが完成する。

上述のような本実施例の磁気ヘッドでは、磁気ギャップ
ｇの）・ラック幅は前記第２、第３の強磁性金属薄膜（
１５）（１７）に形成されている非磁性薄膜（１６）の
幅によって規定されるため、第１、第２コア半体（１０
ａ）（１０ｂ）の衝き合わせに位置ズレが生じても磁気
ギャップｇのトラック幅は所望の値に規定される。しか
も、本実施例の製造方法では、前記非磁性薄膜（１６）
の幅、即ち、前記磁気ギャップｇのトラック幅は第４図
における工・／チング工程により正確に規定することが
出来る。

（ト）発明の効果 本発明に依れば、磁気ギャップのトランク幅の精度が向
上した磁気ヘッドを提供し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６図は本発明に係り、第１図は磁気ヘッド
の外観を示す斜視図、第２図、第３図、第４図、第５図
及び第６図は夫々磁気ヘッドの製遣方法を示す斜視図で
ある。第７図は従来の磁気ヘッドの外観を示す斜視図で
ある。 （１）（１°）・・・非磁性基板、（２）・・・第１の
強磁性金属薄膜、（３）・・・絶縁薄膜、（４）・・・
積層薄膜、（１０ａ）・・・第１のコア半体、（１０ｂ
）・・第２のコア半体、（］３）・・・端面、（１５）
・・第２の強磁性金属薄膜、（１６）・・・非磁性薄膜
、（］７）・・・第３の強磁性金属薄膜、（２０）・・
・端面、ｇ・・・磁気ギャップ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）一対の非磁性基板間に第１の強磁性金属薄膜と絶
   縁薄膜とよりなる積層薄膜が形成された一対の第１、第
   ２コア半体を有し、前記第１コア半体のギャップ形成側
   の端面のうち、前記積層薄膜の端面には第２の強磁性金
   属薄膜、非磁性薄膜及び第３の強磁性金属薄膜が順に被
   着形成されており、前記第１、第２コア半体は前記第３
   の強磁性金属薄膜が前記第２コア半体の積層薄膜の端面
   に衝き合わされた状態で前記第２、第３の強磁性金属薄
   膜及び前記非磁性薄膜の両側に設けられた非磁性の接着
   材により接合固定され、前記非磁性薄膜により磁気ギャ
   ップを形成したことを特徴とする磁気ヘッド。