JPH04273155A - パワー用混成集積回路の製造方法 - Google Patents
パワー用混成集積回路の製造方法Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
に関し、特にパワー用混成集積回路の製造方法に関する
。
ートランジスタを絶縁性基板に搭載した上でこれらを放
熱性基体に搭載した集積回路の製造方法は、先ず、図2
(a)に示すように、銅材表面に金メッキを施した金属
ディスク5の上に、 240℃程度の融点を有するシー
ト状半田片6を用いて 280℃〜 300℃に加熱し
たヒーター上で半田片6を溶融させ、パワートランジス
タ7を固着させる。次に、図2(b)に示すように、ア
ルミナセラミックス等によりなる絶縁性配線基板2の上
部に形成されたメタライズ層3に半田層4を形成してお
き、この絶縁性配線基板2に前工程でパワートランジス
タ7を搭載した金属ディスク5を半田層4により溶融固
着させる。その後、図2(c)に示すように、絶縁性配
線基板2と放熱性基体1を接着層8で接着させている。
ー用混成集積回路の製造方法は、半導体電力素子を搭載
するために、2回以上の半田溶融工程、即ち高温を加え
る工程を施しているため、半導体電力素子に対する熱履
歴が多くなり、混成集積回路の特性劣化が生じ易いとい
う問題がある。本発明の目的は、熱履歴を削減して特性
劣化を防止したパワー用混成集積回路の製造方法を提供
することにある。
熱性基体上に、予めその両面のメタライズ層に半田層が
形成された配線基板を載せ、その上に金属ディスクを載
せ、更にシート状半田片を介して半導体電力素子を重ね
、その上で還元雰囲気中で一回のリフロー処理により前
記半田を一括して溶融して放熱性基体、配線基板、半導
体電力素子を固着する。
る。図1は本発明方法で製造したパワー用混成集積回路
の断面図である。以下、製造工程に従って説明する。先
ず、絶縁性配線基板2の表裏に形成されたメタライズ層
3に予め半田層4,4を形成しておく。そして、放熱性
基体1上に前記絶縁性配線基板2を載せ、更にその上に
銅材で作られた金属ディスク5を載せ、この上にシート
状半田片6を介してパワートランジスタ7を載せる。こ
の状態で位置ずれを防止するための図外の治具をセット
して前記各部品の相互位置を固定関係とした上で、全体
を還元性雰囲気リフロー炉に通す。これにより、前記半
田層4,4とシート状半田片6が一括して溶融され、そ
の後固化したときに放熱性基体1、絶縁性配線基板2、
パワートランジスタ7を一体的に固定する。
の搭載例を示したが、複数の半導体電力素子を同時に搭
載することも可能であり、本方法によれば高機能を有す
る混成集積回路が実現できる。
体上に、予めその両面のメタライズ部に半田層が形成さ
れた配線基板と、金属ディスクと、シート状半田片を介
して半導体電力素子を順次重ね、その上で還元雰囲気中
で一回のリフロー処理により半田を一括して溶融してこ
れらを固着するので、半導体電力素子の熱履歴を1回に
抑えることができ、特性劣化を抑制したパワー用混成集
積回路を製造することが可能となる。
断面図である。
示す断面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 少なくとも半導体電力素子が金属ディ
スクを介してメタライズ基板に搭載され、これらが放熱
性基体に固着されてなるパワー用混成集積回路の製造方
法において、放熱性基体上に、予めその両面のメタライ
ズ層に半田層が形成された配線基板を載せ、その上に金
属ディスクを載せ、更にシート状半田片を介して半導体
電力素子を重ね、その上で還元雰囲気中で一回のリフロ
ー処理により前記半田を一括して溶融し、前記放熱性基
体、配線基板、半導体電力素子を固着することを特徴と
するパワー用混成集積回路の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3053606A JP2674336B2 (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | パワー用混成集積回路の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP3053606A JP2674336B2 (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | パワー用混成集積回路の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04273155A true JPH04273155A (ja) | 1992-09-29 |
JP2674336B2 JP2674336B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=12947551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3053606A Expired - Lifetime JP2674336B2 (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | パワー用混成集積回路の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2674336B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0846080A (ja) * | 1994-07-28 | 1996-02-16 | Nippondenso Co Ltd | 混成集積回路装置及びその製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60146349U (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-28 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の放熱板半田付け構造 |
-
1991
- 1991-02-27 JP JP3053606A patent/JP2674336B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60146349U (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-28 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の放熱板半田付け構造 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0846080A (ja) * | 1994-07-28 | 1996-02-16 | Nippondenso Co Ltd | 混成集積回路装置及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2674336B2 (ja) | 1997-11-12 |
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