JPH0423324Y2 - - Google Patents
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- JPH0423324Y2 JPH0423324Y2 JP1986099861U JP9986186U JPH0423324Y2 JP H0423324 Y2 JPH0423324 Y2 JP H0423324Y2 JP 1986099861 U JP1986099861 U JP 1986099861U JP 9986186 U JP9986186 U JP 9986186U JP H0423324 Y2 JPH0423324 Y2 JP H0423324Y2
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- bonding
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 241000587161 Gomphocarpus Species 0.000 description 1
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- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/78313—Wedge
-
- H—ELECTRICITY
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/851—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector the connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus
-
- H—ELECTRICITY
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、ワイヤボンデイング装置に備えられ
るワイヤクランプの駆動機構に関するものであ
る。
るワイヤクランプの駆動機構に関するものであ
る。
ボンデイングツールに供給されるワイヤの供給
方向に沿つてワイヤクランプを往復可能に設け、
ワイヤクランプの開閉と往復とを関連させて、ワ
イヤの切断と、金ボールやステツチに要する長さ
のワイヤをツールより突出させるワイヤ繰出しを
行うようにしてあるが、この種のワイヤクランプ
の往復の駆動機構としてはモータとカムが用いら
れていた。
方向に沿つてワイヤクランプを往復可能に設け、
ワイヤクランプの開閉と往復とを関連させて、ワ
イヤの切断と、金ボールやステツチに要する長さ
のワイヤをツールより突出させるワイヤ繰出しを
行うようにしてあるが、この種のワイヤクランプ
の往復の駆動機構としてはモータとカムが用いら
れていた。
従つて、モータとカムでは応答速度が遅く、ま
た移動部分に質量の大きなモータが載置されてい
るので各部の移動応答速度が遅く、ボンデイング
作業の高速化が図れず、問題点となつていた。
た移動部分に質量の大きなモータが載置されてい
るので各部の移動応答速度が遅く、ボンデイング
作業の高速化が図れず、問題点となつていた。
なお、１つのソレノイドとバネを用いることも
考え得るが、その場合１つのソレノイドに２個所
の停止位置を与える構造とすると応答時間が長く
なり、上述の問題点を解決できるものではない上
に、磁力が不足して、ソレノイドの大型化を招く
ものであつた。
考え得るが、その場合１つのソレノイドに２個所
の停止位置を与える構造とすると応答時間が長く
なり、上述の問題点を解決できるものではない上
に、磁力が不足して、ソレノイドの大型化を招く
ものであつた。
本考案は上述の従来の問題点を解決しようとす
るもので、それ自身応答が早く、また軽量なので
各部の移動に対しての慣性抵抗が小となり移動の
応答速度を大とし、従つてボンデイング作業の高
速化を図ることができる、ワイヤクランプの駆動
機構を提供することを目的とするものである。
るもので、それ自身応答が早く、また軽量なので
各部の移動に対しての慣性抵抗が小となり移動の
応答速度を大とし、従つてボンデイング作業の高
速化を図ることができる、ワイヤクランプの駆動
機構を提供することを目的とするものである。
本考案は、上記の問題点を解決する手段とし
て、ボンデイングツールに供給されるボンデイン
グワイヤの把持及び開放を行うワイヤクランプ
を、前記ボンデイングワイヤの供給方向に沿つ
て、ボンデイングツールに近接した所定位置から
ボンデイングワイヤの繰出しの準備のためにボン
デイングツールから離隔する向きに所定距離移動
させる第１の後退移動、次いでワイヤ切断のため
にさらにボンデイングツールから離隔する向きに
所定距離移動させる第２の後退移動、次いで前記
ボンデイングワイヤを繰出して前記ボンデイング
ツールより突出させるために前記所定位置に戻ら
せる前進移動を行わせる、ワイヤボンデイング装
置におけるワイヤクランプの駆動機構において、 前記ワイヤクランプ５がベース上のクランプス
テイ６に固定され、該クランプステイ６はフレー
ム２から突出して設けたフレーム７にクロスロー
ラガイド８を介してバネ１５でボンデイングワイ
ヤの供給方向に沿つて往復動可能に配備され、こ
のクランプステイ６に常時当接するアーム９を持
つた第２レバー１４をフレーム２に揺動自在に備
え、該レバー１４に第２ソレノイド１０に離接す
るアーム１１と、第１レバー１６に接続されるア
ーム１３を設けると共に、該アーム１３に離接す
るアーム１８と、第１ソレノイド１２に離接する
アーム１７を持つた第１レバー１６を第２レバー
１４の後退移動を妨げないようにフレーム２に揺
動自在に備え、第２レバー１４のアーム１３及び
第１レバー１６のアーム１７にそれぞれ臨んで吸
着可能に第２ソレノイド１０及び第１ソレノイド
１２を配備した ことを特徴とするワイヤボンデイング装置におけ
るワイヤクランプの駆動機構を提供せんとするも
のである。
て、ボンデイングツールに供給されるボンデイン
グワイヤの把持及び開放を行うワイヤクランプ
を、前記ボンデイングワイヤの供給方向に沿つ
て、ボンデイングツールに近接した所定位置から
ボンデイングワイヤの繰出しの準備のためにボン
デイングツールから離隔する向きに所定距離移動
させる第１の後退移動、次いでワイヤ切断のため
にさらにボンデイングツールから離隔する向きに
所定距離移動させる第２の後退移動、次いで前記
ボンデイングワイヤを繰出して前記ボンデイング
ツールより突出させるために前記所定位置に戻ら
せる前進移動を行わせる、ワイヤボンデイング装
置におけるワイヤクランプの駆動機構において、 前記ワイヤクランプ５がベース上のクランプス
テイ６に固定され、該クランプステイ６はフレー
ム２から突出して設けたフレーム７にクロスロー
ラガイド８を介してバネ１５でボンデイングワイ
ヤの供給方向に沿つて往復動可能に配備され、こ
のクランプステイ６に常時当接するアーム９を持
つた第２レバー１４をフレーム２に揺動自在に備
え、該レバー１４に第２ソレノイド１０に離接す
るアーム１１と、第１レバー１６に接続されるア
ーム１３を設けると共に、該アーム１３に離接す
るアーム１８と、第１ソレノイド１２に離接する
アーム１７を持つた第１レバー１６を第２レバー
１４の後退移動を妨げないようにフレーム２に揺
動自在に備え、第２レバー１４のアーム１３及び
第１レバー１６のアーム１７にそれぞれ臨んで吸
着可能に第２ソレノイド１０及び第１ソレノイド
１２を配備した ことを特徴とするワイヤボンデイング装置におけ
るワイヤクランプの駆動機構を提供せんとするも
のである。
本考案は、上述の具体的構成を具備することに
より、ワイヤクランプにワイヤを把持させた状態
で第１ソレノイドをONとすると、媒介部材を介
して可動部材は移動させられ、従つてワイヤクラ
ンプは第１の後退移動を行つて、ワイヤ繰出し準
備を行うことができる。
より、ワイヤクランプにワイヤを把持させた状態
で第１ソレノイドをONとすると、媒介部材を介
して可動部材は移動させられ、従つてワイヤクラ
ンプは第１の後退移動を行つて、ワイヤ繰出し準
備を行うことができる。
次にワイヤを開放した状態で第２ソレノイドも
ONとすると、媒介部材は第２の後退移動を防げ
ないので、可動部材はさらに移動させられ、従つ
てワイヤクランプは第２の後退移動を行つて、ワ
イヤを切断することができる。
ONとすると、媒介部材は第２の後退移動を防げ
ないので、可動部材はさらに移動させられ、従つ
てワイヤクランプは第２の後退移動を行つて、ワ
イヤを切断することができる。
次で、ワイヤを把持した状態で両ソレノイドを
OFFとすると、バネによりワイヤクランプは前
進移動し、従つてワイヤを繰出しボンデイングツ
ールからワイヤを突出させることができる。
OFFとすると、バネによりワイヤクランプは前
進移動し、従つてワイヤを繰出しボンデイングツ
ールからワイヤを突出させることができる。
本考案の実施例を図面を用いて説明する。
第１図は、ウエツジボンデイング法によるボン
デイング装置で、ボンデイングツールとしてボン
デイングウエツジ１が備えられ、該ボンデイング
ウエツジ１はフレーム２に固設した超音波発生装
置のホーン３先端に設けられている。フレーム２
はフレーム４に揺動可能に設けられ、フレーム４
はXYテーブルにより水平移動可能のフレーム
（図示せず）に上下動可能に備えられている。
デイング装置で、ボンデイングツールとしてボン
デイングウエツジ１が備えられ、該ボンデイング
ウエツジ１はフレーム２に固設した超音波発生装
置のホーン３先端に設けられている。フレーム２
はフレーム４に揺動可能に設けられ、フレーム４
はXYテーブルにより水平移動可能のフレーム
（図示せず）に上下動可能に備えられている。
ワイヤクランプ５はクランプステイ６に取付ら
れ、クランプステイ６はフレーム２から突出して
設けたフレーム７に、クロスローラガイド８を介
して、ボンデイングワイヤの供給方向に沿つて、
往復可能に配備されていて、フレーム２とフレー
ム７は一体としてベースを形成している。
れ、クランプステイ６はフレーム２から突出して
設けたフレーム７に、クロスローラガイド８を介
して、ボンデイングワイヤの供給方向に沿つて、
往復可能に配備されていて、フレーム２とフレー
ム７は一体としてベースを形成している。
クランプステイ６には、クランプステイ６に常
時当接するアーム９、次述する第２ソレノイド１
０に離接するアーム１１及び第１ソレノイド１２
の作用を間接に受けるアーム１３を備えたレバー
１４が接続され、クランプステイ６とレバー１４
とは可動部材を形成している。レバー１４はフレ
ーム２に所定範囲回動可能に取付けられている。
時当接するアーム９、次述する第２ソレノイド１
０に離接するアーム１１及び第１ソレノイド１２
の作用を間接に受けるアーム１３を備えたレバー
１４が接続され、クランプステイ６とレバー１４
とは可動部材を形成している。レバー１４はフレ
ーム２に所定範囲回動可能に取付けられている。
上述の可動部材の駆動源として、バネ１５、第
２ソレノイド１０及び第１ソレノイド１２が設け
られている。
２ソレノイド１０及び第１ソレノイド１２が設け
られている。
バネ１５はクランプステイ６とフレーム７との
間に配置された引きバネで、ワイヤクランプ５を
ボンデイングウエツジ１に近接した所定位置に付
勢するよう設けられている。
間に配置された引きバネで、ワイヤクランプ５を
ボンデイングウエツジ１に近接した所定位置に付
勢するよう設けられている。
第１ソレノイド１２は、媒介部材としてのレバ
ー１６を可動部材との間の設けられて、配備され
ている。
ー１６を可動部材との間の設けられて、配備され
ている。
レバー１６は第１ソレノイド１２に接離するア
ーム１７とレバー１４のアーム１３に接離するア
ーム１８を備えてフレーム２に揺動可能に取付け
られており、第１ソレノイド１２がアーム１７を
吸着した時に、アーム１８のアーム１３押下によ
るレバー１４の回動、レバー１４の回動によるク
ランプステイ６の摺動により、ワイヤクランプ５
がワイヤ繰出し準備のためにボンデイングウエツ
ジ１から離隔する向きに所要距離移動する第１の
後退移動を行い得るように、即ち、第１ソレノイ
ド１２はレバー１６を介して可動部材を移動させ
るように、設けられている。
ーム１７とレバー１４のアーム１３に接離するア
ーム１８を備えてフレーム２に揺動可能に取付け
られており、第１ソレノイド１２がアーム１７を
吸着した時に、アーム１８のアーム１３押下によ
るレバー１４の回動、レバー１４の回動によるク
ランプステイ６の摺動により、ワイヤクランプ５
がワイヤ繰出し準備のためにボンデイングウエツ
ジ１から離隔する向きに所要距離移動する第１の
後退移動を行い得るように、即ち、第１ソレノイ
ド１２はレバー１６を介して可動部材を移動させ
るように、設けられている。
第２ソレノイド１０は、第１の後退移動後のレ
バー１４のアーム１１を吸着してレバー１４をさ
らに回動させ、従つてクランプステイ６をさらに
摺動させて、ワイヤクランプ５がボンデイングワ
イヤ切断のためにさらに所要距離移動する第２の
後退移動を行うことができるように、設けられて
いる。
バー１４のアーム１１を吸着してレバー１４をさ
らに回動させ、従つてクランプステイ６をさらに
摺動させて、ワイヤクランプ５がボンデイングワ
イヤ切断のためにさらに所要距離移動する第２の
後退移動を行うことができるように、設けられて
いる。
次に動作について第２図ａ，ｂ，ｃに従つて説
明する。
明する。
第２図ａは第１、第２ソレノイド１２，１０が
共にOFF状態である。ワイヤクランプ５はボン
デイングウエツジ１に近接した所定位置にバネ１
５で位置せしめられ、この時レバー１４はアーム
９がイ位置となる状態である。レバー１４にも反
時計回りのバネ力が作用している。
共にOFF状態である。ワイヤクランプ５はボン
デイングウエツジ１に近接した所定位置にバネ１
５で位置せしめられ、この時レバー１４はアーム
９がイ位置となる状態である。レバー１４にも反
時計回りのバネ力が作用している。
この状態で第１ソレノイド１２のみをONにす
ると、第２図ｂのようにアーム１７が吸着されて
レバー１６は反時計回りに回動し、レバー１４は
時計回りにアーム９がイ位置からロ位置になるま
で回動し、クランプステイ６はボンデイングウエ
ツジ１から離隔する向きにバネ１５の力に逆らつ
て摺動し、従つて、ワイヤクランプ５は所定位置
から第１の後退移動を行う。この移動の時ワイヤ
クランプ５はワイヤを開放しており、ワイヤ繰出
し準備を行う。また、この移動を第１ボンドが終
了した後ワイヤクランプ５を開としてボンデイン
グウエツジ１が移動する間に行えば作業の高速化
に役立つ。
ると、第２図ｂのようにアーム１７が吸着されて
レバー１６は反時計回りに回動し、レバー１４は
時計回りにアーム９がイ位置からロ位置になるま
で回動し、クランプステイ６はボンデイングウエ
ツジ１から離隔する向きにバネ１５の力に逆らつ
て摺動し、従つて、ワイヤクランプ５は所定位置
から第１の後退移動を行う。この移動の時ワイヤ
クランプ５はワイヤを開放しており、ワイヤ繰出
し準備を行う。また、この移動を第１ボンドが終
了した後ワイヤクランプ５を開としてボンデイン
グウエツジ１が移動する間に行えば作業の高速化
に役立つ。
次で第２ソレノイド１０もONにすると第２図
ｃのようにアーム１１が吸着されてレバー１４は
アーム９がロ位置からハ位置になるまでさらに時
計回りに回動し、クランプステイ６はボンデイン
グウエツジ１からさらに離隔する向きにバネ１５
の力に逆らつて摺動し、従つてワイヤクランプ５
は第２の後退移動を行う。この移動の時ワイヤク
ランプ５はワイヤを把持した状態にあり、この移
動によりワイヤは引きちぎられて切断される。
ｃのようにアーム１１が吸着されてレバー１４は
アーム９がロ位置からハ位置になるまでさらに時
計回りに回動し、クランプステイ６はボンデイン
グウエツジ１からさらに離隔する向きにバネ１５
の力に逆らつて摺動し、従つてワイヤクランプ５
は第２の後退移動を行う。この移動の時ワイヤク
ランプ５はワイヤを把持した状態にあり、この移
動によりワイヤは引きちぎられて切断される。
なお、レバー１６はレバー１４の時計回りの回
動を阻止するものではないので、第２の後退移動
はレバー１６により妨げられることなくスムース
に行われる。
動を阻止するものではないので、第２の後退移動
はレバー１６により妨げられることなくスムース
に行われる。
最後に両ソレノイド１０，１２をOFFにする
と、バネ１５により、レバー１４はアーム９がハ
位置からイ位置になるまで回動して第２図ａ状態
に戻り、ワイヤクランプ５は所定位置に復帰す
る、前進移動を行う。この移動の時、ワイヤクラ
ンプ５はワイヤを把持しており、ワイヤの先端を
ボンデイングウエツジ１から突出させることがで
きる。
と、バネ１５により、レバー１４はアーム９がハ
位置からイ位置になるまで回動して第２図ａ状態
に戻り、ワイヤクランプ５は所定位置に復帰す
る、前進移動を行う。この移動の時、ワイヤクラ
ンプ５はワイヤを把持しており、ワイヤの先端を
ボンデイングウエツジ１から突出させることがで
きる。
図中、１９はワイヤクランプ５開閉用のソレノ
イド、２０はクランプステイ６裏面に設けたガイ
ド、２１はアーム９の先端に設けた、ガイド２０
に嵌合保持されるローラ、２２はワイヤである。
イド、２０はクランプステイ６裏面に設けたガイ
ド、２１はアーム９の先端に設けた、ガイド２０
に嵌合保持されるローラ、２２はワイヤである。
また、上述のウエツジボンデイング法によるボ
ンデイング装置のほか、ネールヘツドボンデイン
グ法によるボンデイング装置にも同様に適用でき
る。
ンデイング装置のほか、ネールヘツドボンデイン
グ法によるボンデイング装置にも同様に適用でき
る。
本考案は、クランプステイに常時当接するアー
ムを持つた第２レバーをフレームに揺動自在に備
え、該レバーに第２ソレノイドに離接するアーム
と、第１レバーに接続されるアームを設けると共
に、該アームに離接するアームと、第１ソレノイ
ドに離接するアームを持つた第１レバーを第２レ
バーの後退移動を妨げないようにフレームに揺動
自在に備え、第２レバーのアーム及び第１レバー
のアームにそれぞれ臨んで吸着可能に第２ソレノ
イド及び第１ソレノイドを配備したことにより、
揺動レバーが２段階に分けられ操作上各レバーの
ソレノイドの吸引力も大きなものを必要とせず、
ソレノイドの小型化が可能で、しかも各レバーに
バネを要することなくクランプステイの引きバネ
のみで対応でき、慣性抵抗も小さく軽快な操作が
可能で応答速度も速く、特に移動部分が軽量で従
つて各部の移動応答速度も速い、ワイヤボンデイ
ング装置におけるワイヤクランプの駆動機構とで
きるので、ボンデイング作業の高速化を図ること
ができ、実用上顕著な効果を奏することができ
る。
ムを持つた第２レバーをフレームに揺動自在に備
え、該レバーに第２ソレノイドに離接するアーム
と、第１レバーに接続されるアームを設けると共
に、該アームに離接するアームと、第１ソレノイ
ドに離接するアームを持つた第１レバーを第２レ
バーの後退移動を妨げないようにフレームに揺動
自在に備え、第２レバーのアーム及び第１レバー
のアームにそれぞれ臨んで吸着可能に第２ソレノ
イド及び第１ソレノイドを配備したことにより、
揺動レバーが２段階に分けられ操作上各レバーの
ソレノイドの吸引力も大きなものを必要とせず、
ソレノイドの小型化が可能で、しかも各レバーに
バネを要することなくクランプステイの引きバネ
のみで対応でき、慣性抵抗も小さく軽快な操作が
可能で応答速度も速く、特に移動部分が軽量で従
つて各部の移動応答速度も速い、ワイヤボンデイ
ング装置におけるワイヤクランプの駆動機構とで
きるので、ボンデイング作業の高速化を図ること
ができ、実用上顕著な効果を奏することができ
る。
図面は本考案の実施例を示し、第１図は正面
図、第２図ａ，ｂ，ｃは各々駆動機構の動作説明
正面図である。 １……ボンデイングウエツジ、２……フレー
ム、３……ホーン、４……フレーム、５……ワイ
ヤクランプ、６……クランプステイ、７……フレ
ーム、８……クロスローラガイド、９……アー
ム、１０……第２ソレノイド、１１……アーム、
１２……第１ソレノイド、１３……アーム、１４
……レバー、１５……バネ、１６……レバー、１
７アーム、１８……アーム、１９……ソレノイ
ド、２０……ガイド、２１……ローラ、２２……
ワイヤ。
図、第２図ａ，ｂ，ｃは各々駆動機構の動作説明
正面図である。 １……ボンデイングウエツジ、２……フレー
ム、３……ホーン、４……フレーム、５……ワイ
ヤクランプ、６……クランプステイ、７……フレ
ーム、８……クロスローラガイド、９……アー
ム、１０……第２ソレノイド、１１……アーム、
１２……第１ソレノイド、１３……アーム、１４
……レバー、１５……バネ、１６……レバー、１
７アーム、１８……アーム、１９……ソレノイ
ド、２０……ガイド、２１……ローラ、２２……
ワイヤ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ボンデイングツール１に供給されるボンデイン
グワイヤ２２の把持及び開放を行うワイヤクラン
プ５を、前記ボンデイングワイヤ２２の供給方向
に沿つて、ボンデイングツール１に近接した所定
位置からボンデイングワイヤ２２の繰出しの準備
のためにボンデイングツール１から離隔する向き
に所定距離移動させる第１の後退移動と、次いで
ワイヤ切断のためにさらにボンデイングツール１
から離隔する向きに所定距離移動させる第２の後
退移動と、次いで前記ボンデイングワイヤ２２を
繰出して前記ボンデイングツール１より突出させ
るために前記所定位置に戻らせる前進移動とを行
わせるワイヤボンデイング装置におけるワイヤク
ランプの駆動機構において、 前記ワイヤクランプ５がベース上のクランプス
テイ６に固定され、該クランプステイ６はフレー
ム２から突出して設けたフレーム７にクロスロー
ラガイド８を介してバネ１５でボンデイングワイ
ヤの供給方向に沿つて往復動可能に配備され、こ
のクランプステイ６に常時当接するアーム９を持
つた第２レバー１４をフレーム２に揺動自在に備
え、該レバー１４に第２ソレノイド１０に離接す
るアーム１１と、第１レバー１６に接続されるア
ーム１３を設けると共に、該アーム１３に離接す
るアーム１８と、第１ソレノイド１２に離接する
アーム１７を持つた第１レバー１６を第２レバー
１４の後退移動を妨げないようにフレーム２に揺
動自在に備え、第２レバー１４のアーム１３及び
第１レバー１６のアーム１７にそれぞれ臨んで吸
着可能に第２ソレノイド１０及び第１ソレノイド
１２を配備したことを特徴とするワイヤボンデイ
ング装置におけるワイヤクランプの駆動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986099861U JPH0423324Y2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986099861U JPH0423324Y2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS636733U JPS636733U (ja) | 1988-01-18 |
| JPH0423324Y2 true JPH0423324Y2 (ja) | 1992-05-29 |
Family
ID=30969133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986099861U Expired JPH0423324Y2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0423324Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55138853A (en) * | 1979-04-17 | 1980-10-30 | Shinkawa Ltd | Wire bonding apparatus |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP1986099861U patent/JPH0423324Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55138853A (en) * | 1979-04-17 | 1980-10-30 | Shinkawa Ltd | Wire bonding apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS636733U (ja) | 1988-01-18 |
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