JPH04307549A - 感光性材料露光フィルタ及びこれを使用した露光方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は感光性材料の露光用フィ
ルダ及び露光方法に関する。

【０００２】近年、コンピュータシステムの高速化に伴
い、プリント配線板においては、これに実装されるＬＳ
Ｉとのインピーダンスを正しく整合させることが要求さ
れてきている。

【０００３】インピーダンスの整合のために、層間の絶
縁をとる絶縁層の厚さを従来の２倍程度（ポリイミド止
塗布層で３０μｍ程度）とする必要がある。

【０００４】ポリイミド塗布層の厚さをこのように厚く
すると、バイヤホールの形成が困難となる問題が生ずる
。

【０００５】この問題は、現像よりは特に露光に関係す
るものであり、露光についてこの問題を解決する必要が
ある。

【０００６】

【従来の技術】図９は従来の露光方法を示す。１は露光
テーブル、２はセラミック基板、３はマスク、４は高圧
水銀灯である。

【０００７】セラミック基板２の上面には、ネガタイプ
の感光性ポリイミドの塗布層５が、厚さｔ１　が３８μ
ｍの厚さで形成してある。

【０００８】露光用フィルタは用いられていない。

【０００９】露光は、高圧水銀灯４が発する光の全波長
成分を使用して行われる。

【００１０】なお、露光は、バイヤホールを形成するた
めに行う。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】露光を行った場合に、
層５のうち表面５ｃに近い表面層部分５ａの感光は、図
７中線２０で示すように早く進行し、深い深層部分５ｂ
の感光は、図７中線２１で示されるように遅れる。

【００１２】所定の露光時間Ｔ１　において、感光の程
度は　　深層部分５ｂでは不充分、表面層部分５ａでは
過剰となり、感光の程度の差は符号６で示すように相当
に大きい。特に表面層部分５ａは、マスクパターン３ａ
を回り込む光によっても感光される。

【００１３】このため、現像したときの状態は、図１０
に示すようになり、バイヤホール７は入口が狭くて抜け
にくゝなり、奥では、符号８で示すように感光性ポリイ
ミドの溶け出しが見られ、良好なバイヤホールの形成は
困難であった。

【００１４】この対策として、水銀灯４とマスク３との
間に上記の表面層部分５ａで吸収されてしまう波長成分
をカットするフィルタを配設することが考えられる。

【００１５】しかし、一般のフィルタのサイズは最大で
も１６０ｍｍ×１６０ｍｍ程度であり、２６０ｍｍと大
きいセラミック基板２には適用することが困難である。

【００１６】本発明は、大きいサイズの被露光物に適応
可能とした感光性材料露光フィルタ及びこれを使用した
露光方法を提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、透明
基板と、該透明基板の表面に形成されており、露光しよ
うとする感光性材料と同じ感光性材料製の硬化膜とより
なる構成であり、上記硬化膜を構成する感光性材料と同
じ感光性材料を露光する場合に、光源とマスクとの間に
配設される構成としたものである。

【００１８】請求項２の発明は、請求項１の感光性材料
の露光用フィルタを、光源とマスクとの間に配設して、
上記硬化膜を構成する感光性材料と同じ感光性材料を露
光するよう構成したものである。

【００１９】

【作用】請求項１の感光性材料製の硬化膜は、当該感光
性材料自体の光吸収特性に対応したフィルタ特性を発揮
し、上記硬化膜を構成する感光性材料と同じ感光性材料
を露光する場合に当該感光性材料の層の表面近くで吸収
される波長成分を吸収して、当該波長成分が上記層を照
射しないようにする。

【００２０】また感光性材料の硬化膜は、フィルタの大
きさに関する制限を無くする。

【００２１】請求項２の発明において、請求項１の露光
用フィルタは、光源よりの光のうち、露光しようとする
感光性材料の層の表面近くで吸収されてしまう波長成分
が、上記層を照射することを制限する。

【００２２】

【実施例】図２は本発明の一実施例の感光性ポリイミド
露光フィルタ１０を示す。

【００２３】この露光フィルタ１０は、例えば２６０ｍ
ｍ×２６０ｍｍで厚さｔ２　が２．３ｍｍのガラス板１
１の上面に、厚さｔ３　が約１０μｍのネガタイプの感
光性ポリイミドの硬化層１２を有する構成である。

【００２４】この感光性ポリイミド硬化層１２は、ネガ
タイプの感光性ポリイミドをガラス板１１の全面に塗布
し、全面を露光し、現像し、硬化させることにより形成
されたものであり、ガラス板１１のサイズが２６０ｍｍ
と大きくても比較的簡単に形成できる。

【００２５】この露光フィルタ１０は、図１に示すよう
に高圧水銀灯４とマスク３との間に配設されて使用され
る。

【００２６】上記硬化層１２の感光性ポリイミドは、露
光しようとする層５の材料であるネガタイプ感光性ポリ
イミドと同じ材料である。

【００２７】この層５の露光は、図１に示すように、露
光フィルタ１０が、高圧水銀灯４とマスク３との間に配
設された状態で行われる。

【００２８】次に、露光フィルタ１０が如何にしてフィ
ルタの作用をするかについて説明する。

【００２９】図３中、線２２は、ネガタイプ感光性ポリ
イミドの波長に対する相対感度を示す。

【００３０】また、線２３は、高圧水銀灯４の輝線スペ
クトルを示す。

【００３１】線２２より、感光性ポリイミドはｉ線，ｈ
線，ｇ線に良好に反応して感光されることが分かる。

【００３２】図４は、上記のネガタイプ感光ポリイミド
を塗布した層１８の表面１８ａからの厚み（深さ）にお
けるｉ線，ｇ線等の相対照度（表面１８ａの相対照度が
１．０である）を示す。

【００３３】同図より、ｉ線は線２４で示す如く、塗布
層２０により素早く吸収され、深さ５μｍ程度で略露と
なり、それ以上深くには到らないことが分かる。

【００３４】これに対し、ｇ線は、線２５で示す如く、
ｉ線に比べて層２０内における吸収のされ方が緩やかで
あり、深さが４０μｍとなってもある程度の照度をなお
も有していることが分かる。

【００３５】線２６は、ｇ線とｈ線とが混合した光線の
吸収の状態、線２７はｇ線，ｈ線，ｉ線が混合した光線
の吸収の状態を示す。

【００３６】図４より、ネガタイプの感光性ポリイミド
をフィルタの膜として使用することが可能であり、例え
ば１０μｍの厚さとすると、ｉ線を完全に吸収してカッ
トし、ｇ線については、符号１９で示す相対照度に対応
する強度のｇ線を透過する特性を有する。

【００３７】即ち、図２の露光フィルタ１０は、図５中
線２８で示すようにｉ線はカットし、ｇ線は透過する特
性を有する。

【００３８】従って、図１中、点Ｐで示す露光フィルタ
１０を通過した後の位置における光のスペクトルは、例
えば図６中線２９で示す如くになり、層５には、専らｇ
線が照射する。

【００３９】次に、専らｇ線よりなる光線による層５の
露光について説明する。

【００４０】図４中線２５で示すように、ｇ線は、層５
内の３０μｍを越える深い層の部分まで良好に進入する
。

【００４１】このため、深層部分５ｂの感光は、図７中
線２９で示すように、進行する。線２１に対する遅れは
、露光フィルタ１０が入ったことによる。一方、表面層
５ａの部分についてみると、この表面層５ａの部分だけ
で吸収されるｉ線が照射されないため、感光の進行の程
度は、線２０で示す従来に比べて大幅に遅れて緩慢とな
り、線３０で示す如くになり、線２９に接近する。

【００４２】所定の露光時間Ｔ２　における表面層部分
５ａと深層部分５ｂにおける感光の程度の差は、符号１
５で示すように、従来に比べて相当小さくなる。

【００４３】従って、層５は厚さが３８μｍと相当に厚
いものであるけれども、感光は厚さ方向全体に亘って略
一様に行われる。

【００４４】この結果、現像したときの状態は、図８に
示すようになり、入口部についてみると狭くならず、奥
部についてみると感光性ポリイミドの溶け出しが無く、
径ｄが約３０μｍ、深さが約３０μｍと深くてしかも高
品質のバイヤホール１６が形成される。

【００４５】即ち、細径で深いバイヤホールが良好に形
成される。

【００４６】また、本発明は、感光性ホトレジストにつ
いても同様に適用される。

【００４７】

【発明の効果】以上説明した様に、請求項１の発明によ
れば、感光性材料の露光を行う場合に使用する露光用フ
ィルタを希望する大きさのものとすることが出来る。然
して、大きい被露光体に対応した大きさのものを容易に
実現することが出来る。

【００４８】また、請求項１の露光用フィルタを使用す
ることにより、相当に広い面積を有してしかも従来より
厚く厚さが３０μｍ程度の感光性材料の塗布層を良好に
露光させることが出来る。然して、大きい被露光体に対
応した大きさのものを容易に実現することが出来る。

【００４９】請求項２の発明によれば、厚さが３０μｍ
程度と相当に厚く、しかも相当に広い面積を有する感光
性材料製の塗布層を、高密度に、且つ、良好に露光する
ことが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の感光性材料露光フィルタ及
びこれを使用した露光方法を示す図である。

【図２】図１中の露光フィルタの斜視図である。

【図３】感光性ポリイミドの分光感度と超高圧水銀灯の
輝線スペクトルとを併せて示す図である。

【図４】感光性ポリイミド層内の相対照度を示す図であ
る。

【図５】図２の露光フィルタの特性を示す図である。

【図６】露光フィルタを通過した後の輝線スペクトルを
示す図である。

【図７】感光性ポリイミド塗布層の表面層部分及び深層
部分の感光の程度を説明する図である。

【図８】本発明の露光方法によって形成されたバイヤホ
ールを示す図である。

【図９】従来の露光方法を示す図である。

【図１０】従来の露光方法によって形成されたバイヤホ
ールを示す図である。

【符号の説明】

１　　露光テーブル ２　　セラミック基板 ３　　マスク ３ａ　　マスクパターン ４　　超高圧水銀灯 ５　　ネガタイプの感光性ポリイミドの塗布層５ａ　　
表面層部分 ５ｂ　　深層部分 ６，１５　　表面層部分の感光の程度と深層部分の感光
の程度の差 １０　　感光性ポリイミド露光フィルタ１１　　ガラス
板 １２　　ネガタイプ感光性ポリイミドの硬化層１６　　
バイヤホール

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　透明基板（１１）と、該透明基板の表
   面に形成されており、露光しようとする感光性材料と同
   じ感光性材料製の硬化膜（１２）とよりなる構成であり
   、上記硬化膜を構成する感光性材料と同じ感光性材料を
   露光する場合に、光源（４）とマスク（３）との間に配
   設される構成としたことを特徴とする感光性材料露光フ
   ィルタ。
2. 【請求項２】　　請求項１の感光性材料の露光様フィル
   タを、光源（４）とマスク（３）との間に配設して、上
   記硬化膜（１２）を構成する感光材料と同じ感光性材料
   を露光することを特徴とする感光性材料の露光方法。