JP2509202Y2 - ウエハ貼付用フレ―ム - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、半導体製造工程において、半導体ウエハに
貼着テープを貼り付けて、保持する際に用いられるウエ
ハ貼付用フレームに関する。

〈従来の技術〉 従来のウエハ貼付用フレーム（以下、単にフレームと
称する）の平面図を第５図に示す。

この図に示すように、フレーム10はリング状の板材で
形成されており、この板材としてはステンレス鋼が用い
られている。フレーム10の外周部の４箇所は直線状にカ
ットされた形状となっており、そのうち対向した一対の
直線部12,13は、第４図に示したフレームカセット５の
溝部６内に嵌入する部分である。フレーム10の外周部に
は、切り欠き部14aと14bとが形成されている。これらの
切り欠き部14a,14bは、フレーム10でウエハを粘着保持
する工程内においてフレーム10の位置決めに用いられ
る。

次に、フレーム10でウエハを粘着保持する工程につい
て簡単に説明する。

第４図はその工程の流れの概略を示した斜視図であ
る。

フレーム位置決め部８内にフレーム10が搬入される
と、フレーム10の外周部に形成された切り欠き部14a,14
bはフレーム位置決め部８に取りつけられている２本の
ピン７に押しつけられ、フレーム10が位置決めされる。
位置決めされたフレーム10は、図示しないフレームチャ
ッキング機構によって、ウエハ貼り付け部に送られ、帯
状の粘着テープ９の上のウエハＷに対して同心状に載置
されて貼り付けられ、粘着テープ９を円形に切断した
後、ウエハ貼り付け部から払い出される。貼り付けが完
了したフレーム10は、フレームカセット５の溝部６内に
収納される。

〈考案が解決しようとする課題〉 上述した従来のフレームでは、次のような問題点を引
き起こす。

近年、半導体ウエハが大型化する傾向にあり、８イン
チ以上のウエハの使用要請が高まっている。

ウエハが大径になると、ウエハを保持するフレームも
大口径のものが必要となる。しかしながら、従来のフレ
ームはステンレス鋼で形成されているため、フレームを
大型化すると、これに伴う重量増加も著しいものとな
り、多数枚のフレームを収納したフレームカセットの重
量は大幅に増加し、取り扱いに不便をきたす。

この解決策としては、フレームの材質をプラスチック
に変えて、フレームの重量を軽減することが考えられ
る。しかし、プラスチックはステンレス鋼に比べ、機械
的強度が劣るため、搬送過程において、「反り」が生じ
る可能性があり、肉厚を厚くして機械的強度を向上させ
なければならない。しかし、肉厚を厚くすると、フレー
ムカセットの溝幅も大きくしなければならず、従来から
使用しているフレームカセットが使用不可能になるとい
う不都合が生じる。

本考案は、このような事情に鑑みてなされたものであ
って、フレームの材質をプラスチックに変えても、従来
からあるフレームカセットに収納することができるウエ
ハ貼付用フレームを提供することを目的とする。

〈課題を解決するための手段〉 本考案は、このような目的を達成するために、次のよ
うな構成をとる。

即ち、本考案のウエハ貼付用フレームは、粘着テープ
を介してウエハを貼り付け保持し、多溝式フレームカセ
ットの溝部内へ収納されるリング板状のウエハ貼付用フ
レームであって、前記フレームをプラスチック材料で形
成するとともに、少なくとも前記フレームカセットの溝
部内に嵌入するフレーム外周部位に段差を形成し、前記
外周部位の肉厚を薄くしたことを特徴としている。

また、好ましくは、前記段差の立ち上がり面の両端部
を、平面視で内側に向かって傾斜するように形成するも
のである。

〈作用〉 本考案のウエハ貼付用フレームは、プラスチック材料
で形成しているので、従来のステンレス鋼製のフレーム
に比べ軽量化される。また、機械的強度を上げるため
に、フレームの肉厚を増しても、フレームカセットの溝
部に嵌入されるフレーム外周部位に段差を形成し、前記
外周部位の肉厚を薄くしているので、従来からある多溝
式のフレームカセットの溝部内への収納が可能となる。

さらに、前記段差の立ち上がり面の両端部を平面視で
内側に向かって傾斜するように形成した場合には、フレ
ームが進行方向に対して多少ずれていても、フレームカ
セットへの嵌入時に前記傾斜部分によって案内されるこ
とによって、フレームはフレームカセットの溝内に確実
に収納される。

〈実施例〉 以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

第１図はフレームの平面図、第２図はその側面図であ
る。

本実施例に係るフレーム１は、第５図に示した従来の
フレーム10と同様に、リング状の板材で形成されてお
り、外周部４箇所は直線状にカットされ、また、外周部
には一対の切り欠き部14a、14bが設けられている。

従来フレーム10との差異は、板材の材質が、例えば、
ポリカーボネイトのようなプラスチックであることと、
プラスチック材料で形成しているので、機械的強度を得
るために、従来のフレーム10よりも肉厚を増加している
こと、そして、フレームカセットの溝部に嵌入されるフ
レーム外周部位に直線状の段差２、３（以下、総称する
場合は単に段差部分と称する）が形成されていることで
ある。

段差部分の薄肉部2a,3aはフレームカセットの溝幅よ
りも若干薄くなっている。また、段差部分の立ち上がり
面2b,3bの両端部は、平面視状態（第１図示の状態）
で、内側に向かって傾斜している。

このようなフレーム１をフレームカセット５内に収納
する場合について、第３図を参照し説明する。

この図におけるフレームカセット５は、従来のフレー
ムカセット、すなわち、ステンレス鋼製の従来フレーム
10を収納するのに使用されているフレームカセット５と
同等のものである。したがって、フレームカセット５の
溝幅は、従来のステンレス鋼製のフレーム10の肉厚に応
じた幅に形成されている。

前出の従来技術に記載したように、ウエハＷの貼り付
け工程が終了したフレーム１は、図示しない搬送機構に
よって、フレームカセット５へと運び込まれ収納され
る。このとき、フレーム１の進行方向に対して左右両側
に設けられている段差部分の薄肉部2a,3aをフレームカ
セット５の溝部６内に挿入するように収納作業が行われ
る。

即ち、段差部分を形成することによって、薄肉部2a,3
aの肉厚を従来のフレーム10と略同じ厚みにしたので、
従来のフレームカセット５にプラスチック製のフレーム
１を収納することができる。

このとき、フレーム１がその進行方向に対して左右に
多少ずれていても、段差部分の立ち上がり面2b,3bの両
端部が内側に傾斜しているので、この傾斜部分がフレー
ムカセット５の溝部６入口に接触してフレーム１のズレ
が修正されるため、フレーム１はフレームカセット５の
溝部６内に確実に収納される。

〈考案の効果〉 上述した説明から明らかなように、本考案のウエハ貼
付用フレームは、外周部に段差を形成し、外周部の肉厚
を薄くしているため、プラスチック材料でフレームを形
成し、肉厚が増加しても従来のステンレス鋼製フレーム
用のフレームカセットを使用することができる。

また、フレームをプラスチック材料で形成して軽量化
することにより、フレーム搬送系の負担を軽減させるこ
とができる。加えて、材料コストを下げることができる
ので、使い捨てによる使用が可能となり、フレームの保
守を行う必要がなく、実用上便利に使用することができ
る。

また、段差の立ち上がり面両端部を内側に向かって傾
斜させた場合には、この傾斜部分によりフレームをフレ
ームカセットの溝内へ案内することができる。フレーム
が確実に収納されるとともに、収納時のフレームとフレ
ームカセット間の位置決め調整を楽に行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本考案の一実施例に係り、第１図
はウエハ貼付用フレームの平面図、第２図はその側面
図、第３図はウエハ貼付用フレームの収納姿勢を示した
斜視図である。 なお、第４図および第５図は従来例に係り、第４図はウ
エハ貼り付け工程の概略を示した斜視図、第５図は従来
のウエハ貼付用フレームの平面図である。 １……フレーム（ウエハ貼付用フレーム） 2,3……段差、５……フレームカセット ６……溝部

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】粘着テープを介してウエハを貼り付け保持
   し、多溝式フレームカセットの溝部内へ収納されるリン
   グ板状のウエハ貼付用フレームであって、 前記フレームをプラスチック材料で形成するとともに、
   少なくとも前記フレームカセットの溝部内に嵌入するフ
   レーム外周部位に段差を形成し、前記外周部位の肉厚を
   薄くしたことを特徴とするウエハ貼付用フレーム。
2. 【請求項２】請求項（１）に記載のウエハ貼付用フレー
   ムにおいて、前記段差の立ち上がり面の両端部を、平面
   視で内側に向かって傾斜するように形成したウエハ貼付
   用フレーム。