JPH043109B2 - - Google Patents
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- JPH043109B2 JPH043109B2 JP60134571A JP13457185A JPH043109B2 JP H043109 B2 JPH043109 B2 JP H043109B2 JP 60134571 A JP60134571 A JP 60134571A JP 13457185 A JP13457185 A JP 13457185A JP H043109 B2 JPH043109 B2 JP H043109B2
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- wafer ring
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 120
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、ウエハー保持装置に係わり、詳しく
は半導体のチツプ等をリードフレームやセラミツ
ク基板の上にダイボンデイングする際に用いられ
るウエハー保持装置に関する。
は半導体のチツプ等をリードフレームやセラミツ
ク基板の上にダイボンデイングする際に用いられ
るウエハー保持装置に関する。
（従来の技術）
従来の装置において、薄い円板状のウエハー
が、先ず、粘着剤が塗布された合成樹脂のフイル
ム上に載せられ、更にそのフイルムを第３図及び
第４図に示すようなウエハーリング上に一応に張
付けた後、ウエハーリングをウエハーリングホル
ダー（ウエハーリング保持部材）に固定する。そ
の固定の際に、ウエハーの各ダイの並び方向と、
ウエハーホルダーを水平直交のＸ−Ｙ方向に移動
させるＸ−Ｙテーブルの移動方向とを一致させる
ため、ウエハーリングとウエハーホルダとを調整
していた。
が、先ず、粘着剤が塗布された合成樹脂のフイル
ム上に載せられ、更にそのフイルムを第３図及び
第４図に示すようなウエハーリング上に一応に張
付けた後、ウエハーリングをウエハーリングホル
ダー（ウエハーリング保持部材）に固定する。そ
の固定の際に、ウエハーの各ダイの並び方向と、
ウエハーホルダーを水平直交のＸ−Ｙ方向に移動
させるＸ−Ｙテーブルの移動方向とを一致させる
ため、ウエハーリングとウエハーホルダとを調整
していた。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、従来の装置においては、ウエハ
ーリングをウエハーホルダーから取り外し、他の
ウエハーリングと交換し取り付けする際に、その
都度上述のウエハーリングとウエハーホルダとの
微妙な調整が必要であり、その作業は極めて煩雑
であり、比較的長時間を費やすという問題があつ
た。
ーリングをウエハーホルダーから取り外し、他の
ウエハーリングと交換し取り付けする際に、その
都度上述のウエハーリングとウエハーホルダとの
微妙な調整が必要であり、その作業は極めて煩雑
であり、比較的長時間を費やすという問題があつ
た。
本発明は、ウエハーが載つたウエハーリングを
極めて簡単にかつ正確に位置決めし保持するウエ
ハー保持装置を提供することを目的とする。
極めて簡単にかつ正確に位置決めし保持するウエ
ハー保持装置を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明においては、ウエハーをその上に配置す
るための円盤状のウエハーリングと、該ウエハー
リングを収納するための凹状の収納部を有するウ
エハーリング収納部材とを備え、ウエハーリング
は、その外周部に設けられた直線状の切り欠き部
を有し、ウエハー収納部材は、収納部の内側に切
り欠き部と対応するように設けられた２つの突起
部と、ウエハーリングを収納部に収納した際に、
切り欠き部を突起部に押し付けるように収納部の
中心に対して２つの突起部の反対側に設けられた
押付部材とを有するように構成されている。
るための円盤状のウエハーリングと、該ウエハー
リングを収納するための凹状の収納部を有するウ
エハーリング収納部材とを備え、ウエハーリング
は、その外周部に設けられた直線状の切り欠き部
を有し、ウエハー収納部材は、収納部の内側に切
り欠き部と対応するように設けられた２つの突起
部と、ウエハーリングを収納部に収納した際に、
切り欠き部を突起部に押し付けるように収納部の
中心に対して２つの突起部の反対側に設けられた
押付部材とを有するように構成されている。
（作用）
本発明において、ウエハーリングを新しいウエ
ハーリングと交換し、その新しいウエハーリング
を取り付ける際に、先ずウエハーリングの直線状
の切り欠き部を２つの突起部に当接させ、次にウ
エハーリングをウエハー保持部材の収納部に完全
に収納するようにウエハーリングをウエハー保持
部材に押しつけると、押付部材によりウエハーリ
ングの切り欠き部が２つの突起部に押圧されるこ
とにより正確な位置決めがなされる。
ハーリングと交換し、その新しいウエハーリング
を取り付ける際に、先ずウエハーリングの直線状
の切り欠き部を２つの突起部に当接させ、次にウ
エハーリングをウエハー保持部材の収納部に完全
に収納するようにウエハーリングをウエハー保持
部材に押しつけると、押付部材によりウエハーリ
ングの切り欠き部が２つの突起部に押圧されるこ
とにより正確な位置決めがなされる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を図面に沿つて説明す
る。
る。
第１図において、ウエハー１は、円盤状のウエ
ハーリング２に直線的に設けられた切り欠き部３
の直線部の基準にその方向と位置が決定され、ウ
エハーリング２上に載せられている。
ハーリング２に直線的に設けられた切り欠き部３
の直線部の基準にその方向と位置が決定され、ウ
エハーリング２上に載せられている。
ウエハーリング保持部材４は、ほぼ正方形の板
状をなしており、軽量化のため合成樹脂よりな
り、そのほぼ中央部にウエハーリング２を収納す
るためのほぼ円形凹状の収納部２３が設けられて
いる。
状をなしており、軽量化のため合成樹脂よりな
り、そのほぼ中央部にウエハーリング２を収納す
るためのほぼ円形凹状の収納部２３が設けられて
いる。
該収納部２３の内側の側面部には、ウエハーリ
ング２の切り欠き部３と対応するように直線的に
設けられた***部を有している。
ング２の切り欠き部３と対応するように直線的に
設けられた***部を有している。
更に、収納部２３の内側であつてかつ該***部
の両端には突起部５，６がそれぞれ***部より収
納部よりわずかに突出するように設けられてい
る。該突起部５，６は硬質の金属からなりその頭
部の径が胴部より大きく形成されている。
の両端には突起部５，６がそれぞれ***部より収
納部よりわずかに突出するように設けられてい
る。該突起部５，６は硬質の金属からなりその頭
部の径が胴部より大きく形成されている。
また、ウエハー保持部材４は、ウエハーリング
２を収納部２３に収納した際に、切り欠き部３を
突出部５，６に押し付けるために、収納部２３の
内側であつて収納部２３の中心に対して２つ突起
部５，６の反対側に設けられた板状のバネである
押付部材７を有する。該押付部材７はその断面が
Ｌ状をなしている。
２を収納部２３に収納した際に、切り欠き部３を
突出部５，６に押し付けるために、収納部２３の
内側であつて収納部２３の中心に対して２つ突起
部５，６の反対側に設けられた板状のバネである
押付部材７を有する。該押付部材７はその断面が
Ｌ状をなしている。
位置決め部材８，９は、ウエハー保持部材４の
収納部２３の側部近傍であつてかつ収納部２３の
中心に対して押し付け部材７側に設けられた凹部
内に位置し、その一端部は、そこに回動自在に取
り付けられ、他端部は収納されたウエハーリング
２を弾性的に押すようにバネ（図示せず）により
付勢されている。即ち、これらの位置決め部材
８，９は、ウエハーリング保持部材４の収納部２
３にウエハーリング２が収納された状態におい
て、ウエハーリング２をその側面から押し付け、
ウエハーリング２の位置決めを更に正確にするた
めのものである。
収納部２３の側部近傍であつてかつ収納部２３の
中心に対して押し付け部材７側に設けられた凹部
内に位置し、その一端部は、そこに回動自在に取
り付けられ、他端部は収納されたウエハーリング
２を弾性的に押すようにバネ（図示せず）により
付勢されている。即ち、これらの位置決め部材
８，９は、ウエハーリング保持部材４の収納部２
３にウエハーリング２が収納された状態におい
て、ウエハーリング２をその側面から押し付け、
ウエハーリング２の位置決めを更に正確にするた
めのものである。
ウエハーリング保持部材４の４つの端辺には、
Ｖ字状の切り欠き１０，１１，１２及び１３が設
けられており、揺動可能な位置決めローラ１４は
スプリング１５によりこれらの切り欠き内に押し
付けられ、ウエハー保持装置テーブル２３（第２
図参照）に取り付けられる。
Ｖ字状の切り欠き１０，１１，１２及び１３が設
けられており、揺動可能な位置決めローラ１４は
スプリング１５によりこれらの切り欠き内に押し
付けられ、ウエハー保持装置テーブル２３（第２
図参照）に取り付けられる。
従つて、ウエハーリング２を新しいウエハーリ
ングと交換するために、その新しいウエハーリン
グ２を取り付ける際に、先ずウエハーリング２の
直線状の切り欠き部３を２つの突起部５，６に当
接させ、次にウエハーリング２をウエハー保持部
材４の収納部２３に完全に収納するようにウエハ
ーリング２をウエハー保持部材４に押しつける
と、押付部材７によりウエハーリング２の切り欠
き部３が２つの突起部５，６に押圧されることに
より正確な位置決めがなされる。
ングと交換するために、その新しいウエハーリン
グ２を取り付ける際に、先ずウエハーリング２の
直線状の切り欠き部３を２つの突起部５，６に当
接させ、次にウエハーリング２をウエハー保持部
材４の収納部２３に完全に収納するようにウエハ
ーリング２をウエハー保持部材４に押しつける
と、押付部材７によりウエハーリング２の切り欠
き部３が２つの突起部５，６に押圧されることに
より正確な位置決めがなされる。
以下に、第２図を参照して、ダイボンデイング
装置における本発明のウエハー保持装置の動作に
付いて説明する。
装置における本発明のウエハー保持装置の動作に
付いて説明する。
第２図中、ダイボンデイング装置１６上に配置
されたリードフレーム供給装置１８内には、積み
重ねられた状態にて複数のリードフレーム１７が
収納されている。これらリードフレーム１７は、
一枚毎にリードフレーム供給装置１８に設けられ
た吸着ヘツド１９により吸着され、リードフレー
ム搬送装置２０のリードフレーム送り台上に移載
される。
されたリードフレーム供給装置１８内には、積み
重ねられた状態にて複数のリードフレーム１７が
収納されている。これらリードフレーム１７は、
一枚毎にリードフレーム供給装置１８に設けられ
た吸着ヘツド１９により吸着され、リードフレー
ム搬送装置２０のリードフレーム送り台上に移載
される。
このリードフレーム１７は、把持装置により把
持された状態にて、先ず同じくダイボンデイング
装置１６上の接着剤供給位置に移送され、該接着
剤供給装置２１により接着剤を塗布される。次
に、リードフレーム１７は同様に把持された状態
にて、ダイボンデイング位置まで移送され位置決
めされる。ダイボンデイングヘツドによりウエハ
ー保持装置テーブル３０により移載されたダイ
は、リードフレーム１７の所定の位置にボンデイ
ングされる。その後、リードフレーム１７は、マ
ガジン２４内に収納される。
持された状態にて、先ず同じくダイボンデイング
装置１６上の接着剤供給位置に移送され、該接着
剤供給装置２１により接着剤を塗布される。次
に、リードフレーム１７は同様に把持された状態
にて、ダイボンデイング位置まで移送され位置決
めされる。ダイボンデイングヘツドによりウエハ
ー保持装置テーブル３０により移載されたダイ
は、リードフレーム１７の所定の位置にボンデイ
ングされる。その後、リードフレーム１７は、マ
ガジン２４内に収納される。
リードフレーム１７がマガジン２４の複数の収
納段を満杯にすると、マガジン２４は、その上部
に位置するリードフレーム収納装置２５に収納さ
れる。
納段を満杯にすると、マガジン２４は、その上部
に位置するリードフレーム収納装置２５に収納さ
れる。
ウエハーリング２とウエハーリング保持部材４
を有するウエハー保持装置は、自動ウエハー供給
装置２６によりウエハー保持装置テーブル３０上
に供給される。次に、ウエハー保持装置は、ウエ
ハー収納装置２７に収納される。
を有するウエハー保持装置は、自動ウエハー供給
装置２６によりウエハー保持装置テーブル３０上
に供給される。次に、ウエハー保持装置は、ウエ
ハー収納装置２７に収納される。
以上の動作中において、ウエハー１がウエハー
リング２に対して位置調整をしてウエハーリング
２に載置され、上述のように、ウエハーリング２
をウエハーリング保持部材４に収納するように押
し付けるという動作のみによりウエハーリング２
は、ウエハーリング保持部材４との位置調整が可
能であるために、ウエハー１、ウエハーリング２
及びウエハーリング保持装置の互いの位置が決定
される。従つて、ウエハーリング２が取付けられ
たウエハー保持装置がウエハー保持装置テーブル
３０上に位置決めローラ１４によつて位置決めさ
れると、ウエハー１は、保持テーブル２３に対し
て正確に位置決めされる。
リング２に対して位置調整をしてウエハーリング
２に載置され、上述のように、ウエハーリング２
をウエハーリング保持部材４に収納するように押
し付けるという動作のみによりウエハーリング２
は、ウエハーリング保持部材４との位置調整が可
能であるために、ウエハー１、ウエハーリング２
及びウエハーリング保持装置の互いの位置が決定
される。従つて、ウエハーリング２が取付けられ
たウエハー保持装置がウエハー保持装置テーブル
３０上に位置決めローラ１４によつて位置決めさ
れると、ウエハー１は、保持テーブル２３に対し
て正確に位置決めされる。
また、ウエハー交換が必要な際は、ウエハー保
持装置を交換する作業のみでよく、位置調整は必
要とせず、ウエハー１が載せられた多数のウエハ
ー保持装置を準備すれば、即座にウエハー１の交
換が可能となる。
持装置を交換する作業のみでよく、位置調整は必
要とせず、ウエハー１が載せられた多数のウエハ
ー保持装置を準備すれば、即座にウエハー１の交
換が可能となる。
更に、ウエハーリング２と接触する突起部５，
６は、堅固な金属からなるため、長期間の使用に
おいても合成樹脂からなるウエハーリング２の摩
耗は極めて少なくいため、ウエハーリング２は軽
量化が可能である。
６は、堅固な金属からなるため、長期間の使用に
おいても合成樹脂からなるウエハーリング２の摩
耗は極めて少なくいため、ウエハーリング２は軽
量化が可能である。
（発明の効果）
本発明は、ウエハーをその上に配置するための
ウエハーリングと、該ウエハーリングを収納する
ための凹状の収納部を有するウエハーリング収納
部材とを備え、ウエハーリングは、その外周部に
設けられた直線状の切り欠き部を有し、ウエハー
収納部材は、収納部の内側に切り欠き部と対応す
るように設けられた２つの突起部と、ウエハーリ
ングを収納部に収納した際に、切り欠き部を突起
部に押し付けるように収納部の中心に対して２つ
の突起部の反対側に設けられた押付部材とを有す
るように構成されているため、ウエハーリングを
新しいウエハーリングと交換し、その新しいウエ
ハーリングを取り付ける際に、先ずウエハーリン
グの直線状の切り欠き部を２つの突起部に当接さ
せ、次にウエハーリングをウエハー保持部材の収
納部に完全に収納するようにウエハーリングをウ
エハー保持部材に押しつけると、押付部材により
ウエハーリングの切り欠き部が２つの突起部に押
圧されることにより正確な位置決めがなされるこ
とにより、ウエハーリングをウエハー保持部材の
正確な位置に、かつ極めて簡単に保持することが
可能である。
ウエハーリングと、該ウエハーリングを収納する
ための凹状の収納部を有するウエハーリング収納
部材とを備え、ウエハーリングは、その外周部に
設けられた直線状の切り欠き部を有し、ウエハー
収納部材は、収納部の内側に切り欠き部と対応す
るように設けられた２つの突起部と、ウエハーリ
ングを収納部に収納した際に、切り欠き部を突起
部に押し付けるように収納部の中心に対して２つ
の突起部の反対側に設けられた押付部材とを有す
るように構成されているため、ウエハーリングを
新しいウエハーリングと交換し、その新しいウエ
ハーリングを取り付ける際に、先ずウエハーリン
グの直線状の切り欠き部を２つの突起部に当接さ
せ、次にウエハーリングをウエハー保持部材の収
納部に完全に収納するようにウエハーリングをウ
エハー保持部材に押しつけると、押付部材により
ウエハーリングの切り欠き部が２つの突起部に押
圧されることにより正確な位置決めがなされるこ
とにより、ウエハーリングをウエハー保持部材の
正確な位置に、かつ極めて簡単に保持することが
可能である。
第１図は、本発明の一実施例のウエハー保持装
置の分解外観斜視図、第２図は、同ウエハー保持
装置を搭載したダイボンデイング装置の外観斜視
図、第３図及び第４図は、従来のウエハーリング
の外観斜視図である。 図において、１……ウエハー、２……ウエハー
リング、３……切り欠き部、４……ウエハーリン
グ保持部材、５，６……突起部、７……押し付け
部材、８，９……位置決め部材。
置の分解外観斜視図、第２図は、同ウエハー保持
装置を搭載したダイボンデイング装置の外観斜視
図、第３図及び第４図は、従来のウエハーリング
の外観斜視図である。 図において、１……ウエハー、２……ウエハー
リング、３……切り欠き部、４……ウエハーリン
グ保持部材、５，６……突起部、７……押し付け
部材、８，９……位置決め部材。
Claims (1)
- １ ウエハーをその上に配置するための円盤状の
ウエハーリングと、該ウエハーリングを収納する
ための凹状の収納部を有するウエハーリング収納
部材とを備え、前記ウエハーリングは、その外周
部に設けられた直線状の切り欠き部を有し、前記
ウエハー収納部材は、前記収納部の内側に前記切
り欠き部と対応するように設けられた２つの突起
部と、前記ウエハーリングを前記収納部に収納し
た際に、前記切り欠き部を前記突起部に押し付け
るように前記収納部の中心に対して前記２つの突
起部の反対側に設けられた押付部材とを有するウ
エハー保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13457185A JPS61292336A (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | ウエハ−保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13457185A JPS61292336A (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | ウエハ−保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61292336A JPS61292336A (ja) | 1986-12-23 |
| JPH043109B2 true JPH043109B2 (ja) | 1992-01-22 |
Family
ID=15131453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13457185A Granted JPS61292336A (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | ウエハ−保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61292336A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108872260A (zh) * | 2017-05-11 | 2018-11-23 | 无锡华润安盛科技有限公司 | 晶圆检测治具及晶圆检测装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5169453A (en) * | 1989-03-20 | 1992-12-08 | Toyoko Kagaku Co., Ltd. | Wafer supporting jig and a decompressed gas phase growth method using such a jig |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5264872A (en) * | 1975-11-24 | 1977-05-28 | Ibm | Apparatus for holding semiconductor wafers |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS569976Y2 (ja) * | 1976-12-13 | 1981-03-05 | ||
| JPS5956742U (ja) * | 1982-10-06 | 1984-04-13 | ソニー株式会社 | 半導体素子取扱いリング |
-
1985
- 1985-06-20 JP JP13457185A patent/JPS61292336A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5264872A (en) * | 1975-11-24 | 1977-05-28 | Ibm | Apparatus for holding semiconductor wafers |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108872260A (zh) * | 2017-05-11 | 2018-11-23 | 无锡华润安盛科技有限公司 | 晶圆检测治具及晶圆检测装置 |
| CN108872260B (zh) * | 2017-05-11 | 2021-12-24 | 无锡华润安盛科技有限公司 | 晶圆检测治具及晶圆检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61292336A (ja) | 1986-12-23 |
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